【課題】一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置にも適用でき、排気速度が速くパーティクルの舞い上がりを抑制できる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる減圧排気弁１０は、一端が真空チャンバ２に連通し、他端が真空ポンプ３に連通する排気路５中に取付けられる減圧排気弁１０において、前記減圧排気弁１０が、前記排気路５に接続される管部１１と、前記管部内に収容された、前記排気路５を開閉する開閉弁１２と、前記開閉弁１２に設けられた、通気孔を有する多孔質体部１３と、前記開閉弁１２の上流側または下流側の排気路中に設けられ、排気路５の遮蔽面積が可変となされた遮蔽量調整部１０Ｂとを備える （もっと読む）

【課題】顆粒、錠剤、カブセル等を収容する容器の排出口等に設置されて筒状シートを捻ることにより流路の閉作動を行う開閉バルブにおいて、部品点数を少なくして構造を簡略化し、軽量化が容易な構造にするとともに製造コストを低く抑えることができる開閉バルブを提供すること課題とする。
【解決手段】本発明は、内周側に流路が形成される変形可能な筒状シート１０と、筒状シート１０周壁に沿って取付けられる固定側環状部３及び可動側環状部４とを備え、可動側環状部４を固定側環状部３に対して筒状シート１０の軸心回りに回動可能に支持し、固定側環状部３に対して可動側環状部４を回動させて筒状シート１０を捻ることにより前記流路の閉作動を行う開閉バルブであって、固定側環状部３及び可動側環状部４に周面に沿って装着固定される取付リング６，８をそれぞれ設け、筒状シート１０の周壁を各取付リング６，８に沿って取付けることにより、固定側環状部３及び可動側環状部４に筒状シート１０を装着した。 （もっと読む）

本発明の絞り型可変バルブは管の内部または管の末端部に付着して管に沿って流れる液体、または気体である流体の流量または流圧を可変的に調節することができる。一つの使用例として、本発明のバルブをエンジンの回転速度（ＲＰＭ）に沿って排気ガスの流量が変わる自動車の排気システムに付着して背圧（大気圧との差圧、ｂａｃｋ−ｐｒｅｓｓｕｒｅ）を可変的に調節することによって、自動車の排気騷音を制御することができる。また、本発明のバルブを流量計に適用することによって少ない流量から大きい流量まで広範囲の流量を測定することができる。本発明のバルブの作動原理は初期にスプリングの弾性力によって所定の大きさに開かれていた絞り板を収縮または弛緩させて流路の断面積を制御する。本発明の絞り型可変バルブは従来の円板式可変バルブに比べて流量または流圧を線形に調節することが容易で、且つ圧力の損失及び流動騷音の発生が少ない。また、非常に単純な方法で流量または流圧の制御が可能で制御システムの構成が容易である。

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総合的な流体流量制御を提供するプロセス装置（１０、１００）が提供される。装置（１０、１００）は、流導管（１６、１０４）中に設けられた閉止機構（１２、１０６）を含む。好ましくはアイリス型ダイヤフラムである閉止機構（１２、１０６）は可変性の内径を提供する。装置（１０、１００）は、ダイヤフラムの両側での差圧を感知するための差圧センサ（２０、２２、１２０、１２２）を含む。制御装置（１１２）が差圧の指示を受信し、制御信号をアクチュエータに発すると、そのアクチュエータが閉止機構（１２、１０６）を作動させる。閉止機構（１２、１０６）、差圧センサ（２０、２２、１２０、１２２）及び制御装置（１１２）が一つのプロセス装置（１０、１００）の中で閉ループ流量制御装置を形成する。
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