【課題】シール部材の摩耗を抑制し、ゲートバルブの開閉動作を高速で行うことを可能としたインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】複数のチャンバの間に設けられて、キャリアが通過する通路１０１を開閉するゲートバルブ１００は、通路１０１を分断する方向に移動操作される弁体１０５と、弁体１０５を挟んだ両側に配置されて通路１０１を形成する開口部１０２ａ，１０２ｂが設けられた一対の隔壁１０３Ａ，１０３Ｂと、一対の隔壁１０３Ａ，１０３Ｂの開口部１０２ａ，１０２ｂを囲む位置に配置されたシール部材１０４とを有し、弁体１０５は、通路１０１を閉塞する方向に向かって漸次幅狭となるテーパー形状を有し、通路１０１を閉塞する位置において、その両側面１０５ａ，１０５ｂが一対の隔壁１０３Ａ，１０３Ｂと相対向しながらシール部材１０４と圧接可能とされている。 （もっと読む）

本体（１０１）と、流路（１０３）に対して横断方向に少なくとも２つの位置間、すなわち流路（１０３）が開いている第１の位置と流路が閉じている第２の位置との間で本体内で可動であるゲート要素（１０２）と、ゲート要素（１０２）を少なくとも２つの上記位置間で移動させる手段（１０４）とを備える、ゲート弁。ゲート要素（１０２）は、ゲート部分（１０５）及び作動体（１０８）を備え、ゲート部分（１０５）は、本体壁（１０９、１１０）間の空間内で作動体（１０８）とともに移動するように配置される。 （もっと読む）

バルブ１１が、軸受け１７Ａ、１７Ｂを支持する第１のハウジング１３を備え、その軸受けが流体伝達通路５７を収容するステータ５１に対して回転可能なロータ１９に取り付けられた回転シャフト１５を支持する。ロータ１９は、一連のベルビルワッシャタイプのばね２５によって押し付けられ、その力は、シャフト１５を支持するスラスト軸受け６５に、スパイダワッシャ７９を押し付けるねじ山付きの荷重ナット８７によって調整可能である。ロータ１９は、キーピン１１７によってシャフト１５に堅牢に連結され、そのピンは制止部１２９と協働して、ロータ１９の回転を制限する。ロータ１９の位置感知は、シャフト１５に固定されたエンコーダディスク１４３、および第２のハウジング１３１に固定されたエンコーダチップ１４５によってもたらされる。
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