国際特許分類[F27D11/02]の内容
機械工学;照明;加熱;武器;爆破 (654,968) | 炉,キルン,窯;レトルト (8,973) | 2種以上の炉に見出される種類のものである限りにおける,炉,キルン,窯またはレトルトの細部または付属品 (4,906) | 炉内または炉に付設する電気加熱要素の配置 (519) | 電気抵抗加熱 (183)
国際特許分類[F27D11/02]の下位に属する分類
被加熱物中に直接の電流路をもつもの (22)
国際特許分類[F27D11/02]に分類される特許
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熱処理システムを抵抗により加熱する装置および方法
アンドープト・セラミック材のマトリックス内に部分的または完全に埋め込まれたドープト・セラミック加熱素子を備えている抵抗ヒーター。セラミックは、炭化珪素でありうるし、かつドーパントは、窒素でありうる。本発明のヒーターの効果の多くは、加熱素子およびそれらの素子を取り囲んでいるマトリックス材を備えている材料が実質的に同じ熱膨張係数を有しているという事実から生じる。一実施形態では、ヒーターは、コンパクト、強力、強靭、および熱式質量が低く、それを電力入力変化に迅速に応答させる、モノリシック・プレートである。抵抗ヒーターは、エピタキシャル薄膜を成膜し、かつ高速熱処理を実行するもののような、集積回路を製作するために用いられる反応器および処理チャンバの多くで用いられうる。 (もっと読む)
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