【課題】フラッシュランプを用いて基板を急速加熱し、最表面にイオン注入や活性化等を行うに際し、基板の変形や割れを抑制しながら基板を活性化できるようにすること。
【解決手段】フラッシュランプからの光を照射して、基板を加熱する基板加熱装置において、フラッシュランプ５に直列に半導体スイッチ２５を接続する。そして、フラッシュランプ５のトリガ電極５２にトリガ信号を入力したのち、ゲート回路２８から第１の駆動信号、第２の駆動信号を出力し、第２の駆動信号が半導体スイッチ２５をオンにする期間を、第１の駆動信号の内の一つの駆動信号により半導体スイッチ２５がオンになる期間より長くなるようにする。そして、第１の駆動信号により上記半導体スイッチをオン、オフして基板温度を目標となる所望の温度より低い温度まで上昇させ短時間その状態に保ち、その後、基板の表面温度を目標となる所望の温度まで上昇させる。 （もっと読む）

【課題】炉体内部に挿入されたワークや炉体内構造物によって高温ガスの流動が妨げられる場合であっても、ワークを均一に、かつ、早期に加熱することが可能な温風加熱炉を提供する。
【解決手段】ガス導入口２４が設けられた炉体２０と、ガス導入口２４を介して炉体２０内部に高温ガスを導入するガス導入手段３０とを備え、炉体２０内部に装入されたワークＷを加熱する温風加熱炉１０であって、炉体２０内部には、ガス導入口２４から導入された高温ガスの流れがワークＷ及び炉体内構造物１４により遮断される遮熱領域Ｃが形成されており、遮熱領域Ｃ又はその近傍には、電気加熱方式の補助熱源４０が配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】内部応力および隅部亀裂が発生せず、所望品質のシリコン結晶インゴットが得られる対流冷却構造を有する結晶成長炉を提供する。
【解決手段】炉本体、加熱室、ヒータを含み、加熱室は炉本体に収容され、上側隔壁、複数の側方隔壁、および下側隔壁を含む。上側隔壁には、上側開口部と、中央開口部を有する下側隔壁とが設けられる。加熱室には、上側ドア、下側ドア、上側ドライバ、および下側ドライバが設けられ、シリコンスラリーが冷却および凝固される際、冷却ガス流が中央開口部を通って加熱室の下部に流れ込む。次に、上側開口部が、上側ドライバによって駆動される上側ドアにより開放されるため、加熱されたガス流が上側開口部から排出され、炉内壁に沿って下方に流れ、中央開口部から加熱室へ戻り、自動対流循環冷却流れ場が形成されるので、時間を節減し、生産効率を向上させた状態で、シリコンスラリーを迅速に冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、従来の縦型熱処理炉に比べて、さらに、容易、かつ効率的な、被処理物の搬送及び焼結が行える縦型熱処理炉を提供することにある。
【解決手段】両端が開口した縦型筒状部材４０と、該縦型筒状部材４０の長手方向中央領域４０ａに配設された加熱・保持する加熱手段５０と、前記縦型筒状部材４０の下端開口４２の下方に位置する第１板状部材６０と、該第１板状部材６０の直下位置に配置されるストッパー手段７０とを具えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ろう付け処理又は焼鈍処理において、熱処理時間を短縮する。
【解決手段】 真空に保持された第１加熱室２０にて高周波誘導加熱装置２１を用いて予備加熱を行った後、真空に保持された第２加熱室３０にて電気ヒータ４１の輻射熱を用いて本加熱を行う。これにより、短時間でワークＷを熱処理温度まで昇温することができるので、熱処理時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】真空中で被熱処理物を所定温度に加熱して熱処理する際に、内熱式加熱方式を採用した場合に発生する加熱ヒータの碍子等への煤付着を、酸素プラズマを用いた場合の装置構成の複雑化を招くことなく、低コストで効率よく除去できる真空熱処理炉の再生方法を提供する。
【解決手段】内部に加熱ヒータ８を設けた真空熱処理炉１内で真空雰囲気にて酸素含有の気体を導入するガス導入工程（気体導入管９）と、前記加熱手段を作動させて真空熱処理炉内を所定温度に加熱する加熱工程とを含み、真空熱処理炉内及び当該熱処理炉内に配置した部品（碍子８２）に付着した煤を除去する。 （もっと読む）

【課題】ヒータ及びヒータ保護管の状態を簡易に監視することができるとともに、ヒータ保護管及びヒータの寿命を予測し、的確な保全を行うことが可能なダイカスト電気溶解炉ヒータの監視方法及び監視装置を提供する。
【解決手段】ダイカスト電気溶解炉Ｄ内部を加温するための複数のヒータ線を被覆するヒータ保護管４１を備えたダイカスト電気溶解炉ヒータの監視方法が、ダイカスト電気溶解炉内部を加圧する第１の工程と、ヒータ保護管に配設された圧力測定手段４２により、圧力を測定する第２の工程と、第２の工程により検出された圧力が一定値以上であるか否かを判定し、検出された圧力が一定値以上であった場合に異常報知を行う第３の工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 溶湯に浸漬していない保護管の上部では、保護管表面から空気中への放熱や、炉に設けられた保護管を固定するための被固定部材への放熱を抑えることができる。また、溶湯に浸漬される保護管の下部では、加熱エネルギーを高出力できる加熱体の熱効率に優れる加熱体保護管を提供する。
【解決手段】 炉内の溶湯に浸漬させて溶湯を加熱する加熱体の保護管が、溶湯に浸漬され閉塞した底部を有する下部管体と、下部管体の上部に配置され中空管状の上部管体とを焼結により接合してなり、下部管体および上部管体はセラミックスから形成され、下部管体の熱伝導率が上部管体の熱伝導率より大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮時の支持体と抵抗発熱体との間の摩擦抵抗を低減して抵抗発熱体の残留応力による永久歪の発生を抑制し、耐久性の向上を図る。
【解決手段】被処理体ｗを収容して熱処理するための処理容器３を囲繞する筒状の断熱材４と、該断熱材４の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体５と、上記断熱材４の内周面に軸方向に沿って設けられ抵抗発熱体５を所定ピッチで支持する支持体１３と、上記抵抗発熱体５の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材４を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板１４とを備えた熱処理炉において、上記支持体１３は抵抗発熱体５の内側に位置する基部１７と、該基部１７から抵抗発熱体５のピッチ間を通って炉の半径方向外方へ延出する複数の支持片１８とを有するように櫛状に形成され、該支持片１８の上面部が抵抗発熱体５の熱膨張収縮移動時の摩擦抵抗を低減するべく曲面状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】故障した熱源を工業炉の作動中に交換することが可能な工業炉天井用の充填要素を提供する。
【解決手段】本発明による充填要素は、下部、モジュール、開口、隆起部、穴および熱源を備えている。本発明は更に、故障した熱源を工業炉の作動中に交換する、工業炉の作動方法に関する。
（もっと読む）