【課題】低温域での昇温リカバリーにおける収束時間を短縮し、ＴＡＴの短縮及びスループットの向上を図る。
【解決手段】制御装置は、処理容器内を初期温度から該初期温度よりも高く且つ１００〜５００℃の範囲内の目標温度にする温度制御を行うため、１つの制御量によりヒータ及び送風機への給電を制御し、正方向の絶対値の増加によりヒータへの給電を増加させ、負方向への絶対値の増加により送風機への給電を増加させるように制御量を準備する工程と、制御量に従って送風機への給電を停止すると共に、ヒータに所定供給量で給電することにより目標温度下の所定温度まで処理容器内を加熱する工程と、所定温度になった時点から、制御量に従って、送風機に所定供給量で給電して冷却空気を送風すると共に、ヒータへの給電を停止することにより処理容器内を目標温度に収束させる工程と、次に制御量に従って、送風機への給電を停止すると共に、ヒータに所定供給量よりも小さい値で給電することにより処理容器内を目標温度に維持する工程とを実行する。 （もっと読む）

【課題】作動温度においても均一に放熱し、応力のないヒーターエレメントを提供する。
【解決手段】本発明のヒーターエレメントは、連続的な平面状の帯状体と、複数の取り付け要素と、を備える。連続的な帯状体の第１の端部から第２の端部までの経路は、曲がりくねっており、複数の繰り返しのサイクルを備え、各繰り返しのサイクルは、複数の第１の直線状の部分と、複数の第２の直線状の部分と、複数の丸みをつけた部分と、を備える。第１の直線状の部分の長さは、第２の直線状の部分の長さよりも長く、曲がりくねった経路のうちの１つのサイクルの角度の合計は、３６０度よりも大きい。このヒーターエレメントは、例えば半導体処理装置用のヒーター組立体に組み込むことができる。 （もっと読む）

【課題】高温焼成条件下でリチウム電池の正極材料や蛍光体等の粉体を焼成する際に、天井部材に起因したコンタミによる製品特性の劣化を効果的に回避可能なローラーハースキルンを提供すること。
【解決手段】天井壁と側壁と床壁に囲まれて形成される炉内空間に、被熱処理物を搬送するためのローラーを備えたローラーハースキルンであって、該天井壁は、天井壁上部からアルミナ製の吊り下げ部材によって吊り下げ支持されたアルミナ・ムライト系の部材からなり、該炉内空間を加熱する棒状ヒーターがローラーより床壁側に配置される。 （もっと読む）

【課題】シーズヒータが確実に保持され、放熱効果と整流効果が高く、省エネルギー化を図ることができるヒートトンネル用加熱装置を提供する。
【解決手段】ヒートトンネル１４内に風を送るブロア４０の近傍に設けられたシーズヒータ５２と、シーズヒータ５２同士を所定の間隔に連結する保持部材５８を備える。保持部材５８は、変形可能な金属で作られた板体である。長手方向に沿う一側縁部には、シーズヒータ５２が交差して挿通される複数個の半円形の凹部６０を有し、長手方向に沿う反対側の側縁部には、櫛刃状に形成された複数個の溝部６２を備える。長手方向の両端部には、側方に突出する連結突起６４を備える。保持部材６２の長手方向がシーズヒータ５２の長手方向に交差する方向に当てて複数個の凹部６０にシーズヒータ５２をそれぞれ差し込み、他方の保持部材６２を、反対方向から複数個の凹部６０にシーズヒータ５２をそれぞれ差し込み、連結する。 （もっと読む）

本発明は、１箇所で物体を加熱するための、耐火セラミック壁と熱源とを備える炉であって、前記炉がセラミック材料の付着層が主面のうちの１つに被覆された少なくとも１つの金属板を備え、被覆付き板が壁と熱源との間に配置され、前記付着層が熱源に面する、炉に関する。被覆付き金属板は、熱障壁として作用し、熱源の熱効率を改善する。炉は、特に、曲げフレーム上に配置された板ガラスの重力曲げのためのものである。
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【課題】従来の反射鏡による集光加熱装置において熱エネルギーの効率が低いという問題があるので、高い効率で加熱対象物を加熱する集光加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】集光加熱装置において、ハロゲンランプ或いはキセノンランプなどの点状光源から全方位に放射される光を、点状光源をほぼ覆ってしまう受光面に備えた光ファイバー束を通して、加熱対象物を設置した空間に導くことにより、加熱する。 （もっと読む）

【課題】 複合材用のプリフォームを熱衝撃によるクラックの発生なく効率よく予熱できる加熱装置を提供する。
【解決手段】 加熱炉１の上流端はプリフォームＰをパレット４に載置するセットゾーンＺ１とされ、このセットゾーンＺ１に続いて入口側から出口側に向かって順に、予熱ゾーンＺ２、昇温ゾーンＺ３及び保温ゾーンＺ４が設けられている。
予熱ゾーンＺ２、昇温ゾーンＺ３及び保温ゾーンＺ４はトンネル状の隔壁５に外部から隔離され、セットゾーンＺ１と予熱ゾーンＺ２との間及び昇温ゾーンＺ３と保温ゾーンＺ４との間にはシャッター６，７が設けられ、プリフォームＰを載置したパレット４が通過する間のみシャッター６，７を開け、予熱ゾーンＺ２及び昇温ゾーンＺ３内の熱が逃げないようにしている。 （もっと読む）

【課題】加熱効率に優れるとともに、製造コストが比較的低く、さらに大型に作製しても不都合がない加熱装置。
【解決手段】加熱装置Ｄ１は、上下一対の基板半体からなるアルミニウム合金製基板１を備えてなる。すなわち、基板１は、一対の基板半体の一方としての上部基板２と、基板半体の他方としての下部基板３とからなる。加熱装置Ｄ１はさらに、基板１を加熱することで、上部基板２に載置された被処理物を加熱するための加熱管（ヒーター）５０と、基板１を冷却することで、上記被処理物を冷却するための冷却管（冷却用ガス流通管）６０とを備えている。ヒーター５０を嵌め込むための溝２ａ，３ａとヒーター５０との間隙およびガス流通管６０を嵌め込むための溝２ｂ，３ｂとガス流通管６０との間隙は、熱伝導性部材としてのシリコーンゴム製シート５をこれらの間隙に配設することで塞がれている。 （もっと読む）

【課題】炉内の清掃作業等の煩雑な後処理の追加やランニングコストの増加を招くことなく、開口部の開放時に低温の雰囲気の流入によるシャッタの内側面への昇華物の付着を抑制でき、処理基板の汚損を未然に防止できるようにする。
【解決手段】複数のシャッタ部材２のそれぞれの背面に、ヒータ４を装着した。ヒータ４は、ヒータ素線４１が埋設又は取り付けられた絶縁板４２の両面をマイカ等の耐熱性を有する絶縁材料４３，４４で被覆して構成されている。ヒータ４は、シャッタ部材２の背面に、例えばネジ止めされる。ヒータ４は、例えば１５０℃程度の温度以上に発熱する容量があればよい。 （もっと読む）

【課題】従来の加熱炉と同等のメンテナンス性や炉内クリーン度を維持しつつ、炉内の断熱性を向上し、熱効率を改善できる加熱炉を実現するためのヒーターユニットを提供すること。
【解決手段】加熱炉１内に配置され、被熱処理物１１を加熱するヒーターユニット１２であって、該ヒーターユニット１２は、ヒーター４ａ面とその他の面４ｃとが、内部に空間を形成する箱体状の構造を有し、該ヒーターユニット内部に形成された空間に、静止空気の熱伝導率よりも熱伝導率の小さい断熱材４ｄを充填した。 （もっと読む）