【課題】 簡素な構造で組み立てが簡単でありながら防塵可能な炉の天井構造体及び炉の天井構造体の組み立て方法を提供すること。
【解決手段】 保持部は、発熱体の端部を係止する溝を有する一対の絶縁体を備える。発熱体を一対の絶縁体の溝間でこの発熱体が長手方向に対し円弧状になるように保持してある。天井部材6は複数の第一薄板部材20a〜eを積層し、発熱体に沿って円弧状に形成してある。各天井部材6が少なくとも炉内外を貫く貫通部材14を挿入可能な間隙をおいて並ぶように複数のヒーターユニットを配置してある。この間隙11を第二薄板部材12a,bによって塞ぐことで天井を形成する。この第二薄板部材12a,bは、貫通部材14がクリアランス15をもって貫通する第一貫通孔13を備え、貫通部材14を密接状態で貫通させる第二貫通孔を有する閉塞部材16及びこの閉塞部材16を固定する固定部材17,18によって複数の第一薄板部材20a〜eの間で先のクリアランス15を閉塞する。 （もっと読む）

【課題】真空室内に配置された被加熱物の接触状態を検出して効率良く加熱する真空加熱装置および方法を提供する。
【解決手段】前記被加熱物に、ヒータ加熱面と温度検知部を接触させ、前記温度検知部から得られた情報に基づいて、加熱初期の被加熱物の温度上昇度を算出し、該温度上昇度が、所定規定値（Ｂ）以上のときは、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が良好であると判別し、所定規定値（Ｂ）未満のときは、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が不良であると、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態を判別し、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が不良であると判別した場合には、前記ヒータ加熱面を前記被加熱物から離したのち、再度、前記ヒータ加熱面を前記被加熱物に接触させてから、前記温度検知部から得られた加熱初期の被加熱物の温度上昇度に基づいて、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態を判別する。 （もっと読む）

【課題】加熱処理時に被処理材を挟持した状態で行うことで熱処理時間の短縮が図れると共に被処理材の変形を少なくできる連続熱処理装置を提供する。
【解決手段】連続熱処理装置は、被処理材１を挟持可能に形成された熱伝導率の高い材料で構成された伝熱体２１ｄと、該伝熱体の外周に取付けられたヒーター２１ｃと、該ヒーターの外周に取付けられた熱反射板２１ｂと、該熱反射板の外周を覆う断熱材２１ａとから構成した加熱手段２１を含み、該加熱手段の前記伝熱部に対して所定時間毎に被処理材を供給して該被処理材を熱処理を行い、熱処理が行われた被処理材を冷却部Ｃに供給して恒温冷却し、続いて鍛圧成型する。 （もっと読む）

【目的】処理品を１０００℃以上の高温に急速加熱し且つ均一に焼成するためのバッチ式焼成炉の焼成方法およびそのためのバッチ式焼成炉を提供する。
【構成】炉内に、棒状またはパイプ状のヒーターを並設してなる棚構造を上下方向に複数段配置し、該棚構造上に処理品の積載板を載置して処理品を加熱するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ヒーターの絶縁支持構造の信頼性を向上させることができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係る熱処理装置１は、発熱体（ヒーター板Ｈ４）を支持する支持機構Ｓ４において、発熱体を支持する支持部材４０２が金属材料で構成されている。このため、発熱体が炭素系材料のような材料で構成されている場合でも、発熱体と第２の部材との間の熱反応による当該第２の部材の変質あるいは融解を防止できる。また、支持部材４０２は電気絶縁性の絶縁部材４０３を介して金属製の支持軸４０１に支持されているため、発熱体の絶縁耐圧を安定に確保することができる。 （もっと読む）

【課題】発熱体の給電端子との接続部における熱ロスを低減することができるヒーターユニット及び熱処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係るヒーターユニットＨＵａは、発熱体Ｈａと、給電端子２０と、中間体４０とを具備する。給電端子２０は、金属材料でなり、発熱体Ｈａへ電力を供給する。中間体４０は、炭素系材料でなり、発熱体Ｈａと給電端子２０との間に接続されている。中間体４０は、発熱体Ｈａと給電端子２０との間を断熱する機能を有する。このため、給電端子２０が冷却操作されているような場合においても、発熱体Ｈａの熱ロスを抑制することが可能となる。したがって、上記ヒーターユニットＨＵａによれば、発熱体Ｈａの給電端子２０との接続部における温度低下を防止して、均熱性の向上を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ルツボ本体と断熱材との間の隙間に熱伝導性充填材を良好に充填させることができる溶解用ルツボを提供する。
【解決手段】ルツボ本体３２と、ルツボ本体３２の周囲に設けられたヒータ線４０と、ルツボ本体３２の外壁面と所定間隔の隙間３５をあけて配置される断熱材３４と、隙間３５内に充填される熱伝導性充填材３６とを備えた溶解用ルツボ３０において、ヒータ線４０は、ルツボ本体３２の上下方向に折り曲げ部４０ｂが位置するようなつづら折り状に設けられている。 （もっと読む）

【課題】イオン活性化および格子修復の目的のための半導体ウェハのアニーリングに加えて、他の用途も、半導体ウェハなど加工物を熱処理するための改善方法を提供する。
【解決手段】加工物を中間温度まで予熱すること、加工物の表面を中間温度よりも高い所望の温度まで加熱すること、および加工物の冷却を促進することを含む。冷却の促進は、加工物によって熱放出された放射を吸収することを含むことができる。半導体加熱方法および装置も開示される。装置３０は、半導体ウェハの第１の表面４２を加熱するための第１の熱源４０と、半導体ウェハの第２の表面４６を加熱するための第２の熱源４４と、第１の熱源４０と半導体ウェハ３４との間に配置された第１の冷却窓６５とを含む。 （もっと読む）

【課題】熱処理炉の連続稼働時間を飛躍的に長くするとともに、漏電の危険性を低下させることのできる熱処理炉用のヒータ回路を提供する。
【解決手段】ヒータ回路10を、n個のリレー12と（nは、2あるいは2よりも大きい整数）、各リレー12のそれぞれに電気的に接続されたn個のヒータ14と、熱処理炉30の内部温度に応じて、ヒータ稼働基準サイクルタイムAをn等分した時間をヒータ個別稼働サイクルタイムBとしたときにおける「ヒータ個別稼働サイクルタイムB×(n−１)」の時間内で、各ヒータ14が稼働するヒータ個別稼働時間Cを決定してヒータ個別稼働時間信号S3を出力する温度調節回路16と、ヒータ個別稼働時間信号S3を受け、各リレー12に対してヒータ個別稼働サイクルタイムBを空けて順にヒータ個別稼働時間Cだけヒータオン信号HSを出力するオン信号出力回路18とで構成することにより上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって、炉内のクリーン度を保ちつつ、減圧下における炉内の配線部分からの漏れ電流の発生を防止することが可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】減圧乾燥装置１０は、パネルヒータ１８および炉体１２を少なくとも備え、パネルヒータ１８は、発熱線および電源供給線が絶縁された状態で金属管に充填されたシース部を含む単一または複数の細管シースヒータ３０を有し、炉体１２は、パネルヒータ１８を内部に収容するように構成され、シースヒータ３０におけるシース部が挿通可能なゲージポートを有する。 （もっと読む）