【課題】透明膜の段差の測定方法に関し、非接触、非破壊で且つ簡単な操作で高速、高精度に位相シフターの段差を測定すること。
【解決手段】第１の透明膜１の一部に形成された複数の第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n の段差量ｔ₁ ，…．ｔ_n と該第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n からの反射光の偏光状態を示すパラメータの値との相関関係ｆ₁ を求めてデータベース化した後に、第２の透明膜４２の一部に形成された第２の溝４５の反射光の偏光状態を示すパラメータの第１の値を計測して、該第１の値と前記データベースの前記相関関係に基づいて該第２の溝４５の第１の段差量を求める工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 インラインでカラーフィルターの画素幅を測定することができる、カラーフィルターの画素幅測定方法を提供すること。
【解決手段】 カラーフィルターの基板上に赤色、緑色、青色の各色の着色画素を順次形成する際に、画素領域の外側に、画素幅測定用のダミー画素のパターンを、各ダミー画素が重ならないように間隔をあけて形成し、各ダミー画素の幅を測定することにより、前記各色の着色画素の幅を測定する。 （もっと読む）

【課題】 エリプソメトリを使い、ウェハ上に形成されたパターンの横方向への寸法を、非接触かつ非破壊に、しかも高速に求める加工物寸法測定工程を含み、求められた寸法にもとづいて半導体装置の製造プロセスを制御する。
【解決手段】 ウェハ上に形成された、寸法が確認されている較正パターンについて、偏光状態パラメータを求めてデータベースを作成し、測定試料の偏光パラメータにもとづいてデータベースを検索し、寸法を求める。 （もっと読む）

【目的】 結像レンズを使用することなく光学深度が深く測長性能が向上した構成の簡素な空間フィルタ及び空間フィルタ式測長計を提供する。
【構成】 平面視で互いに１８０°の位相差を持ち、一方の曲線の頂部と他方の曲線の谷部が接触又は近接した隣り合わせのサイン曲線５ａ１で画成された領域を有し、同領域が光を反射する領域と光を透過する領域とが交互に形成されてなることを特徴として空間フィルタ５ａを構成し、同空間フィルタ５ａを移動物体からの反射光の一部を透過及び反射させて同移動物体の長さを測定する空間フィルタ式測長計に使用したことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【目的】 道路の白線のように連続的な線を逐次ウインドウを追跡設定しながら抽出するに際し、検出精度の向上と、処理時間の短縮を相互に図ること
【構成】 車両の前方の道路の表面の状態を撮影する画像入力装置１の出力が、画像記憶手段２に入力される。この記憶手段には、ウインドウ設定手段３並びに白線検出手段４がそれぞれ接続さる。白線検出手段では、設定されたウインドウ内をエッジ検出処理することにより白線の有無を検出し、検出結果がウインドウ設定手段並びに信頼度算出手段に送られる。信頼度算出手段では、エッジ抽出できた度合いから信頼度を求め、それをウインドウ幅決定手段６に送り、そこにおいて信頼度が高いほど次に設定するウインドウ幅を狭く決定し、その結果をウインドウ設定手段に送る。前記ウインドウ設定手段では、与えられた前記抽出された白線の延長線上に、前記決定された幅からなるウインドウを設定する。 （もっと読む）