【課題】測定ヘッドを交換することなく、簡単かつ正確にワークの寸法を測定することができるエアマイクロメータの測定ヘッド装置を提供する。
【解決手段】定盤１０上に第１測定ヘッド１と第２測定ヘッド２が相互に対向して取り付けられる。第１測定ヘッド１と第２測定ヘッド２には、各々、噴出孔を有したノズル部１３，２３を設けた可動ヘッド部１２，２２が、定盤１０上に固定したヘッド固定部１１，２１に、スライド機構１４，２４を介して、定盤１０の平面方向に各ノズル部１３，２３を相互に接離する方向に、摺動可能に取り付けられる。スライド機構１４，２４には可動ヘッド部１２，２２を一方向に付勢するバネ部材が設けられる。ヘッド固定部１１，２１には、微細調整機構５が、その移動先端を可動ヘッド部１２、２２に押し当てて、可動ヘッド部１２、２２をヘッド固定部１１，２１に対し接離方向に微細移動させるように取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】 本発明では、極細径かつ内径寸法などのばらつきのない空気噴出孔を有するノズル部を有し、かつ従来よりも容易に構成な空気マイクロメータ用の測定ヘッドを提供する。
【解決手段】 空気マイクロメータ用の測定ヘッド２０を、絞り加工により形成され、または光ファイバー接続用フェルールのような市販の筒状部材である筒状ノズル部２３Ａ〜２３Ｄを使用することにより、筒状ノズル部２３Ａ〜２３Ｄの内径を直径０．２ｍｍ以下にし、その外径２３Ａ〜２３Ｄが１ｍｍ以上にし、内径中心軸と外径中心軸との間の同心度を０．０１ｍｍ以内にし、かつ長手方向長さを５ｍｍ以上とすることとした。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの浮上量を空気圧制御のみに依存すること無く安定化させることにより測定精度を向上するとともに応答性を高めることができる非接触寸法測定器を提供する。
【解決手段】 上部加圧室１３及び下部加圧室１４に安定化された一定圧を供給し、下部加圧室１４に供給された空気をノズル４１の吹出口４５から測定対象４６の対象箇所へ向けて噴出する。ピストン１２から延出した検出用ロッド３１の変位量をデジタルスケール３２で検出し、カウンタ３３を介してデジタル演算部３４に入力する。ノズル４１に設けられた静電容量センサ５１から測定対象４６までの離間距離を非接触で測定して、静電容量センサ５１からの静電容量測定値５３を静電容量アンプ５２及びＡ／Ｄ変換部６１を介してデジタル演算部３４に入力し、デジタル演算部３４においてピストン１２の変位量を浮上量５４で補正した測定値を出力する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの浮上量を空気圧制御のみに依存すること無く安定化させることにより測定精度を向上することができる非接触寸法測定器を提供する。
【解決手段】 上部加圧室１３に安定化された一定圧を供給し、下部加圧室１４に電空レギュレータ２２で制御された制御圧を供給する。下部加圧室１４に供給された空気を、ノズル４１下端の吹出口４５から測定対象４６の対象箇所へ向けて噴出する。ノズル４１に静電容量センサ５１を設け、静電容量センサ５１から測定対象４６までの離間距離を非接触で測定する。静電容量センサ５１からの静電容量測定値５３を静電容量アンプ５２及び圧力コントローラ６１を介して電空レギュレータ２２に戻し、静電容量測定値５３に応じて下部加圧室１４への供給圧を制御するフィードバック回路７１を構成する。 （もっと読む）