【課題】高精度に真直度を測定することが可能な真直度測定装置並びにこの真直度測定装置を用いた真直度測定方法を提案することを目的とする。
【解決手段】被測定物１の被測定面Ｍｓと補助基準部２の補助基準面Ｒｅとを対向状態且つ相対移動自在に設け、これらによって形成した走査区間Ｓに空気マイクロメータの測定ヘッド部３を走査方向に走査移動させて、各測定箇所における第一センサ部４から被測定面Ｍｓまでの距離と第二センサ部５から補助基準面Ｒｅまでの距離との合算値からなる走査測定値を測定算出するように構成し、被測定物１に対して補助基準部２が相対移動する前後の走査測定値の差分から被測定面Ｍｓの真直度を測定算出するように構成した真直度測定装置。 （もっと読む）

表面測定用の流体近接センサである。この流体近接センサは、測定ノズル（２０５）を備える測定チャンバ（２１０）と、基準ノズル（２２５）を備える基準チャンバ（２２０）と、基準チャンバと測定チャンバとの間のインターフェイスを形成するダイアフラム（２１５）を有する。測定ノズルおよび基準ノズルを取り囲むシュラウド（２８０）によって、シュラウドと測定されている加工面２９０との間の周辺ギャップ（２９５）が設けられる。部分真空源または部分流体源をシュラウドに接続することによって、シュラウドの内圧を上昇または低下させることができ、それによって、近接センサのゲイン−周波数動作レジームが最適化される。差圧変化に応じたダイアフラムの動きは、光学的、容量性、または誘導性手段（２７５）によって検知することができる。 （もっと読む）

【課題】改善された応答時間したがって改善された帯域幅をもったガス計器近接センサを実現する装置および方法を提供する。
【解決手段】注入チャンバ２２０から測定チャンバ２１０へ逆流方向にガスを供給するガス計器近接センサ２００である。逆流方向にガスを供給することで、センサの過渡挙動がいっそう高速で安定するようになり、結果として帯域幅の増大が生じる。場合によって、スカベンジャチャンバ２５５を使用して、スカベンジャチャンバ２５５のスカベンジャ開口２６０を注入チャンバ２２０の出口開口２２５の直ぐ近くに位置付けすることによって余分なガスを除去することができる。コモンモード誤差を減少させるために、注入チャンバ２２０の出口開口２２５に近い位置からガス流を受け取る基準チャンバを備えるブリッジ近接センサを使用することができる。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置内で使用するために、ウェーハのプロファイルの局所的相違を測定する感度が上昇した気体ゲージを提供する。
【解決手段】気体ゲージは、オブジェクトまでの距離を割り出すように配置された気体送出管を有する。気体送出管は気体導管を含み、これを通して適切な測定気体が供給される。測定気体は、圧力下で出口を介して気体送出管を出て、相互作用領域内のオブジェクトに衝突し、跳ね返った気体の圧力が圧力検出器によって測定される。小さい原子番号を有する気体を使用することができる。圧力センサは気体出口で、又はその付近で気体導管を少なくとも部分的に囲む気体送出管内に配置された薄膜を含むことができる。圧力センサは気体導管の周囲に配置された薄膜ディスクを含むことができる。圧力センサは、実質的に共通の面に配置され、気体導管から隔置されるが、それでもそれを囲むことができる適切な複数の圧力要素を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】適切な周波数応答を有用な低圧で、かつ、有用な感度で出力し、また、チャンバ圧力の遠隔センシングを容易にするガスゲージ近接センサを提供する
【解決手段】圧力センサに結合された流体支援ガスゲージによれば、広い帯域幅で近接測定を実施することができる。ガス充填測定チャンバおよび流体充填伝達チャンバを備え、かつ、これらの２つのチャンバを分離しているダイヤフラムを備えた２チャンバガスゲージによって被測定表面にガスが排気され、その一方で非圧縮性流体によって圧力センサに圧力が伝達される。ガスゲージのガス体積を最小化することによって応答時間が短縮される。さらに、非圧縮性流体を使用することにより、応答時間性能を犠牲にすることなく、測定点から離れた場所に圧力センサを配置することができる。一実施形態では、流体支援ガスゲージの差動ブリッジバージョンが同相モードの影響を小さくしている。 （もっと読む）

【課題】披検出物までの距離が10μm以下の短い距離になってしまうと、背圧が上昇完了するまでに多くの時間が必要になり距離の判別に時間がかかる。
【解決手段】検出圧力を設定するレギュレータ１を内部または外部に設け、供給空気を遮断するための２ポート電磁弁２を設け、この二次側に圧力変換器（圧力センサ・圧力スイッチ・圧力トランデューサなど）３を設け、２ポート電磁弁２と圧力変換器３を制御する制御回路を設ける。検出物の検出面に用意した検出オリフィスまでの間の配管を行い、検出オリフィス５より被検出物に対し空気を流出させる。尚、２ポート電磁弁２はノーマルオープン又はノーマルクローズのどちらを使用しても良いが、この場合制御回路上で検出を行なう時に空気を遮断するよう制御すれば良い。尚、配管の内部に空気温度センサ、外部に温度センサを設けて圧力変換器３の温度による誤差に対し補正をかけても良い。 （もっと読む）

物体（１）のベース領域（５）からテーパ領域（１．１）の所定の直径（Ａ）を有する断面までの距離を測定するための方法であって、テーパ領域が仰角または俯角を形成するとともに円形断面形状を有する方法において、直径（Ａ）を有する測定体（３）がベース領域（５）上に配置される。この配置は、物体（１）の直径（Ａ）を有する断面領域と測定体（３）との間に隙間（６，Ｘ）の形態を成す距離が形成されるように行なわれる。隙間（６，Ｘ）を通じて流体媒質が押し進められ、流体媒質の圧力及び／又は流量が測定される。距離値は、測定された圧力及び／又は流量に基づいて評価ユニット（９）で決定される。
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【課題】 浮上用構造体またはこれを備えた可動体が案内支持体と接触しないように確実に制御することができ、可動体と案内支持体の間隔を高い精度で検知し、この間隔を確実に維持できるようにすること。
【解決手段】 浮上用パッド３を含むスライド部材と、浮上用パッド３へ気体を供給する気体供給手段（コンプレッサ１０５、第１の調圧弁１０４および第２の調圧弁１０２を含む）と、気体排出口６からの排気流量を測定する流量測定手段（体積流量計１０１、アンプ１０６、Ａ／Ｄ変換器１０７およびコンピュータ１０８を含む）と、この流量測定手段で測定した排気流量に基づいて気体噴出口６から後記する案内支持体への気体噴出量を制御できるように構成した制御手段（コンピュータ１０８およびＤ／Ａ変換器１０９を含む）とを備えてなるステージ装置１００とする。 （もっと読む）

【課題】主軸とブッシュ穴の偏芯量を計測することができるエアマイクロメータの計測ヘッドを提供する。
【解決手段】計測ヘッド４１を、例えば、計測ヘッド本体部４２と計測ヘッド先端部４３とを有し、計測ヘッド先端部には第１計測用エアノズル５１Ａと第２計測用エアノズル５１Ｂが、計測ヘッド先端部の径方向に沿って形成され且つ互いに計測ヘッド先端部の周方向に１８０度の角度を有するように形成される一方、計測ヘッド本体部には各計測用エアノズルに対応した個別の計測用エア供給路（第１計測用エア供給路５３Ａ，５５Ａ，６３Ａ及びホース６４Ａからなる供給路と、第１計測用エア供給路５３Ｂ，５５Ｂ，６３Ｂ及びホース６４Ｂからなる供給路）が形成されており、各計測用エアノズルに対してそれぞれ個別の計測用エア供給路から計測用エアが供給される構成とする。 （もっと読む）