【課題】高精度に真直度を測定することが可能な真直度測定装置並びにこの真直度測定装置を用いた真直度測定方法を提案することを目的とする。
【解決手段】被測定物１の被測定面Ｍｓと補助基準部２の補助基準面Ｒｅとを対向状態且つ相対移動自在に設け、これらによって形成した走査区間Ｓに空気マイクロメータの測定ヘッド部３を走査方向に走査移動させて、各測定箇所における第一センサ部４から被測定面Ｍｓまでの距離と第二センサ部５から補助基準面Ｒｅまでの距離との合算値からなる走査測定値を測定算出するように構成し、被測定物１に対して補助基準部２が相対移動する前後の走査測定値の差分から被測定面Ｍｓの真直度を測定算出するように構成した真直度測定装置。 （もっと読む）

【課題】 内輪に形成してある貫通孔の真円度を、製造ライン上の全数検査という形で精密に且つ低コストで測定することのできる真円度測定装置を提供する。
【解決手段】 貫通孔５を有する内輪２が配置されるテーブル９と、テーブル９に配置してある内輪２の貫通孔５内に上方から挿入される空気マイクロメータの測定ヘッド６と、テーブル９に配置してある内輪２の上面に乗せられる重り部１０と、重り部１０を上下動させる上下駆動機構１１と、測定時にテーブル９と測定ヘッド６を相対的に回転させる回転駆動機構１２とを具備した真円度測定装置とする。 （もっと読む）

【課題】例えばＦＰＤ用ガラス基板などにおいて、非接触、非破壊で、高精度に高速で表面形状を測定し、ソリなどの不具合を検出することが可能な表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定部材１を載置するためのステージ２と、被測定部材１の表面変位を非接触で測定するための複数のエアースキャナ３と、複数のエアースキャナ３を、所定の測定位置に移動させるための駆動制御部５と、各複数のエアースキャナ３に対応して、測定位置での測定データをそれぞれ演算処理するための第1のデータ処理部７と、各第1のデータ処理部で演算処理された測定データを合成処理するための第２のデータ処理部８を備える。 （もっと読む）

【課題】内径加工機の前工程において、ワークの未加工を判別し、内径加工機の後工程において、ワークの加工ずみの判別を、省スペース、低価格、高精度に行うことができる内径加工ワーク判別装置を提供。
【解決手段】内径加工機の前と後に、ワーク内８に小径部６を有する未加工測定ピン４を嵌合させ複数個のノズル３がワーク内８に開口する位置まで押し下げて流体の圧力を測定し、測定した流体の圧力が予め定めた第１の圧力を越えたとき、未加工ワークと判別する未加工ワーク判別装置10と、ワーク内28に小径部26を有する加工済み測定ピン24を嵌合させて複数個のノズル23がワーク内28に開口する位置までリング35が上昇させられて流体の圧力を測定し、測定した流体の圧力が予め定めた第２の圧力以下であるとき、加工済みワークと判別する加工済みワーク判別装置20と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 回転ロータに作用する圧延板端部の幅が狭い場合でも、ロータの傾きを防止でき、狭いロータ幅の場合でも回転ロータの傾きを防止でき、ロータ間の接触抵抗を低減し、ロータ間の隙間から外部に空気を放出でき、隙間からの冷却水等の流入を防止することができ、回転ロータの慣性モーメントを大幅に低減できる形状検出装置を提供する。
【解決手段】 水平な支持軸１２と、支持軸に空気軸受により回転可能に浮動支持されかつ隣接して配置された複数の回転ロータ１４と、回転ロータの内面の空気圧を検出する複数の圧力検出器１６とを備える。さらに隣接する回転ロータの間に、ロータ間の隙間と回転ロータと支持軸の隙間を接触しないように保持する緩衝部材１８を備え、かつ回転ロータの幅Ｂと厚さｈの比率Ｂ／ｈを２．２７以上にした。 （もっと読む）