【目的】カンチレバー先端の振動のみを高精度に検出することができるカンチレバーチップホルダーを提供する。
【構成】支持部１２と、その基端部が支持部１２によって支持された板材（即ちシム）１４と、この板材１４の先端部下面に設けられたカンチレバーチップ１６と、板材１４の先端部上面に設けられ、所定の電圧を印加することによって、板材１４の先端部を所定方向に振動させる振動部材１８と、支持部１２と板材１４との間に介在され、板材１４の先端部で発生した振動が支持部１２に伝達されないように、上記振動を減衰させる振動減衰素材２０とを備えている。 （もっと読む）

【構成】 検査物体に導電性の探針を接近させて、両者間で構成されるコンデンサの静電容量を一定に保つように探針を上下方向に微動させながら検査物体上を走査してその表面状態を検査する。
【効果】 探針の尖鋭度に応じて容易に分解能を向上させることができ、また、簡易かつ正確に付着異物の材料を同定することができる。 （もっと読む）