【課題】 検査の信頼性が向上し、欠陥有無判定の自動化ができ、更に、検査の高速化が可能な検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】 検査対象であるカム７の回転方向周表面を検査する検査装置１は、カム７の表面３次元情報を取得するセンサを備えたセンサヘッド１９を有し、センサがカム７の回転に伴いカム７面に対し常に垂直となるように、Ｚ軸上下駆動モータ１６を介しセンサヘッド１９が上下動できるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 試料を大気暴露させることなく、試料の設置から測定まで制御された環境下で試料の形状情報や物性情報を計測できる装置を提供すること。
【解決手段】 先端に微小な探針を有するカンチレバー６と、カンチレバー６を保持するためのプレート２と、試料７を設置するための試料固定台４と、筺体３などからなる気密性が保たれるロードロック室１と、カンチレバー６の変位を検出する変位検出機構８と、試料７を移動させる試料移動機構である微動機構１８、ＸＹ粗動機構１９、Ｚ粗動機構２０が設けられた密封容器１７と、密封容器１７を真空排気する真空排気機構２１とガス導入機構２２と、密封容器１７にロードロック室１を取付けるようにした。 （もっと読む）

検査対象や要求検出精度に応じて自由に形状などの変更が可能な検出コイルを用いる磁気プローブにおいて、被検体の表面に沿う方向の磁束変化を精度良く検出できるようにする。金属成分を含む被検体２の内部及び／又は被検体２の表面空間に交流磁界を発生させながら、被検体２の表面近傍で磁束変化を検出する磁気プローブ１であって、複数の被検体近接部３ａを有し、被検体２の内部及び／又は被検体２の表面空間を存して、ループ状の磁気回路を形成する強磁性体のコア３と、コア３を交流励磁し、被検体２の内部及び／又は被検体２の表面空間に、被検体２の表面に沿う交流磁界を発生させる励磁コイル４と、コイル中心線が被検体２の表面に沿い、かつ、コイル外周面が被検体２の表面に局部的に対向するように配置され、被検体２の表面近傍で磁束変化を検出する検出コイル５とを備える。
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【課題】最小値及び最大値を含む表面プロフィールを有する部品を検査する方法を提供する。
【解決手段】本方法（２００）は、第１の位置指標を生成するように部品の表面に近接して渦電流プローブを配置する段階（２０２）と、第１の位置指標とは異なる第２の位置指標を生成するように部品の表面に近接して渦電流プローブを配置する段階（２０４）と、第１及び第２の位置指標間を補完して部品の表面の一部分のプロフィールを確定する段階（２０６）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 たとえ基板が絶縁性であっても、基板表面又は該基板表面の面上の原子を操作することができる原子操作方法などを提供する。
【解決手段】 Ｓｎ原子６０ａの上方に探針３２の先端を移動させ（図３（ｄ））。探針３２に所定の原子間力が作用するまで基板５１に近づけ（図３（ｅ））、探針３２に所定の原子間力が作用した状態を維持しながら、Ｇｅ原子７０ａに対応する位置まで、探針３２を主走査方向（横方向）に移動させる（図３（ｆ））。そして、探針３２に作用する原子間力が弱くなるように、探針３２を基板５１から遠ざける（図３（ｇ））。図３（ｄ）〜図３（ｇ）の処理を繰り返し、探針３２に所定の原子間力が作用した状態で、探針３２を横方向に移動するとき（図３（ｅ）→図３（ｆ））に、探針３２の先端とＳｎ原子６０ａ及びＧｅ原子７０ａとの間に作用した原子間力によって、Ｓｎ原子６０ａとＧｅ原子７０ａとの位置が交換される。 （もっと読む）

【課題】 複数のコイルを有する磁気センサにおいて、測定精度を確保しつつ、測定の際に使用するコイルの配置間隔を容易に変えることができる磁気センサの提供。
【解決手段】この発明は、磁気検出部１、励磁電源２、選択回路３、差動増幅器４などを備えている。磁気検出部１は、励磁用コイル１１ｄと、検出用コイル１１ａ，１１ｂ，１１ｃ、１１ｅ，１１ｆ，１１ｇとを有する。選択回路３は、欠陥検出の際に、コイル１１ａ〜１１ｇの一端側を選択的に接地させるスイッチ３１ａ〜３１ｇを備えている。また、選択回路３は、欠陥検出の際に、検出用コイルのうちから所定の２つのコイルを選択し、この選択した２つのコイルの検出信号を差動増幅器４の入力側に導くとともに、その選択されない残余のコイルについては各コイルの両端をフローティング状態で短絡させるための切り替えスイッチ３２ａ〜３２ｆを備えている。 （もっと読む）

材料の表面上の欠陥または汚染を特定する方法およびシステム。この方法およびシステムでは、半導体ウェハなどの材料を提供し、非振動式接触電位差センサを用いてウェハを走査し、接触電位差データを発生し、このデータを処理して、欠陥または汚染の特性を示すパターンを特定する。

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【課題】透明膜の段差の測定方法に関し、非接触、非破壊で且つ簡単な操作で高速、高精度に位相シフターの段差を測定すること。
【解決手段】第１の透明膜１の一部に形成された複数の第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n の段差量ｔ₁ ，…．ｔ_n と該第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n からの反射光の偏光状態を示すパラメータの値との相関関係ｆ₁ を求めてデータベース化した後に、第２の透明膜４２の一部に形成された第２の溝４５の反射光の偏光状態を示すパラメータの第１の値を計測して、該第１の値と前記データベースの前記相関関係に基づいて該第２の溝４５の第１の段差量を求める工程を含む。 （もっと読む）

【目的】ＳＴＭにオージェ機能を組み合わせるとともに、試料から放出されるオージェ電子を十分な検出感度で検出する。
【構成】探針３の探針ホルダ２０に、第１ないし第４グリッド21a〜21dががいしを介して取り付けられる。各グリッドはそれぞれ非常に微細な導電性ワイヤのメッシュから椀状に形成されており、それらの中心には探針３および探針ホルダ２０が貫通している。これらのグリッドがなす立体角が大きく設定されている。第２および第３グリッド21b,21cに印加される電圧を制御してオージェ電子のエネルギをスキャンすることにより、それらの電圧に対応したエネルギを持つオージェ電子が第１ないし第４グリッド21a〜21dをそれぞれ通過して、スクリーン２１ｅ上に到達する。その場合、グリッドが試料の極近傍に接近しかつ立体角が大きいので、試料２からのオージェ電子が効率よく捕獲される。 （もっと読む）

【目的】水中においてＡＣモードのＡＦＭ測定を行なえる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【構成】試料３２は水３０を入れた液体セル２８の底部に配置される。カンチレバー２４は自由端の探針２６が試料表面に正対するように配置される。カンチレバー２４は変位測定器１２の対物レンズ１４の軸方向に移動可能に支持されている。対物レンズ１４の周囲には、発振器２０から供給される信号に従って集束性の超音波を射出するリング状のトランスデューサー１８が設けられている。対物レンズ１４とトランスデューサー１８は測定光と超音波が同一点に集束するように配置されている。液体セル２８は、走査回路３６の信号を受けてｘｙ走査を行なうとともにサーボ回路３８の信号を受けてｚサーボ制御を行なう三次元アクチュエーター３４に固定されている。 （もっと読む）