本発明の方法および装置は、測定された物質の用量をターゲット容器へ充填するための分配器具の助けにより、リザーバから所定の目標質量ｍ_ｚの自由流動物質をターゲット容器に充填するように機能する。用量分配器具はバルブを備え、このバルブは、リザーバからターゲット容器への物質の流れの質量流速ｍ・の可変調整を可能にする。用量分配器具は、さらに、充填プロセスの開示からの経過時間ｔを測定する手段と、ターゲット容器内の物質の質量を決定する秤と、バルブを制御するバルブ制御モジュールを備えるコントローラユニットと、を有する。コントローラユニットは調整モジュールを含み、望ましい質量流速ｍ_＊・が調整モジュールに記憶される。所定の時間ｔにおいて、質量流速ｍ・（ｔ）が望ましい質量流速ｍ_＊・よりも小さい場合、流速調整ｄｍ・＝｜ｍ_＊・ − ｍ・（ｔ）｜により流速ｍ・（ｔ）は増加され、質量流速ｍ・（ｔ）が望ましい質量流速ｍ_＊・よりも大きい場合、流速調整ｄｍ・により、質量流速ｍ・（ｔ）が減少される。 （もっと読む）

【課題】面倒な校正、調整作業を行うことなく、各種の供給気体の質量流量制御を高精度で行うことのできる気体供給装置を提案すること。
【解決手段】気体供給装置１では、重量計測部１３によって材料の重量変化量ΔＷ、すなわち実際の材料消費量を測定し、これに基づき算出した実際の質量流量Ｑｍが目標質量流量Ｑｍｒｅｑに収束するように、流量制御部６に設定されている設定質量流量Ｑｍｓｅｔを補正している。材料の実際の消費重量に基づき、流量制御部６を適宜、校正することができる。校正、調整作業を定期的に行うことなく、また、取り扱う供給気体の種類、使用する流量制御部６の制御精度に左右されることなく、再現性良く、質量流量制御を行うことができる。 （もっと読む）