【課題】簡単な構成によって偏波間のパワー偏差を測定すること。
【解決手段】変調部は、複数の光にそれぞれ異なる周波数の各信号を重畳する。偏波合成部は、変調部によって各信号を重畳された各光を偏波多重する。受信部は、偏波合成部によって偏波多重されて送信された偏波多重光の伝送路上に設けられた測定装置で測定された各信号の強度に基づく所定情報を受信する。制御部は、受信部によって受信された所定情報に基づいて偏波多重光の偏波間の強度偏差を制御する。 （もっと読む）

【課題】スピン偏極電荷キャリア装置を提供すること。
【解決手段】電荷キャリアがスピン軌道結合を呈する非強磁性の半導体材料を含む電荷キャリア用のチャネル１５と、チャネルとは逆の導電型の半導体材料の領域であって、チャネルの一方の端部に、スピン偏極された電荷キャリアを注入するための、チャネルとの接合部２１を形成するように構成された領域１０と、チャネルの両端間の横方向電圧を測定するためにチャネルに接続された少なくとも１つのリード線１８_１、１８_２とを備えた装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、カーボンナノチューブに基づく電磁信号を検出するデバイス及び方法を提供することである。
【解決手段】本発明に係る電磁信号を検出する方法は、カーボンナノチューブ構造体を提供する第一ステップと、該カーボンナノチューブ構造体によって電磁波信号を受信して音波を発生する第二ステップと、前記音波の強度によって電磁波信号の強度を検出する第三ステップとを含む。また、本発明は、電磁信号を検出するシステムも提供する。 （もっと読む）

【課題】複数の分子量の異なるサンプルを用いることなく分子量対偏光度の校正を行うことのできる光測定装置及び光測定方法を提供する。
【解決手段】所定の波長の偏光を用いて溶液中の色素と結合する分子を励起し、発生する蛍光の偏光成分から偏光度を測定して、分子に関するデータ値を取得する光測定装置の光測定方法において、分子を含まず色素のみを含む粘性係数の異なる溶液を測定して得られた偏光度と粘性係数との対応を表す校正データを取得し、上記取得と異なる時間において、分子を含まず色素のみを含む粘性係数の異なる溶液を測定して得られた偏光度と粘性係数との対応を表す他の校正データを取得し、校正データと他の校正データとから光測定装置の測定精度の良否を判断する。 （もっと読む）

【課題】マスクに向かう放射ビームの偏光状態をより正確に計測できる偏光状態計測装置、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】偏光状態計測装置には、照明光学系内に配置され、且つ露光光源から照明光学系を介してレチクルに向かう露光光のうち一部の露光光を選択するビーム選択板６２と、該ビーム選択板６２を露光光の進行方向と交差する方向に移動させる移動機構６３と、ビーム選択板６２によって選択された一部の露光光を受光する受光装置と、前記一部の露光光のＳ偏光成分の光強度、Ｐ偏光成分の光強度及び一部の露光光の変更比率を算出する光量算出部とを備えている。受光装置は、移動機構６３の駆動によって、ビーム選択板６２が選択する一部の露光光が変更されても、該変更された一部の露光光を受光できるように移動する。 （もっと読む）

【課題】 被検光学系の光学特性である偏光収差を高精度に計測することができる光学特性計測方法を提供する。
【解決手段】 被検光学系の光学特性を計測する光学特性計測方法において、前記被検光学系を構成する各光学部材の情報から前記被検光学系の光学特性を表現する第１行列を算出する算出工程（Ｓ１１）と、前記算出工程（Ｓ１１）により算出された前記第１行列を、第２行列に変換する第１変換工程（Ｓ１２）と、前記第２行列を構成する複数のパラメータのうち、少なくとも１つの該パラメータを前記被検光学系の実計測値に入れ換える入換工程（Ｓ１４）と、前記入換工程（Ｓ１４）により前記実計測値に入れ換えられた前記第２行列を第３行列に変換する第２変換工程（Ｓ１５）とを含む。 （もっと読む）

【課題】
量子ビームの３次元的な測定を簡便に行うことができるビーム測定装置、及びビーム測定方法、及びそれを用いたポンプ・プローブ測定方法を提供する。
【解決手段】
本発明の一態様にかかるビーム測定装置１００は、レーザ発振器１１によって発振したパルスレーザ光の波長が時間に応じて変化するよう、パルスレーザ光のパルス波形を整形して出射する光源部１０と、光源部１０から出射したパルスレーザ光に対して入射位置に応じた時間遅延を与える遅延素子２３と、パルスレーザ光を入射位置に応じて異なる偏光状態に変換する偏光変換素子２４と、を有する入射光学系２０と、入射位置に応じて異なる結晶軸を有する電気光学素子３０と、パルスレーザ光から所定の偏光成分を取り出す偏光子４６と、偏光子４６で取り出されたパルスレーザ光のスペクトルを測定する分光測定器５０と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】偏光をより早くて効果的に測定できる楕円分光器、偏光測定装置および偏光状態測定方法を提供する。
【解決手段】偏光測定装置は、光の偏光状態が分かるように入射される光を回折させる円形回折格子１４０と、円形回折格子１４０で回折された光を受光して、光の偏光状態を表示する検出器１５０と、を備える。円形回折格子１４０は、一定した溝を掘って形成された格子を有し、格子の間隔と溝の深さとを調節して光の偏光方向による透過率を調節する。円形回折格子１４０は、入射光をすべての方向に回折させる。検出器１５０は、回折された光を受光して、二次元的に検出する。検出器１５０の検出された二次元画面では、入射光の偏光程度を測定するデータが直接抽出可能である。 （もっと読む）

【課題】露光光の偏光度変化量の定量化を可能とし、これによりウエハ基板に到達する露光光の偏光状態を明確に特定可能にする。
【解決手段】照明光を露光用マスクおよび投影光学系を介してウエハ基板上に到達させ当該ウエハ基板上に前記露光用マスクによるパターン像を転写する半導体露光装置において、前記露光用マスクの配置位置にて前記照明光を直線偏光状態にする第１の偏光素子２と、前記ウエハ基板の配置位置にて光強度を検出する光検出器５と、前記光検出器５への光入射面にて当該光検出器５に入射する光を前記第１の偏光素子２による直線偏光状態とは所定角度を有した直線偏光状態にする第２の偏光素子６と、前記投影光学系を介する場合と介さない場合とで前記光検出器５での検出結果とを比較して、その比較結果から前記投影光学系による偏光度変化を抽出する偏光認識手段８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成にしたがって被検光学系の偏光特性を計測することのできる偏光特性計測装置。
【解決手段】 被検光学系（ＰＬ）の偏光特性を計測する本発明の偏光特性計測装置は、ほぼ平行光束を供給する平行光束供給部（１〜８）と、平行光束供給部からのほぼ平行光束から所定の偏光状態の光を選択的に射出する偏光子（１１ｂ）と、偏光子を介したほぼ平行光束を所定の発散角の光束に変換する光束発散手段（１１ｃ）と、偏光子、光束発散手段および被検光学系を介した光束の偏光状態を測定する偏光状態測定部（９）とを備えている。 （もっと読む）