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国際特許分類[G01J4/04]の内容

国際特許分類[G01J4/04]に分類される特許

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【課題】真空雰囲気中で測定対象物を精度良く測定でき、光ファイバを着脱しても、測定精度に影響の無いエリプソメータを提供する。
【構成】投光部13と受光部14を筺体11の内部に配置し、発光装置12を筺体11の外部に配置し、光配線装置18によって、発光装置12と投光部13とを光接続する。投光部13は入射光を偏光して測定光を生成し、測定対象物7に照射し、反射光を受光部14によって受光して筺体11の外部に配置された分析装置15へ送光すると、分析装置15で膜厚が求められる。測定対象物7を真空雰囲気中で測定でき、光配線装置18と投光部13とを着脱しても、相対的に同じ位置で仮固定され、着脱が測定精度に影響を与えない。 (もっと読む)


【課題】光ファイバ中の複屈折の増加位置を、簡素な構成で短時間に検出するための解析装置および解析方法を提供する。
【解決手段】光源2および偏波コントローラ3によって、ピーク波長が同じであり、偏波状態が互いに異なる複数の偏光パルスが発生される。偏波解析器5は、複数の偏光パルスの各々が光ファイバ1を伝播することによって生じる後方散乱光を受けて、偏光度を算出する。信号処理部6は、偏波解析器5によって算出された偏光度を用いて、偏波状態ごとに、偏光度の、光ファイバ1の長手方向の分布を算出する。信号処理部6は、その分布から、偏光度の最大値および最小値の差分のピークを検出する、あるいは、偏光度のピークを検出することによって、光ファイバ1における複屈折の増加位置を検出する。 (もっと読む)


【課題】小型化及びそれに伴う低価格化を実現することが可能な光断層画像形成システム及びそれに用いる検出ユニットを提供することにある。
【解決手段】光断層画像形成システム100は、光学偏光素子250を有し、物体反射光ビームと参照反射光ビームを干渉させた干渉偏光ビームを波長毎に分離しつつ、各波長毎の各偏光成分を検出する検出ユニット200を備えている。また、偏光用光学素子250は、分離された各波長の干渉偏光ビームが波長順に並列に入射されるとともに、所定の条件を具備する第1屈折率及び第2屈折率を有する複屈折の特性を有し、当該入射された各波長の干渉偏光ビームを透過しつつ偏光成分毎に分離して当該分離した各波長における各偏光成分を同一方向にそれぞれ異なる光軸によって出射するようになっている。 (もっと読む)


【課題】単結晶シリコン太陽電池表面上に成膜された反射防止膜の膜厚および屈折率を有効に測定するためのエリプソメーター装置を得ること。
【解決手段】実施の形態にかかるエリプソメーター装置10は、反射防止膜が形成された測定試料1の反射防止膜が形成された面へレーザー光を照射する光源5と、前記測定試料から反射された反射光に基づいて反射光の偏光変化量を測定することにより前記反射防止膜の膜厚および屈折率を測定する検出器6と、前記測定試料を試料設置面にて保持し、前記試料設置面と垂直な方向を軸にして前記測定試料を回転する回転角度調節部と、前記測定試料を傾斜させる傾斜調節部とを有するステージ2と、前記ステージをステージ設置面上に保持する支持部7と、を備える。 (もっと読む)


【課題】新規な粘着剤の複屈折性評価方法、その評価方法を用いた粘着剤の設計方法及び製造方法、この製造方法により得られた粘着剤、得られた粘着剤を用いる偏光板及び液晶表示装置、並びにこれらの製造方法の提供。
【解決手段】固有複屈折が絶対値で1×10−3以下、光弾性定数が絶対値で1×10−12Pa−1以下であるポリマーフィルムを支持体として、支持体に粘着剤を付与した積層フィルムを準備する工程と、積層フィルムを熱延伸する工程と、熱延伸した後の積層フィルムのリタデーションと、粘着剤の層の厚さを測定する工程と、を有する粘着剤の複屈折性評価方法。 (もっと読む)


【課題】偏光フィルタのような追加の構造を用いることなく、特定の偏光の検出を可能にした赤外線センサおよび赤外線センサアレイの提供。
【解決手段】赤外線センサ100は、温度検知部と、温度検知部に熱的に接続された吸収体10とを含み、吸収体10に入射した光を検出する半導体光素子であって、吸収体10の表面に含まれた第1方向と、第1方向とは異なる第2方向が規定され、吸収体10は、第1方向に第1周期で設けられ、第2方向に第2周期で設けられた凹部11を有し、第1周期と第2周期が異なるか、または吸収体10は、第1方向および第2方向に周期的に設けられた凹部11を有し、吸収体10の表面における凹部11の形状が第1方向と第2方向で異なる。 (もっと読む)


【課題】測定の感度向上と確からしさの向上をもたらすCD測定装置及び方法を提供すること。
【解決手段】円二色性測定装置は、直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差(δ)を変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調手段と、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定手段と、前記強度変化の直流成分(DC)、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分(AC)をそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比(AC/DC)に前記位相差の変調振幅(δ)を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算手段と、を備える。 (もっと読む)


【課題】排気用のガラス管を用いる場合に比べて、容積や収容する気体の濃度が均一な複数のガスセルを製造する。
【解決手段】ガスセルの製造者は、複数のセルのそれぞれに設けられた各孔に対応する位置に、固体物質をそれぞれ配置する配置工程を行う。そして、ガスセルの製造者は、前記各孔に繋がる通気路を通して、前記各セルの内部の空間に気体を収容させる収容工程を行う。そして、ガスセルの製造者は、前記固体物質を溶融して当該固体物質に対応する前記孔を塞ぎ、前記空間を密封する密封工程を行う。 (もっと読む)


【課題】高波長分解能と高速測定とが両立可能な光強度スペクトル測定方法および装置を提供する。
【解決手段】入力光を波長成分ごとに空間分解し波長成分ごとに空間分解された分解光を生成する波長成分分解素子(1003)と、分解光を複数の分岐光に分岐するハーフミラー(1004)と、複数の分岐光をそれぞれ別個に受光する複数のスリット付き受光素子アレイ(1007,1005;1008,1006)と、複数のスリット付き受光素子アレイでそれぞれ検出された波長成分ごとの光強度信号から前記入力光の光強度スペクトル情報を生成する光強度スペクトル構成部(1009)と、を有し、複数のスリット付き受光素子アレイの各々は、受光する分岐光の波長成分変化方向と受光素子のアレイ方向とが一致し、前記アレイ方向において各受光素子の受光面に対する当該受光面より狭いスリット透光部の位置がスリット付き受光素子アレイごとに異なる。 (もっと読む)


【課題】撮像領域内の偏光特性分布の誤認識が発生することを避けることを課題とする。
【解決手段】受光素子C0〜C5が2次元配置された画像センサ4の入射側に、偏光方向が互いに異なるP偏光成分及びS偏光成分のいずれかを透過させるフィルタ領域f0〜f5が画像センサ上における1つの受光素子4aに対応して配置された偏光フィルタアレイ2を配置し、画像センサで検出された各受光素子の受光量に基づいて、P偏光成分及びS偏光成分についての偏光画像情報を出力する。この撮像装置には、撮像領域内の位置Aからの光の入射光路10それぞれを、偏光フィルタアレイ上のS偏光フィルタ領域f1に向かう直進光路10AとP偏光フィルタ領域f2に向かうシフト光路10Bとに分岐させる光路分岐手段3が設けられている。 (もっと読む)


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