【課題】特性が良好な圧力センサを実現する。
【解決手段】測定ダイアフラムに歪センサが形成されている圧力センサにおいて、絶縁基板の一方の面に形成され第１の測定ダイアフラムを形成する第１の凹部と、絶縁基板の一方の面に形成され第２の測定ダイアフラムを形成し第１の凹部と同一形状をなす第２の凹部と、第１の測定ダイアフラムの所定箇所に一端が固定され第２の測定ダイアフラムの第１の測定ダイアフラムの所定箇所に他端が固定された振動式半導体歪ゲージ素子と、絶縁基板の他方の面に一方の面が接続され第１の凹部と第１の測定室を構成し第２の凹部と第２の測定室を構成する支持基板と、支持基板の他方の面に一方の面が接する支持台と、支持基板と支持台とを貫通し一方端が第１の測定室に連通し他方端が外部に開口する第１の導通孔と、支持基板と支持台とを貫通し一方端が第２の測定室に連通し他方端が外部に開口する第２の導通孔とを具備したことを特徴とする圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】測定精度が高く、製作が容易で、安価に出来る振動式差圧センサを実現する。
【解決手段】ダイアフラムに設けられた振動子形歪ゲージを具備する振動式差圧センサにおいて、一方の面に振動子形歪ゲージ素子が設けられ他方の面がダイアフラムに相当する厚さに研磨されて形成されシリコンよりなるセンサ基板と、センサ基板の他方の面に一方の面が直接に接合されたシリコンよりなるベース基板と、ベース基板のセンサ基板との接合部に設けられセンサ基板に実質的にダイアフラムを形成し、異物の混入によりダイアフラムの可動範囲が制限されることなく且つ振動子形歪ゲージ素子の振動によって励起されるダイアフラムの振動に対して制動作用をなすための所定の隙間を有する凹部と、凹部に測定圧を導入する導入孔と、凹部に導入孔を介して圧力を伝搬しダイアフラムを制動するための流体とを具備したことを特徴とする振動式差圧センサである。 （もっと読む）

【課題】特性が安定で、ローコスト化が可能な圧力センサを実現する。
【解決手段】測定ダイアフラムに歪センサが形成されている圧力センサにおいて、第１の半導体基板の一方の面に形成された半導体歪ゲージと、第１の半導体基板の一方の面に一方の面が接合された第２の半導体基板と、半導体歪ゲージを挟んで第１の半導体基板と第２の半導体基板の一方の面に直交して互いに対向して設けられ半導体歪ゲージを含む測定ダイアフラムを形成する第１，第２の測定室と、第１の半導体基板の他方の面に一面が接して設けられた支持基板と、支持基板の他方の面に低融点ガラスを介して一面が接する金属よりなる支持台と、一端が第１の測定室に連通し一端側が支持基板に設けられ他端側が支持台に設けられた他端が外部に開口する第１の導圧孔と、一端が第２の測定室に連通し一端側が支持基板に設けられ他端側が支持台に設けられた他端が外部に開口する第２の導圧孔とを具備したことを特徴とする圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】独立した２つの圧力センサを備える差圧センサにおける故障判定と修復を可能とする。
【解決手段】流体が流れる流路の第１及び第２の測定点にそれぞれ配置される第１及び第２の圧力センサと、第１及び第２の圧力センサの各出力から差圧出力を得る差圧計算手段と、第１及び第２の圧力センサと差圧計算手段との間に設けられて各圧力センサの出力を予め定められた補正特性でレベル補正する補正手段と、第１及び第２の圧力センサの正常又は異常を判別する判別データを予め保持するデータ記憶手段と、第１及び第２の圧力センサの補正された各出力及び差圧出力と判別データを比較して各圧力センサの正常又は異常の判別を行う判別手段と、異常と判別されたとき、異常に該当する圧力センサの出力の補正に使用された補正特性を前記補正手段に再設定する補正特性設定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】部品点数やコストを削減する。
【解決手段】第１被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ａと、第２被測定対象の圧力を検出する圧力センサ３Ｂと、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂの温度を検出する温度センサ４と、圧力センサ３Ａの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第１被測定対象の測定信号として出力する第１補正部と、圧力センサ３Ｂの検出信号から温度変化による変動分を除外する補正を実行し、当該補正後の信号を第２被測定対象の測定信号として出力する第２補正部と、を備え、温度センサ４を、圧力センサ３Ａおよび圧力センサ３Ｂと相互に接触した状態で一体化する。 （もっと読む）

【課題】微小差圧を高感度に測定することのできる差圧センサを提供する。
【解決手段】差圧センサの感圧素子部２は、厚さ０．１〜２．０ｍｍの薄膜４と、薄膜４に接触する一対の電極５と、薄膜４を保持する外枠６とを備えている。薄膜４は、誘電性の弾性樹脂と、この弾性樹脂中に１〜２０重量％分散された複数のコイル状炭素繊維とから構成されている。薄膜４に含まれるコイル状炭素繊維８は、太さ（繊維径）が１ｎｍ〜１０μｍ、コイル直径が１ｎｍ〜１００μｍ、コイル長が１５０μm以下となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】大幅なコストアップを伴うことなく、低消費電流で、高速の差圧計測を可能とする。
【解決手段】第１のＡ／Ｄ変換器５Ａと第２のＡ／Ｄ変換器５Ｂとを設け、差圧センサ１からのアナログ信号Ａ１を第１のＡ／Ｄ変換器５Ａで常時受信させ、デジタル信号Ｄ１に変換させる。差圧センサ２からのアナログ信号Ａ２および温度センサ３からのアナログ信号Ａ３をマルチプレクサ４Ａへ送り、マルチプレクサ４Ａから切り替えて出力されるアナログ信号Ａ２，Ａ３を第２のＡ／Ｄ変換器５Ｂへ送り、デジタル信号Ｄ２，Ｄ３に変換させる。処理装置６Ａは、Ａ／Ｄ変換器５Ａからのデジタル信号Ｄ１を第１の周期Ｔ１（短周期）でサンプリングし、Ａ／Ｄ変換器５Ｂからのデジタル信号Ｄ２，Ｄ３を第２の周期Ｔ２（長周期）でサンプリングする。これにより、デジタル信号Ｄ１のサンプリング周期を速くし、高速の差圧計測が可能となる。 （もっと読む）

圧力センサ（５６）は、プロセス圧力に結合するように構成されている充填管（９３）を含む。センサ（９８）は、充填管（９３）に結合され、充填管（９３）中の流体の圧力を該充填管（９３）の物理的特性の変化の関数として測定するように構成されている。回路（７４）は、充填管（９３）の物理的特性の変化に基づいて圧力を測定するように設けられている。
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【課題】小型で高性能な圧力センサを提供すること。
【解決手段】本発明にかかる圧力センサは、差圧用ダイアフラム４と、差圧用ダイアフラム４の外周部に設けられた静圧用ダイアフラム１７と、差圧用ダイアフラム４を挟んで配置された２つの静圧用ゲージ１５ａ、１５ｂを有し、静圧用ダイアフラム１７の端部に形成された第１の静圧用ゲージペア１５と、差圧用ダイアフラム４を挟んで配置された２つの静圧用ゲージ１６ｃ、１６ｄを有し、静圧用ダイアフラム１７の中央部に形成された第２の静圧用ゲージペア１６と、を備えたものである。 （もっと読む）