【課題】真空気密、大気圧気密、加圧気密の何れの間隙部でも、又、被検査物の大小、熱に対する耐久性の有無に関係なく適用することができ、更に秒単位の短時間で測定でき、生産ラインにも簡単に組み込むことができる密封封止検査方法を提供すること。
【解決手段】ペアガラス、真空コップ、積層型回折光学素子等の複層体や、ヒートシールによる密封包装された真空パックの密封封止検査を、被検査物表面の干渉縞を捉え、更に加圧又は減圧させることによる干渉縞の変化を観察することにより検査する。 （もっと読む）