【課題】熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光と磁界との両方を測定して、熱アシスト磁気ヘッドの検査を行えるようにする。
【解決手段】走査プローブ顕微鏡のカンチレバーを、板状の部材の先端部に探針が形成されたレバーと、レバーの探針の表面に薄膜状に形成された磁性体膜と、磁性体膜の表面に形成された貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜とを備えて構成した。また、熱アシスト磁気ヘッド素子を検査する検査装置に、探針の表面に磁性膜が形成されていてこの磁性膜の表面に貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜が形成されているカンチレバーと、カンチレバーの振動を検出する変位検出手段と、近接場光発光部から発生しカンチレバーの探針の貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜で増強された近接場光による散乱光を検出する近接場光検出手段と、変位検出手段と近接場光検出手段とで検出して得た信号を処理する処理手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】製造工程途中のできるだけ早い段階で熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光または近接場光発光部の物理形状の検査を行うことができるようにする。
【解決手段】熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置において、試料である熱アシスト磁気ヘッド素子を走査プローブ顕微鏡装置の平面内で移動可能なテーブルに載置し、試料の近接場光発光部から近接場光を発生させ、探針を有する走査プローブ顕微鏡のカンチレバーを試料の表面の近傍で上下に振動させた状態でテーブルを平面内で移動させることにより熱アシスト磁気ヘッド素子から発生させた近接場光による散乱光を検出し、検出した散乱光に基づく近接場光の発生位置情報を用いてローバーに形成された熱アシスト磁気ヘッド素子の近接場光発光部から発光する近接場光の強度分布又は近接場光発光部の表面形状を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】磁性膜が付加された探針の外にさらに保護膜を成膜することにより高耐久性の磁気力顕微鏡用カンチレバーを製造することにある。
【解決手段】磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法において、磁気力顕微鏡用カンチレバー１の先端の探針４０１に磁性膜２を成膜し、探針４０１の周囲に非磁性硬質保護膜３を成膜する際、非磁性硬質保護膜３を、磁気力顕微鏡用カンチレバー１の探針４０１の正面から角度（１５°−４５°）をつけて成膜し、磁気力顕微鏡用カンチレバー１の探針４０１の裏面から角度（１５°−３０°）の範囲で２方向から成膜する。 （もっと読む）

【課題】従来に比べ保磁力の大きい探針および磁気力顕微鏡を提供する。
【解決手段】先鋭部４０を有する探針２において、前記先鋭部４０にイプシロン型酸化鉄系化合物を含む磁性体４２が設けられていることを特徴とする。イプシロン型酸化鉄系化合物は、保磁力が２０ｋＯｅ程度であるので、従来に比べ格段と保磁力の大きい探針２を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】高分解能にて磁場または磁場勾配または磁場勾配の勾配に対応する信号の空間分布を計測可能とする磁場センサ及び磁場センサの製造方法を提供する。
【解決手段】磁性流体に先鋭化された探針先端または探針全体を浸漬することにより、探針先端に磁気微粒子を備える磁場センサを特徴とする。 （もっと読む）