【課題】プローブチップ（tip）の交換が可能であり、さらに、必要に応じて最適なプローブチップ、加熱装置及びカンチレバーの組み合わせが選択可能なサーマル・プローブ並びにその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明のサーマル・プローブ２は、支持素子２１、導電パターン２２及びプローブチップ（tip）２３を備える。導電パターン２２は、支持素子２１上に設置されて、複数の湾曲部２２１を有する。プローブチップ２３は、ベース２３１及びプローブ先端２３２を有する。ベース２３１は、第一表面S1及び第一表面S1に対応する第二表面S2を有する。プローブ先端２３２は、第一表面S1に設置され、第二表面S2は、導電パターン２２に接続される。前記湾曲部２２１の少なくとも一部は、第一表面S1に接触せしめられる。 （もっと読む）

【課題】マイクロマシン構成部材の片持梁の幅を大幅に減じることにより、より高い周波数に適したものにするための方法を提案する。
【解決手段】少なくとも１つの第１の給電線路４１が第１の平坦な面２１に配置されており、少なくとも１つの第２の給電線路４２が、第１の平坦な面２１とは反対側に配置された、片持梁の第２の平坦な面２２に配置されており、第１の給電線路４１が第１の平坦な面２１において機能エレメント３まで延びており、第２の給電線路４２が、第１の平坦な面２１と第２の平坦な面２２との間の局所的な電気接続部４３，４３１，４３２を有する。 （もっと読む）