【課題】本発明の目的は、高透明性、高密着性、かつ酸およびアルカリ薬液に対して優れた耐薬品性を有するポジ型感光性組成物を提供すること、およびそのポジ型感光性組成物の製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明のポジ型感光性組成物は、（ａ）ポリシロキサン、（ｂ）ナフトキノンジアジド化合物、（ｃ）ウレア結合をまたはイソシアネート基を有するシランカップリング剤、（ｄ）溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物であって、前記（ｃ）ウレア結合またはイソシアネート基を有するシランカップリング剤が、特定の構造を有する化合物である。 （もっと読む）

【解決手段】ｐ−クレゾールを５０質量％以上含有するノボラック型フェノール樹脂に架橋剤を反応させて得られる変性ノボラック型フェノール樹脂。
【効果】本発明の変性ノボラック型フェノール樹脂の合成方法を行うことにより、既存のｐ−クレゾールを５０質量％以上含有するノボラック型フェノール樹脂の分子量を高分子量化し、フォトレジスト用フェノール樹脂として有用な耐熱性のある変性ノボラック型フェノール樹脂を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】アルカリ水溶液での溶解性に優れ、残留応力の変化が小さく耐薬品性に優れた硬化膜を与える感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（ａ）フェノール性水酸基を有する樹脂、（ｂ）上記樹脂（ａ）が有するフェノール性水酸基と反応する化合物、（ｃ）感光性化合物、及び（ｄ）架橋剤、を含む感光性樹脂組成物であって、該（ａ）フェノール性水酸基を有する樹脂におけるフェノール性水酸基の水素を、特定範囲の水酸基変性率で他の基に置換可能である、感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】塗布ムラを小さくすることができると共に、プロセスマージンを広くすることができる高感度の感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂（Ａ）、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂（Ｂ）、キノンジアジドスルホン酸エステル（Ｃ）、および有機溶剤（Ｄ）を含有してなり、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂（Ａ）とアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂（Ｂ）との比率（Ａ：Ｂ）が重量比で９５：５〜８５：１５であり、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂（Ｂ）の重量平均分子量が１３００以下で、かつ、分子量分布が１．０５以上１．７０以下であり、有機溶剤（Ｄ）は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（Ｄ１）および常圧の沸点が１５０℃〜２４０℃の範囲の溶剤（Ｄ２）を含む複合溶剤である感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】優れた耐熱性と良好な感度を併せもつフォトレジスト用樹脂組成物に用いることができるノボラック型フェノール樹脂と、これを用いたフォトレジスト用樹脂組成物を提供する。
【解決手段】フェノール類と、トリメチルフェノール類と、ホルムアルデヒドと、を酸性触媒のもとで反応させて得られるノボラック型フェノール樹脂であって、前記フェノール類は、メタクレゾールを含み、当該ノボラック型フェノール樹脂は、前記メタクレゾールを樹脂全体の７５〜９９重量％、前記トリメチルフェノール類を樹脂全体の１〜２５重量％配合しており、ＧＰＣによるポリスチレン換算の重量平均分子量が、１５０００〜４５０００であり、二核体成分の割合が４．０％以上であることを特徴とするノボラック型フェノール樹脂。 （もっと読む）

【課題】高耐熱性、高透明性、耐クラック性、下地との密着性等に優れるのに加え、高誘電率を有し、アルカリ水溶液で現像することにより得られる高精細なパターニングされた膜の形成に有用な感光性組成物の提供。
【解決手段】下記一般式（１）で表されるシランと、下記一般式（２）で表されるシランとを含有するシラン混合物を加水分解および縮合させることによって得られるシロキサンポリマー（Ａ）と、光酸発生剤（Ｂ）と、上記（Ａ）及び（Ｂ）が可溶な溶剤（Ｃ）と、を含む感光性組成物。


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【課題】 本発明の目的は、保護膜、絶縁膜およびそれを用いた半導体装置、表示体装置に使用することのできる、保存安定性と感度に優れた感光性樹脂組成物を提供することにある。
【解決手段】 少なくとも（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）感光剤、（Ｃ）ケトン化合物、および（Ｄ）溶媒、を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。また、該感光性樹脂組成物を用いた硬化物で構成されていることを特徴する硬化膜、保護膜、絶縁膜。また、該硬化膜、該絶縁膜、該保護膜を有する半導体装置および表示装置。 （もっと読む）

【課題】２５０℃以下の低温焼成時においても金属材料、とりわけ銅、金、チタン系金属との接着性に優れた硬化膜を得ることができるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】（ａ）アルカリ可溶性ポリイミド、（ｂ）一般式（１）で表されるＳ−Ｓ結合含有化合物、（ｃ）キノンジアジド化合物、（ｄ）熱架橋剤および（ｅ）熱酸発生剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。
【化１】


（一般式（１）中、Ｒ^１、Ｒ^２は炭素数１〜２０の有機基を表す。ｐは２〜６の整数である。） （もっと読む）