【課題】反対の極性の可動櫛駆動型電極が同じ基板上に同時に製作されており、これらが独立に作動するマイクロエレクトロメカニカル系可変（ＭＥＭＳ）コンデンサを提供すること。
【解決手段】静電容量を最大化するために、これらの電極はインターディジタル構造として形成されている。導電要素から誘電材料を分離させる可能性がある応力の結果としてバラクタが故障しないことを保証するために、このＭＥＭＳ可変コンデンサは、応力が最も大きい領域で選択的に使用されるエラストマー材料と組み合わせたＣＭＯＳ製造ステップを含む。このＣＭＯＳプロセスとビア間の導電性エラストマー材料の組合せによって全体的な側壁領域が増大し、これによって静電容量密度が増大する。 （もっと読む）