【課題】マルチビームを用いた荷電粒子線装置においてビーム間の結像誤差を補正する簡便な方法を実現する。
【解決手段】複数の一次電子ビームレットの焦点を形成する粒子光学部品６０５に於いて、第１の多孔プレート６１３と第２の多孔プレート６１４の複数の対応する開孔が互いに整列配置されており、第１の開孔６１５の位置における第１の幅Ｗ１を第２の開孔６１５’の位置における第２の幅Ｗ２よりも少なくとも５％大きく形成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、SEM用の複合静電/磁気対物レンズ内に設けられた鏡筒内後方散乱電子検出器に関する。
【解決手段】 当該検出器は、荷電粒子に敏感な表面−好適には静電集束場を生成する電極面(110)の1つとして機能するシンチレータディスク(406)−として形成される。前記シンチレータ内で生成された光子は、光子検出器(202,408)−たとえばフォトダイオード又は多画素光子検出器−によって検出される。前記対物レンズには、軸付近に保持される2次電子を検出する他の電子検出器(116)が備えられて良い。導光体(204,404)が、前記光子検出器とシンチレータとの間での電気的絶縁を供するのに用いられて良い。 （もっと読む）

【課題】低コストで高精度かつ高分解能の荷電粒子ビーム用収束光学系を提供する。
【解決手段】ビーム軌道を輪帯状に制限し、電磁界をそのビーム軌道軸の中心方向に集中させる分布を作る。その結果、電子レンズの球面収差に代表される外側で大きな非線形の作用を打ち消す。具体的には、軸上に電極を置き電圧を印加すれば、容易に電界集中が発生する。また、磁界の場合は、回転方向に角度等分割した面に径方向に分布巻きしたコイルを形成すれば、磁束密度の集中を制御することができる。 （もっと読む）

基本的に、複数の荷電粒子ビームの各々を試料表面に同時にフォーカスする簡素でコンパクトな多軸磁気レンズを用いた装置である。前記多軸磁気レンズの各サブレンズモジュールにおいて、２つの磁気リングがそれぞれ非磁性半径方向ギャップを有する上側及び下側穴に挿入される。各ギャップの寸法は、十分な磁気結合を維持するほど十分に小さく、その光学軸付近の空間において十分な磁位分布の軸対称性を得るほど十分に大きい。本方法は、従来の多軸磁気レンズに固有に存在する各サブレンズ内の非軸対称横軸磁場と、総てのサブレンズ間の円形レンズ場の差の両方を同時に除去する。本装置において、磁気遮蔽チューブ、板、及び筐体のようないくつかの付加的な磁気遮蔽手段が、各荷電粒子ビーム源から各サブレンズの入口まで及び各サブレンズの出口から試料表面までの荷電粒子経路上の非対称横軸場を除去するために使用される。
（もっと読む）

【課題】電子顕微鏡に於いて、引出電極や加速電極の電位を固定のままでクロスオーバの位置を自由に調整できる機能を実現する。
【解決手段】光軸に添って配置された、３つの電極により構成される第１電極ユニット２４の第１電極４と第３電極９を所定の第１電位、第２電極８を可変の第２電位とし、更に３つの電極より構成される第２電極ユニット２６を備え、第５電極１６を可変の第３電位とする。また、第１加速装置１７と第２加速装置１８を、それぞれ第４、第５の電位に設定する。 （もっと読む）

【課題】直立カラムを用いて得られるトップダウン像と同程度の高分解能の傾斜像を得ることのできる傾斜カラム付の走査電子顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】直立カラム１００と傾斜カラム２００を有し、傾斜カラム２００の対物レンズ２４の先端磁極２５を磁極本体から分離して電気的に絶縁し、試料１３に近づけて配置し、対物レンズ２４の先端磁極２５と試料１３とを同電位に保つことにより、直立カラム１００でリターディングをして高分解能トップダウン観察、傾斜カラム２００で短焦点動作による高分解能傾斜観察を可能とする。 （もっと読む）

【課題】必要とされる空間がより少なく、対物レンズ外部の磁界が最小限である電子顕微鏡システムのための対物レンズ、被検物体の像形成および操作を同時に行うための改良検査システムを提供する。
【解決手段】内側磁極片111と外側磁極片112との間に、磁極片間隙119が形成された、集束磁界を発生させるための磁極片装置と、光軸101に関して実質的に回転対称であり、かつ内側磁極片111内を光軸101に沿って伸びる下端を有するビーム管113およびビーム管の下端から離間して設けられた端子電極114をさらに有し、集束静電界を発生させるための電極装置とから成り、物体面に配置可能な物体を像形成するための磁界集束および静電集束を用いた。 （もっと読む）

【課題】
複合型電磁界レンズにおいて投影レンズの収差を抑制する荷電粒子線描画装置を提供する。
【解決手段】
荷電粒子線を投影する投影系を有し、投影された荷電粒子線で基板にパターンを描画する荷電粒子線描画装置であって、投影系は、磁場を発生する対称型磁気ダブレットレンズと、対称型磁気ダブレットレンズが発生する磁場の中に電場を発生する静電レンズとを備え、静電レンズは、物体面側に配置された第１円筒電極と、像面側に配置された第３円筒電極と、第１円筒電極と第３円筒電極との間に配置された第２円筒電極と、を含み、第１円筒電極および第３円筒電極には、基板の電位と同一の電位を与え、第２円筒電極には、対称型磁気ダブレットレンズの瞳面に入射する荷電粒子線を加速する電位を与え、第２円筒電極は、対称型磁気ダブレットレンズの光軸の方向に分割された２つの円筒電極を含む、ことを特徴とする荷電粒子線描画装置。 （もっと読む）

【課題】コストアップと装置の大型化を防ぎなから、試料の表面の立体形状を容易に得ることができる走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】対物レンズにより電子ビームを集束させて試料を走査し、試料から発生する信号を検出して第１の画像を生成して表示装置の画面へ表示させ、対物レンズの励磁を変えた後に電子ビームを集束させて試料を走査し、試料から発生する信号を検出して第２の画像を生成して表示装置の画面へ表示させ、表示装置の画面に表示させた第２の画像の焦点が合うように制御電極に印加される電圧を調整した後に電子ビームを集束させて試料を走査し、試料から発生する信号を検出して第３の画像を生成し、表示装置の画面に表示させる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高分解能でかつ高コントラストな像を取得可能な対物レンズを提供する。
【解決手段】電磁重畳型対物レンズを、コイルを囲む磁路と、該対物レンズに該電子ビームを囲む円筒または円錐状のブースタ磁路と、コイルと該試料の間に設けた制御磁路と、ブースタ電源による電子ビームの加速電界制御手段と、該ステージ電源による電子ビームの減速電界制御手段と、制御磁路電源による試料放電の抑制手段と構成する。これにより、幅広いランディングエネルギーにおいて、電磁重畳型対物レンズを試料に近づけて電子ビームを集束することができる。 （もっと読む）