【課題】電子線発生のためのフィラメントは加熱のためにかなりの電力を要求する。フィラメント加熱のために大地側にモータ、高圧側に発電機、その間に絶縁棒を用いた機構が用いられる。絶縁棒の加工、設置に時間がかかりモータ、発電機は広いスペースを必要とする。電子線発生の為の電力を節減し電子線照射装置の小型化を図ること。
【解決手段】電子源として冷陰極を用い、陰極用電源として光伝送を用いる。大地側に発光素子よりなる光源と、高圧側に光電パネルを設け光によってエネルギーを伝える。冷陰極と引出電極の間に電圧を印加し、それによって電子線を引き出す。印加される電圧により発生する電子流が制御される。モータ、発電機、絶縁棒のような機械部分がないので高圧架台の必要な容積を減らすことができる。小型化が可能な電子線照射装置である。 （もっと読む）

【課題】 ターゲットへ高電圧を印加する為の高電圧ケーブルの損傷及びターゲット移動精度の低下を防ぐ。
【解決手段】 長手方向に沿って凸部が形成されている一方のＸ軸レール２４Ａはステージベース２１上に固定され、長手方向に沿って凹溝が形成されている他方のレール２４ＢはＸ方向ステージ２２に固定され、レール２４Ａの凸部がレール２４Ｂの凹溝にはめ込まれ、Ｘ方向ステージ２２の移動によりレール２４Ａがレール２４Ｂに対して摺動可能に成してある。長手方向に沿って凸部が形成されている一方のＹレール２５ＡはＸ方向ステージ２２上に固定され、長手方向に沿って凹溝が形成されている他方のレール２５ＢはＹ方向ステージ２３に固定され、レール２５Ａの凸部がレール２５Ｂの凹溝にはめ込まれ、Ｙ方向ステージ２３の移動によりレール２５Ａがレール２５Ｂに対して摺動可能に成してある。 （もっと読む）