【課題】 フィラメントから放出される熱電子量を、安定して高精度に制御する。
【解決手段】 フィラメント制御装置１０は、フィラメント５の抵抗値を測定する抵抗測定手段１と、第１期間中の抵抗平均値Ｒａｖｅを演算する抵抗平均値演算器２と、抵抗平均値Ｒａｖｅと電力目標値Ｗｒｅｆとから、フィラメント５に供給すべき電流目標値Ｉｒｅｆを演算する電流目標値演算器３と、第１期間の後の第２期間中において、電流目標値Ｉｒｅｆと一致するように、フィラメント５に流れる電流値を制御する定電流電源４と、第１期間および第２期間のタイミングを制御するタイミング制御回路６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 電界放射型電子銃を用いた電子線装置において、エミッション電流の測定を正確に行えるようにする。
【解決手段】 引出電極３に流れる電流Ｉｅを検出するための検出抵抗５と、Ｉｅ計測回路５ａと、加速電圧アンプ６に負帰還をかけるためのフィードバック抵抗７と、電子銃から前記加速電圧アンプに流れる電流Ｉａを検出するための検出抵抗８と、Ｉａ計測回路８ａとを備える。フィードバック抵抗７に流れる電流Ｉｆを、引出電極電源４をｏｆｆした時のＩａとして求める。（Ｉｅ＋Ｉａ−Ｉｆ）をエミッション電流値として求めることにより、加速電圧に電圧降下の影響を及ぼすことなくエミッション電流を正しく計測できる。 （もっと読む）

【課題】真空中での溶解、溶接、加工、および蒸着等に用いられる電子源において、電子銃のビームパワーを急速に変化させる。
【解決手段】フィラメントカソード１とブロックカソード２との間に第1の電圧を印加し、ブロックカソード２とアノード３との間に第２の電圧を印加する。第1の閉ループ調整システム８，７を使用してフィラメントカソード１を定電流値に調整することによって、ブロックカソード２の最大ビームパワーに十分なフィラメント温度にする。瞬時ブロック電力値と公称ブロック電力値との間の差に反応するブロック電力調整器１３等を含む第2の閉ループ調整システム１７、１３、１２が、フィラメントカソード１とブロックカソード２との間の電圧を調整する。 （もっと読む）

【課題】 電界放射型電子銃を用いた電子線装置において、エミッション電流の測定を正確に行えるようにする。
【解決手段】
エミッション電流Ｉｅを検出するための抵抗値Ｒｅを持つ検出抵抗５と、検出抵抗５の両端間に電圧降下により生じる電位差（Ｉｅ×Ｒｅ）を検出する計測回路６と、電位差（Ｉｅ×Ｒｅ）に基づいて補正電圧Ｖｅを決めるための演算回路12と、基準電圧電源の出力電圧Ｖｒ（負極性）と補正電圧Ｖｅ（正極性）を加算して加速電圧電源９に入力するための加算器11を備える。
これにより、電位差（Ｉｅ×Ｒｅ）と加速電圧電源９の出力電圧Ｖａを加算した電圧が実際の電子銃に印加される所望の加速電圧となるので、加速電圧に電圧降下の影響を及ぼすことなくエミッション電流を正しく計測できる。 （もっと読む）

【課題】 多段に積み上げた際に必要とされる機械的強度を確保できる電圧発生ユニット及びこれを多段に積み上げて形成された高電圧発生装置を提供する。
【解決手段】 本発明の電圧発生ユニット５０は、コッククロフトウォルトン回路（多段式倍電圧整流回路）の各段を形成する回路構成素子群が、複数に分割された絶縁物により被覆されたユニット構造で形成され、その表面部に、隣接する他のユニット体と電気的接続を行う入出力端子群５２Ａ’５２Ｃ’及び５２Ａ〜５２Ｃが設けられている。そして、これら入出力端子群が形成されている表面部は、隣接する他のユニット体の表面部（接合面）と接合する接合面Ｓ１，Ｓ２とされており、これらの入出力端子群は、その端子面が上記接合面Ｓ１，Ｓ２と整列するようにして設けられている。 （もっと読む）

【課題】 モノクロメータのオンオフを、取得データの劣化を押さえ、信頼性の低下を伴うことなく速やかに行う電子顕微鏡を実現する。
【解決手段】 モノクロメータ１２のオンオフ動作を、電源のオンオフ動作を繰り返し行うことなく、駆動電圧源３６の出力電圧調整および３端子スイッチ４１の切り換え動作のみで行うこととしているので、電源のオンオフに伴う出力電圧の安定化までの時間を設けること無く、確実で信頼性の高いモノクロメータ１２のオンオフ動作を行うことを実現させる。 （もっと読む）

【課題】 放電電流制御抵抗にエミッション電流が流れることで電圧降下が生じた場合であっても、電子銃に印加する加速電圧を一定に保持すること。
【解決手段】 電子銃に印加する加速電圧を制御する電子銃制御において、加速電圧源が出力する加速電圧により生成されるエミッション電流を放電電流制限抵抗により電流制限するとともに、放電電流制限抵抗による電圧降下分を補正して、電子銃に印加する加速電圧をエミッション電流の変化に因らず一定に保持する。電子銃制御装置１は、エミッション電流を電流制限するために加速電圧源２に接続される放電電流制限抵抗３と、放電電流制限抵抗による電圧降下分を補正する電圧補正回路１０を備える。電圧補正回路１０は、電子銃（フィラメント７）に印加する加速電圧をエミッション電流の変化に因らず一定に保持する。 （もっと読む）

【課題】 フィラメント電流制限値をフィラメントの消耗等のフィラメント条件に応じて設定すること。
【解決手段】 電子銃１０のフィラメント１１に供給するフィラメント電流をフィラメント電流指令電圧によって制御するフィラメント電流制御において、フィラメント電流の上限を、フィラメントに流れる実行電流に基づいて電流制限することによって、フィラメント電流制限値をフィラメントの消耗等のフィラメント条件に応じて設定する。フィラメントの実行電流によりフィラメント電流指令電圧を発生する指令電圧発生回路２と、フィラメント電流指令電圧値を記憶する記憶回路６と、記憶したフィラメント電流指令電圧値に基づいて指令上限電圧を出力する指令上限電圧出力回路４と、フィラメント電流指令電圧を指令上限電圧にクランプする指令電圧クランプ回路５とを備え、フィラメント指令電圧の上限を指令上限電圧に制限してフィラメント電流を電流制限する。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡の加速電圧のノイズを小さくして高分解能電子顕微鏡像の分解能を向上させる。
【解決手段】電力伝送回路7のトランスとシールド間との容量結合電流によるノイズの影響を避けるために、二次電池16等の充放電を行う電気素子を用いた直流電源を設ける。接地電位に配置した伝送ＯＮ／ＯＦＦスイッチ15により切替スイッチ17を動作させ、トランスを用いた従来の直流高電圧発生回路との切替えを行う。高分解能を必要とするデータの取得は二次電池16を用いた直流電源を使用して行い、従来の直流高電圧発生回路を使用している間は、充電回路19により二次電池16を充電しておく。 （もっと読む）

イオンビーム加速システムにおいて、過渡電流アーク抑制およびイオンビーム加速バイアス回路が記載されている。回路の２つのターミナルは、直列に接続可能で、自動的にアーク状態を検出し、電源と負荷のターミナル間で比較的低い抵抗の電気回路を与える第一の操作状態から、比較的高い抵抗の電気回路を与える第二の操作状態にスイッチすることでアークを抑制する。回路部品の特徴的選択により、アークが抑制された後に第二状態から第一状態へ回復する遅延速度を制御することができる。 （もっと読む）