加速／減速システムにおける電気的ストレスを低減する技術が開示される。一つの特定の模範的な実施例では、この技術は加速／減速システムとして実現できる。この加速／減速システムは、荷電粒子ビームが通過し得るアパーチャを有する複数の電極を含む加速コラムを備えることができる。この加速／減速システムは、前記複数の電極にそれぞれ電気的に結合された複数の電圧グレーディング要素も備えることができる。この加速／減速システムは、更に、前記複数の電圧グレーディング要素の周囲の電界を緩和するために前記複数の電圧グレーディング要素に隣接して配置された複数の絶縁導体を備えることができる。
（もっと読む）

【課題】
高電圧接続部の絶縁不良を抑制し、信頼性の高い電子銃を提供する。
【解決手段】
接続ブッシング１１の絶縁性樹脂２５の外側に密着して、導体シールド２７を設けることによって、電界集中を緩和することができる。この導体シールド２７により、受電部金属部２３と接続ブッシング１１との電位差を等しくすることができる。さらに、この導体シールド２７を受電部接合部２６より受電側フランジ端子２２側、すなわち受電部碍子部２４に対向する位置まで伸ばすことにより、受電部接合部２６の電界集中を著しく緩和することができる。
【効果】
高電圧接続部の空間への電界集中を防ぎ、放電を抑制することができるため、沿面を広げたり、フッ素を主成分とする絶縁性液体や絶縁性ガスを充填しない場合でも、絶縁耐力を保持することができる。 （もっと読む）

【解決手段】 誘電フィンを有する絶縁導体を備える、イオン注入装置用ターミナル構造を開示する。特定の一実施形態例によると、当該イオン注入装置用ターミナル構造は、１以上の誘電フィンを有する絶縁導体を用いて実現され得る。例えば、当該イオン注入装置は、イオンビームを供給するイオン源を備えるとしてよい。当該イオン注入装置はさらに、空間を画定しているターミナル構造を備えるとしてよく、イオン源は、少なくとも一部分が前記空間の内部に配設されているとしてよい。当該イオン注入装置はさらに、電界を変更するべく前記ターミナル構造の外側部分に近接して配設されている少なくとも１つの誘電フィンを有する絶縁導体を備えるとしてよい。 （もっと読む）

【解決手段】 トリプルジャンクション破壊に起因するイオン注入装置における不安定性を防ぐ高圧絶縁装置を開示する。一実施形態によると、イオン注入装置におけるトリプルジャンクションの不安定性を防ぐ装置が提供される。本実施形態によると、第１の金属電極と、第２の金属電極とが設けられている。第１の金属電極と第２の金属電極との間に、絶縁体が配設されている。当該絶縁体は、第１の金属電極と第２の金属電極との間において、イオン注入装置が生成するイオンビームを輸送する真空にさらされる面を少なくとも１つ有する。第１の金属電極と絶縁体との間に、第１の伝導層が配設される。第１の伝導層は、第１の電極、絶縁体、および真空の界面におけるトリプルジャンクション破壊の発生を防ぐ。第２の金属電極と絶縁体の第１の伝導層に対して反対側との間に、第２の伝導層が配設される。第２の伝導層は、第２の電極、絶縁体、および真空の界面におけるトリプルジャンクション破壊の発生を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 耐放電性を備えた小型で高性能な高電圧電源装置を提供すること。
【解決手段】 高電位となるシェルフ部３と、シェルフ部３を覆って電気的に遮蔽するコロナシールド２と、シェルフ部３及びコロナシールド２を内部に収容するとともに、低電位ラインを兼ねるカバー体１ａと、鏡面仕上げされたコロナシールド２の外周面とカバー体１ａの内周面の間に空気部分がないよう充填、硬化させた固体モールド部９を備えた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空チャンバ内に配置されている電気装置への、ケーブルを使用する電圧供給部に関する。
【解決手段】この電圧供給部は、ケーブルの中、絶縁間隙に沿って、特に、ケーブルのコアとシールド層との間の空間と、ケーブルから電気装置への遷移領域とにおいて、絶縁破壊につながる放電の発生を防止することを目的としている。このことは、絶縁間隙を大気圧下に維持することによって達成される。この目的のため、ケーブルの端部と電気装置との間の接続を確立する特殊な連結器を使用する。更に、ケーブルに追加の空気通路を設けることができる。 （もっと読む）

一体型遮蔽電極を有する電気接続機構を含むイオン加速装置とその方法が開示される。実施形態によれば、イオン注入システムのイオン加速装置は、第１素子と、第１コネクタと前記第１コネクタのまわりの第１カプセル化遮蔽電極とを有する前記第１素子内の第１接続系統と、前記第１のコネクタに連結している前記第１素子以外の第２素子内の第２接続系統とを備え、前記第１カプセル化遮蔽電極は、前記第１素子の第１インターフェース面に隣接した第１遮蔽部を含み、断面において、前記第２接続系統は前記第１素子と接しており、前記第１遮蔽部がほぼＵ形状である。
（もっと読む）

【課題】引出用高電圧電源の容量を大きくすることなく、荷電粒子源３および引出電極４と電子銃室１との間で放電が発生しにくい荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子１２を放出するための荷電粒子源３と、荷電粒子源３から荷電粒子１２を引出すための引出電極４と、引出された荷電粒子１２を加速するための加速電極５とを有する荷電粒子線装置１１であって、荷電粒子源３、引出電極４と加速電極５の少なくとも２つの間にサージアブソーバ素子２１を電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】位相制御素子の故障を検出することのできる電子ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】交流電力の導通角を制御する位相制御手段３と、前記位相制御手段により位相制御された交流電力を昇圧整流し直流電圧に変換する昇圧整流回路４，５と、前記直流電圧が加速電圧として供給される電子銃８と、前記加速電圧を検出した検出信号に基づいて加速電圧が一定になるように前記位相制御手段を制御する制御回路１５とを備えた電子ビーム発生装置において、前記加速電圧を検出した検出信号に基づいて加速電圧の脈動分の増加を検出する異常検出回路を設けた。 （もっと読む）

【課題】カソードの交換頻度を低減する。
【解決手段】カソード１１が配置され且つ該カソード１１で発生した光電子１５を取り出す電子取出窓２１が設けられた真空容器１８と、該カソード１１に対して１００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内の波長を含む光を照射して該カソード１１から光電子を放出させるＵＶ光源１３とを備える。 （もっと読む）