【課題】短い距離でイオンビームを平行化できるイオンビームの平行化装置を提供する。
【解決手段】第1ベース層と、その上に形成された第1導電層と、これらの層を貫通する複数の第1貫通孔とを有する第1基板50aと、第2ベース層と、その上に形成された第2導電層と、これらの層を貫通し、複数の第1貫通孔と対応するように形成された複数の第2貫通孔とを有する第2基板50bとを備え、複数の第1貫通孔および第2貫通孔はそれぞれベース層内の壁面部分が電気絶縁性を有し、第1基板50a及び第2基板50bは、第1導電層及び第2導電層を同じ方向に向け且つ複数の第1貫通孔それぞれが対応する第2貫通孔と対向するように配置される。 （もっと読む）

【課題】必要なパラメータ（質量、エネルギー、価数）を有する複数の種の荷電粒子を選択し伝送する装置及び方法を提供する。
【解決手段】対称面１７０２から間隔をあけて２つの平行なイオンビーム１７０１を生成し、平面１７００間に設けられたモジュールに進入させる。これらのイオンビームは、対称面と平行な面において偏向され、永久磁石の列状体１７１６のフリンジ磁界を斜めに通過する。パラメータについて異なる値を有する必要な複数の種のイオンは、一連の焦点１７０８〜１７１１に至り、分解構造体（１７０７の開口及び１７０５−１７０６間の分解開口）を通って伝送され、ビームストッパ１７０４の両側において磁石の列状体を出る。２つのビームを実質的に間隔をあけて配置することによって、１）複数の種のイオンが伝送可能になり、２）軽量イオンであるプロトンの伝送を阻止し、３）従来の約２倍のビーム電流を提供することができる。 （もっと読む）

１つ又は複数のサンプルからの電子を検出するシステム及び方法を開示する。いくつかの実施形態では、本システム及び方法は、サンプル表面からの二次電子を偏向させるための１つ又は複数の磁場源を含む。
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