【目的】 真空マイクロデバイス等に用いるにおいて、電界放出陰極材料として、金属が使え、特性がよく、かつ形状制御の容易な電界放出陰極が形成でき、また、アノードとの距離を一定にするスペーサも簡単に形成できる電界放出陰極の作成方法を得る。
【構成】 角錐型あるいは円錐型の凹みを基板上に設け、その上に電界放出陰極材料をスパッタ等で形成する。その後基板を除去する時スペーサ形成部分にマスクをかけてエッチングを行うことによりスペーサと電界放出陰極を形成する。
【効果】 性能、信頼性が高く製造コストの安い電界放出陰極が製造できる。 （もっと読む）