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国際特許分類[H01L21/338]の内容

国際特許分類[H01L21/338]に分類される特許

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【課題】さまざまな偏光特性を持つ電磁波、光波の存在下においても、テラヘルツ信号を正確に受信するテラヘルツ受信素子を提供する。
【解決手段】本発明のテラヘルツ受信素子は、2つの電界効果型トランジスタFET−A、FET−Bと、アンテナとしての2本のゲートワイヤ12、12’と、差分回路21とを有し、前記2本のゲートワイヤ12、12’のそれぞれは、対応する電界効果型トランジスタに電気的に接続され、2つの電界効果型トランジスタへの2つのゲートワイヤ12、12’の取り付け方向のなす角度は0°以外の一定の角度であり、差分回路21は、2つの電界効果型トランジスタのドレイン部から出力される2つの信号の差分を算出し、受信信号として出力する。 (もっと読む)


【課題】ノーマリオン型HFETの閾値電圧の簡易な調整方法を提供すること。
【解決手段】i−AlGaN層12のゲート電極15を形成する領域のみを開口させたパターンのマスク17を形成する。開口されたi−AlGaN層12の領域に、CF4 ガスプラズマを照射し、ダメージ層16を形成する(図2(c))。CF4 ガスプラズマの照射時間によってダメージ層16の厚さを調整することで、実質的なi−AlGaN層12の厚さを調整することができ、これにより閾値電圧を調整することができる。 (もっと読む)


【課題】低抵抗なオーミック性を有し、酸・アルカリによる腐食に対し高い耐性を持つ電極を備えた半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】窒化物半導体層1と、窒化物半導体層1上に設けられた電極と、を備え、電極は、窒化物半導体層1上に設けられた第一金属層2と、第一金属層2上に設けられた第二金属層3と、前記第二金属層3上に設けられた第三金属層4と、を備え、第一金属層2は第二金属層3よりも窒化物半導体層1との高い密着性を有する金属を含み、第二金属層3は第一金属層2よりも低抵抗で窒化物半導体層1に対してオーミック性を有する金属を含み、第三金属層4は水素よりもイオン化傾向の小さい金属を含むことを特徴とする、半導体装置。 (もっと読む)


【課題】ドレイン電極からのリーク電流を防止できる電界効果型トランジスタを提供する。
【解決手段】この電界効果型トランジスタによれば、WN/Alドレイン電極109がドレイン電極109の下のn型領域(拡散領域)112を介してGaNチャネル層104にショットキー接合されている。これにより、従来の熱処理によりドレイン電極にオーミックコンタクトを形成する場合と異なり、ドレイン電極109下へメタルが侵入することを回避できる。よって、このメタル侵入が発生するために生じるリーク電流を低減することが可能であり、電界効果型トランジスタにおける破壊電圧を向上できる。 (もっと読む)


【課題】III 族窒化物半導体からなるHFETの製造方法において、素子分離領域を容易に形成する方法を提供すること。
【解決手段】i−AlGaN層12表面側からレーザーを照射して、HFETとして動作させる素子領域を囲うようにして溝15を形成する(図2(c))。溝15の深さは、i−AlGaN層12表面からi−GaN層11に達する深さとする。この溝15によってi−AlGaN層12が取り除かれたため、この取り除かれた領域において2次元電子ガス層が消滅する。その結果、HFETとして動作させる素子領域は、溝15による素子分離領域によって電気的に分離される。 (もっと読む)


平行伝導を改善する量子井戸デバイスを提供する方法及び装置の実施形態が主に記載される。その他の実施形態についても、記載及び特許請求される。 (もっと読む)


【課題】還流ダイオードの導通時の損失並びに過渡動作時の損失は抑えつつ、逆回復動作時に生じる電流・電圧の振動現象を抑制することが容易に可能で、かつ、高密度化が容易な電力用半導体装置を提供する。
【解決手段】ユニポーラ動作と同等の動作をする還流ダイオードと、還流ダイオードに並列接続されたキャパシタ210及び抵抗220を有する半導体回路200とを備え、半導体回路200は、抵抗220の少なくとも一部として機能する半導体基体11と、半導体基体11をキャパシタ210の一方の電極とし、半導体基体11の一主面上の所定エリアに、所定エリアの面積よりも大きい表面積を有して設けられた誘電体領域12とを備える。 (もっと読む)


【課題】静電容量と抵抗の値が異なる複数のスナバ回路を用意する必要がなく、且つ逆バイアス時に還流ダイオードに発生する振動現象の収束時間を短縮できる半導体装置及び電力変換装置を提供する。
【解決手段】アノード端子300とカソード端子400からなる一対の接続端子と、一対の接続端子間に接続されたユニポーラ動作する還流ダイオード100と、一対の接続端子間に還流ダイオード100と並列接続され、少なくともキャパシタ210と抵抗220を含む半導体スナバ回路200と備え、半導体スナバ回路200のキャパシタ210と抵抗220の値が可変である。 (もっと読む)


【課題】窒化物半導体装置の表面安定化を実現し、これにより、電流コラプスを抑制した窒化物半導体装置を提供する。
【解決手段】第1の窒化物半導体からなるキャリア走行層103と、キャリア走行層103の上方に設けられた第2の窒化物半導体からなるキャリア供給層104と、キャリア走行層103とオーミック接触するソース電極106及びドレイン電極107と、キャリア供給層104の上方に設けられたゲート電極110とを備え、ゲート電極110とドレイン電極107との間において、キャリア供給層104の表面の少なくとも一部が、構成元素として窒素元素を含む窒化物絶縁膜で覆われ、窒化物絶縁膜において、窒素元素の含有量が他の構成元素の含有量の合計よりも多い。 (もっと読む)


【課題】還流ダイオードの導通時の損失並びに過渡動作時の損失は抑えつつ、逆回復動作時に生じる電流・電圧の振動現象を抑制することが容易に可能な電力用半導体装置を提供する。
【解決手段】ユニポーラ動作をする還流ダイオードと、キャパシタと抵抗との直列接続からなり、還流ダイオードに並列接続された半導体回路とを備え、半導体回路200は、抵抗220の少なくとも一部として機能する半導体基体11と、半導体基体の上面に接して設けられた容量低下防止領域1001と、容量低下防止領域1001上に設けられ、キャパシタ210の少なくとも一部として機能するキャパシタ誘電体膜12とを備え、容量低下防止領域1001が、還流ダイオードに逆バイアス電圧が印加された際に半導体基体11中への空乏層の伸張を緩和する。 (もっと読む)


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