【課題】 真空容器の内部に存在する気化した有機物や浮遊した微細な粉塵が部分反射鏡の表面に付着し、それに伴う熱吸収率の上昇によって、レーザ光の特性が変化するのを防ぐ炭酸ガスレーザ発振器を得る。
【解決手段】 レーザ媒質が部分反射鏡の表面に近づいてくる流入経路を完全に覆うように、レーザ光が通るための開口を有した形状の部品を部分反射鏡の電極側の面近傍に配置するとともに、当該開口の内面を多孔質型アルマイトとし、さらに流入するレーザ媒質より温度が低くなるように当該部品を冷却したものである。 （もっと読む）

【解決手段】 レーザ発振装置１は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管３と、レーザガスを放電管３内と連通路４ｂとの間で循環させるガス循環通路４と、上記連通路４ｂ内に設けられてレーザガスを循環させるクロスフローファン９とを備えている。上記クロスフローファン９は連通路４ｂ内に斜めに配置されている。これにより連通路４ｂ内はクロスフローファン９によって上流側の流入部４ｂ−ｉと下流側の流出部４ｂ−ｏとに区画され、レーザガスはクロスフローファン内を介して流入部から流出部へ流通されるようになる。
【効果】 クロスフローファン９を連通路４ｂ内に斜めに配置することにより、大きなスペースを必要とすることなくクロスフローファン９を循環通路４内に設けることができる。 （もっと読む）

【解決手段】 マイクロ波によってレーザガスを励起させてレーザ光Ｌを発振させるようにしたレーザ発振装置１は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管３と、フロントミラーとリヤミラーとから構成された共振器を有するレーザ発振器３１Ａ、３１Ｂと、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生器１５と、このマイクロ波発生器によって発生されたマイクロ波を上記放電管に導波する導波管１７とを備えている。上記導波管１７は、放電管３の外周面に螺旋状に配置してあり、この導波管に複数のスリットを設けてある。
【効果】 上記放電管３の外周面の略全体から放電管３の半径方向内方に向かってマイクロ波を放射して放電管３内に収容されるレーザガスを励起させることができるので、該レーザガスを効率的に励起することができる。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置の送風手段のグリス不足による軸受消耗を防止して、送風手段のメンテナンスフリー化を図る
【解決手段】送風手段の軸受近傍にグリス補給手段を設け、軸受に封入されたグリス量を直接もしくは間接的に検出するグリス量検出手段を備え、グリス量検出手段により検出した信号に応じて、あるいは予め運転時間に応じて決めた量に応じて、送風手段外部と内部の圧力差による真空力等を利用して適宜グリスの自動補給を行う事が可能とする （もっと読む）

【課題】レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、２KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置を対象とし、主放電に伴って発じる音響波に因るレーザ性能への悪影響を低減させることの可能なレーザ装置の提供を目的とする。
【解決手段】レーザチャンバの内面に形成される隙間を挟んで隣り合う部位の、一方部位側の、前記レーザチャンバ中央側に面する面、および、他方部位側の、前記レーザチャンバ中央側に面する面のうち、前記放電空間から遠い側の前記面を前記放電空間に近い側の前記面より陥没させ、前記隙間を挟んで段差を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。 （もっと読む）

【課題】 従来のＣＯ_２レーザ増幅器は、原理的に取り出しうる光エネルギーが小さいという問題があった。本発明は、原理的に取り出しうる光エネルギーの大きさにおいて従来例の限界を突破するＣＯ_２レーザ増幅器を提供する。
【解決手段】 増幅するＣＯ_２レーザ光の光軸の方向とＣＯ_２レーザガスの強制対流の流れ方向とのなす角を、ＣＯ_２レーザガスが放電励起される空間の放電断面積と放電長とで決定し、増幅するＣＯ_２レーザ光の光軸の方向と強制対流の流れの方向を、放電断面積と放電長とで決まる所定の角度以上の異なる方向とした。 （もっと読む）

本発明は、レーザガスを循環させる送風機（１１）を備えるガスレーザ（１）であって、送風機（１１）が軸（１７）を備え、軸（１７）が、少なくとも１つの固定側の軸受面と少なくとも１つの回転側の軸受面とにより形成されている少なくとも１つのスラストガス軸受（４５）と少なくとも１つのラジアル軸受（２１，２２）とを介して支承されている、レーザガスを循環させる送風機（１１）を備えるガスレーザ（１）に関する。本発明では、スラストガス軸受（４５）が、ディスク（２５）の両側に配置されている２つの固定側の軸受面（２６，２７）と２つの回転側の軸受面（４８，４９）とを備え、回転側の軸受面（４８，４９）の一方又は両方に、溝パターン（４１，４２）が構造化されているようにした。
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【課題】本発明は、送風機や熱交換器を配置するレーザガスの循環路を削減できるレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【解決手段】レーザガス２を内部に配置した放電管１を備え、放電管１の中心軸に対して略直角方向に放電管１を振動させる振動手段１３と、放電管１の外周の少なくとも一部を覆うように冷却部として設けた冷媒通路１４を有することにより、放電管１内に拡散したレーザガス２の分子を冷媒通路１４で効率よく冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】 反射鏡保持部の内部空間付近にて非対称流速の対向流を発生させることにより、反射鏡保持部の内部空間のレーザガスを循環させる。
【解決手段】 反射鏡保持部３０のガス通路部３０cの中心軸とダクト３１のガス流出部４１の中心軸とが平行で、かつずれるように配置する。これにより、反射鏡保持部３０のガス通路部３０cとダクト３１のガス流出部４１の外周面との間の間隙（以下、「間隙Ｃ」）が、ガス流出部４１の外周面周りで一様ではなくなる。すると、反射鏡保持部３０の内部空間Ｅのレーザガスは、その下部においてガス流出部４１の内部を流れる高速のレーザガスによって放電側へ引き込まれるとともに、その上部において低速のレーザガスによって非放電側へ戻される。これによって、内部空間Ｅのレーザガスは内部空間Ｅを略円形に循環する。 （もっと読む）