【解決手段】 ２個の腕部を有する音叉形状の水晶素子片２を準備し、両腕部の先端に水晶面が露出する重り部９ａ、９ｂを設けるように、水晶素子片の表面に電極５ａ〜７ａ、５ｂ〜７ｂを成膜する。反応性イオンエッチング装置によりフレオン系ガスをイオン源として、反応性のイオン化した粒子を重り部に照射することにより重り部表面を部分的に除去して、その周波数を調整する。
【効果】 水晶振動片の材料自体の質量を減らして周波数調整するので、重り部に電極膜を設ける必要が無く、工数の大幅削減により生産効率が向上し、電極材料使用量の大幅減少により製造コストが大幅に低減する。更に、優れたエージング特性の高精度で高信頼性の音叉型水晶振動子が得られる。 （もっと読む）

【課題】 水晶振動子の小型化を容易にする支持構造を得る。
【解決手段】長手方向に音叉の枝を有する音叉型水晶片または矩形状の水晶片を収納する凹部を有する容器と該凹部を密閉する蓋とで構成され、容器の凹部には前記水晶片の長手方向の一端部のみを固定する台座を有し、水晶片の長手方向の一端部はその短手方向で位置決め固定され、水晶片の端部短手方向には、容器凹部の長手方向内壁と水晶片の側面に隙間を形成する凸部を備えた水晶振動子の支持構造とする。 （もっと読む）

【課題】圧電素子片６２の側端面に上下面の電極７３、７４と連続する電極を形成するためのレジストマスク９３を形成する際に、露光不良によってレジストマスクが正確に形成されず、側端面における電極の形状不良によるショートや断線の発生を防止するようにした圧電素子を提供する。
【解決手段】水晶ウエハーをエッチングして圧電素子片６２を形成する際に、パウダービームエッチングを行なうようにし、これによって圧電素子片６２の側端面をその全周に亘って厚さ方向の中央部が外方に突出するような傾斜面から構成するようにしたものである。 （もっと読む）

【目的】従来、実用化されにくいとされていた高次振動や捩り振動を使った数百ｋＨｚ帯の音叉型水晶振動子を実用化する事を目的とする。
【構成】水晶振動子ユニットを構成する支持リードに関して、損失係数が１／１００以上、温度特性がほぼ零、特性インピーダンスが最小の材料及び振動抑制材料により被われ又負荷された構造及び制振材を用いた接続構造及び特定の長さと断面積をもつ形状から成っている。
【効果】上記音叉型水晶振動子を実用化する際に問題となっていた支持リードからの振動の漏洩の問題を解決する事により、時計用に生産されている３２ｋＨｚの音叉型水晶振動子と同等の小型、低価格の振動子が実現できた。 （もっと読む）

【目的】 音叉腕に溝を設け、等価直列抵抗Ｒ₁ の小さい、小型捩り水晶振動子を提供することにある。
【構成】 長さ、幅ｘ₀ を有する音叉腕に長さ方向に一対の溝を設け、この溝の中に励振電極を配置して形成することにより、一対の溝が対向する面の間に電界ができ、電気機械効率がよくなる。 （もっと読む）