【課題】面状放電を１対の同軸状電極間の管状放電に繋ぎ換えてプラズマを封じ込める磁場（磁気ビン）を形成するプラズマ光源において、面状放電から管状放電への繋ぎ換えを容易にする。
【解決手段】対向配置された第１及び第２の同軸状電極１０、１０´と、第１及び第２の同軸状電極１０、１０´内のプラズマ媒体をプラズマ発生に適した温度及び圧力に保持するチャンバー２０と、第１及び第２の同軸状電極１０、１０´に極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置３０と、を備え、第１及び第２の同軸状電極１０、１０´間に管状放電４３を形成してプラズマ３を軸方向に封じ込めるプラズマ光源であって、対向するガイド電極の先端を互いに電気的に接続する接続部材１９を有し、該接続部材１９は、その中点Ｍにおいて、接地されるとともに、１対の同軸状電極１０に、それぞれ対応する電圧印加装置３０の経路を介して接続される。 （もっと読む）

本発明は電極システムに関し、特にEUV光及び/又は軟X線を発生させるためのガス放電デバイスの電極システムに関する。電極システムは、主要構成要素としてMo若しくはW、又はMo若しくはWの合金を含む電極材から形成された少なくとも二つの電極1、同2を有する。当該電極材は、500 nm以下の平均サイズをもつ微粒子をもつ微細粒構造を有する。提案された電極システムがあると、大きな熱-機械抵抗と、大きな熱-化学抵抗とをもつ電極が実現される。これゆえ、液体Snを使用し且つ高温で作動する周知のEUV光源において当該電極システムを使うことができる。
（もっと読む）

【課題】 極端紫外光光源装置からのＥＵＶ光の強度を大きくし、また放射角度が小さく強度の大きいＥＵＶ光の透過率を改善すること。
【解決手段】第１，第２の主放電電極４，５間に高電圧パルスを印加し、高温プラズマ８を発生させ波長１３．５ｎｍのＥＵＶ光を放射させる。このＥＵＶ光はＥＵＶ集光鏡１３で集光され光出射部１４より出射される。高温プラズマ８から発生するデブリは、ホイルトラップ１５により捕捉されＥＵＶ集光鏡１３の反射面上に堆積するのを防ぐ。ホイルトラップ１５の各ホイルの光軸方向の長さは、中心軸（主軸）から遠い位置での長さに比べて、主軸に近い位置での長さの方を短くなるように構成され、ホイルにより遮光される光の成分を少なくしている。またホイルトラップ１５を光入射側が凹になるような形状とすることにより放射角度が小さく強度の強いＥＵＶ光の透過率を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】 ＥＵＶ光源装置内部の電極等に堆積した不純物（例えば、Ｓｎおよび／またはＳｎ化合物等の堆積物）を効率よく除去することにより、安定したＥＵＶを得ること。
【解決手段】 チャンバ１内にＳｎＨ₄ ガス等の原料ガスを導入し、高電圧パルス発生部１２から電極３ａ，３ｂ間に高電圧パルスを印加し、高密度高温プラズマ発生部９に高密度高温プラズマを発生させ波長１３．５ｎｍのＥＵＶ光を放射させる。放射されたＥＵＶ光はＥＵＶ集光鏡５により反射されＥＵＶ光取出部６から放射される。またＥＵＶ放射停止時等に、チャンバ１内にＸｅガスなどの希ガスを導入し、高電圧パルス発生部１２から電極３ａ，３ｂ間に高電圧パルスを印加し、希ガスプラズマ放電を発生させる。希ガスの高密度高温プラズマが断熱膨張して生じる希ガスの高速のイオンまたは中性原子が、チャンバ内の電極等に堆積した不純物に衝突して不純物を離脱させ除去する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生に基づく放射光をより効率的に取り出すことが可能なプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】コイル６Ａ，６Ｂによって、初期プラズマＰ１が生成される以前から、Ｚ軸方向に沿って磁場Ｂｚを印加する。また、磁場調整部７によって、この印加磁場Ｂｚの強度を調整する。プラズマの収縮速度が緩和されると共に、その緩和の度合いが調整可能となる。よって、プラズマの最大収縮持続時間が長くなる度合いも、任意に調整可能となる。 （もっと読む）

光を発生する装置は、プラズマ放電領域（１１２）を有し、イオン性媒体を含む室（１０４）を備える。この装置は、さらに、プラズマ放電領域（１１２）の一部を囲む磁気コア（１０８）も備える。この装置は、さらに、エネルギーの少なくとも１つのパルスを磁気コア（１０８）に供給し、プラズマ放電領域（１１２）内に形成されるプラズマに電力を送るためのパルス電力システム（１３６）も備える。プラズマは、局所的高輝度ゾーン（１４４）を有する。
（もっと読む）

パルス電力システムは、電流源（４３）とプラズマ開放スイッチ（４４）とを含む誘導性エネルギー蓄積回路（４２）を有する。このプラズマ開放スイッチは、負荷（４１）に電流源を接続する伝送線（５１、５２）を有する。プラズマ開放スイッチにおけるプラズマ放電が第１の領域（４５）から第２の領域へ伝送線に沿って負荷の方向へ磁気力によって駆動されるときに、このプラズマ開放スイッチは閉止状態から開放状態に切り替わる。誘導性エネルギー蓄積回路の充電時に第１の領域においてプラズマ放電を磁気的にラッチするために第１の領域に安定化磁界構成を与えるように、電気導体（４７、４８）が配置されており、電流源から負荷へ伝送線に沿って流れる電流は、安定化磁界構成を分断し、プラズマ放電を第１の領域からラッチ解除し、このプラズマ放電を第２の領域の方へ駆動する。 （もっと読む）

プラズマ閉じ込めのための装置（１１２）および方法が開示されている。プラズマ（１００）の安定平衡は、マックスウェル方程式、運動モーメント方程式、断熱方程式の対象となるシステムエネルギを、準中立状態を強いることなく、変化させることによって決定される。ある実施例では、電子は、２つの流体の電荷分離によって発生する磁力および内部的な静電力によるイオンによって封じ込められる。ある実施例では、エネルギ変化プロセスのための入力パラメータは、プラズマのベータパラメータ状態を満たすように選択され、それにより、制御変数の数を一つ減らしている。一次元的に平衡な円筒状に対称なプラズマの半径方向の長さは、電子膜の深さによって特徴づけられている。そのようなプラズマは、コンパクトな形状を有する高いアスペクト比のトロイドとして封じ込むことができる。コンパクトなプラズマ溶融装置の出願は、中性子の発生、Ｘ線の発生、電力の発生を含む。
（もっと読む）