本発明は、キャパシタスタックと、そのキャパシタスタックを充電するためのスイッチングデバイスとを備えたＤＣ高電圧源に関し、キャパシタスタックは、第一の電位に設定可能な第一の電極（３７）と、第一の電極（３７）に対して同心状に配置され第二の電位に設定可能な第二の電極（３９）と、第一の電極（３７）と第二の電極（３９）との間に同心状に配置され第一の電位と第二の電位との間の中間電位に設定可能な少なくとも一つの中間電極（３３）とを有し、キャパシタスタックの電極（３３、３７、３９）がスイッチングデバイス（３５）に接続され、スイッチングデバイス（３５）の動作時に、互いに同心状に配置されたキャパシタスタックの電極（３３、３７、３９）が、増大していく電位レベルに設定可能となるようにスイッチングデバイスが構成されていて、キャパシタスタックのスイッチングデバイス（３５）が、電子管（６３）を備える。
（もっと読む）

本発明は、キャパシタスタックと、スイッチングデバイスとを備えたＤＣ高電圧源に関し、キャパシタスタックは、第一の電位に設定可能な第一の電極（３７）と、第一の電極（３７）に対して同心状に配置され第二の電位に設定可能な第二の電極（３９）と、互いに同心状に配置され第一の電極（３７）と第二の電極（３９）との間に同心状に配置され第一の電位と第二の電位との間で連続的に増大していく電位レベルに設定可能な複数の中間電極（３３）とを有し、キャパシタスタックの電極（３３、３７、３９）がスイッチングデバイス（３５）に接続され、スイッチングデバイス（３５）の動作時に、互いに同心状に配置されたキャパシタスタックの電極（３３、３７、３９）が、増大していく電位レベルに設定可能となるようにスイッチングデバイスが構成されていて、キャパシタスタックの電極（３３、３７、３９）の間隔が中心電極（３７）に向けて減少する。
（もっと読む）

【課題】
集束イオンビーム形成装置において、加速器と集束レンズ系を一体化とすることにより小型化を実現するとともに、加速器の加速管も集束レンズ系の一部とすることで装置全体の縮小率も最大化することで、ナノビームを形成する。
【解決手段】
加速器が、折り返し型タンデム加速器であるため、高電圧ターミナル部に１８０°分析電磁石を置き、高エネルギー側の加速管の入口部にエネルギー分析及び発散制限スリット機能を有するスリットを設置し、再度、単孔レンズ効果を有する加速管によりビームを加速するとともに、集束を行い、ＭｅＶ領域高エネルギーイオンナノビームを形成する。 （もっと読む）

【課題】 装置の大型化を回避しながら、高電圧発生部と密閉容器との間の耐電圧の確保を図ることができ、更には、加速部構造の簡素化をも図ることができる高電圧発生回路の絶縁方法及び荷電粒子加速器を提供する。
【解決手段】 高電圧発生部２０，２１と、荷電粒子を加速する加速部１９Ａ，１９Ｂとが、それぞれ密閉容器１８の内部空間に配置されており、加速部１９Ａ，１９Ｂが高電圧発生部２０，２１と密閉容器１８の内壁との間に配置された荷電粒子加速器３０に用いられ、密閉容器１８の内部空間を、荷電粒子が通る加速部１９Ａ，１９Ｂの内部と同一の真空度に維持して、高電圧発生部２０，２１と密閉容器１８との間を電気的に絶縁する。 （もっと読む）

【課題】 イオンを荷電変換部へ導くためのビームライン調整を容易かつ適正に行うことができるタンデム型イオン加速装置及びイオンビーム調整方法を提供する。
【解決手段】 一対の加速管１９Ａ，１９Ｂと、これら一対の加速管が前段側と後段側とに接続される高電圧ターミナル２０と、この高電圧ターミナル２０の内部に配置され、前段側の加速管１９Ａで加速されたイオンの極性を反転し当該イオンを後段側の加速管１９Ｂへ導くストリッパカナル（荷電変換部）２０１とを有するタンデム型イオン加速装置１０において、ストリッパカナル２０１のイオンビーム導入端側に、当該ストリッパカナル２０１を通るビームラインから外れて加速されたイオンの照射を受けて発光する発光部材３１を設置し、この発光部材が発光しない位置にビームラインを調整する。発光部材３１の発光は、ビームラインと同軸的に設置した監視窓３５で監視する。 （もっと読む）