プラズモン結合素子
【課題】 金属細線や金属微粒子による導波路への結合効率の高い、または偏光選択性を有するプラズモン結合素子を提供する。
【解決手段】 金属微粒子を直線状に配列した金属微粒子配列１（金属細線でも良い。）よりなる金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に二次元的構造を有して配置された金属開口２を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、前記金属開口２と前記金属微粒子との電磁相互作用により、入力される表面プラズモンのエネルギーを前記金属導波路の入力端部に集中させるものである。このようにして、この金属導波路以外の伝搬モードの散乱を抑え、金属導波路内にプラズモンを結合させている。
【解決手段】 金属微粒子を直線状に配列した金属微粒子配列１（金属細線でも良い。）よりなる金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に二次元的構造を有して配置された金属開口２を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、前記金属開口２と前記金属微粒子との電磁相互作用により、入力される表面プラズモンのエネルギーを前記金属導波路の入力端部に集中させるものである。このようにして、この金属導波路以外の伝搬モードの散乱を抑え、金属導波路内にプラズモンを結合させている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属の表面プラズモンおよび１次元導波路中のプラズモンを利用したナノスケールのプラズモン結合素子において、導波路構造への光または表面プラズモンのエネルギーの結合を行うものに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の情報の大容量化に伴い、光の回折限界を超えるナノスケールの光デバイスの実現が求められている。金属および半導体微細加工技術の発展により様々な微細構造が作製されるようになっているが、実際の機能動作を実現するためにはナノメートル領域に光のエネルギーを結合させる必要がある。
【０００３】
本発明と同様に、ナノメートル領域に光を結合させる技術の代表的なものとしては、非特許文献１に示すプラズモンの伝搬モード変換器や、非特許文献２に示すプラズモン集光器がある。
【０００４】
また、ナノメートル領域にプラズモンのエネルギーを伝搬させる技術としては、特許文献１に示す「近接場光発生装置および発生方法」が開示されている。
【０００５】
さらに、プラズモンによる干渉効果を利用する技術としては、特許文献２に示す「光学素子およびそれを用いた光ヘッド」が開示されている。
【０００６】
ここで、非特許文献１に示されるプラズモン伝搬モードの変換器は、図９に示すように、Ｓｉを三角柱状のエッヂ構造に加工し、Ａｕ膜をコートすることにより、エッジの１つの斜面Ｆ１と上端に形成される１次元金属導波路を利用して、表面プラズモンの励起と１次元導波路への結合にともなう伝搬モードの変換を行うものである。
【０００７】
また、非特許文献２に示されるプラズモン集光器は、図１０の電子顕微鏡像に示すように、基板上に微小な突起を円弧状に形成し、それを金属コートした構造を有している。この構造に全反射角より小さな角度で光を入射することにより金属表面上に表面プラズモンを励起し、金属微細構造からの回折・散乱によって、表面プラズモンのエネルギーを局所的に集中させ金属導波路に結合させている。
【０００８】
特許文献１に示される「近接場光発生装置および発生方法」は、図１１に示すように、細線形状の金属と、金属の両側に配設された誘電体と、光源となるレーザ装置と、レーザ光を両側照射するためのビームスプリッタと反射鏡を有する。そして、この装置により金属細線の両側に表面プラズモンを励起することにより、この金属細線が十分に細い場合に伝搬するモードとなるプラズモンまたはＦａｎｏモードを発生させる。
【０００９】
特許文献２に示される「光学素子およびそれを用いた光ヘッド」は、図１２に示すように、導電性フィルムの間に、中間層として、表面凹凸を改善する効果のある層を挿入することによって、プラズモン効果で効率よく増幅された高効率で高解像の光学素子と、これを利用した光ディスク上の波長以下のスケールでの読み出し及び書き込みを可能にする光読み出し／書き込みヘッドが得られるものである。その結果、光の回折限界により限定される線データ密度よりはるかに高い線データ密度の記録／読み出しを可能にする。
【特許文献１】特開２００４−２０３８１号公報
【特許文献２】特開２００３−２８７６５６号公報
【非特許文献１】T. Yatsui, M. Kourogi, and M. Ohtsu: Appl. Phys. Lett. 79 (2001) 4583
【非特許文献２】野村、八井、興梠、大津：第６４回応用物理学会学術講演会予稿集、１ｐ−Ｑ−４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ここに、非特許文献１に示すプラズモンの伝搬モード変換器は、微小構造の端部による散乱を生じさせることによりあらゆる方向成分を有するプラズモン波への変換を行い、そのエネルギーの一部を金属導波路へ結合させることにより信号を得ており、散乱による結合損失が大きいと考えられる。
【００１１】
また、非特許文献２に示すプラズモン集光器は、プラズモンを強く集中させることにより非特許文献１と同様にあらゆる方向成分を有するプラズモン波への変換を行い、そのエネルギーの一部を金属導波路へ結合させることにより信号を得ており、結合効率を改善する構成などは考慮されていない。
【００１２】
また、特許文献１においては金属細線構造であることから、ナノメートル領域の光情報処理デバイスへの応用を考えた場合、伝搬光を介在することから微小化が困難であり、また、干渉を用いるスイッチングなどを考えると、偏光の制御などに問題がある。
【００１３】
さらに、特許文献２においては光記憶装置における光ヘッドを目指したもので、局所的な電場強度の増強を得るために周囲に大きな周期構造をもつことから、ナノメートル領域の光情報処理への応用には向かない。
【００１４】
上記事情を鑑みて、本発明の基本的な目的は、金属細線や金属微粒子による導波路への結合効率の高い、または偏光選択性を有するプラズモン結合素子を提供することである。
【００１５】
ここで、非特許文献１、２および特許文献２に係る技術では、金属における表面プラズモンを局所的に集中し、あらゆる方向成分を有するプラズモン波に変換しているため、金属導波路内の伝搬モードへの結合が弱くなる。そこで、本発明の目的として、導波路内のプラズモンに結合し易い電場分布を、外部の金属微細構造により形成し、結合効率のよいプラズモン結合素子を提供することを挙げる。
【００１６】
さらに、光情報処理技術として利用するためには、プラズモンの干渉効果を利用することが考えられるが、そのためにはプラズモンの偏光特性を制御できることが重要である。導波路として金属微粒子の配列を考えた場合には、その導波路はプラズモンの波動の縦波成分にも横波成分にも伝搬モードをもつことができる。そこで、本発明の目的として、金属微粒子の配列による導波路における偏向選択性をもつプラズモン結合素子を提供することを挙げる。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成する本発明の第１の態様は、金属細線または金属微粒子を直線状に配列した構造を有する金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に二次元的構造を有して配置された金属開口を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、前記金属開口と前記金属細線または前記金属微粒子との電磁相互作用により、入力される表面プラズモンのエネルギーを前記金属導波路の入力端部に集中させるものである。このようにして、この金属導波路以外の伝搬モードへの散乱を抑え、金属導波路内にプラズモンを結合させている。
【００１８】
また、上記目的を達成する本発明の第２の態様は、金属微粒子を直線状に配列した構造を有する金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に二次元的構造を有して配置された金属開口を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、前記金属開口と前記金属微粒子との電磁相互作用により、入力される表面プラズモンの特定の偏光成分を前記金属導波路の入力端部において励振させるものである。このようにして、金属導波路内に励振されるプラズモンの偏光を選択し、金属導波路内にプラズモンを結合させている。
【００１９】
ここで、第１及び第２の態様において、前記金属開口は前記金属導波路に平行な面に対して凹面となる形状を有することにより、入力される表面プラズモンのエネルギーを金属開口内に強く閉じ込める。このようにして、金属導波路への結合効率または偏光選択性を向上する。
【００２０】
また、第１及び第２の態様において、前記金属開口は前記金属導波路の入力端部と所定間隔を有して配置され、前記電磁相互作用による前記表面プラズモンのエネルギーの損失を抑えることにより、金属細線または金属微粒子と金属開口との電磁相互作用を弱める。このようにして、金属導波路への結合効率または偏光選択性を向上する。
【００２１】
また、第２の態様において、前記金属開口は前記金属導波路に対して略垂直な方向からなる境界面を有する先鋭化された形状を有することにより、入力される表面プラズモンの特定の偏光成分を強く励振する。このようにして、金属導波路内に励振されるプラズモンの偏光を選択している。
【００２２】
また、上記目的を達成する本発明の第３の態様は、金属細線または金属微粒子を直線状に配列した構造を有する金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に金属微粒子を直線状に配列した構造を有して配置された金属開口部を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、前記金属開口部がプラズモンの伝搬モードを有し、入力される表面プラズモンが当該伝搬モードと結合するものである。入力される表面プラズモンは金属開口部が有する周期構造により回折・散乱されることになり、金属導波路内にプラズモンを結合させている。
【００２３】
ここで、第３の態様において、前記金属開口部の内部において励振されるプラズモンが前記表面プラズモンの電場成分の向きに依存した伝搬モードと結合し、前記表面プラズモンの異なる偏光成分に対して前記金属開口部の内部に異なる電場分布を形成する。このようにして、前記金属導波路における結合効率を変化させる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明により、金属細線や金属微粒子による導波路への結合効率の高いプラズモン結合素子を得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明のプラズモン結合素子を実施するための最良の形態を説明する。説明する際には、本明細書と同時に提出する図面を適宜参照することにする。
【００２６】
第１の形態のプラズモン結合素子を図１に基づいて説明する。図１は金属微粒子配列１と金属開口２によるプラズモン結合素子の構成を示す斜視図である。また、第１の形態のプラズモン結合素子は、プラズモンのエネルギーを空間的に集中し、導波路内のプラズモン伝搬モードに結合させる。
【００２７】
第１の形態のプラズモン結合素子の位置構成は、図１に示すように、ＳｉＯ2やＣａＦ2などの誘電体で形成された平滑な誘電体基板４の表面上に配置される。導波路を構成する部分は利用の目的に応じて金属細線でも金属微粒子の配列でもよいが、図１では金属微粒子を直線状に配列した構成を例として示している。この金属導波路の入力端部に開口として金属の矩形構造を配置した構成を有しており、入力の表面プラズモンを励振するために、金属開口２の手前の部分は金属膜３により金属コートされている。
【００２８】
ここで、入力は表面プラズモンに限る必要はなく、金属細線や金属微粒子の配列による導波路の伝搬モードに共鳴する周波数を有していればよく、非特許文献１のように金属細線による導波路を用いてプラズモンのエネルギーを導入する方法や、非特許文献２のようにプラズモン集光器を利用する方法などがある。さらには、プラズモンの励振周波数と共鳴する色素分子などの発光体を金属開口の手前に配置して、遠方から光を照射してもよい。
【００２９】
金属細線よる導波路と金属微粒子の配列による導波路との違いは、金属材料の占める割合の違いによる伝搬損失の差異がある。その他には、光の波長より十分に小さな構造の場合には、金属細線では細線に平行な方向に電場成分をもつ縦モードまたはＴＭモードしか励振できないのに対して、金属微粒子の場合にはその配列方向に平行な縦モードと垂直な横モードの２つの偏光成分を励振することができるといった差異がある。
【００３０】
金属微粒子や金属細線による導波路および金属開口に用いる材料は、プラズモンを高効率に励振でき、伝搬損失の少ないＡｕやＡｇなどの金属材料が適している。
【００３１】
図１に示す金属微粒子配列１による導波路は、例として円筒形状のものを示してあるが、形状に依存して金属導波路内のプラズモンの共鳴波長が変化するだけであり、本発明の原理が変わることはない。したがって、金属微粒子の形状は円筒形状のほか、半球や立方体形状などであっても構わない。
【００３２】
このような金属細線、金属微粒子および金属開口の作製方法は多様に考えられる。例えば、金属微粒子配列を作製する方法としては、集束イオンビーム加工装置によりカーボンなどの突起を形成した後に金属コートを施しても良いし、電子ビーム描画装置やナノインプリント加工装置を用いても良い。また、予め微細なパターンが形成された基板を用い、スパッタリング法により金属を堆積することで金属微粒子列を作製する方法などもある。金属細線や金属開口の作製方法としては金属微粒子列と同様の作成方法のほか、ＡＦＭ探針に電圧を印加し、吸着水の電気分解による陽極酸化反応を利用して加工を行う陽極酸化法により金属細線、金属開口その他の金属微細構造を作成することも可能である。
【００３３】
次に、第１の形態のプラズモン結合素子の動作について、図２に基づいて説明する。図２はプラズモン結合素子における金属微粒子配列１と金属開口２の配置を上から見た図である。平行に配置された金属開口２内部の両境界面は金属微粒子のサイズ程度に近接しており、この両境界面ならびに金属導波路の入力端の金属微粒子が強く電磁相互作用する。これにより金属開口２内部では電場が空間的に強く局在し、その結果、金属導波路内のプラズモンと強く結合するようになる。
【００３４】
プラズモン結合素子の第２の形態を図３および図４に基づいて説明する。第２の形態は偏光選択性のあるプラズモン結合素子に関するものである。図３は金属微粒子配列１による導波路内の縦モードのプラズモンとの結合を説明する図である。図４は金属微粒子配列１による導波路内の横モードのプラズモンとの結合を説明する図である。
【００３５】
第２の形態のプラズモン結合素子の基本構成は、第１の形態で前述した通りである。ただし、導波路は金属微粒子の直線状の配列に限定する。したがって、前述したように、導波路に対して平行方向に電場成分をもつ縦モードと、垂直方向をもつ横モードの２つの偏光成分が存在することになる。また、図３または図４に示すように金属開口２の幅は金属微粒子同士の間隔の２倍程度の間隔で、その内部に金属導波路の入射端となる金属微粒子が入り込んだ構成になっている。
【００３６】
ここに、第２の形態の場合、金属導波路に平行または垂直な方向に電場成分をもった表面プラズモンの何れかまたは双方が入力される。図３は金属導波路に平行な方向に電場成分をもつ表面プラズモンが入力された場合の電場の向きを、電気力線５を用いて模式的に表わしたものである。この場合、金属導波路の入射端にある金属微粒子と金属開口２との電磁相互作用により、金属開口２と金属微粒子がお互いの電気力線を反発するように電場が形成される。したがって、金属導波路内の縦モードのプラズモンを励起するように電場が形成され、その結果、偏向選択性をもったプラズモンの結合が可能となる。
【００３７】
一方、図４は、金属導波路に対して垂直な向きに電場分布を有する表面プラズモンを本プラズモン結合素子に入力した場合の電気力線５の向きを示している。この場合は、金属開口２内部の２つの境界面と金属微粒子とが並ぶ方向に電場成分が集中し、金属開口２の外部に配置された金属導波路の金属微粒子の電気力線は金属開口部分から孤立したようになる。その結果、金属導波路への結合は弱くなり、第２の形態のプラズモン結合素子は、偏向選択性を有することになる。
【００３８】
ここで、第１及び第２の形態においてプラズモン結合素子の結合効率ならびに偏向選択性を改善したものを図５に基づいて説明する。図５は入力される表面プラズモンを高効率で集中させる金属開口６の形状を示す図である。このプラズモン結合素子の基本構成は、第１および第２の形態で前述した通りである。
【００３９】
この形態では、図１から図４で示した金属開口２の形状を金属開口６に示すように、金属導波路に平行な面に対して凹面となるように構成している。金属開口６は曲面を描いているが、代わりに凹面となる角度を持った２つの平面でも構わない。このような凹面においては、金属開口６内部の金属微粒子との距離がより一様になるため、入力された表面プラズモンのエネルギーは金属導波路に平行な平面境界の場合に比べて、金属開口６の外部に漏れ出る成分を減らすこととなり、より金属開口６の中央部に局在するようになる。この結果、金属導波路への結合効率が改善される。また、より強く金属導波路内の縦モードのプラズモンを励振しやすくなる。
【００４０】
また、第１及び第２の形態においてプラズモン結合素子の結合効率ならびに偏向選択性を改善したものを図６に基づいて説明する。図６は金属微粒子配列１と金属開口２背面との結合を弱める配置を説明する図である。このプラズモン結合素子の基本構成は、第１および第２の形態で前述した通りである。
【００４１】
この形態では、図１から図４の場合とは異なり、図６に示すように金属開口２の位置を、金属導波路である金属微粒子配列１から間隔Ｄだけ離れた位置に配置されている。この間隔Ｄが大きくなる程、金属導波路に対して垂直な金属開口２の背面と、金属微粒子配列１よりなる金属導波路との電磁相互作用が弱くなる。このことは逆に、金属開口２を透過したプラズモンのエネルギーが金属微粒子配列１と金属開口２背面との電磁相互作用により損失を受けること抑え、金属導波路内のプラズモンの伝搬に有利に働くことを意味する。その結果、結合または伝搬効率と偏向選択性を改善することができる。
【００４２】
ここで、第２の形態に係るプラズモン結合素子において、金属導波路内の横モードのプラズモンに対する偏向選択性を有するものを図７に基づいて説明する。図７は金属微粒子配列１による導波路内の横モードのプラズモンとの結合を強める金属開口７の形状を示す図である。このプラズモン結合素子の基本構成は、第１及び第２の形態で前述した通りである。
【００４３】
この形態では、図７に示すように、金属開口７はその開口部分が頂点となる三角形状を有する。この場合、金属導波路と平行な方向をもつ境界面は金属開口７上には存在しなくなる。そのため、入力される表面プラズモンが金属導波路に対して平行な方向の電場成分を有している場合は、金属導波路内の縦モードのプラズモンとの結合効率は低下する。一方、入力される表面プラズモンが金属導波路に対して垂直な電場成分を有しているならば、金属導波路内の横モードのプラズモンと強く結合する。しがたって、本素子は金属導波路の横モードを強く励振する偏向選択性を有している。ここで、金属開口７の形状において、入力される表面プラズモンが金属導波路内の横モードのプラズモンと強く結合するためには、金属導波路と平行な方向からなる境界面をできる限り無くしたほうが良い。このような境界面の存在は金属導波路内の縦モードのプラズモンを励起するような電場を形成させるからである。その意味では、金属開口７の形状として、金属導波路に対して略垂直な方向からなる境界面を有し、さらに当該境界面を金属導波路が存在する側に設けるほうが良い。このような境界面を金属導波路に対して斜めに配置したものは、金属導波路内の縦モードのプラズモンを励起する電場の形成に寄与するからである。従って、金属開口７の開口部分は図７に示したような三角形状に限定する必要は無く、例えば、金属導波路に対して略垂直な方向からなる境界面を有する先鋭化された形状であっても良い。
【００４４】
プラズモン結合素子の第３の形態を図８に基づいて説明する。第３の形態のプラズモン結合素子は、前述した一連の形態とは異なるプラズモンの結合形態を有するものである。図８は金属微粒子の配列よりなる開口である金属開口部８と金属微粒子配列１による導波路の構成を示す図である。第３の形態のプラズモン結合素子の基本構成は、前述した一連の形態と同様である。ただし、金属開口は二次元的な金属微細構造ではなく、金属開口部８として示すように、金属導波路と同様の金属微粒子を直線状に配置した構造となっている。
【００４５】
この場合、金属開口部８もプラズモンの伝搬モードを有し、入力される表面プラズモンが当該伝搬モードと結合する。これにより表面プラズモンは金属開口部８内部に強い電場分布を有するようになる。さらに金属開口部８の周期構造により回折・散乱を受け、金属導波路内のプラズモンを励振することにより結合効率を向上している。
【００４６】
また、第３の形態のプラズモン結合素子は第２の形態とは異なる特徴の偏光選択性を有している。金属開口部８内部に励振されるプラズモンは、入力される表面プラズモンの電場成分の向きに依存した伝搬モードと結合し、入力される表面プラズモンの異なる偏光成分に対して金属開口部８内部に異なる電場分布を形成する。これにより金属微粒子配列１よりなる金属導波路への結合効率が変わる。したがって、このプラズモン結合素子は入力される表面プラズモンの偏光に依存して結合効率を変化させる偏光選択性を有している。
【００４７】
なお、上述した形態は本発明を実施するための最良のものであるが、これに限定する主旨ではない。従って、本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明のプラズモン結合素子を利用した光入出力デバイス、超高集積化デバイス、干渉型スイッチングデバイス、偏向制御デバイスなどの開発が望まれる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】第１の形態のプラズモン結合素子において、金属微粒子配列１と金属開口２によるプラズモン結合素子の構成を示す斜視図である。
【図２】第１の形態のプラズモン結合素子において、プラズモン結合素子における金属微粒子配列１と金属開口２の配置を上から見た図である。
【図３】第２の形態のプラズモン結合素子において、金属微粒子配列１による導波路内の縦モードのプラズモンとの結合を説明する図である。
【図４】第２の形態のプラズモン結合素子において、金属微粒子配列１による導波路内の横モードのプラズモンとの結合を説明する図である。
【図５】第１及び第２の形態において、入力される表面プラズモンを高効率で集中させる金属開口６の形状を示す図である。
【図６】第１及び第２の形態において、金属微粒子配列１と金属開口２背面との結合を弱める配置を説明する図である。
【図７】第２の形態において、金属微粒子配列１による導波路内の横モードのプラズモンとの結合を強める金属開口７の形状を示す図である。
【図８】第３の形態のプラズモン結合素子において、金属微粒子の配列よりなる開口である金属開口部８と金属微粒子配列１による導波路の構成を示す図である。
【図９】非特許文献１におけるプラズモンの伝搬モード変換器の構成と変換の原理を示す図である。
【図１０】非特許文献２におけるＡｕ微粒子によるプラズモン集光器の作成例を示す電子顕微鏡像（左側）と近接場光学顕微鏡による光学像（右側）である。
【図１１】特許文献１における「近接場光発生装置および発生方法」の構成を示す図である。
【図１２】特許文献２におけるプラズモンを利用した「光学素子およびそれを用いた光ヘッド」の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１ 金属微粒子配列
２ 金属開口
３ 金属膜
４ 誘電体基板
５ 電気力線
６ 金属開口
７ 金属開口
８ 金属開口部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属の表面プラズモンおよび１次元導波路中のプラズモンを利用したナノスケールのプラズモン結合素子において、導波路構造への光または表面プラズモンのエネルギーの結合を行うものに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の情報の大容量化に伴い、光の回折限界を超えるナノスケールの光デバイスの実現が求められている。金属および半導体微細加工技術の発展により様々な微細構造が作製されるようになっているが、実際の機能動作を実現するためにはナノメートル領域に光のエネルギーを結合させる必要がある。
【０００３】
本発明と同様に、ナノメートル領域に光を結合させる技術の代表的なものとしては、非特許文献１に示すプラズモンの伝搬モード変換器や、非特許文献２に示すプラズモン集光器がある。
【０００４】
また、ナノメートル領域にプラズモンのエネルギーを伝搬させる技術としては、特許文献１に示す「近接場光発生装置および発生方法」が開示されている。
【０００５】
さらに、プラズモンによる干渉効果を利用する技術としては、特許文献２に示す「光学素子およびそれを用いた光ヘッド」が開示されている。
【０００６】
ここで、非特許文献１に示されるプラズモン伝搬モードの変換器は、図９に示すように、Ｓｉを三角柱状のエッヂ構造に加工し、Ａｕ膜をコートすることにより、エッジの１つの斜面Ｆ１と上端に形成される１次元金属導波路を利用して、表面プラズモンの励起と１次元導波路への結合にともなう伝搬モードの変換を行うものである。
【０００７】
また、非特許文献２に示されるプラズモン集光器は、図１０の電子顕微鏡像に示すように、基板上に微小な突起を円弧状に形成し、それを金属コートした構造を有している。この構造に全反射角より小さな角度で光を入射することにより金属表面上に表面プラズモンを励起し、金属微細構造からの回折・散乱によって、表面プラズモンのエネルギーを局所的に集中させ金属導波路に結合させている。
【０００８】
特許文献１に示される「近接場光発生装置および発生方法」は、図１１に示すように、細線形状の金属と、金属の両側に配設された誘電体と、光源となるレーザ装置と、レーザ光を両側照射するためのビームスプリッタと反射鏡を有する。そして、この装置により金属細線の両側に表面プラズモンを励起することにより、この金属細線が十分に細い場合に伝搬するモードとなるプラズモンまたはＦａｎｏモードを発生させる。
【０００９】
特許文献２に示される「光学素子およびそれを用いた光ヘッド」は、図１２に示すように、導電性フィルムの間に、中間層として、表面凹凸を改善する効果のある層を挿入することによって、プラズモン効果で効率よく増幅された高効率で高解像の光学素子と、これを利用した光ディスク上の波長以下のスケールでの読み出し及び書き込みを可能にする光読み出し／書き込みヘッドが得られるものである。その結果、光の回折限界により限定される線データ密度よりはるかに高い線データ密度の記録／読み出しを可能にする。
【特許文献１】特開２００４−２０３８１号公報
【特許文献２】特開２００３−２８７６５６号公報
【非特許文献１】T. Yatsui, M. Kourogi, and M. Ohtsu: Appl. Phys. Lett. 79 (2001) 4583
【非特許文献２】野村、八井、興梠、大津：第６４回応用物理学会学術講演会予稿集、１ｐ−Ｑ−４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ここに、非特許文献１に示すプラズモンの伝搬モード変換器は、微小構造の端部による散乱を生じさせることによりあらゆる方向成分を有するプラズモン波への変換を行い、そのエネルギーの一部を金属導波路へ結合させることにより信号を得ており、散乱による結合損失が大きいと考えられる。
【００１１】
また、非特許文献２に示すプラズモン集光器は、プラズモンを強く集中させることにより非特許文献１と同様にあらゆる方向成分を有するプラズモン波への変換を行い、そのエネルギーの一部を金属導波路へ結合させることにより信号を得ており、結合効率を改善する構成などは考慮されていない。
【００１２】
また、特許文献１においては金属細線構造であることから、ナノメートル領域の光情報処理デバイスへの応用を考えた場合、伝搬光を介在することから微小化が困難であり、また、干渉を用いるスイッチングなどを考えると、偏光の制御などに問題がある。
【００１３】
さらに、特許文献２においては光記憶装置における光ヘッドを目指したもので、局所的な電場強度の増強を得るために周囲に大きな周期構造をもつことから、ナノメートル領域の光情報処理への応用には向かない。
【００１４】
上記事情を鑑みて、本発明の基本的な目的は、金属細線や金属微粒子による導波路への結合効率の高い、または偏光選択性を有するプラズモン結合素子を提供することである。
【００１５】
ここで、非特許文献１、２および特許文献２に係る技術では、金属における表面プラズモンを局所的に集中し、あらゆる方向成分を有するプラズモン波に変換しているため、金属導波路内の伝搬モードへの結合が弱くなる。そこで、本発明の目的として、導波路内のプラズモンに結合し易い電場分布を、外部の金属微細構造により形成し、結合効率のよいプラズモン結合素子を提供することを挙げる。
【００１６】
さらに、光情報処理技術として利用するためには、プラズモンの干渉効果を利用することが考えられるが、そのためにはプラズモンの偏光特性を制御できることが重要である。導波路として金属微粒子の配列を考えた場合には、その導波路はプラズモンの波動の縦波成分にも横波成分にも伝搬モードをもつことができる。そこで、本発明の目的として、金属微粒子の配列による導波路における偏向選択性をもつプラズモン結合素子を提供することを挙げる。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成する本発明の第１の態様は、金属細線または金属微粒子を直線状に配列した構造を有する金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に二次元的構造を有して配置された金属開口を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、前記金属開口と前記金属細線または前記金属微粒子との電磁相互作用により、入力される表面プラズモンのエネルギーを前記金属導波路の入力端部に集中させるものである。このようにして、この金属導波路以外の伝搬モードへの散乱を抑え、金属導波路内にプラズモンを結合させている。
【００１８】
また、上記目的を達成する本発明の第２の態様は、金属微粒子を直線状に配列した構造を有する金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に二次元的構造を有して配置された金属開口を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、前記金属開口と前記金属微粒子との電磁相互作用により、入力される表面プラズモンの特定の偏光成分を前記金属導波路の入力端部において励振させるものである。このようにして、金属導波路内に励振されるプラズモンの偏光を選択し、金属導波路内にプラズモンを結合させている。
【００１９】
ここで、第１及び第２の態様において、前記金属開口は前記金属導波路に平行な面に対して凹面となる形状を有することにより、入力される表面プラズモンのエネルギーを金属開口内に強く閉じ込める。このようにして、金属導波路への結合効率または偏光選択性を向上する。
【００２０】
また、第１及び第２の態様において、前記金属開口は前記金属導波路の入力端部と所定間隔を有して配置され、前記電磁相互作用による前記表面プラズモンのエネルギーの損失を抑えることにより、金属細線または金属微粒子と金属開口との電磁相互作用を弱める。このようにして、金属導波路への結合効率または偏光選択性を向上する。
【００２１】
また、第２の態様において、前記金属開口は前記金属導波路に対して略垂直な方向からなる境界面を有する先鋭化された形状を有することにより、入力される表面プラズモンの特定の偏光成分を強く励振する。このようにして、金属導波路内に励振されるプラズモンの偏光を選択している。
【００２２】
また、上記目的を達成する本発明の第３の態様は、金属細線または金属微粒子を直線状に配列した構造を有する金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に金属微粒子を直線状に配列した構造を有して配置された金属開口部を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、前記金属開口部がプラズモンの伝搬モードを有し、入力される表面プラズモンが当該伝搬モードと結合するものである。入力される表面プラズモンは金属開口部が有する周期構造により回折・散乱されることになり、金属導波路内にプラズモンを結合させている。
【００２３】
ここで、第３の態様において、前記金属開口部の内部において励振されるプラズモンが前記表面プラズモンの電場成分の向きに依存した伝搬モードと結合し、前記表面プラズモンの異なる偏光成分に対して前記金属開口部の内部に異なる電場分布を形成する。このようにして、前記金属導波路における結合効率を変化させる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明により、金属細線や金属微粒子による導波路への結合効率の高いプラズモン結合素子を得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明のプラズモン結合素子を実施するための最良の形態を説明する。説明する際には、本明細書と同時に提出する図面を適宜参照することにする。
【００２６】
第１の形態のプラズモン結合素子を図１に基づいて説明する。図１は金属微粒子配列１と金属開口２によるプラズモン結合素子の構成を示す斜視図である。また、第１の形態のプラズモン結合素子は、プラズモンのエネルギーを空間的に集中し、導波路内のプラズモン伝搬モードに結合させる。
【００２７】
第１の形態のプラズモン結合素子の位置構成は、図１に示すように、ＳｉＯ2やＣａＦ2などの誘電体で形成された平滑な誘電体基板４の表面上に配置される。導波路を構成する部分は利用の目的に応じて金属細線でも金属微粒子の配列でもよいが、図１では金属微粒子を直線状に配列した構成を例として示している。この金属導波路の入力端部に開口として金属の矩形構造を配置した構成を有しており、入力の表面プラズモンを励振するために、金属開口２の手前の部分は金属膜３により金属コートされている。
【００２８】
ここで、入力は表面プラズモンに限る必要はなく、金属細線や金属微粒子の配列による導波路の伝搬モードに共鳴する周波数を有していればよく、非特許文献１のように金属細線による導波路を用いてプラズモンのエネルギーを導入する方法や、非特許文献２のようにプラズモン集光器を利用する方法などがある。さらには、プラズモンの励振周波数と共鳴する色素分子などの発光体を金属開口の手前に配置して、遠方から光を照射してもよい。
【００２９】
金属細線よる導波路と金属微粒子の配列による導波路との違いは、金属材料の占める割合の違いによる伝搬損失の差異がある。その他には、光の波長より十分に小さな構造の場合には、金属細線では細線に平行な方向に電場成分をもつ縦モードまたはＴＭモードしか励振できないのに対して、金属微粒子の場合にはその配列方向に平行な縦モードと垂直な横モードの２つの偏光成分を励振することができるといった差異がある。
【００３０】
金属微粒子や金属細線による導波路および金属開口に用いる材料は、プラズモンを高効率に励振でき、伝搬損失の少ないＡｕやＡｇなどの金属材料が適している。
【００３１】
図１に示す金属微粒子配列１による導波路は、例として円筒形状のものを示してあるが、形状に依存して金属導波路内のプラズモンの共鳴波長が変化するだけであり、本発明の原理が変わることはない。したがって、金属微粒子の形状は円筒形状のほか、半球や立方体形状などであっても構わない。
【００３２】
このような金属細線、金属微粒子および金属開口の作製方法は多様に考えられる。例えば、金属微粒子配列を作製する方法としては、集束イオンビーム加工装置によりカーボンなどの突起を形成した後に金属コートを施しても良いし、電子ビーム描画装置やナノインプリント加工装置を用いても良い。また、予め微細なパターンが形成された基板を用い、スパッタリング法により金属を堆積することで金属微粒子列を作製する方法などもある。金属細線や金属開口の作製方法としては金属微粒子列と同様の作成方法のほか、ＡＦＭ探針に電圧を印加し、吸着水の電気分解による陽極酸化反応を利用して加工を行う陽極酸化法により金属細線、金属開口その他の金属微細構造を作成することも可能である。
【００３３】
次に、第１の形態のプラズモン結合素子の動作について、図２に基づいて説明する。図２はプラズモン結合素子における金属微粒子配列１と金属開口２の配置を上から見た図である。平行に配置された金属開口２内部の両境界面は金属微粒子のサイズ程度に近接しており、この両境界面ならびに金属導波路の入力端の金属微粒子が強く電磁相互作用する。これにより金属開口２内部では電場が空間的に強く局在し、その結果、金属導波路内のプラズモンと強く結合するようになる。
【００３４】
プラズモン結合素子の第２の形態を図３および図４に基づいて説明する。第２の形態は偏光選択性のあるプラズモン結合素子に関するものである。図３は金属微粒子配列１による導波路内の縦モードのプラズモンとの結合を説明する図である。図４は金属微粒子配列１による導波路内の横モードのプラズモンとの結合を説明する図である。
【００３５】
第２の形態のプラズモン結合素子の基本構成は、第１の形態で前述した通りである。ただし、導波路は金属微粒子の直線状の配列に限定する。したがって、前述したように、導波路に対して平行方向に電場成分をもつ縦モードと、垂直方向をもつ横モードの２つの偏光成分が存在することになる。また、図３または図４に示すように金属開口２の幅は金属微粒子同士の間隔の２倍程度の間隔で、その内部に金属導波路の入射端となる金属微粒子が入り込んだ構成になっている。
【００３６】
ここに、第２の形態の場合、金属導波路に平行または垂直な方向に電場成分をもった表面プラズモンの何れかまたは双方が入力される。図３は金属導波路に平行な方向に電場成分をもつ表面プラズモンが入力された場合の電場の向きを、電気力線５を用いて模式的に表わしたものである。この場合、金属導波路の入射端にある金属微粒子と金属開口２との電磁相互作用により、金属開口２と金属微粒子がお互いの電気力線を反発するように電場が形成される。したがって、金属導波路内の縦モードのプラズモンを励起するように電場が形成され、その結果、偏向選択性をもったプラズモンの結合が可能となる。
【００３７】
一方、図４は、金属導波路に対して垂直な向きに電場分布を有する表面プラズモンを本プラズモン結合素子に入力した場合の電気力線５の向きを示している。この場合は、金属開口２内部の２つの境界面と金属微粒子とが並ぶ方向に電場成分が集中し、金属開口２の外部に配置された金属導波路の金属微粒子の電気力線は金属開口部分から孤立したようになる。その結果、金属導波路への結合は弱くなり、第２の形態のプラズモン結合素子は、偏向選択性を有することになる。
【００３８】
ここで、第１及び第２の形態においてプラズモン結合素子の結合効率ならびに偏向選択性を改善したものを図５に基づいて説明する。図５は入力される表面プラズモンを高効率で集中させる金属開口６の形状を示す図である。このプラズモン結合素子の基本構成は、第１および第２の形態で前述した通りである。
【００３９】
この形態では、図１から図４で示した金属開口２の形状を金属開口６に示すように、金属導波路に平行な面に対して凹面となるように構成している。金属開口６は曲面を描いているが、代わりに凹面となる角度を持った２つの平面でも構わない。このような凹面においては、金属開口６内部の金属微粒子との距離がより一様になるため、入力された表面プラズモンのエネルギーは金属導波路に平行な平面境界の場合に比べて、金属開口６の外部に漏れ出る成分を減らすこととなり、より金属開口６の中央部に局在するようになる。この結果、金属導波路への結合効率が改善される。また、より強く金属導波路内の縦モードのプラズモンを励振しやすくなる。
【００４０】
また、第１及び第２の形態においてプラズモン結合素子の結合効率ならびに偏向選択性を改善したものを図６に基づいて説明する。図６は金属微粒子配列１と金属開口２背面との結合を弱める配置を説明する図である。このプラズモン結合素子の基本構成は、第１および第２の形態で前述した通りである。
【００４１】
この形態では、図１から図４の場合とは異なり、図６に示すように金属開口２の位置を、金属導波路である金属微粒子配列１から間隔Ｄだけ離れた位置に配置されている。この間隔Ｄが大きくなる程、金属導波路に対して垂直な金属開口２の背面と、金属微粒子配列１よりなる金属導波路との電磁相互作用が弱くなる。このことは逆に、金属開口２を透過したプラズモンのエネルギーが金属微粒子配列１と金属開口２背面との電磁相互作用により損失を受けること抑え、金属導波路内のプラズモンの伝搬に有利に働くことを意味する。その結果、結合または伝搬効率と偏向選択性を改善することができる。
【００４２】
ここで、第２の形態に係るプラズモン結合素子において、金属導波路内の横モードのプラズモンに対する偏向選択性を有するものを図７に基づいて説明する。図７は金属微粒子配列１による導波路内の横モードのプラズモンとの結合を強める金属開口７の形状を示す図である。このプラズモン結合素子の基本構成は、第１及び第２の形態で前述した通りである。
【００４３】
この形態では、図７に示すように、金属開口７はその開口部分が頂点となる三角形状を有する。この場合、金属導波路と平行な方向をもつ境界面は金属開口７上には存在しなくなる。そのため、入力される表面プラズモンが金属導波路に対して平行な方向の電場成分を有している場合は、金属導波路内の縦モードのプラズモンとの結合効率は低下する。一方、入力される表面プラズモンが金属導波路に対して垂直な電場成分を有しているならば、金属導波路内の横モードのプラズモンと強く結合する。しがたって、本素子は金属導波路の横モードを強く励振する偏向選択性を有している。ここで、金属開口７の形状において、入力される表面プラズモンが金属導波路内の横モードのプラズモンと強く結合するためには、金属導波路と平行な方向からなる境界面をできる限り無くしたほうが良い。このような境界面の存在は金属導波路内の縦モードのプラズモンを励起するような電場を形成させるからである。その意味では、金属開口７の形状として、金属導波路に対して略垂直な方向からなる境界面を有し、さらに当該境界面を金属導波路が存在する側に設けるほうが良い。このような境界面を金属導波路に対して斜めに配置したものは、金属導波路内の縦モードのプラズモンを励起する電場の形成に寄与するからである。従って、金属開口７の開口部分は図７に示したような三角形状に限定する必要は無く、例えば、金属導波路に対して略垂直な方向からなる境界面を有する先鋭化された形状であっても良い。
【００４４】
プラズモン結合素子の第３の形態を図８に基づいて説明する。第３の形態のプラズモン結合素子は、前述した一連の形態とは異なるプラズモンの結合形態を有するものである。図８は金属微粒子の配列よりなる開口である金属開口部８と金属微粒子配列１による導波路の構成を示す図である。第３の形態のプラズモン結合素子の基本構成は、前述した一連の形態と同様である。ただし、金属開口は二次元的な金属微細構造ではなく、金属開口部８として示すように、金属導波路と同様の金属微粒子を直線状に配置した構造となっている。
【００４５】
この場合、金属開口部８もプラズモンの伝搬モードを有し、入力される表面プラズモンが当該伝搬モードと結合する。これにより表面プラズモンは金属開口部８内部に強い電場分布を有するようになる。さらに金属開口部８の周期構造により回折・散乱を受け、金属導波路内のプラズモンを励振することにより結合効率を向上している。
【００４６】
また、第３の形態のプラズモン結合素子は第２の形態とは異なる特徴の偏光選択性を有している。金属開口部８内部に励振されるプラズモンは、入力される表面プラズモンの電場成分の向きに依存した伝搬モードと結合し、入力される表面プラズモンの異なる偏光成分に対して金属開口部８内部に異なる電場分布を形成する。これにより金属微粒子配列１よりなる金属導波路への結合効率が変わる。したがって、このプラズモン結合素子は入力される表面プラズモンの偏光に依存して結合効率を変化させる偏光選択性を有している。
【００４７】
なお、上述した形態は本発明を実施するための最良のものであるが、これに限定する主旨ではない。従って、本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明のプラズモン結合素子を利用した光入出力デバイス、超高集積化デバイス、干渉型スイッチングデバイス、偏向制御デバイスなどの開発が望まれる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】第１の形態のプラズモン結合素子において、金属微粒子配列１と金属開口２によるプラズモン結合素子の構成を示す斜視図である。
【図２】第１の形態のプラズモン結合素子において、プラズモン結合素子における金属微粒子配列１と金属開口２の配置を上から見た図である。
【図３】第２の形態のプラズモン結合素子において、金属微粒子配列１による導波路内の縦モードのプラズモンとの結合を説明する図である。
【図４】第２の形態のプラズモン結合素子において、金属微粒子配列１による導波路内の横モードのプラズモンとの結合を説明する図である。
【図５】第１及び第２の形態において、入力される表面プラズモンを高効率で集中させる金属開口６の形状を示す図である。
【図６】第１及び第２の形態において、金属微粒子配列１と金属開口２背面との結合を弱める配置を説明する図である。
【図７】第２の形態において、金属微粒子配列１による導波路内の横モードのプラズモンとの結合を強める金属開口７の形状を示す図である。
【図８】第３の形態のプラズモン結合素子において、金属微粒子の配列よりなる開口である金属開口部８と金属微粒子配列１による導波路の構成を示す図である。
【図９】非特許文献１におけるプラズモンの伝搬モード変換器の構成と変換の原理を示す図である。
【図１０】非特許文献２におけるＡｕ微粒子によるプラズモン集光器の作成例を示す電子顕微鏡像（左側）と近接場光学顕微鏡による光学像（右側）である。
【図１１】特許文献１における「近接場光発生装置および発生方法」の構成を示す図である。
【図１２】特許文献２におけるプラズモンを利用した「光学素子およびそれを用いた光ヘッド」の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１ 金属微粒子配列
２ 金属開口
３ 金属膜
４ 誘電体基板
５ 電気力線
６ 金属開口
７ 金属開口
８ 金属開口部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属細線または金属微粒子を直線状に配列した構造を有する金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に二次元的構造を有して配置された金属開口を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、
前記金属開口と前記金属細線または前記金属微粒子との電磁相互作用により、入力される表面プラズモンのエネルギーを前記金属導波路の入力端部に集中させることを特徴とするプラズモン結合素子。
【請求項２】
金属微粒子を直線状に配列した構造を有する金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に二次元的構造を有して配置された金属開口を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、
前記金属開口と前記金属微粒子との電磁相互作用により、入力される表面プラズモンの特定の偏光成分を前記金属導波路の入力端部において励振させることを特徴とするプラズモン結合素子。
【請求項３】
前記金属開口は前記金属導波路に平行な面に対して凹面となる形状を有することを特徴とする請求項１または２に記載のプラズモン結合素子。
【請求項４】
前記金属開口は前記金属導波路の入力端部と所定間隔を有して配置され、
前記電磁相互作用による前記表面プラズモンのエネルギーの損失を抑えることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズモン結合素子。
【請求項５】
前記金属開口は前記金属導波路に対して略垂直な方向からなる境界面を有する先鋭化された形状を有することを特徴とする請求項２に記載のプラズモン結合素子。
【請求項６】
金属細線または金属微粒子を直線状に配列した構造を有する金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に金属微粒子を直線状に配列した構造を有して配置された金属開口部を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、
前記金属開口部がプラズモンの伝搬モードを有し、入力される表面プラズモンが当該伝搬モードと結合することを特徴とするプラズモン結合素子。
【請求項７】
前記金属開口部の内部において励振されるプラズモンが前記表面プラズモンの電場成分の向きに依存した伝搬モードと結合し、前記表面プラズモンの異なる偏光成分に対して前記金属開口部の内部に異なる電場分布を形成することを特徴とする請求項６に記載のプラズモン結合素子。
【請求項１】
金属細線または金属微粒子を直線状に配列した構造を有する金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に二次元的構造を有して配置された金属開口を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、
前記金属開口と前記金属細線または前記金属微粒子との電磁相互作用により、入力される表面プラズモンのエネルギーを前記金属導波路の入力端部に集中させることを特徴とするプラズモン結合素子。
【請求項２】
金属微粒子を直線状に配列した構造を有する金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に二次元的構造を有して配置された金属開口を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、
前記金属開口と前記金属微粒子との電磁相互作用により、入力される表面プラズモンの特定の偏光成分を前記金属導波路の入力端部において励振させることを特徴とするプラズモン結合素子。
【請求項３】
前記金属開口は前記金属導波路に平行な面に対して凹面となる形状を有することを特徴とする請求項１または２に記載のプラズモン結合素子。
【請求項４】
前記金属開口は前記金属導波路の入力端部と所定間隔を有して配置され、
前記電磁相互作用による前記表面プラズモンのエネルギーの損失を抑えることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズモン結合素子。
【請求項５】
前記金属開口は前記金属導波路に対して略垂直な方向からなる境界面を有する先鋭化された形状を有することを特徴とする請求項２に記載のプラズモン結合素子。
【請求項６】
金属細線または金属微粒子を直線状に配列した構造を有する金属導波路と、前記金属導波路の入力端部に金属微粒子を直線状に配列した構造を有して配置された金属開口部を平滑な基板上に設けたプラズモン結合素子において、
前記金属開口部がプラズモンの伝搬モードを有し、入力される表面プラズモンが当該伝搬モードと結合することを特徴とするプラズモン結合素子。
【請求項７】
前記金属開口部の内部において励振されるプラズモンが前記表面プラズモンの電場成分の向きに依存した伝搬モードと結合し、前記表面プラズモンの異なる偏光成分に対して前記金属開口部の内部に異なる電場分布を形成することを特徴とする請求項６に記載のプラズモン結合素子。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２００６−１６３１８８（Ｐ２００６−１６３１８８Ａ）
【公開日】平成１８年６月２２日（２００６．６．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−３５７１７６（Ｐ２００４−３５７１７６）
【出願日】平成１６年１２月９日（２００４．１２．９）
【出願人】（０００００６７４７）株式会社リコー (37,907)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年６月２２日（２００６．６．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年１２月９日（２００４．１２．９）
【出願人】（０００００６７４７）株式会社リコー (37,907)
【Ｆターム（参考）】
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