ペリクル収容容器
【課題】容器本体に固定された状態のペリクルを蓋体で被覆して異物付着を防止しつつ、輸送中にも固定状態を確実に維持でき、且つ蓋体を開いて開封したとき、固定状態を簡単に解除してペリクルの取り出しができるペリクル収容容器を提供する。
【解決手段】ペリクル１６を載置した容器本体１２と、ペリクル１６を被覆する蓋体１４とから構成され、容器本体１２には、ペリクル１６のペリクルフレーム１６ａの凹部２６に、先端部１６ａが挿入されて回動可能のピン２８と、ピン２８を着脱可能に装着するピン装着部３２とを備えたペリクル固定部１８を複数個設置し、各ペリクル固定部１８のピン装着部３２に装着し、先端部１６ａをペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入したピン２８を所定角度回動して、ピン２８の先端部２８ａを凹部２６から抜け出なくするように、ピン２８を保持する保持手段としての突起部３０と切欠部３２ａとを具備することを特徴とする。
【解決手段】ペリクル１６を載置した容器本体１２と、ペリクル１６を被覆する蓋体１４とから構成され、容器本体１２には、ペリクル１６のペリクルフレーム１６ａの凹部２６に、先端部１６ａが挿入されて回動可能のピン２８と、ピン２８を着脱可能に装着するピン装着部３２とを備えたペリクル固定部１８を複数個設置し、各ペリクル固定部１８のピン装着部３２に装着し、先端部１６ａをペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入したピン２８を所定角度回動して、ピン２８の先端部２８ａを凹部２６から抜け出なくするように、ピン２８を保持する保持手段としての突起部３０と切欠部３２ａとを具備することを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス、プリント基板或いは液晶ディバイスディスプレイ等の製造に使用される、ペリクル膜がペリクルフレームに貼着されたペリクルを収容するペリクル収容容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩや超ＬＳＩ等の半導体製造或は液晶ディスプレイ等の製造において、半導体ウエハー或いは液晶用原板に光を照射してパターンを作製するリソグラフィーの作業が行われる。この際に、フォトマスク或いはレチクルにゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジががさついたものとなる他、下地が黒く汚れたりする等の現象が発生することがある。かかる作業は通常クリーンルームで行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことが難しいため、透明なペリクル膜がペリクルフレームに貼着されたペリクルが使用されている。このペリクルをフォトマスク上に載置して露光を行うことにより、異物はフォトマスクの表面には直接付着せず、ペリクル膜上に付着するため、リソグラフィーの際に、焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル膜上の異物は転写に無関係となる。
【０００３】
かかるペリクルは、それ自体に異物が付着すると、フォトマスクへの異物付着にも繋がるため、高い清浄性が求められる。このため、その保管や輸送の際には、ペリクル収容容器が用いられる。かかるペリクル収容容器或いはペリクルの収容方法として、例えば下記特許文献１、２、３に記載されているものがある。具体的には、特許文献１に、硬質樹脂製の容器本体の内底部にペリクル枠の他側面を密接載置するようになっていて、容器本体の内底部に、内底部上に載置されたペリクル枠を周囲から保持する複数の支持体を点在して立設し、さらに、容器本体上を硬質樹脂製の蓋体で開閉自在に覆い、この蓋体は、閉蓋時に内底部上に載置されたペリクル枠の前記一側面に当接する当接部をその内面に有するペリクル用容器が記載されている。
【０００４】
特許文献２に、枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下面に粘着された保護フィルムからなる大型ペリクルをトレイと蓋とよりなるケースに収納する方法に於いて、前記大型ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させて押え代を形成し、かつ該押え代を粘着テープを介して該トレイに固定して大型ペリクルをケース内に収納することが記載されている。
【０００５】
特許文献３に、ペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆すると共に容器本体と互いに周縁部で嵌合係止する蓋体と、前記容器本体に接合されている金属部品と、ペリクルフレームの互いに平行な一組の辺のそれぞれの外側面に少なくとも１つ設けられた合計３つ以上の穴にそれぞれ挿入される同数のフレーム保持ピンと、前記フレーム保持ピンを位置決めする位置決め部品と、からなるペリクル収納容器において、前記位置決め部品は前記金属部品に機械的に固定されているペリクル収納容器が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】実公平６−４５９６５号公報
【特許文献２】特開２００４−３６１６４７号公報
【特許文献３】特許第４３９１４３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載されたペリクル用容器は、射出成型で形成でき、部品点数が少ないという利点があり、半導体用ペリクルの収納用として使用できる。しかし、このペリクル用容器は、蓋体及び容器本体のどちらも高精度で成形されている必要があるため、辺長が５００ｍｍを超えるような液晶用ペリクルの収納用としては使用されない。このような大型の容器を真空成型では精度良く形成できないことに加え、容器自体の剛性確保が難しい。
【０００８】
このため、容器の取扱い時や搬送時に容器の変形が惹起され、容器とペリクルフレームとの擦れが生じて発塵し、品質の低下を招き易いからである。かかる辺長が５００ｍｍを越えるような大型のペリクルの収納容器としては、特許文献２に記載されているように、マスク粘着層を保護するライナーの一部を外側に突出させ、粘着テープにより容器本体に固定すること、或いは特許文献３に記載されているように、ペリクルフレーム外側面に設けた凹部にピンを挿入して容器本体に固定することにより、ペリクルを容器本体に確実に固定できる方法が提案されている。
【０００９】
しかしながら、特許文献２のように、ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させた押え代を粘着テープで容器本体に貼付固定する場合、その作業は人手で行わざるを得ず、清浄な状態でトレイ上に固定するのが難しい。更に、粘着テープを剥がして取り出す際に、人手がペリクルフレーム付近に接近して異物付着の懸念がある。
【００１０】
一方、特許文献３のように、ペリクルフレーム外側面の穴にピンを挿脱してペリクルを容器本体に着脱する場合、ペリクルの脱着の際に、さほど人手がペリクルに接近せず、異物付着が少ない。
【００１１】
しかし、ペリクルを収納したペリクル収納容器を輸送する際には、ペリクルフレーム外側面の穴に挿入したピンの挿入位置を維持し続ける必要がある。このようにピンの挿入位置を維持するには、ピンを更に他のネジ等の締結手段で固定する固定手段、或いはピンを若干テーパー状に形成して嵌め合わせ、その摩擦力で固定する固定手段が考えられる。しかし、ネジ等の締結手段でピンを固定する場合は、ピンを固定する点では確実であるが、発塵の恐れがある。また、ピンを若干テーパー状に形成して摩擦力で固定する場合は、摩擦力を適切な大きさに調節することが難しく、信頼性に欠けるところがある。
【００１２】
本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、容器本体の所定位置に固定された状態のペリクルを蓋体で被覆して異物付着を防止しつつ、輸送中にも前記固定状態を確実に維持でき、且つ蓋体を開いて開封したとき、前記固定状態を簡単に解除してペリクルの取り出しができるペリクル収容容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項１に記載されたペリクル収容容器は、ペリクル膜がペリクルフレームに貼着されたペリクルが載置される容器本体と、前記ペリクルを被覆するように前記容器本体の周縁部で嵌め合い係止される蓋体とから構成されるペリクル収容容器であって、前記容器本体には、載置された前記ペリクルフレームの外側面に形成された凹部に、先端部が挿入された状態で回動可能のピンと、前記ピンを前記凹部から抜き出し可能に装着するピン装着部とを備えたペリクル固定部が複数個設置され、前記ペリクル固定部の各々に、前記ピン装着部に装着されて前記先端部が前記ペリクルフレームの凹部に挿入された前記ピンを所定角度回動し、前記ピンの先端部が前記凹部から抜け出なくするように、前記ピンを保持する保持手段が設けられていることを特徴とする。
【００１４】
請求項２に記載されたペリクル収容容器は、請求項１に記載されたものであって、前記保持手段が、前記ピンに形成されている突起部と、前記ピン装着部に形成され、前記ピンが所定角度回動して前記突起部と係止する切欠部とから構成されることを特徴とする。
【００１５】
請求項３に記載されたペリクル収容容器は、請求項２に記載されたものであって、前記容器本体に載置された前記ペリクルを被覆する前記蓋体の内壁面が、前記ピンの回動を防止するように、前記ピンに形成された前記突起部の一部に当接していることを特徴とする。
【００１６】
請求項４に記載されたペリクル収容容器は、請求項２又は請求項３に記載されたものであって、前記ピンが３０〜１８０度回動したとき、前記ピンの突起部と前記ピン装着部の切欠部とが係止されることを特徴とする。
【００１７】
請求項５に記載されたペリクル収容容器は、請求項１〜４のいずれか一項に記載されたものであって、前記ピンの先端部に、前記ペリクルフレームとの当接の緩衝部材としての弾性体が設けられていることを特徴とする。
【００１８】
請求項６に記載されたペリクル収容容器は、請求項１〜５のいずれか一項に記載されたものであって、前記ピンの後端面に、前記ピンの回動用の工具が挿入される工具用凹部が形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るペリクル収容容器は、簡便な構造でありながらペリクルを容器本体に固定したピンを確実に保持することができ、輸送中にピンが脱落等してペリクルの固定が外れることがなく、且つ収容したペリクルに破損や異物付着のおそれのない信頼性の高いものである。また、蓋体を開いて容器本体に載置されているペリクルを取り出す際には、ピンを所定角度回動してピン装着部から取り外すだけでペリクルを容器本体から取り出すことができる。このように極めて簡便な操作でペリクル収容容器からペリクルの取出しが可能となり、取り出し作業に伴うペリクルへの異物付着のおそれも少ない。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係るペリクル収容容器の一例を示す正面図である。
【図２】図１に示すペリクル収容容器１０の蓋体１４を取り外した状態の正面図である。
【図３】図１に示すペリクル収容容器１０のＸ−Ｘ面での横断面図である。
【図４】図３に示すペリクル収容容器１０のペリクル固定部１８を含む部分の拡大部分断面図である。
【図５】図４に示すピン２８の斜視図である。
【図６】図４に示すピン２８をピン装着部３２に装着する様子を説明する斜視図である。
【図７】ピン装着部に装着したピンを装着孔の摩擦力を利用して保持する比較例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの形態に限定されるものではない。
【００２２】
本発明に係るペリクル収容容器の一例を図１に示す。図１に示すペリクル収容容器１０は、長方形状の容器本体１２と蓋体１４とから成る。かかる蓋体１４を取り外した状態を図２に示す。容器本体１２の中央部に載置されたペリクル１６は、容器本体１２の長辺に沿って形成された平坦面２０，２０に、ペリクル１６の各角部近傍に配置された４個のペリクル固定部１８によって固定されている。
【００２３】
このペリクル１６は、長方形状のアルミニウム等の金属製のペリクルフレーム１６ａに透明なフッ素樹脂等のペリクル膜１６ｂが貼着されているものである。ペリクル１６及びペリクル固定部１８が載置されている容器本体１２は、図１のＸ−Ｘ面での横断面図である図３に示すように、容器本体１２の底部にリブ１２ａ，１２ａを形成して補強されている。かかる容器本体１２と蓋体１４とは、ＡＢＳやアクリル等の合成樹脂シートを真空成型したものが用いられる。真空成型方法は、金型に加熱した樹脂シートを被せ、真空引きするだけで大型容器も容易に成形が可能であるからである。これに対して、一箇所又は数箇所のゲートから金型内に樹脂を高速注入する射出成形方法では、樹脂の流れる距離が長すぎるため、大型容器の製造が困難となる傾向にある。
【００２４】
かかる容器本体１２には、図４に示すようにライナー２２とマスク粘着層２４とを介してペリクル１６が載置されており、ペリクル１６は４個のペリクル固定部１８（図３）によって所定位置に固定されている。このペリクル１６は、図３に示すように、蓋体１４で被覆されてペリクリル収容容器１０内に収容されている。容器本体１２と蓋体１４とは、その周縁部で嵌め合って係止されている。また、ペリクル固定部１８は、図４に示すように、容器本体１２の所定位置に載置されたペリクルフレーム１６ａの側面に開口された凹部２６に先端部２８ａが挿入された状態で回動可能のピン２８と、ピン２８を凹部２６から抜き出し可能に装着するピン装着部３２とを具備する。かかるピン２８は、図５に示すように、先端部２８ａ，中間部２８ｂ、後端部２８ｃとから形成され、中間部２８ｂと後端部２８ｃとの間に、ピン２８の保持手段を構成する突起部３０が形成されている。突起部３０は、先端部が先細状の傾斜面に形成されている。ピン２８の後端部２８ｃは、ピン２８に回動等を施す操作部であって、先端部２８ａ及び中間部２８ｂよりも太く形成されている。この後端部２８ｃの端面には、ピン２８の回動用の工具が挿入される工具用凹部３６が形成されている。
【００２５】
図５に示すピン２８の工具用凹部３６は、六角レンチの先端部を挿入できるように六角形に形成されている。更に、ピン２８の中間部２８ｂは、先端部２８ａよりも太く形成されており、ピン２８の先端部２８ａと中間部２８ｂとの境界に段差２８ｅが形成されている。この段差２８ｅが、ペリクルフレーム１６ａの側面と当接する。かかる段差２８ｅとペリクルフレーム１６ａの側面と当接を緩和する緩衝部材として、段差２８ｅにリング状の弾性体３４が装着されている。弾性体３４としては、ニトリルゴム、エチレンプロプレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等のゴムを利用できる。
【００２６】
かかるピン２８が装着自在に装着されるピン装着部３２は、図４に示すように、容器本体１２の平坦面２０にネジ等の締結手段（図示せず）で取り付けられるものである。かかるピン装着部３２は、図６（ａ）に示すように、四面体であって、ピン２８に形成された突起部３０及び後端部２８ｃが挿入されるＵ字溝３２ａの一端が四面体の一面側に開口されている。このＵ字溝３２ａの他端は、四面体の中央部近傍に形成された四角形状の切欠部３２ｂの内壁面の一面側に開口されている。かかる切欠部３２ｂは、突起部３０と保持手段を構成し、ピン２８の中間部２８ｂと後端部２８ｃとの間に形成された突起部３０が回動可能に挿入される。更に、切欠部３２ｂの内壁面であって、Ｕ字溝３２ａの他端が開口された一面側に対応する他面側には、ピン２８の先端部２８ａ及び中間部２８ｂの一部が挿通される孔３２ｃが開口されている。
【００２７】
かかるピン装着部３２には、図６（ａ）に示すように、段差２８ｅに弾性体３４を挿入したピン２８を装着する。ピン２８は、ピン装着部３２の孔３２ｃにピン２８の先端部２８ａ及び中間部２８ｂを挿入しつつ、ピン２８の突起部３０をＵ字溝３２ａから切欠部３２ｂに挿入すると共に、後端部２８ｃをＵ字溝３２ａに挿入する。ピン装着部３２にピン２８を装着したとき、図６（ｂ）に示すように、ピン２８の先端部２８ａと中間部２８ｂの一部がピン装着部３２から突出する。かかる図６（ｂ）に示す状態のピン２８は、ピン装着部３２のＵ字溝３２ａ及び切欠部３２ｂから引き抜くことができる。このため、ピン２８を図６（ｂ）に示す矢印の方向にピン２８を回動する。かかるピン２８の回動によって、突起部３０も回動し、図６（ｃ）に示すように、突起部３０と切欠部３２ｂの内壁面とが係止される。かかる突起部３０と切欠部３２ｂとの係止によって、ピン２８はピン装着部３２に保持されて引き抜くことができなくなる。
【００２８】
一方、図６（ｃ）に示す突起部３０と切欠部３２ｂとの係止を解除する際には、ピン２８を図６（ｂ）に示す矢印と反対方向に回動することによって、図６（ｂ）に示すように、突起部３０と切欠部３２ｂの内壁面との係止を解除でき、ピン２８はピン装着部３２から簡単に抜き出すことができる。かかる突起部３０と切欠部３２ｂとの係止又はその解除のためのピン２８の回動角は、操作性や係止の確実性の観点等から３０〜１８０度、特に４５〜９０度の範囲とすることが好ましい。このピン２８の回動は、ピン２８の後端部２８ｃの端面に形成した工具用凹部３６に六角レンチの先端部を挿入して行うことが好ましい。
【００２９】
図６（ｃ）に示すように、ピン２８が保持されたピン装着部３２を、容器本体１２に載置されるペリクル１６を固定するペリクル固定部１８として容器本体１２の長辺に沿って形成された平坦面２０の所定箇所に取り付ける。この際に、ペリクル固定部１８は、そのピン２８の先端部２８ａが、図４に示すように、ペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入される位置とする。かかる取り付けは、ネジ等の締結手段で行う。この締結手段としては、ピン装着部３２中に金属のインサート部品などでメスネジ部を設け、容器本体１２の外側からボルト固定することが、ペリクル収容容器１０内に、ネジ等の部品が露出することがなく、クリーン度維持の点から好適である。更に、ボルト固定は、樹脂ワッシャ等を介して固定するのが好ましく、特に、ピン装着部３２を容器本体１２に固定した後、更に樹脂部品同士の接線部を有機溶剤などで溶解して接着することが発塵防止の点から好ましい。
【００３０】
ところで、ペリクル固定部１８が、図６（ｃ）に示すように、突起部３０と切欠部３２ｂとが係止している状態でも、輸送中の振動等によってピン２８が回動して突起部３０と切欠部３２ｂとの係止が解除されるおそれがある。かかるピン２８の回動は、図４に示すように、蓋体１４の内壁面が、切欠部３２ｂと係止している突起部３０の一部に当接するようにペリクル１６を被覆することによって防止できる。この場合でも、蓋体１４を取り外すことによって、切欠部３２ｂと突起部３０との係止を解除できるようにピン２８を回動できる。
【００３１】
図１〜図６に示すピン２８は、樹脂を射出成型、トランスファー成型等で一体成型で製作できる。材質としては、エポキシ樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリルニトリルブタジエンスチレン樹脂）、ＰＰＳ樹脂（ポリフェニレンスルファイド樹脂）、ＰＥ樹脂（ポリエチレン樹脂）、ＰＥＥＫ樹脂（ポリエーテルエーテルケトン樹脂）等を用いることができ、必要に応じてガラス繊維などのフィラーなどを混入して強度を向上させることも好ましい。かかるピン２８を装着するピン装着部３２は、樹脂を射出成型、トランスファー成型等で一体成型で製作できる。材質としては、エポキシ樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリルニトリルブタジエンスチレン樹脂）、ＰＰＳ樹脂（ポリフェニレンスルファイド樹脂）、ＰＥ樹脂（ポリエチレン樹脂）、ＰＥＥＫ樹脂（ポリエーテルエーテルケトン樹脂）等を用いることができる。
【００３２】
図１〜図６に示すペリクル収容容器１０によれば、ペリクル固定部１８を構成するピン装着部３２に装着したピン２８の先端部２８ａを、容器本体１２に載置したペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入した後、ピン２８を回動することによって、ペリクル１６を容器本体１２に確実に保持できる。更に、ピン装着部３２と係止しているピン２８の突起部３０の一部は、容器本体１２に被着した蓋体１４の内壁面に当接しているため、輸送中の振動等によってピン２８が回動することを防止でき、輸送中にピン２８が脱落等してペリクル１６の固定が外れることを確実に防止できる。かかるペリクル収容容器１０は、収容したペリクル１６に破損や異物付着のおそれのない信頼性の高いものである。また、蓋体１４を開いて容器本体１２に載置されているペリクル１６を取り出す際には、ピン２８を所定角度回動してピン装着部３２から抜き出すだけでペリクル１６を容器本体１２から取り出すことができる。このため、ペリクル収容容器１０は、そのペリクル１６の取出し作業も簡単である。
【００３３】
図１〜図６に示すペリクル収容容器１０では、ペリクル１６を、容器本体１２の長辺に沿って形成された平坦面２０，２０に、ペリクル１６の各角部近傍に配置された４個のペリクル固定部１８によって固定しているが、４個以上のペリクル固定部１８を設けてもよい。また、ペリクル固定部１８の配設は、容器本体１２の短辺に沿って配設してもよく、長辺及び短辺の各辺に沿って配設してもよい。
【実施例１】
【００３４】
以下、本発明の実施例を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００３５】
（実施例１）
帯電防止ＡＢＳ樹脂製のシート材を用い、真空成型法により図１及び図２に示す形状の容器本体１２及び蓋体１４を製作した。容器本体１２と蓋体１４とは、その周縁部で嵌め合って係止されて、図１に示すペリクル収容容器１０を形成する。このペリクル収容容器１０の大きさは、外形８９０×６９０ｍｍ、高さ７０ｍｍである。成形に使用したシート材は、蓋体１４用としては透明の３ｍｍのものであり、容器本体１２用としては黒色の５ｍｍのものである。
【００３６】
更に、射出成型によって、ＡＢＳ樹脂を用いて図６に示すピン装着部３２と、ＰＰＳ樹脂を用いて図５に示すピン２８を製作した。ピン２８は、先端部２８ａ，中間部２８ｂ、後端部２８ｃとから形成され、中間部２８ｂと後端部２８ｃとの間に、ピン２８の保持手段を構成する突起部３０が形成されている。突起部３０は、先端部が先細状の傾斜面に形成されている。ピン２８の後端部２８ｃは、ピン２８に回動等を施す操作部であり、先端部２８ａ及び中間部２８ｂよりも太く形成されている。この後端部２８ｃの端面には、ピン２８の回動用の六角レンチの先端部が挿入される工具用凹部３６が形成されている。かかるピン２８において、中間部２８ｂは先端部２８ａよりも太く形成されており、ピン２８の先端部２８ａと中間部２８ｂとの境界に段差２８ｅが形成されている。
【００３７】
また、ピン装着部３２は、四面体であって、ピン２８の突起部３０及び後端部２８ｃが挿入されるＵ字溝３２ａの一端が四面体の一面側に開口されている。このＵ字溝３２ａの他端は、四面体の中央部近傍に形成された四角形状の切欠部３２ｂの内壁面の一面側に開口されている。かかる切欠部３２ｂは、ピン２８の突起部３０と保持手段を構成し、ピン２８の中間部２８ｂと後端部２８ｃとの間に形成された突起部３０が回動可能に挿入される。更に、切欠部３２ｂの内壁面であって、Ｕ字溝３２ａの他端が開口された一面側に対応する他面側には、ピン２８の先端部２８ａ及び中間部２８ｂが挿通される孔３２ｃが開口されている。かかるピン装着部３２の下面側には、横銅製のインサートナット（図示せず）を４箇所設けた。
【００３８】
次いで、図６（ａ）に示すように、ピン２８をピン装着部３２に挿入し、図６（ｂ）に示すように、ピン２８の突起部３０をピン装着部３２の切欠部３２ｂに挿入した。更に、ピン２８の後端部２８ｃを右方向に４５度回動し、図６（ｃ）に示すように、突起部３０と切欠部３２ｂの内壁面とが係止される。この際に、突起部３０の傾斜面が水平となるようにした。更に、ピン装着部３２から突出している先端部２８ａと中間部２８ｂとの境界の段差２８ｅに、厚さ０．５ｍｍのフッ素ゴム製のリング状弾性体３４を取り付けてペリクル固定部１８を形成した。かかるペリクル固定部１８を容器本体１２の平坦面２０の所定箇所に載置し、図４に示すようにピン２８の先端部２８ａがペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入される位置に取り付けた。この取り付けは、容器本体１２の外側からステンレス製六角穴付きボルト（図示せず）を用いて行った。その際に、ＰＯＭ製の樹脂プレート（厚さ１．５ｍｍ）を挟み込み、シール性を高めるようにした。このようにして形成したペリクル収容容器１０をＣｌａｓｓ１０のクリーンルームに搬入し、界面活性剤と純水で良く洗浄した後、完全に乾燥させた。尚、ピン２８の突起部３０は、図６（ｃ）に示すように、ピン２８を回動して突起部３０と切欠部３２ｂの内壁面とを係止したとき、水平となった傾斜面は、蓋体１４を容器本体１２に被着した際に、蓋体１４の内壁面に接触するようにした。
【００３９】
このクリーンルーム内において、ペリクル収容容器１０とは別に、外寸７９７ｍｍ×４７４ｍｍ、内寸７８９ｍｍ×４５６ｍｍ、高さ５．９ｍｍのペリクル１６を製作した。このペリクル１６には、アルミ合金製のペリクルフレーム１６ａ（厚さ４．８ｍｍ）、マスク粘着剤及びペリクル膜接着剤としてシリコーン粘着剤、ペリクル膜１６ｂとして厚さ３μｍのフッ素樹脂を用いた。また、ペリクルフレーム１６ａの各長辺には、７１０ｍｍの間隔で直径２．５ｍｍ×深さ１．８ｍｍの凹部２６を２個所、各短辺にはハンドリングのため幅１．５ｍｍ、深さ２．３ｍｍの溝（図示せず）を設けた。このペリクル１６を暗室内での集光ランプによる異物検査のうえ、ペリクル収容容器１０に収納した。この際に、容器本体１２に設けたペリクル固定部１８のピン２８の先端部をペリクルフレーム１６ａの凹部２６挿入した後、図６（ｃ）に示すように、ピン２８を回動してペリクル１６を容器本体１２に固定し、蓋体１４を被着した。更に、蓋体１４と容器本体１２との周縁部を幅３５ｍｍのＰＶＣ製粘着テープ（図示せず）で貼り付け固定してから、ウレタン製クリップ（図示せず）を各長辺に２箇所ずつ取り付けた。そして、最後に、内部を清浄にクリーニングした帯電防止ＰＥ製袋にて２重に梱包し、内部にクッション材を配した強化ダンボール製梱包箱（図示ぜず）に収納した。
【００４０】
このようにペリクル収容容器１０を梱包した強化ダンボール製梱包箱を、群馬から福岡まで（群馬県⇔東京はトラック、東京⇔福岡間は航空機）を往復させる輸送テストを行った。輸送後のペリクル収容容器１０をクリーンルームに搬入し、内部の確認を行った。ピン２８はピン装着部３２に確実に保持され、その先端部２８ａもペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入されたままで、ペリクル１６は確実に容器本体１２に固定されていた。そのままの状態で、集光ランプを照射して容器本体１２上の発塵状況を確認したが、ペリクル固定部１８付近及び容器本体１０上に異物の発生は見られなかった。更に、ピン２８の工具用凹部３６に六角レンチを挿入し、ピン２８を回動して突起部３０と切欠部３２ｂとの係止を解除した。次いで、ペリクル１６を容器本体１２から取り出して暗室内に搬送し、集光ランプによりペリクル１６の表面に付着した異物の検査を行った。その結果、ペリクル１６に異物の付着は全く見られず、極めて清浄な状態が維持されていた。
【００４１】
（比較例１）
図７に示すペリクル固定部１００を製作した。図７に示すペリクル固定部１００を構成するピン１０２は、ＰＰＳ樹脂製の円柱状部材によって形成されており、先端部１０２ａ、中間部１０２ｂ及び後端部１０２ｃから成る。太さは、先端部１０２ａ＜中間部１０２ｂ＜後端部１０２ｃの順序であり、先端部１０２ａと中間部１０２ｂとの境界に段差が形成されており、フッ素ゴム製のリング状の弾性体１０６が装着されている。かかるピン１０２には、図５に示すピン２８に形成されていた突起部３０は形成されていない。このピン１０２が装着されるピン装着部１０４は、ＡＢＳ樹脂を用いて射出成型によって形成した。ピン装着部１０４は、ピン２８の先端部１０２ａ及び中間部１０２ｂの一部が通過可能であって、中間部１０２ｂの残部及び後端部１０２ｃが挿入される貫通孔１０８が形成されている。かかるピン装着部１０４には、図６（ａ）に示すピン装着部３２のように、Ｕ字溝３２ａ及び切欠部３２ｂは形成されていない。このため、ピン装着部１０４では、貫通孔１０８に挿入したピン１０２が、その外壁面と貫通孔１０８の内壁面との摩擦力でピン２８が固定されるように、貫通孔１０８の内径がピン１０２の挿入方向に次第に小径に形成されている。このように図７に示すペリクル固定部１００は、ピン装着部１０４の貫通孔１０８に、摩擦力でピン１０２が固定される。
【００４２】
図７に示すペリクル固定部１００を実施例１と同様にして容器本体１２に取り付けた。次いで、容器本体１２に載置したペリクル１６のペリクルフレーム１６ａの凹部２６に、ペリクル固定部１００を構成するピン１０２の先端部１０２ａを挿入し、ペリクル１６を容器本体１２に固定した。更に、容器本体１２に蓋体１４を被着してペリクル１６を収容したペリクル収容容器１０を形成した。その後、実施例１と同様にして、ペリクル収容容器１０を梱包し輸送試験を行った。
【００４３】
輸送後のペリクル収容容器１０をクリーンルームに搬入し、内部の確認を行った。すると、ペリクル１６は容器本体１２上に留まっていたが、４箇所のペリクル固定部１００のうち、１箇所でピン１０２がピン装着部１０４から抜け掛かっているのが確認された。また、その先端部１０４ａもペリクルフレーム１６ａの凹部２６から抜けており、先端部１０４ａがペリクルフレーム１６ａの外面に擦れて直径数十μｍの異物が数十個付着していた。また、そのままの状態で、集光ランプを照射して容器本体１２上の発塵状況を確認したところ、抜けかかっていたペリクル固定部１００と対向するペリクル固定部１００の周辺でも異物の付着が見られた。更に、ピン１０２について、ニトリル製グローブをした手でピン装着部１０４より注意深く引き抜き、ペリクル１６を暗室内に搬送して集光ランプにより表面に付着した異物の検査を行った。その結果、ペリクル膜１６ｂ上に直径１０〜２０μｍ程度の異物が１２個付着していた。また、それらのうち約半数はペリクル固定部１００の周辺に分布していた。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明に係るペリクル収容容器は、半導体装置用のペリクルの収容容器として用いることができ、半導体装置用のペリクルよりも大型の液晶用のペリクルの収容容器として用いることができる。
【符号の説明】
【００４５】
１０はペリクル収容容器、１２は容器本体、１２ａはリブ、１４は蓋体、１６はペリクル、１６ａはペリクルフレーム、１６ｂはペリクル膜、１８，１００はペリクル固定部、２０は平坦面、２２はライナー、２４はマスク粘着層、２６は凹部、２８，１０２はピン、２８ａ，１０２ａは先端部、２８ｂ、１０２ｂは中間部、２８ｃ、１０２ｃは後端部、２８ｅは段差、３０は突起部、３２，１０４はピン装着部、３２ａはＵ字溝、３２ｂは切欠部、３２ｃは孔、３４，１０６は弾性体、３６は工具用凹部、１０８は貫通孔である。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス、プリント基板或いは液晶ディバイスディスプレイ等の製造に使用される、ペリクル膜がペリクルフレームに貼着されたペリクルを収容するペリクル収容容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩや超ＬＳＩ等の半導体製造或は液晶ディスプレイ等の製造において、半導体ウエハー或いは液晶用原板に光を照射してパターンを作製するリソグラフィーの作業が行われる。この際に、フォトマスク或いはレチクルにゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジががさついたものとなる他、下地が黒く汚れたりする等の現象が発生することがある。かかる作業は通常クリーンルームで行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことが難しいため、透明なペリクル膜がペリクルフレームに貼着されたペリクルが使用されている。このペリクルをフォトマスク上に載置して露光を行うことにより、異物はフォトマスクの表面には直接付着せず、ペリクル膜上に付着するため、リソグラフィーの際に、焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル膜上の異物は転写に無関係となる。
【０００３】
かかるペリクルは、それ自体に異物が付着すると、フォトマスクへの異物付着にも繋がるため、高い清浄性が求められる。このため、その保管や輸送の際には、ペリクル収容容器が用いられる。かかるペリクル収容容器或いはペリクルの収容方法として、例えば下記特許文献１、２、３に記載されているものがある。具体的には、特許文献１に、硬質樹脂製の容器本体の内底部にペリクル枠の他側面を密接載置するようになっていて、容器本体の内底部に、内底部上に載置されたペリクル枠を周囲から保持する複数の支持体を点在して立設し、さらに、容器本体上を硬質樹脂製の蓋体で開閉自在に覆い、この蓋体は、閉蓋時に内底部上に載置されたペリクル枠の前記一側面に当接する当接部をその内面に有するペリクル用容器が記載されている。
【０００４】
特許文献２に、枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下面に粘着された保護フィルムからなる大型ペリクルをトレイと蓋とよりなるケースに収納する方法に於いて、前記大型ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させて押え代を形成し、かつ該押え代を粘着テープを介して該トレイに固定して大型ペリクルをケース内に収納することが記載されている。
【０００５】
特許文献３に、ペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆すると共に容器本体と互いに周縁部で嵌合係止する蓋体と、前記容器本体に接合されている金属部品と、ペリクルフレームの互いに平行な一組の辺のそれぞれの外側面に少なくとも１つ設けられた合計３つ以上の穴にそれぞれ挿入される同数のフレーム保持ピンと、前記フレーム保持ピンを位置決めする位置決め部品と、からなるペリクル収納容器において、前記位置決め部品は前記金属部品に機械的に固定されているペリクル収納容器が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】実公平６−４５９６５号公報
【特許文献２】特開２００４−３６１６４７号公報
【特許文献３】特許第４３９１４３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載されたペリクル用容器は、射出成型で形成でき、部品点数が少ないという利点があり、半導体用ペリクルの収納用として使用できる。しかし、このペリクル用容器は、蓋体及び容器本体のどちらも高精度で成形されている必要があるため、辺長が５００ｍｍを超えるような液晶用ペリクルの収納用としては使用されない。このような大型の容器を真空成型では精度良く形成できないことに加え、容器自体の剛性確保が難しい。
【０００８】
このため、容器の取扱い時や搬送時に容器の変形が惹起され、容器とペリクルフレームとの擦れが生じて発塵し、品質の低下を招き易いからである。かかる辺長が５００ｍｍを越えるような大型のペリクルの収納容器としては、特許文献２に記載されているように、マスク粘着層を保護するライナーの一部を外側に突出させ、粘着テープにより容器本体に固定すること、或いは特許文献３に記載されているように、ペリクルフレーム外側面に設けた凹部にピンを挿入して容器本体に固定することにより、ペリクルを容器本体に確実に固定できる方法が提案されている。
【０００９】
しかしながら、特許文献２のように、ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させた押え代を粘着テープで容器本体に貼付固定する場合、その作業は人手で行わざるを得ず、清浄な状態でトレイ上に固定するのが難しい。更に、粘着テープを剥がして取り出す際に、人手がペリクルフレーム付近に接近して異物付着の懸念がある。
【００１０】
一方、特許文献３のように、ペリクルフレーム外側面の穴にピンを挿脱してペリクルを容器本体に着脱する場合、ペリクルの脱着の際に、さほど人手がペリクルに接近せず、異物付着が少ない。
【００１１】
しかし、ペリクルを収納したペリクル収納容器を輸送する際には、ペリクルフレーム外側面の穴に挿入したピンの挿入位置を維持し続ける必要がある。このようにピンの挿入位置を維持するには、ピンを更に他のネジ等の締結手段で固定する固定手段、或いはピンを若干テーパー状に形成して嵌め合わせ、その摩擦力で固定する固定手段が考えられる。しかし、ネジ等の締結手段でピンを固定する場合は、ピンを固定する点では確実であるが、発塵の恐れがある。また、ピンを若干テーパー状に形成して摩擦力で固定する場合は、摩擦力を適切な大きさに調節することが難しく、信頼性に欠けるところがある。
【００１２】
本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、容器本体の所定位置に固定された状態のペリクルを蓋体で被覆して異物付着を防止しつつ、輸送中にも前記固定状態を確実に維持でき、且つ蓋体を開いて開封したとき、前記固定状態を簡単に解除してペリクルの取り出しができるペリクル収容容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項１に記載されたペリクル収容容器は、ペリクル膜がペリクルフレームに貼着されたペリクルが載置される容器本体と、前記ペリクルを被覆するように前記容器本体の周縁部で嵌め合い係止される蓋体とから構成されるペリクル収容容器であって、前記容器本体には、載置された前記ペリクルフレームの外側面に形成された凹部に、先端部が挿入された状態で回動可能のピンと、前記ピンを前記凹部から抜き出し可能に装着するピン装着部とを備えたペリクル固定部が複数個設置され、前記ペリクル固定部の各々に、前記ピン装着部に装着されて前記先端部が前記ペリクルフレームの凹部に挿入された前記ピンを所定角度回動し、前記ピンの先端部が前記凹部から抜け出なくするように、前記ピンを保持する保持手段が設けられていることを特徴とする。
【００１４】
請求項２に記載されたペリクル収容容器は、請求項１に記載されたものであって、前記保持手段が、前記ピンに形成されている突起部と、前記ピン装着部に形成され、前記ピンが所定角度回動して前記突起部と係止する切欠部とから構成されることを特徴とする。
【００１５】
請求項３に記載されたペリクル収容容器は、請求項２に記載されたものであって、前記容器本体に載置された前記ペリクルを被覆する前記蓋体の内壁面が、前記ピンの回動を防止するように、前記ピンに形成された前記突起部の一部に当接していることを特徴とする。
【００１６】
請求項４に記載されたペリクル収容容器は、請求項２又は請求項３に記載されたものであって、前記ピンが３０〜１８０度回動したとき、前記ピンの突起部と前記ピン装着部の切欠部とが係止されることを特徴とする。
【００１７】
請求項５に記載されたペリクル収容容器は、請求項１〜４のいずれか一項に記載されたものであって、前記ピンの先端部に、前記ペリクルフレームとの当接の緩衝部材としての弾性体が設けられていることを特徴とする。
【００１８】
請求項６に記載されたペリクル収容容器は、請求項１〜５のいずれか一項に記載されたものであって、前記ピンの後端面に、前記ピンの回動用の工具が挿入される工具用凹部が形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るペリクル収容容器は、簡便な構造でありながらペリクルを容器本体に固定したピンを確実に保持することができ、輸送中にピンが脱落等してペリクルの固定が外れることがなく、且つ収容したペリクルに破損や異物付着のおそれのない信頼性の高いものである。また、蓋体を開いて容器本体に載置されているペリクルを取り出す際には、ピンを所定角度回動してピン装着部から取り外すだけでペリクルを容器本体から取り出すことができる。このように極めて簡便な操作でペリクル収容容器からペリクルの取出しが可能となり、取り出し作業に伴うペリクルへの異物付着のおそれも少ない。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係るペリクル収容容器の一例を示す正面図である。
【図２】図１に示すペリクル収容容器１０の蓋体１４を取り外した状態の正面図である。
【図３】図１に示すペリクル収容容器１０のＸ−Ｘ面での横断面図である。
【図４】図３に示すペリクル収容容器１０のペリクル固定部１８を含む部分の拡大部分断面図である。
【図５】図４に示すピン２８の斜視図である。
【図６】図４に示すピン２８をピン装着部３２に装着する様子を説明する斜視図である。
【図７】ピン装着部に装着したピンを装着孔の摩擦力を利用して保持する比較例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの形態に限定されるものではない。
【００２２】
本発明に係るペリクル収容容器の一例を図１に示す。図１に示すペリクル収容容器１０は、長方形状の容器本体１２と蓋体１４とから成る。かかる蓋体１４を取り外した状態を図２に示す。容器本体１２の中央部に載置されたペリクル１６は、容器本体１２の長辺に沿って形成された平坦面２０，２０に、ペリクル１６の各角部近傍に配置された４個のペリクル固定部１８によって固定されている。
【００２３】
このペリクル１６は、長方形状のアルミニウム等の金属製のペリクルフレーム１６ａに透明なフッ素樹脂等のペリクル膜１６ｂが貼着されているものである。ペリクル１６及びペリクル固定部１８が載置されている容器本体１２は、図１のＸ−Ｘ面での横断面図である図３に示すように、容器本体１２の底部にリブ１２ａ，１２ａを形成して補強されている。かかる容器本体１２と蓋体１４とは、ＡＢＳやアクリル等の合成樹脂シートを真空成型したものが用いられる。真空成型方法は、金型に加熱した樹脂シートを被せ、真空引きするだけで大型容器も容易に成形が可能であるからである。これに対して、一箇所又は数箇所のゲートから金型内に樹脂を高速注入する射出成形方法では、樹脂の流れる距離が長すぎるため、大型容器の製造が困難となる傾向にある。
【００２４】
かかる容器本体１２には、図４に示すようにライナー２２とマスク粘着層２４とを介してペリクル１６が載置されており、ペリクル１６は４個のペリクル固定部１８（図３）によって所定位置に固定されている。このペリクル１６は、図３に示すように、蓋体１４で被覆されてペリクリル収容容器１０内に収容されている。容器本体１２と蓋体１４とは、その周縁部で嵌め合って係止されている。また、ペリクル固定部１８は、図４に示すように、容器本体１２の所定位置に載置されたペリクルフレーム１６ａの側面に開口された凹部２６に先端部２８ａが挿入された状態で回動可能のピン２８と、ピン２８を凹部２６から抜き出し可能に装着するピン装着部３２とを具備する。かかるピン２８は、図５に示すように、先端部２８ａ，中間部２８ｂ、後端部２８ｃとから形成され、中間部２８ｂと後端部２８ｃとの間に、ピン２８の保持手段を構成する突起部３０が形成されている。突起部３０は、先端部が先細状の傾斜面に形成されている。ピン２８の後端部２８ｃは、ピン２８に回動等を施す操作部であって、先端部２８ａ及び中間部２８ｂよりも太く形成されている。この後端部２８ｃの端面には、ピン２８の回動用の工具が挿入される工具用凹部３６が形成されている。
【００２５】
図５に示すピン２８の工具用凹部３６は、六角レンチの先端部を挿入できるように六角形に形成されている。更に、ピン２８の中間部２８ｂは、先端部２８ａよりも太く形成されており、ピン２８の先端部２８ａと中間部２８ｂとの境界に段差２８ｅが形成されている。この段差２８ｅが、ペリクルフレーム１６ａの側面と当接する。かかる段差２８ｅとペリクルフレーム１６ａの側面と当接を緩和する緩衝部材として、段差２８ｅにリング状の弾性体３４が装着されている。弾性体３４としては、ニトリルゴム、エチレンプロプレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等のゴムを利用できる。
【００２６】
かかるピン２８が装着自在に装着されるピン装着部３２は、図４に示すように、容器本体１２の平坦面２０にネジ等の締結手段（図示せず）で取り付けられるものである。かかるピン装着部３２は、図６（ａ）に示すように、四面体であって、ピン２８に形成された突起部３０及び後端部２８ｃが挿入されるＵ字溝３２ａの一端が四面体の一面側に開口されている。このＵ字溝３２ａの他端は、四面体の中央部近傍に形成された四角形状の切欠部３２ｂの内壁面の一面側に開口されている。かかる切欠部３２ｂは、突起部３０と保持手段を構成し、ピン２８の中間部２８ｂと後端部２８ｃとの間に形成された突起部３０が回動可能に挿入される。更に、切欠部３２ｂの内壁面であって、Ｕ字溝３２ａの他端が開口された一面側に対応する他面側には、ピン２８の先端部２８ａ及び中間部２８ｂの一部が挿通される孔３２ｃが開口されている。
【００２７】
かかるピン装着部３２には、図６（ａ）に示すように、段差２８ｅに弾性体３４を挿入したピン２８を装着する。ピン２８は、ピン装着部３２の孔３２ｃにピン２８の先端部２８ａ及び中間部２８ｂを挿入しつつ、ピン２８の突起部３０をＵ字溝３２ａから切欠部３２ｂに挿入すると共に、後端部２８ｃをＵ字溝３２ａに挿入する。ピン装着部３２にピン２８を装着したとき、図６（ｂ）に示すように、ピン２８の先端部２８ａと中間部２８ｂの一部がピン装着部３２から突出する。かかる図６（ｂ）に示す状態のピン２８は、ピン装着部３２のＵ字溝３２ａ及び切欠部３２ｂから引き抜くことができる。このため、ピン２８を図６（ｂ）に示す矢印の方向にピン２８を回動する。かかるピン２８の回動によって、突起部３０も回動し、図６（ｃ）に示すように、突起部３０と切欠部３２ｂの内壁面とが係止される。かかる突起部３０と切欠部３２ｂとの係止によって、ピン２８はピン装着部３２に保持されて引き抜くことができなくなる。
【００２８】
一方、図６（ｃ）に示す突起部３０と切欠部３２ｂとの係止を解除する際には、ピン２８を図６（ｂ）に示す矢印と反対方向に回動することによって、図６（ｂ）に示すように、突起部３０と切欠部３２ｂの内壁面との係止を解除でき、ピン２８はピン装着部３２から簡単に抜き出すことができる。かかる突起部３０と切欠部３２ｂとの係止又はその解除のためのピン２８の回動角は、操作性や係止の確実性の観点等から３０〜１８０度、特に４５〜９０度の範囲とすることが好ましい。このピン２８の回動は、ピン２８の後端部２８ｃの端面に形成した工具用凹部３６に六角レンチの先端部を挿入して行うことが好ましい。
【００２９】
図６（ｃ）に示すように、ピン２８が保持されたピン装着部３２を、容器本体１２に載置されるペリクル１６を固定するペリクル固定部１８として容器本体１２の長辺に沿って形成された平坦面２０の所定箇所に取り付ける。この際に、ペリクル固定部１８は、そのピン２８の先端部２８ａが、図４に示すように、ペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入される位置とする。かかる取り付けは、ネジ等の締結手段で行う。この締結手段としては、ピン装着部３２中に金属のインサート部品などでメスネジ部を設け、容器本体１２の外側からボルト固定することが、ペリクル収容容器１０内に、ネジ等の部品が露出することがなく、クリーン度維持の点から好適である。更に、ボルト固定は、樹脂ワッシャ等を介して固定するのが好ましく、特に、ピン装着部３２を容器本体１２に固定した後、更に樹脂部品同士の接線部を有機溶剤などで溶解して接着することが発塵防止の点から好ましい。
【００３０】
ところで、ペリクル固定部１８が、図６（ｃ）に示すように、突起部３０と切欠部３２ｂとが係止している状態でも、輸送中の振動等によってピン２８が回動して突起部３０と切欠部３２ｂとの係止が解除されるおそれがある。かかるピン２８の回動は、図４に示すように、蓋体１４の内壁面が、切欠部３２ｂと係止している突起部３０の一部に当接するようにペリクル１６を被覆することによって防止できる。この場合でも、蓋体１４を取り外すことによって、切欠部３２ｂと突起部３０との係止を解除できるようにピン２８を回動できる。
【００３１】
図１〜図６に示すピン２８は、樹脂を射出成型、トランスファー成型等で一体成型で製作できる。材質としては、エポキシ樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリルニトリルブタジエンスチレン樹脂）、ＰＰＳ樹脂（ポリフェニレンスルファイド樹脂）、ＰＥ樹脂（ポリエチレン樹脂）、ＰＥＥＫ樹脂（ポリエーテルエーテルケトン樹脂）等を用いることができ、必要に応じてガラス繊維などのフィラーなどを混入して強度を向上させることも好ましい。かかるピン２８を装着するピン装着部３２は、樹脂を射出成型、トランスファー成型等で一体成型で製作できる。材質としては、エポキシ樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリルニトリルブタジエンスチレン樹脂）、ＰＰＳ樹脂（ポリフェニレンスルファイド樹脂）、ＰＥ樹脂（ポリエチレン樹脂）、ＰＥＥＫ樹脂（ポリエーテルエーテルケトン樹脂）等を用いることができる。
【００３２】
図１〜図６に示すペリクル収容容器１０によれば、ペリクル固定部１８を構成するピン装着部３２に装着したピン２８の先端部２８ａを、容器本体１２に載置したペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入した後、ピン２８を回動することによって、ペリクル１６を容器本体１２に確実に保持できる。更に、ピン装着部３２と係止しているピン２８の突起部３０の一部は、容器本体１２に被着した蓋体１４の内壁面に当接しているため、輸送中の振動等によってピン２８が回動することを防止でき、輸送中にピン２８が脱落等してペリクル１６の固定が外れることを確実に防止できる。かかるペリクル収容容器１０は、収容したペリクル１６に破損や異物付着のおそれのない信頼性の高いものである。また、蓋体１４を開いて容器本体１２に載置されているペリクル１６を取り出す際には、ピン２８を所定角度回動してピン装着部３２から抜き出すだけでペリクル１６を容器本体１２から取り出すことができる。このため、ペリクル収容容器１０は、そのペリクル１６の取出し作業も簡単である。
【００３３】
図１〜図６に示すペリクル収容容器１０では、ペリクル１６を、容器本体１２の長辺に沿って形成された平坦面２０，２０に、ペリクル１６の各角部近傍に配置された４個のペリクル固定部１８によって固定しているが、４個以上のペリクル固定部１８を設けてもよい。また、ペリクル固定部１８の配設は、容器本体１２の短辺に沿って配設してもよく、長辺及び短辺の各辺に沿って配設してもよい。
【実施例１】
【００３４】
以下、本発明の実施例を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００３５】
（実施例１）
帯電防止ＡＢＳ樹脂製のシート材を用い、真空成型法により図１及び図２に示す形状の容器本体１２及び蓋体１４を製作した。容器本体１２と蓋体１４とは、その周縁部で嵌め合って係止されて、図１に示すペリクル収容容器１０を形成する。このペリクル収容容器１０の大きさは、外形８９０×６９０ｍｍ、高さ７０ｍｍである。成形に使用したシート材は、蓋体１４用としては透明の３ｍｍのものであり、容器本体１２用としては黒色の５ｍｍのものである。
【００３６】
更に、射出成型によって、ＡＢＳ樹脂を用いて図６に示すピン装着部３２と、ＰＰＳ樹脂を用いて図５に示すピン２８を製作した。ピン２８は、先端部２８ａ，中間部２８ｂ、後端部２８ｃとから形成され、中間部２８ｂと後端部２８ｃとの間に、ピン２８の保持手段を構成する突起部３０が形成されている。突起部３０は、先端部が先細状の傾斜面に形成されている。ピン２８の後端部２８ｃは、ピン２８に回動等を施す操作部であり、先端部２８ａ及び中間部２８ｂよりも太く形成されている。この後端部２８ｃの端面には、ピン２８の回動用の六角レンチの先端部が挿入される工具用凹部３６が形成されている。かかるピン２８において、中間部２８ｂは先端部２８ａよりも太く形成されており、ピン２８の先端部２８ａと中間部２８ｂとの境界に段差２８ｅが形成されている。
【００３７】
また、ピン装着部３２は、四面体であって、ピン２８の突起部３０及び後端部２８ｃが挿入されるＵ字溝３２ａの一端が四面体の一面側に開口されている。このＵ字溝３２ａの他端は、四面体の中央部近傍に形成された四角形状の切欠部３２ｂの内壁面の一面側に開口されている。かかる切欠部３２ｂは、ピン２８の突起部３０と保持手段を構成し、ピン２８の中間部２８ｂと後端部２８ｃとの間に形成された突起部３０が回動可能に挿入される。更に、切欠部３２ｂの内壁面であって、Ｕ字溝３２ａの他端が開口された一面側に対応する他面側には、ピン２８の先端部２８ａ及び中間部２８ｂが挿通される孔３２ｃが開口されている。かかるピン装着部３２の下面側には、横銅製のインサートナット（図示せず）を４箇所設けた。
【００３８】
次いで、図６（ａ）に示すように、ピン２８をピン装着部３２に挿入し、図６（ｂ）に示すように、ピン２８の突起部３０をピン装着部３２の切欠部３２ｂに挿入した。更に、ピン２８の後端部２８ｃを右方向に４５度回動し、図６（ｃ）に示すように、突起部３０と切欠部３２ｂの内壁面とが係止される。この際に、突起部３０の傾斜面が水平となるようにした。更に、ピン装着部３２から突出している先端部２８ａと中間部２８ｂとの境界の段差２８ｅに、厚さ０．５ｍｍのフッ素ゴム製のリング状弾性体３４を取り付けてペリクル固定部１８を形成した。かかるペリクル固定部１８を容器本体１２の平坦面２０の所定箇所に載置し、図４に示すようにピン２８の先端部２８ａがペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入される位置に取り付けた。この取り付けは、容器本体１２の外側からステンレス製六角穴付きボルト（図示せず）を用いて行った。その際に、ＰＯＭ製の樹脂プレート（厚さ１．５ｍｍ）を挟み込み、シール性を高めるようにした。このようにして形成したペリクル収容容器１０をＣｌａｓｓ１０のクリーンルームに搬入し、界面活性剤と純水で良く洗浄した後、完全に乾燥させた。尚、ピン２８の突起部３０は、図６（ｃ）に示すように、ピン２８を回動して突起部３０と切欠部３２ｂの内壁面とを係止したとき、水平となった傾斜面は、蓋体１４を容器本体１２に被着した際に、蓋体１４の内壁面に接触するようにした。
【００３９】
このクリーンルーム内において、ペリクル収容容器１０とは別に、外寸７９７ｍｍ×４７４ｍｍ、内寸７８９ｍｍ×４５６ｍｍ、高さ５．９ｍｍのペリクル１６を製作した。このペリクル１６には、アルミ合金製のペリクルフレーム１６ａ（厚さ４．８ｍｍ）、マスク粘着剤及びペリクル膜接着剤としてシリコーン粘着剤、ペリクル膜１６ｂとして厚さ３μｍのフッ素樹脂を用いた。また、ペリクルフレーム１６ａの各長辺には、７１０ｍｍの間隔で直径２．５ｍｍ×深さ１．８ｍｍの凹部２６を２個所、各短辺にはハンドリングのため幅１．５ｍｍ、深さ２．３ｍｍの溝（図示せず）を設けた。このペリクル１６を暗室内での集光ランプによる異物検査のうえ、ペリクル収容容器１０に収納した。この際に、容器本体１２に設けたペリクル固定部１８のピン２８の先端部をペリクルフレーム１６ａの凹部２６挿入した後、図６（ｃ）に示すように、ピン２８を回動してペリクル１６を容器本体１２に固定し、蓋体１４を被着した。更に、蓋体１４と容器本体１２との周縁部を幅３５ｍｍのＰＶＣ製粘着テープ（図示せず）で貼り付け固定してから、ウレタン製クリップ（図示せず）を各長辺に２箇所ずつ取り付けた。そして、最後に、内部を清浄にクリーニングした帯電防止ＰＥ製袋にて２重に梱包し、内部にクッション材を配した強化ダンボール製梱包箱（図示ぜず）に収納した。
【００４０】
このようにペリクル収容容器１０を梱包した強化ダンボール製梱包箱を、群馬から福岡まで（群馬県⇔東京はトラック、東京⇔福岡間は航空機）を往復させる輸送テストを行った。輸送後のペリクル収容容器１０をクリーンルームに搬入し、内部の確認を行った。ピン２８はピン装着部３２に確実に保持され、その先端部２８ａもペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入されたままで、ペリクル１６は確実に容器本体１２に固定されていた。そのままの状態で、集光ランプを照射して容器本体１２上の発塵状況を確認したが、ペリクル固定部１８付近及び容器本体１０上に異物の発生は見られなかった。更に、ピン２８の工具用凹部３６に六角レンチを挿入し、ピン２８を回動して突起部３０と切欠部３２ｂとの係止を解除した。次いで、ペリクル１６を容器本体１２から取り出して暗室内に搬送し、集光ランプによりペリクル１６の表面に付着した異物の検査を行った。その結果、ペリクル１６に異物の付着は全く見られず、極めて清浄な状態が維持されていた。
【００４１】
（比較例１）
図７に示すペリクル固定部１００を製作した。図７に示すペリクル固定部１００を構成するピン１０２は、ＰＰＳ樹脂製の円柱状部材によって形成されており、先端部１０２ａ、中間部１０２ｂ及び後端部１０２ｃから成る。太さは、先端部１０２ａ＜中間部１０２ｂ＜後端部１０２ｃの順序であり、先端部１０２ａと中間部１０２ｂとの境界に段差が形成されており、フッ素ゴム製のリング状の弾性体１０６が装着されている。かかるピン１０２には、図５に示すピン２８に形成されていた突起部３０は形成されていない。このピン１０２が装着されるピン装着部１０４は、ＡＢＳ樹脂を用いて射出成型によって形成した。ピン装着部１０４は、ピン２８の先端部１０２ａ及び中間部１０２ｂの一部が通過可能であって、中間部１０２ｂの残部及び後端部１０２ｃが挿入される貫通孔１０８が形成されている。かかるピン装着部１０４には、図６（ａ）に示すピン装着部３２のように、Ｕ字溝３２ａ及び切欠部３２ｂは形成されていない。このため、ピン装着部１０４では、貫通孔１０８に挿入したピン１０２が、その外壁面と貫通孔１０８の内壁面との摩擦力でピン２８が固定されるように、貫通孔１０８の内径がピン１０２の挿入方向に次第に小径に形成されている。このように図７に示すペリクル固定部１００は、ピン装着部１０４の貫通孔１０８に、摩擦力でピン１０２が固定される。
【００４２】
図７に示すペリクル固定部１００を実施例１と同様にして容器本体１２に取り付けた。次いで、容器本体１２に載置したペリクル１６のペリクルフレーム１６ａの凹部２６に、ペリクル固定部１００を構成するピン１０２の先端部１０２ａを挿入し、ペリクル１６を容器本体１２に固定した。更に、容器本体１２に蓋体１４を被着してペリクル１６を収容したペリクル収容容器１０を形成した。その後、実施例１と同様にして、ペリクル収容容器１０を梱包し輸送試験を行った。
【００４３】
輸送後のペリクル収容容器１０をクリーンルームに搬入し、内部の確認を行った。すると、ペリクル１６は容器本体１２上に留まっていたが、４箇所のペリクル固定部１００のうち、１箇所でピン１０２がピン装着部１０４から抜け掛かっているのが確認された。また、その先端部１０４ａもペリクルフレーム１６ａの凹部２６から抜けており、先端部１０４ａがペリクルフレーム１６ａの外面に擦れて直径数十μｍの異物が数十個付着していた。また、そのままの状態で、集光ランプを照射して容器本体１２上の発塵状況を確認したところ、抜けかかっていたペリクル固定部１００と対向するペリクル固定部１００の周辺でも異物の付着が見られた。更に、ピン１０２について、ニトリル製グローブをした手でピン装着部１０４より注意深く引き抜き、ペリクル１６を暗室内に搬送して集光ランプにより表面に付着した異物の検査を行った。その結果、ペリクル膜１６ｂ上に直径１０〜２０μｍ程度の異物が１２個付着していた。また、それらのうち約半数はペリクル固定部１００の周辺に分布していた。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明に係るペリクル収容容器は、半導体装置用のペリクルの収容容器として用いることができ、半導体装置用のペリクルよりも大型の液晶用のペリクルの収容容器として用いることができる。
【符号の説明】
【００４５】
１０はペリクル収容容器、１２は容器本体、１２ａはリブ、１４は蓋体、１６はペリクル、１６ａはペリクルフレーム、１６ｂはペリクル膜、１８，１００はペリクル固定部、２０は平坦面、２２はライナー、２４はマスク粘着層、２６は凹部、２８，１０２はピン、２８ａ，１０２ａは先端部、２８ｂ、１０２ｂは中間部、２８ｃ、１０２ｃは後端部、２８ｅは段差、３０は突起部、３２，１０４はピン装着部、３２ａはＵ字溝、３２ｂは切欠部、３２ｃは孔、３４，１０６は弾性体、３６は工具用凹部、１０８は貫通孔である。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクル膜がペリクルフレームに貼着されたペリクルが載置される容器本体と、前記ペリクルを被覆するように前記容器本体の周縁部で嵌め合い係止される蓋体とから構成されるペリクル収容容器であって、
前記容器本体には、載置された前記ペリクルフレームの外側面に形成された凹部に、先端部が挿入された状態で回動可能のピンと、前記ピンを前記凹部から抜き出し可能に装着するピン装着部とを備えたペリクル固定部が複数個設置され、
前記ペリクル固定部の各々に、前記ピン装着部に装着されて前記先端部が前記ペリクルフレームの凹部に挿入された前記ピンを所定角度回動し、前記ピンの先端部が前記凹部から抜け出なくするように、前記ピンを保持する保持手段が設けられていることを特徴とするペリクル収容容器。
【請求項２】
前記保持手段が、前記ピンに形成されている突起部と、前記ピン装着部に形成され、前記ピンが所定角度回動して前記突起部と係止する切欠部とから構成されることを特徴とする請求項１に記載のペリクル収容容器。
【請求項３】
前記容器本体に載置された前記ペリクルを被覆する前記蓋体の内壁面が、前記ピンの回動を防止するように、前記ピンに形成された前記突起部の一部に当接していることを特徴とする請求項２に記載のペリクル収容容器。
【請求項４】
前記ピンが３０〜１８０度回動したとき、前記ピンの突起部と前記ピン装着部の切欠部とが係止されることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のペリクル収容容器。
【請求項５】
前記ピンの先端部に、前記ペリクルフレームとの当接の緩衝部材としての弾性体が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のペリクル収容容器。
【請求項６】
前記ピンの後端面に、前記ピンの回動用の工具が挿入される工具用凹部が形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のペリクル収容容器。
【請求項１】
ペリクル膜がペリクルフレームに貼着されたペリクルが載置される容器本体と、前記ペリクルを被覆するように前記容器本体の周縁部で嵌め合い係止される蓋体とから構成されるペリクル収容容器であって、
前記容器本体には、載置された前記ペリクルフレームの外側面に形成された凹部に、先端部が挿入された状態で回動可能のピンと、前記ピンを前記凹部から抜き出し可能に装着するピン装着部とを備えたペリクル固定部が複数個設置され、
前記ペリクル固定部の各々に、前記ピン装着部に装着されて前記先端部が前記ペリクルフレームの凹部に挿入された前記ピンを所定角度回動し、前記ピンの先端部が前記凹部から抜け出なくするように、前記ピンを保持する保持手段が設けられていることを特徴とするペリクル収容容器。
【請求項２】
前記保持手段が、前記ピンに形成されている突起部と、前記ピン装着部に形成され、前記ピンが所定角度回動して前記突起部と係止する切欠部とから構成されることを特徴とする請求項１に記載のペリクル収容容器。
【請求項３】
前記容器本体に載置された前記ペリクルを被覆する前記蓋体の内壁面が、前記ピンの回動を防止するように、前記ピンに形成された前記突起部の一部に当接していることを特徴とする請求項２に記載のペリクル収容容器。
【請求項４】
前記ピンが３０〜１８０度回動したとき、前記ピンの突起部と前記ピン装着部の切欠部とが係止されることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のペリクル収容容器。
【請求項５】
前記ピンの先端部に、前記ペリクルフレームとの当接の緩衝部材としての弾性体が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のペリクル収容容器。
【請求項６】
前記ピンの後端面に、前記ピンの回動用の工具が挿入される工具用凹部が形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のペリクル収容容器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１３−９７０４６（Ｐ２０１３−９７０４６Ａ）
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２３７３８９（Ｐ２０１１−２３７３８９）
【出願日】平成２３年１０月２８日（２０１１．１０．２８）
【出願人】（０００００２０６０）信越化学工業株式会社 (3,361)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月２８日（２０１１．１０．２８）
【出願人】（０００００２０６０）信越化学工業株式会社 (3,361)
【Ｆターム（参考）】
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