【課題】基板の全面に対して均一な処理を行えるようにした基板保持具を提供すると共に、その基板保持具を製造するための製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】長尺状の金属プレート１０をプレスすることにより、金属プレート１０の長手方向（Ｘ方向）に複数の波形形状を所定ピッチで形成し、波形形状における山部１１および谷部１２を金属プレート１０の幅方向（Ｙ方向）に沿って弓状に湾曲させた形状の基板保持具４を製造する際、金属プレート１０の長手方向に沿って所定ピッチで波形形状の谷部１２を１つずつ順次プレス形成していくことにより、基板９を保持する谷部１２の湾曲形状と、山部１１の湾曲形状とを順次形成していく。 （もっと読む）

【課題】基板保持用枠体は、大型ガラス基板を載置し、複数枚を積層して搬送あるいは保管に用いられ、搬送時の衝撃や振動に対しての強度が求められると同時に発塵による基板への異物付着や傷による製品の品質不良の発生を防止することが求められる。２メートル角程度の大サイズ基板を安全に保管・輸送できる基板保持用枠体等を提供する。
【解決手段】少なくとも対向する２辺の金属枠部１１のそれぞれの上面に、基板保持用枠体１０を懸垂するための複数の開口部１７を有する。 （もっと読む）

【課題】容器本体に固定された状態のペリクルを蓋体で被覆して異物付着を防止しつつ、輸送中にも固定状態を確実に維持でき、且つ蓋体を開いて開封したとき、固定状態を簡単に解除してペリクルの取り出しができるペリクル収容容器を提供する。
【解決手段】ペリクル１６を載置した容器本体１２と、ペリクル１６を被覆する蓋体１４とから構成され、容器本体１２には、ペリクル１６のペリクルフレーム１６ａの凹部２６に、先端部１６ａが挿入されて回動可能のピン２８と、ピン２８を着脱可能に装着するピン装着部３２とを備えたペリクル固定部１８を複数個設置し、各ペリクル固定部１８のピン装着部３２に装着し、先端部１６ａをペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入したピン２８を所定角度回動して、ピン２８の先端部２８ａを凹部２６から抜け出なくするように、ピン２８を保持する保持手段としての突起部３０と切欠部３２ａとを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液晶ディスプパネル部材等の、表面に機能層を備えた板状物からなる基板を、輸送および保管する基板用トレイで使用する基板保持部材であって、固定治具を用いることなく、容易にかつ安定に設置が可能な基板保持部材を提供する。
【解決手段】四角形状で剛性のある板状物からなる基板１１１の面方向を水平方向として、基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、基板をその下側から保持する枠部に支持された基板支持部１３を備えた基板用トレイ１１において、基板支持部に固定され、基板を保持する基板保持部材１４であって、固定治具を用いることなく、嵌合部を嵌合させることにより固定する、もしくは、嵌め込みにより固定することが可能である。 （もっと読む）

【課題】基板保持用枠体は、大型ガラス基板を載置し、複数枚を積層して搬送あるいは保管に用いられ、搬送時の衝撃や振動に対しての強度が求められると同時に保管スペースの節減、輸送効率の向上と共に、製造装置の小型化、効率化が求められる。２メートル角程度の大サイズ薄板基板を安全に保管・輸送できる基板保持用枠体等を提供する。
【解決手段】中央部が下方に最適な撓み率で湾曲した前後の金属枠と該金属枠に沿って枠内側に延設した基板支持板を有し、平坦な左右の金属枠と該金属枠に沿って枠内側に延設した基板支持板を有し前後左右の金属枠と基板支持板と嵌合部を有し、基板保持用枠体を位置合わせし基板間隔を短縮して積み重ねることを可能にする基板保持枠体。 （もっと読む）

【課題】本発明は、使用する搬送手段の特性に応じて振動抑制を施したトレイを開発する必要がある。そこで本発明では、大面積板状物である光学部品を高密度に集積、保管が可能であり、搬送手段の特性に応じ振動抑制の指標を持つトレイを提供することを課題とする。
【解決手段】矩形状の外枠の各辺上に外周支持体を有し、前記外枠の内部領域に前記外周支持体よりも低い高さになるように２以上の内部領域支持体を位置させることを特徴とする板状物用トレイを提供する。また、矩形状の外枠の各辺上に外周支持体を有し、前記外枠の内部領域に板状物自重撓みでの沈み込み量に比例した高さに２以上の内部領域支持体を位置させることを特徴とする請求項１に記載の板状物用トレイを提供する。 （もっと読む）

【課題】高度なクリーン度が要求される電子材料部品等を包装する無塵包装袋について、自動包装機による自動包装適性を改善する。
【解決手段】少なくとも最内層にシーラント層２を有する電子部品等包装用の無塵包装袋において、最外層４フィルムの裏面（隣接層との貼り合わせ面）に、ポリチオフェン系導電性高分子による帯電防止層を形成し、最外層フィルムの表面の摩擦帯電圧試験での初期帯電圧のピーク値が絶対値で２．０ｋＶ以下であるものとする。 （もっと読む）

【課題】凹部に電子部品を高精度に位置決め収納することにより、凹部の壁と電子部品のリードとの衝突を回避してリードの損傷を抑制することのできるキャリアテープを提供する。
【解決手段】テープ材２に、パッケージ本体１１の周囲からリード群１２がそれぞれ突出した表面実装型の半導体パッケージ１０を収納する複数のポケット穴２０を配列形成したキャリアテープであり、各ポケット穴２０は、半導体パッケージ１０を包囲する包囲壁２１と、包囲壁２１の開口した底を被覆する底板２５とを備え、包囲壁２１に、半導体パッケージ１０の所定のリード群１２に形成された空隙１６内に嵌入する位置規制部３０を突設するとともに、位置規制部３０を半導体パッケージ１０のパッケージ本体１１に接触可能とし、底板２５には、パッケージ本体１１を搭載する台座２６を設け、台座２６により、リード群１２と底板２５とを離隔させる。 （もっと読む）

【課題】基板保持用枠体は、大型ガラス基板を載置し、複数枚を積層して搬送あるいは保管に用いられ、搬送時の衝撃や振動に対しての強度が求められると同時に発塵による基板への異物付着や傷による製品の品質不良の発生を防止することが求められる。２メートル角程度の大サイズ基板を安全に保管・輸送できる基板保持用枠体等を提供する。
【解決手段】金属枠体の各部上面間において溝、段部および稜線を伴わない同一の連続した平面及び曲面で形成され、基板Ａが積載される金属枠体の上面にフィラーを含有し剛性を有する均一な厚みの樹脂層１７が形成され、上下の金属枠体同士が接触しないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】施錠機構の施錠時に回転操作体を円滑に回転させたり、適切な位置に停止させることができ、しかも、回転操作体の回転に要するトルクを抑制できる蓋体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】蓋本体１１とカバープレートの間に介在され、回転操作リール３１の回転で施錠爪４１が出没する施錠機構３０と、回転操作リール３１の回転位置を制御する位置制御手段５０とを備え、位置制御手段５０を、回転操作リール３１の回転に応じて揺動するリンク５１と、回転操作リール３１とリンク５１に連結されるバネ５５と、リンク５１の接触溝５２と接触する位置規制ピン５７とから構成する。回転操作リール３１が解錠位置から施錠方向の施錠位置に回転する途中で、リンク５１を揺動させてその回転途中の回転操作リール３１に対する向きを変化させ、回転操作リール３１に作用する付勢力の方向を回転操作リール３１の回転方向に変更する。 （もっと読む）

【課題】 直方体状の枠体(1) 内に複数枚の板体(B) を縦姿勢でかつ並列にかつその板体
(B) 面が枠体(1) の両側面と平行になるように収容する板体収容カセットであって、板体
(1) の出入および運搬を円滑に行うことができることはもとより、板体(1) が大サイズで
かつ重量が大の基板やパネルであっても、カセット側の板体(1) 支承部にも損傷を与え難
くかつ板体(1) 側の下端エッジにも割れや欠けを生じ難いカセットを提供することを目的
とする。
【解決手段】 直方体状の枠体(1) において、その低所位置には板体下端受けとめ用ロー
ラ(2) 群、低所位置であって前記ローラ(2) 群の設置位置よりも高い位置には板体下部規
制用ローラ(3) 群、枠体(1) の中所ないし高所位置には板体上部側規制用ローラ(4) 群を
それぞれ設けることにより、板体(1) を３点支持しうるようにしたカセットである。 （もっと読む）

【課題】 基板１枚を載置する基板保持用枠体であって、その基板載置済みの基板保持用枠体を複数積み重ねた状態で、搬送時の衝撃や振動に対する割れや傷や汚れの発生を低減する基板保持用枠体及びそれを用いた基板搬送方法を提供する。
【解決手段】 枠部２の内周側に基板保持部材４を設け、その上面には基板端部制動領域５を有し、その下面には基板端部制動領域５の対応部分の形状を、その下の基板保持用枠体に載置された基板１０の上面との間に隙間ｔを有するようなものとし、同じ下面には凸部６を有し、枠部の直線状の対向する二辺に設けられた二つの基板保持部材の凸部の間の長さｘが基板の辺の長さｃに揺動範囲の長さａを加えたものとする基板保持用枠体であり、その基板載置済みの基板保持用枠体を複数パレット上に積み重ねて一体として保管、搬送することに特徴がある。 （もっと読む）

【課題】基板のクラックの発生を防止することができ、また、支持部材本体を長寿命化することができる支持部材およびキャリアを提供する。
【解決手段】可動基板受け１８ａは、回動自在に取り付けられた支持部材本体３０を備え、支持部材本体３０は、回動中心軸４４から放射状に延設された複数の突起３１を備え、突起３１を基板の端部に当接させて基板を支持するため、基板のクラックの発生を防止することができ、また、支持部材本体３０を長寿命化することができる。 （もっと読む）

【課題】ペーストと保持容器との接触によるペーストのパターン不良が発生することなく、公差を含む基板を保持することが可能な保持容器を提供する。
【解決手段】基板２０の保持容器１０は、対向する少なくとも１組の側面１０２，１０３を有する基板の保持容器であって、１組の側面の間の距離が下方に向かって狭まるように傾斜しており、側面の内側が、基板の端辺２０２〜２０５と当接することによって、基板を保持する。保持容器を用いることにより、公差を含む基板の端までペースト３０を載置するパターンを用いることが可能となった。 （もっと読む）

【課題】 ２メートル角程度の大サイズ薄板基板を安全に保管・輸送できる基板保持用枠体等を提供する。
【解決手段】
本発明の基板保持用枠体１０は、矩形状の薄板基板の１枚を、枠体内に収め、当該薄板基板を収めた状態の該枠体を位置合わせして多段に積み重ねた状態で、搬送または保管の用途に供する基板保持用枠体であって、左右の辺が平坦で、前後の辺が基板の下方に湾曲している金属枠部１１と、金属枠部の上面または下面からさらに四辺内周側に延出された基板支持部１３と、該金属枠部１１の四辺内周側に向かって下方に傾斜した嵌合部１２ａ及び１２ｂと、薄板基板接触面側に装着された樹脂製の基板保持部材１４と、からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、プラズマディスプレイパネル、液晶ディスプパネル部材等の表面に機能層を備えた板状物からなる基板を、その表面の機能層を損傷したり汚したりすることなく、効率良く輸送及び保管することが可能な基板用トレイの基板保持部材を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の基板保持部材は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定された基板保持部材が、前記基板支持部下面より下側に突出して設置され、上下方向の基板振動時のみ前記基板と接触する面を有する振動制御部を少なくとも有することにより、前記基板の搬送およびまたは保管において、振動による前記基板の品質面の問題を解消可能な基板保持部材を提供することにより上記の課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、高い密度で集積された薄板基板を、湾曲させた状態で損傷したり汚したりすることなく、安全に搬送および保管することができるパレットの提供を目的とする。
【解決手段】 本発明は、薄板基板１を湾曲させて収納する基板保持用枠体１０を、多段に積層し載置するための湾曲形状保持部３０と、移動搬送装置のための移動搬送装置対応部４０を上下に固着した２層構造からなり、湾曲した湾曲形状保持部３０の上面に固着した嵌合用枠体２０の嵌合用金属枠部２１の上面から内周下方向に傾斜して突出しているパレット側嵌合部２２と、載置される基板保持用枠体１０の金属枠部１１の下面から内周下方向に傾斜して突出している第１嵌合部１２との嵌め合わせにより、上記の課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維に樹脂を含浸させた複合体を利用し、寸法を変更することなく全体の剛性を向上でき、軽量化可能で且つ製造が簡単なペリクルフレームを提供する。
【解決手段】ペリクルフレーム１０は、長方形形状のペリクルフレーム１０の各辺が、長繊維状の炭素繊維と樹脂との複合材料から成る細長材１４，２０によって形成され、前記炭素繊維は、細長材１４，２０の長手方向に配向されていることを特徴とする。細長材１４，２０の全表面は、前記炭素繊維が露出しないように樹脂皮膜で覆われる。 （もっと読む）

【課題】ペリクル膜の自重垂れ下がり量を可及的に抑制できるペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクルは、長方形状のペリクルフレーム１０にペリクル膜４４が貼付されたペリクル４２であって、複数本の太さが最大でも１００μｍの線状補強体１２が、ペリクル膜４４内に包有されて、ペリクルフレーム１０の互いに対向する長辺間に張設されている。ペリクル膜の製造方法は、平坦面にペリクル膜形成溶液を塗布して、形成予定のペリクル膜よりも薄層の下地層を形成する工程と、前記下地層上に線状補強体を張設する工程と、前記線状補強体を覆うように、前記ペリクル膜形成溶液を前記下地層上に塗布し、前記線状補強体を包有する所定厚さのペリクル膜を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）