支持部材およびキャリアと支持方法
【課題】基板のクラックの発生を防止することができ、また、支持部材本体を長寿命化することができる支持部材およびキャリアを提供する。
【解決手段】可動基板受け１８ａは、回動自在に取り付けられた支持部材本体３０を備え、支持部材本体３０は、回動中心軸４４から放射状に延設された複数の突起３１を備え、突起３１を基板の端部に当接させて基板を支持するため、基板のクラックの発生を防止することができ、また、支持部材本体３０を長寿命化することができる。
【解決手段】可動基板受け１８ａは、回動自在に取り付けられた支持部材本体３０を備え、支持部材本体３０は、回動中心軸４４から放射状に延設された複数の突起３１を備え、突起３１を基板の端部に当接させて基板を支持するため、基板のクラックの発生を防止することができ、また、支持部材本体３０を長寿命化することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持部材およびそれを取り付けたキャリアに関するものである。
本願は、２００９年４月１６日に、日本に出願された特願２００９−５１１８３２号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイなどの製造工程において、大型ガラス基板に対して加熱処理や成膜処理などの真空処理が行われる。そのため、様々な真空処理装置が開発されている。その中の一つに、液晶ディスプレイのカラーフィルタ側にＩＴＯ膜（電極膜）を成膜するために、インラインスパッタ装置が用いられている。
【０００３】
このインラインスパッタ装置は、真空状態を作り出し薄膜をスパッタにてガラス基板上へ成膜する真空装置である。なお、ガラス基板は、装置内を安定して搬送させるために、キャリアと呼ばれる台車に取り付けられている。
【０００４】
また、特に大型のガラス基板を成膜する際に、ガラス基板を略垂直にしてキャリアに載置して成膜を行う方法がある。このとき、キャリア側に設けられた基板受け（支持部材）上に、ガラス基板の下辺を載置させることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１１４６７５号公報（第１１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、基板受けは、略四角形状で、キャリア側のガラス基板の下辺が当接される位置に複数固定されて取り付けられている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、ガラス基板の下辺と基板受けの上辺とを平行に接触させることは困難なため、これらは面接触ではなく点接触（線接触）となっている。
【０００７】
つまり、図１４に示すように、例えば基板受け１１８が３個取り付けられていても、ガラス基板１１１と基板受け１１８（１１８ａ〜１１８ｃ）とは、基板受け１１８ａの隅部と基板受け１１８ｃの隅部の２箇所のみで点接触（線接触）されており、基板受け１１８ｂとガラス基板１１とは接触していない状態になることがあった。
【０００８】
ところで、移載機（ロボット）により搬送されたガラス基板をキャリアの基板受けに当接させる際には、ガラス基板を基板受けの数ｍｍ上方から自然落下させて当接させるため、上述の例の場合などでは２箇所にガラス基板の荷重が一気にかかって応力が集中し、ガラス基板にクラックが発生して歩留まりが低下する可能性があった。また、このクラックが起因となり、その後の搬送工程、成膜工程および基板着脱工程などにおいて基板割れが発生する可能性があった。さらに、ガラス基板と基板受けとの擦れにより、基板受け側に削れが発生し、複数の基板受けの水平レベルがずれてしまい、したがって、ガラス基板の水平度が保てなくなるという問題があった。
【０００９】
そこで、本発明は、上述の事情に鑑みてなされたものであり、基板のクラックの発生を防止することができ、また、支持部材本体を長寿命化することができる支持部材およびキャリアを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る第一の態様は、回動自在に取り付けられた支持部材本体を備え、前記支持部材本体は、回動中心軸から放射状に延設された複数の突起を備え、前記複数の突起部のうち隣接する２つの突起部を基板の一辺に当接させて、前記基板を縦型に支持することを特徴としている。
この場合、前記基板が前記支持部材に当接する際に、まず前記支持部材本体の突起の１点と接触し、さらに基板の荷重が支持部材にかかることで、支持部材本体が回動して隣接する突起と基板が接触するため、一つの支持部材で基板を確実に２点で支持することができる。したがって、基板への応力集中を緩和することができるため、基板のクラックの発生を防止することができる効果がある。結果として、基板の製造工程において歩留まりを向上させることができる効果がある。
【００１１】
前記支持部材は、前記支持部材本体に当接し、前記支持部材本体を前記基板に向かって付勢する付勢部材を備えていてもよい。
この場合、基板が支持部材に当接する際に、付勢部材により基板の荷重に起因した衝撃力を吸収しながら当接させることができるため、基板のクラックの発生を防止することができる効果がある。
【００１２】
前記支持部材は、前記支持部材本体と前記回動中心軸との間に、弾性部材が介装されていてもよい。
この場合、基板が支持部材に当接する際に、弾性部材により基板の荷重に起因した衝撃力を吸収しながら当接させることができるため、基板のクラックの発生を防止することができる効果がある。
【００１３】
前記支持部材本体は、樹脂でできていてもよい。
この場合、支持部材本体が樹脂からなる弾性材料で構成されるため、基板と支持部材とが当接する際に、基板にクラックが発生することを防止することができる効果がある。
【００１４】
前記支持部材本体は、着脱自在に取り付けられていてもよい。
この場合、基板と当接している突起が経時的に摩耗した場合に、支持部材本体を一旦取り外し、別の突起が基板と当接するように支持部材本体を回転させて取り付けることができる。これにより、支持部材本体を継続使用することができ、したがって、支持部材本体の長寿命化を図ることができる効果がある。
【００１５】
前記基板を支持するキャリアには、上記いずれかの支持部材が取り付けられていてもよい。
この場合、キャリアに支持部材を適宜取り付けることにより、基板の荷重を受ける役割をしたり、基板が搬送時などに左右にずれる際に、干渉材としての役割をすることができる効果がある。
【００１６】
前記基板を縦型に支持するキャリアには、基板の下辺に当接するように前記支持部材が取り付けられていてもよい。
この場合、キャリアに基板を取り付ける際に、支持部材により確実に基板の荷重を受けることができる。また、一つの支持部材において支持点が２箇所あるため、基板の荷重を分散させることができ、したがって、基板にクラックが発生することを防止することができる効果がある。
【００１７】
基板を縦型に支持するキャリアには、上記いずれかの支持部材と、前記基板に当接する固定支持部材とが、前記基板の下辺に沿う方向に取り付けられ、かつ、前記支持部材が前記固定支持部材よりも前記基板寄りに取り付けられており、前記基板が、前記支持部材に当接した後に前記固定支持部材に当接して支持されていてもよい。
この場合、キャリアに基板を取り付ける際に、まず支持部材と基板とが当接して、基板の荷重に起因する衝撃力を吸収しながら基板を支持し、さらに、基板の荷重により支持部材本体が下方へ移動して、固定支持部材と基板とが当接して基板が支持されるため、基板にクラックが発生することを防止することができる。したがって、基板の製造工程において歩留まりを向上させることができる効果がある。
また、支持部材および固定支持部材により、基板がより多くの箇所で支持され、基板の荷重を分散して支持することができるため、基板を安定して支持することができると共に、基板にクラックが発生することを防止することができる効果がある。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、基板が支持部材に当接する際に、まず支持部材本体の突起の１点と接触し、さらに基板の荷重が支持部材にかかることで、支持部材本体が回動して隣接する突起と基板が接触するため、一つの支持部材で基板を確実に２点で支持することができるため、基板への応力集中を緩和することができる。また、基板が支持部材に当接する際に、付勢部材または弾性部材により基板の荷重に起因した衝撃力を吸収しながら当接させることができる。したがって、基板のクラックの発生を防止することができ、基板の製造工程において歩留まりを向上させることができる効果がある。
【００１９】
また、支持部材本体を樹脂からなる弾性材料で構成するため、基板と支持部材とが当接する際に、基板にクラックが発生することを防止することができる。
さらに、基板と当接している突起が経時的に摩耗した場合に、支持部材本体を一旦取り外し、別の突起が基板と当接するように支持部材本体を回転させて取り付けることができる構成とする。これにより、支持部材本体を継続使用することができ、したがって、支持部材本体の長寿命化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態におけるキャリアにガラス基板を載置した状態を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態におけるコンベアにキャリアを載置した状態を示す側面図である。
【図３】本発明の実施形態におけるキャリアの部分詳細図である。
【図４】本発明の第一実施形態における可動基板受けの本体部の正面図である。
【図５】本発明の第一実施形態における可動基板受けの本体部の背面図である。
【図６】本発明の第一実施形態における可動基板受けの本体部の斜視図である。
【図７】図４のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図８】本発明の第一実施形態における可動基板受けがキャリアフレームに取り付けられた状態を示す断面図である。
【図９Ａ】本発明の第一実施形態におけるガラス基板をキャリアに載置するときの工程を示す説明図である。
【図９Ｂ】本発明の第一実施形態におけるガラス基板をキャリアに載置するときの工程を示す説明図である。
【図９Ｃ】本発明の第一実施形態におけるガラス基板をキャリアに載置するときの工程を示す説明図である。
【図１０Ａ】図９の工程の続きを示す説明図である。
【図１０Ｂ】図９の工程の続きを示す説明図である。
【図１１】本発明の第二実施形態における可動基板受けがキャリアフレームに取り付けられた状態を示す断面図である。
【図１２Ａ】本発明の実施形態における可動基板受けの別の態様を示す説明図であり、外形が三角形のものである。
【図１２Ｂ】本発明の実施形態における可動基板受けの別の態様を示す説明図であり、外形が五角形のものである。
【図１２Ｃ】本発明の実施形態における可動基板受けの別の態様を示す説明図であり、外形が六角形のものである。
【図１３】本発明の実施形態における可動基板受けの別の態様を示す説明図である。
【図１４】従来の基板受けとガラス基板との関係を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（第一実施形態）
次に、本発明の第一実施形態を図１〜図１１に基づいて説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００２２】
図１は、キャリアにガラス基板を載置した状態を示す斜視図である。
図１に示すように、ガラス基板１１に成膜などを施す際には、キャリア１０と呼ばれる枠体にガラス基板１１を載置し、キャリア１０を後述するコンベアにより搬送しつつ、適宜処理を行う。
【００２３】
キャリア１０は縦型に配置された状態で、ガラス基板１１が載置されるように構成されている。キャリア１０は、アルミニウムなどからなる額縁状のキャリアフレーム１５と、キャリアフレーム１５の上辺に沿うように設けられたマグネット１６と、キャリアフレーム１５の下辺に沿うように設けられた丸棒からなるスライダ１７と、を備えている。また、ガラス基板１１の荷重を受け、かつガラス基板１１の水平度を保持するための複数の基板受け１８と、キャリアフレーム１５の開口部２１の周縁に設けられ、ガラス基板１１をキャリア１０に保持させるための複数のクランプ１９と、を備えている。また、キャリアフレーム１５の開口部２１の水平方向両端部にも、ガラス基板１１が搬送時などに左右にずれたときに当接され、衝撃を吸収可能な基板受け１８が設けられている。なお、ガラス基板１１の周縁の非成膜領域を覆うためのマスク２０はキャリアフレーム１５の開口部２１周縁に、キャリアフレーム１５と一体形成されている。
【００２４】
図２は、コンベアにキャリアを載置した状態を示す側面図である。
図２に示すように、キャリア１０は、コンベア５０により成膜装置内などを移動可能に構成されている。また、コンベア５０は、床面ＦＬに支持固定されたフレーム２２と、フレーム２２内に設けられた下部支持機構２３および上部支持機構２４とで構成されている。すなわち、キャリア１０の下辺に設けられたスライダ１７を、下部支持機構２３のローラ２５に係合させて、ローラ２５をモータ２６により回転駆動させることにより、キャリア１０を搬送経路（ローラ２５の外周側の溝部）に沿って水平移動させることができるように構成されている。また、キャリア１０の上辺に設けられたマグネット１６と、上部支持機構２４を構成する一対のマグネット２７ａ，２７ｂとが反発しあうことにより、キャリア１０を垂直に保持した状態で搬送可能に構成されている。
【００２５】
図３は、キャリアの部分詳細図である。
図３に示すように、本実施形態において、キャリアフレーム１５には、開口部２１の下辺に沿うように４個の基板受け１８が設けられ、これらの基板受け１８に、ガラス基板１１が当接可能に構成されている。４個の基板受け１８のうち、キャリアフレーム１５の両側には可動基板受け１８ａが配置され、中側の２個としては固定基板受け１８ｂが配置されている。なお、説明の都合上、クランプ１９は図示を省略している。
【００２６】
図４〜図６は、可動基板受け１８ａの本体部３０の正面図、背面図、斜視図である。
図４〜図６に示すように、可動基板受け１８ａは、その本体部３０が樹脂材料からなり、キャリアフレーム１５に取りつけた状態の正面視において、略四角形状で四隅が丸みを帯びた形状に形成されており、背面視において、略四角形状の四隅が湾曲するように切削されて突起部３１が形成され、かつ、四角形状の四辺に略同一形状の凹部３２がそれぞれ切削により形成されている。本体部３０の厚みは、ガラス基板１１の厚みより厚く形成され、凹部３２の厚みがガラス基板１１の厚みより厚く形成されている。なお、本体部３０は、エンジニアリングプラスチック、つまり、ポリイミド系やポリアミド系の樹脂、またはそれらの複合樹脂で形成されている。
【００２７】
図７は、図４のＡ−Ａ線に沿う断面図に、ボルト３４を図示したものである。
図７に示すように、可動基板受け１８ａの本体部３０は、その正面視略中央部に貫通孔３３が形成されており、ボルト３４が挿通されるように構成されている。ここで、貫通孔３３の孔径Ｄはボルト３４の軸部４４の外径ｄ１より大きく形成され、ボルト３４の頭部４５の外径ｄ２より小さく形成されている。さらに、本体部３０は、ボルト３４によりキャリアフレーム１５に取り付けられているが、ボルト３４は強固に締め付けず、キャリアフレーム１５の表面からボルト３４の頭部４５の底面までの距離が、本体部３０の幅（厚み）より大きくなるように取り付けられている。つまり、可動基板受け１８ａの本体部３０が移動可能に構成されている。
【００２８】
図８は、可動基板受け１８ａがキャリアフレーム１５に取り付けられた状態を示す断面図である。
図８に示すように、可動基板受け１８ａは、本体部３０と、本体部３０下端の凹部３２に当接された略凸形状の板バネ３５とを備えている。板バネ３５は、本体部３０を上方に付勢するようにキャリアフレーム１５に取り付けられている。ガラス基板１１が可動基板受け１８ａに当接（載置）されていない状態において、本体部３０は、最上位に位置するように板バネ３５により付勢されている。つまり、貫通孔３３の孔径Ｄがボルト３４の軸部４４の外径ｄ１よりも大きく形成されていることにより、本体部３０は上下に移動可能に構成されている。また、板バネ３５は、キャリアフレーム１５の表面と本体部３０の表面に形成された張出部３７との間に収まる幅で形成されている。これにより、板バネ３５の脱落を防止することもできる。
【００２９】
さらに、本体部３０は、キャリアフレーム１５に強固に固定されていないため、ボルト３４の軸部４４の周りを回動可能に構成されている。ただし、可動基板受け１８ａの下方に板バネ３５が取り付けられているため、回動量は制限されている。
【００３０】
図３に戻り、本体部３０は、低弾性の樹脂材料からなり、略四角形状で、ガラス基板１１より厚く形成されている。また、固定基板受け１８ｂは、キャリアフレーム１５にボルト３４などにより強固に固定して取り付けられている。このとき、固定基板受け１８ｂは、その四辺のうち一辺がガラス基板１１の下辺と略平行になるように取り付けられている。なお、固定基板受け１８ｂは、可動基板受け１８ａと同じ材料で形成してもよいし、異なる樹脂材料で略同等の弾性を有するもので形成してもよい。
【００３１】
また、ガラス基板１１がキャリア１０に載置されていない状態において、可動基板受け１８ａの上端部の位置は、固定基板受け１８ｂの上端部の位置よりも若干ガラス基板１１寄り（上方）になるように高低差を設けて取り付けられている（本実施形態においては、０．７５ｍｍ）。この取り付け位置の高低差は、ガラス基板１１が載置される際に、最初に可動基板受け１８ａに確実に当接され、可動基板受け１８ａがガラス基板１１の荷重により下方へ移動した後、固定基板受け１８ｂにガラス基板１１が当接される高低差を有していればよい。
【００３２】
さらに、可動基板受け１８ａは、キャリアフレーム１５の開口部２１の水平方向両端部にも複数取り付けられている。ガラス基板１１が載置された状態において、ガラス基板１１の水平方向両端部に取り付けられた可動基板受け１８ａとガラス基板１１との間には、隙間が形成されている。キャリア１０がコンベア５０により移動している際にガラス基板１１が左右にずれることがあっても、キャリアフレーム１５の水平方向両端部に取り付けられた可動基板受け１８ａによりその衝撃力を吸収できるように構成されている。
【００３３】
（作用）
次に、ガラス基板１１をキャリア１０に載置する際の作用について、図９，図１０に基づいて説明する。
図９Ａに示すように、ガラス基板１１が載置されていない状態において、可動基板受け１８ａの本体部３０は、板バネ３５により上方に向かって付勢され、最上位に位置している。
【００３４】
図９Ｂに示すように、ガラス基板１１がキャリア１０のキャリアフレーム１５に載置されると、まず、ガラス基板１１と本体部３０の突起部３１の一つ（突起部３１ａ）が接点４０ａにて接触する。
【００３５】
図９Ｃに示すように、ガラス基板１１がその荷重によりさらに下方に移動してくることで、本体部３０が下方へ移動する。また、本体部３０は板バネ３５が変形することで回動し、突起部３１ａに隣接する突起部３１ｂがガラス基板１１と接点４０ｂにてさらに接触し、ガラス基板１１と可動基板受け１８ａとが２点で接触する。
【００３６】
図１０Ａに示すように、上述の作用で、キャリアフレーム１５の両側の可動基板受け１８ａがそれぞれ２点ずつ計４点でガラス基板１１と接触する（接点４０ａ〜４０ｄ）。その後、さらにガラス基板１１の荷重により、ガラス基板１１は下方へ移動する。このとき、可動基板受け１８ａの本体部３０には板バネ３５が下方で当接しているため、板バネ３５が変形しながら本体部３０が下方へ移動する。つまり、ガラス基板１１の荷重による衝撃力を吸収しながらガラス基板１１は下方へ移動する。
【００３７】
図１０Ｂに示すように、ガラス基板１１がさらに下方へ移動し、ガラス基板１１が固定基板受け１８ｂに当接する位置まで移動して、キャリア１０に載置される。このとき、固定基板受け１８ｂとガラス基板１１とは、それぞれ１点ずつ計２点で点接触（線接触）される（接点４０ｅ，４０ｆ）。なお、固定基板受け１８ｂが、ガラス基板１１と平行な状態で取り付けられている場合には、点接触でなく面接触される。
【００３８】
ここで、ガラス基板１１は、可動基板受け１８ａにおいて各２点ずつ計４点で支持され、固定基板受け１８ｂにおいて各１点ずつ計２点で支持されている。したがって、ガラス基板１１は、計６点で支持されることとなる。また、可動基板受け１８ａと固定基板受け１８ｂとで受け持つ荷重が、１：２になるように板バネ３５の強さを調整したものを取り付けることで、確実に上述の６点で支持される。例えば、ガラス基板１１の荷重が６ｋｇであるときは、両側の可動基板受け１８ａでそれぞれ１ｋｇずつ受け持ち、固定基板受け１８ｂでそれぞれ２ｋｇずつ受け持つようにすればよい。
【００３９】
そして、開口部２１周縁に取り付けられているクランプ１９によりガラス基板１１の周縁部をキャリアフレーム１５のマスク２０に押し付けるようにして、ガラス基板１１をキャリア１０に固定支持する。
【００４０】
上述のようにガラス基板１１をキャリア１０に載置した後に、ガラス基板１１に成膜などの処理を行う。ガラス基板１１の成膜処理などが完了すると、ガラス基板１１をキャリア１０から取り外す。このような工程を繰り返し行うこととなるが、特に可動基板受け１８ａは、ガラス基板１１を載置する際の初期荷重により応力がかかりやすいため、樹脂からなる本体部３０の突起部３１に削れが発生する。このように本体部３０の突起部３１に削れが発生すると、ガラス基板１１の水平度を保持できなくなる可能性がある。
【００４１】
ここで、本体部３０はボルト３４でキャリアフレーム１５に取り付けられているだけであるため、ボルト３４を取り外すことで容易に本体部３０を取り外すことができる。そして、削れが発生している突起部３１以外の突起部３１が上端に位置するように本体部３０の向きを変えて（回転させて）、再度キャリアフレーム１５に取り付ける。このようにすることで、ガラス基板１１を削れのない突起部３１に当接させることができ、ガラス基板１１の水平度を保持することができる。本体部３０の形状が略四角形のため、一つの本体部３０で上述の作用を四度行うことができ、結果として、本体部３０の寿命を従来の四倍にすることができる。
【００４２】
本実施形態によれば、回動自在に取り付けられた可動基板受け１８ａの本体部３０に、本体部３０を回動中心軸から放射状に延設された複数の突起部３１を形成し、突起部３１をガラス基板１１の端部に当接させて、ガラス基板１１を支持するようにした。
この場合、ガラス基板１１が可動基板受け１８ａに当接する際に、まず本体部３０の突起部３１ａの１点（接点４０ａ）と接触し、さらにガラス基板１１の荷重が可動基板受け１８ａにかかることで、本体部３０が回動して隣接する突起部３１ｂとガラス基板１１が接触するため、一つの可動基板受け１８ａでガラス基板１１を確実に２点で支持することができる。したがって、ガラス基板１１への応力集中を緩和することができるため、ガラス基板１１のクラックの発生を防止することができる。結果として、ガラス基板１１の製造工程において歩留まりを向上させることができる。
【００４３】
また、可動基板受け１８ａの本体部３０に当接し、本体部３０をガラス基板１１に向かって付勢する板バネ３５を設けた。
この場合、ガラス基板１１が可動基板受け１８ａに当接する際に、板バネ３５によりガラス基板１１の荷重に起因した衝撃力を吸収しながら当接させることができるため、ガラス基板１１のクラックの発生を防止することができる。
【００４４】
また、可動基板受け１８ａの本体部３０を樹脂で構成した。
この場合、可動基板受け１８ａの本体部３０が樹脂からなる弾性材料で構成されているため、ガラス基板１１と可動基板受け１８ａとが当接する際に、ガラス基板１１にクラックが発生することを防止することができる。
【００４５】
また、可動基板受け１８ａの本体部３０を着脱自在に取り付けた。
この場合、ガラス基板１１と当接している突起部３１が経時的に摩耗した場合に、本体部３０を一旦取り外し、別の突起部３１がガラス基板１１と当接するように本体部３０を回転させて取り付けることができる。これにより、可動基板受け１８ａの本体部３０を継続して使用することができ、したがって、本体部３０の長寿命化を図ることができる。
【００４６】
また、ガラス基板１１を支持するキャリア１０において、可動基板受け１８ａをキャリア１０に取り付けた。
この場合、キャリア１０に可動基板受け１８ａを適宜取り付けることにより、ガラス基板１１の荷重を受ける役割をしたり、ガラス基板１１が搬送時などに左右にずれる際に、干渉材としての役割をしたりすることができる。
【００４７】
さらに、ガラス基板１１を縦型に支持するキャリア１０において、ガラス基板１１の下辺に当接するように可動基板受け１８ａをキャリア１０に取り付けた。
この場合、キャリア１０にガラス基板１１を取り付ける際に、可動基板受け１８ａにより確実にガラス基板１１の荷重を受けることができ、また、一つの可動基板受け１８ａにおいて支持点が２箇所あるため、ガラス基板１１の荷重を分散させることができる。したがって、ガラス基板１１にクラックが発生することを防止することができる。
【００４８】
そして、可動基板受け１８ａと、ガラス基板１１に当接する固定基板受け１８ｂとが、ガラス基板１１の下辺に沿う方向に取り付けられ、かつ、可動基板受け１８ａを固定基板受け１８ｂよりもガラス基板１１寄りに取り付けられ、ガラス基板１１が可動基板受け１８ａに当接した後に固定基板受け１８ｂに当接してキャリア１０に支持されるようにした。
この場合、キャリア１０にガラス基板１１を取り付ける際に、まず可動基板受け１８ａとガラス基板１１とが当接して、ガラス基板１１の荷重に起因する衝撃力を吸収しながらガラス基板１１を支持し、さらに、ガラス基板１１の荷重により本体部３０が下方へ移動して、固定基板受け１８ｂとガラス基板１１とが当接してガラス基板１１が支持されるため、ガラス基板１１にクラックが発生することを防止することができる。
したがって、ガラス基板１１の製造工程において歩留まりを向上させることができる。
【００４９】
また、可動基板受け１８ａおよび固定基板受け１８ｂにより、ガラス基板１１がより多くの箇所で支持され、ガラス基板１１の荷重を分散して支持することができるため、ガラス基板１１を安定して支持することができると共に、ガラス基板１１にクラックが発生することを防止することができる。
【００５０】
（第二実施形態）
次に、本発明の第二実施形態を図１１に基づいて説明する。なお、本実施形態の構成は、第一実施形態と可動基板受けの構成が異なるのみで、その他は略同一の構成であるため、同一部分に同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図１１は、可動基板受け６１ａがキャリアフレーム１５に取り付けられた状態を示す断面図である。
図１１に示すように、可動基板受け６１ａは、本体部３０と、本体部３０とボルト３４の軸部４４との間に介装されたリング状の弾性部材６３とを備えている。弾性部材６３は、耐熱性材料により円筒状に形成されている。ガラス基板１１が可動基板受け６１ａに当接（載置）されていない状態において、本体部３０は、最上位に位置しており、ガラス基板１１が可動基板受けに当接されると、弾性部材６３が圧縮され、可動基板受け６１ａが回動しながら下方へ移動可能に構成されている。なお、弾性部材６１ａとしては、弾力性を持つ樹脂素材またはゴムであればよい。より具体的には、真空中で使用すること、高温雰囲気で使用することを考慮して、テフロン（登録商標）、バイトン（登録商標）、フッ素系ゴムまたはＳｉ系ゴムを採用することが望ましい。
【００５１】
この場合、第一実施形態の作用効果に加え、ガラス基板１１と当接している突起部３１が経時的に摩耗した場合に、本体部３０を取り外すことなく、別の突起部３１がガラス基板１１と当接するように本体部３０を容易に回転させることができる。これにより、より簡単な方法で可動基板受け１８ａの本体部３０を継続使用することができ、本体部３０の長寿命化を図ることができる。
【００５２】
本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、実施形態で挙げた具体的な材料や構成等は一例にすぎず、適宜変更が可能である。
【００５３】
例えば、本実施形態では、略四角形状の可動基板受けを採用した場合の説明をしたが、図１２に示すように略三角形、略五角形、略六角形などの多突起体で、ガラス基板に２点接触可能な可動基板受けであればよい。
図１２Ａ，図１２Ｂのように奇数の辺を有する多角形の場合、可動基板受けの上端でガラス基板との接点を２点確保するように配置すると、下端には一つの突起部が位置することとなる。このような場合は、板バネの形状を下端の突起部に当接する凹部を形成するようにすると、可動基板受けが上述の実施形態と同様の作用をすることができる。
また、図１２Ｃのように偶数の辺を有する多角形の場合、本実施形態と略同一の形状を有する板バネを設けることで、可動基板受けが上述の実施形態と同様の作用をすることができる。
【００５４】
また、本実施形態では、可動基板受けに板バネからなる付勢部材を設けた場合の説明をしたが、図１３に示すように、弾力性を持つ弾性部材７１を設けてもよい。なお、この弾性部材７１は上述の第二実施形態に記載した弾性部材と同じ素材の中から構成される。このように構成することで、上述の第一実施形態と略同等の作用効果を得ることができる。
【００５５】
さらに、本実施形態では、ガラス基板の下辺に沿う方向に可動基板受けと固定基板受けをそれぞれ２個ずつ配置した場合の説明をしたが、全て可動基板受けとしてもよい。
そして、本実施形態では、ガラス基板が可動基板受けに当接した後、固定基板受けに当接して載置される場合の説明をしたが、通常は可動基板受けのみにガラス基板が当接し、移載機からガラス基板を移動させる際などの衝撃荷重入力時にのみ固定基板受けにもガラス基板が当接する構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明の支持部材およびキャリアによれば、基板のクラックの発生を防止することができ、基板の製造工程において歩留まりを向上させることができる。
【符号の説明】
【００５７】
１１…ガラス基板（基板） １０…キャリア １８…基板受け（支持部材） １８ａ…可動基板受け（支持部材） １８ｂ…固定基板受け（固定支持部材） ３０…本体部（支持部材本体） ３１…突起部（突起） ３５…板バネ（付勢部材） ６３…弾性部材。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持部材およびそれを取り付けたキャリアに関するものである。
本願は、２００９年４月１６日に、日本に出願された特願２００９−５１１８３２号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイなどの製造工程において、大型ガラス基板に対して加熱処理や成膜処理などの真空処理が行われる。そのため、様々な真空処理装置が開発されている。その中の一つに、液晶ディスプレイのカラーフィルタ側にＩＴＯ膜（電極膜）を成膜するために、インラインスパッタ装置が用いられている。
【０００３】
このインラインスパッタ装置は、真空状態を作り出し薄膜をスパッタにてガラス基板上へ成膜する真空装置である。なお、ガラス基板は、装置内を安定して搬送させるために、キャリアと呼ばれる台車に取り付けられている。
【０００４】
また、特に大型のガラス基板を成膜する際に、ガラス基板を略垂直にしてキャリアに載置して成膜を行う方法がある。このとき、キャリア側に設けられた基板受け（支持部材）上に、ガラス基板の下辺を載置させることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１１４６７５号公報（第１１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、基板受けは、略四角形状で、キャリア側のガラス基板の下辺が当接される位置に複数固定されて取り付けられている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、ガラス基板の下辺と基板受けの上辺とを平行に接触させることは困難なため、これらは面接触ではなく点接触（線接触）となっている。
【０００７】
つまり、図１４に示すように、例えば基板受け１１８が３個取り付けられていても、ガラス基板１１１と基板受け１１８（１１８ａ〜１１８ｃ）とは、基板受け１１８ａの隅部と基板受け１１８ｃの隅部の２箇所のみで点接触（線接触）されており、基板受け１１８ｂとガラス基板１１とは接触していない状態になることがあった。
【０００８】
ところで、移載機（ロボット）により搬送されたガラス基板をキャリアの基板受けに当接させる際には、ガラス基板を基板受けの数ｍｍ上方から自然落下させて当接させるため、上述の例の場合などでは２箇所にガラス基板の荷重が一気にかかって応力が集中し、ガラス基板にクラックが発生して歩留まりが低下する可能性があった。また、このクラックが起因となり、その後の搬送工程、成膜工程および基板着脱工程などにおいて基板割れが発生する可能性があった。さらに、ガラス基板と基板受けとの擦れにより、基板受け側に削れが発生し、複数の基板受けの水平レベルがずれてしまい、したがって、ガラス基板の水平度が保てなくなるという問題があった。
【０００９】
そこで、本発明は、上述の事情に鑑みてなされたものであり、基板のクラックの発生を防止することができ、また、支持部材本体を長寿命化することができる支持部材およびキャリアを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る第一の態様は、回動自在に取り付けられた支持部材本体を備え、前記支持部材本体は、回動中心軸から放射状に延設された複数の突起を備え、前記複数の突起部のうち隣接する２つの突起部を基板の一辺に当接させて、前記基板を縦型に支持することを特徴としている。
この場合、前記基板が前記支持部材に当接する際に、まず前記支持部材本体の突起の１点と接触し、さらに基板の荷重が支持部材にかかることで、支持部材本体が回動して隣接する突起と基板が接触するため、一つの支持部材で基板を確実に２点で支持することができる。したがって、基板への応力集中を緩和することができるため、基板のクラックの発生を防止することができる効果がある。結果として、基板の製造工程において歩留まりを向上させることができる効果がある。
【００１１】
前記支持部材は、前記支持部材本体に当接し、前記支持部材本体を前記基板に向かって付勢する付勢部材を備えていてもよい。
この場合、基板が支持部材に当接する際に、付勢部材により基板の荷重に起因した衝撃力を吸収しながら当接させることができるため、基板のクラックの発生を防止することができる効果がある。
【００１２】
前記支持部材は、前記支持部材本体と前記回動中心軸との間に、弾性部材が介装されていてもよい。
この場合、基板が支持部材に当接する際に、弾性部材により基板の荷重に起因した衝撃力を吸収しながら当接させることができるため、基板のクラックの発生を防止することができる効果がある。
【００１３】
前記支持部材本体は、樹脂でできていてもよい。
この場合、支持部材本体が樹脂からなる弾性材料で構成されるため、基板と支持部材とが当接する際に、基板にクラックが発生することを防止することができる効果がある。
【００１４】
前記支持部材本体は、着脱自在に取り付けられていてもよい。
この場合、基板と当接している突起が経時的に摩耗した場合に、支持部材本体を一旦取り外し、別の突起が基板と当接するように支持部材本体を回転させて取り付けることができる。これにより、支持部材本体を継続使用することができ、したがって、支持部材本体の長寿命化を図ることができる効果がある。
【００１５】
前記基板を支持するキャリアには、上記いずれかの支持部材が取り付けられていてもよい。
この場合、キャリアに支持部材を適宜取り付けることにより、基板の荷重を受ける役割をしたり、基板が搬送時などに左右にずれる際に、干渉材としての役割をすることができる効果がある。
【００１６】
前記基板を縦型に支持するキャリアには、基板の下辺に当接するように前記支持部材が取り付けられていてもよい。
この場合、キャリアに基板を取り付ける際に、支持部材により確実に基板の荷重を受けることができる。また、一つの支持部材において支持点が２箇所あるため、基板の荷重を分散させることができ、したがって、基板にクラックが発生することを防止することができる効果がある。
【００１７】
基板を縦型に支持するキャリアには、上記いずれかの支持部材と、前記基板に当接する固定支持部材とが、前記基板の下辺に沿う方向に取り付けられ、かつ、前記支持部材が前記固定支持部材よりも前記基板寄りに取り付けられており、前記基板が、前記支持部材に当接した後に前記固定支持部材に当接して支持されていてもよい。
この場合、キャリアに基板を取り付ける際に、まず支持部材と基板とが当接して、基板の荷重に起因する衝撃力を吸収しながら基板を支持し、さらに、基板の荷重により支持部材本体が下方へ移動して、固定支持部材と基板とが当接して基板が支持されるため、基板にクラックが発生することを防止することができる。したがって、基板の製造工程において歩留まりを向上させることができる効果がある。
また、支持部材および固定支持部材により、基板がより多くの箇所で支持され、基板の荷重を分散して支持することができるため、基板を安定して支持することができると共に、基板にクラックが発生することを防止することができる効果がある。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、基板が支持部材に当接する際に、まず支持部材本体の突起の１点と接触し、さらに基板の荷重が支持部材にかかることで、支持部材本体が回動して隣接する突起と基板が接触するため、一つの支持部材で基板を確実に２点で支持することができるため、基板への応力集中を緩和することができる。また、基板が支持部材に当接する際に、付勢部材または弾性部材により基板の荷重に起因した衝撃力を吸収しながら当接させることができる。したがって、基板のクラックの発生を防止することができ、基板の製造工程において歩留まりを向上させることができる効果がある。
【００１９】
また、支持部材本体を樹脂からなる弾性材料で構成するため、基板と支持部材とが当接する際に、基板にクラックが発生することを防止することができる。
さらに、基板と当接している突起が経時的に摩耗した場合に、支持部材本体を一旦取り外し、別の突起が基板と当接するように支持部材本体を回転させて取り付けることができる構成とする。これにより、支持部材本体を継続使用することができ、したがって、支持部材本体の長寿命化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態におけるキャリアにガラス基板を載置した状態を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態におけるコンベアにキャリアを載置した状態を示す側面図である。
【図３】本発明の実施形態におけるキャリアの部分詳細図である。
【図４】本発明の第一実施形態における可動基板受けの本体部の正面図である。
【図５】本発明の第一実施形態における可動基板受けの本体部の背面図である。
【図６】本発明の第一実施形態における可動基板受けの本体部の斜視図である。
【図７】図４のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図８】本発明の第一実施形態における可動基板受けがキャリアフレームに取り付けられた状態を示す断面図である。
【図９Ａ】本発明の第一実施形態におけるガラス基板をキャリアに載置するときの工程を示す説明図である。
【図９Ｂ】本発明の第一実施形態におけるガラス基板をキャリアに載置するときの工程を示す説明図である。
【図９Ｃ】本発明の第一実施形態におけるガラス基板をキャリアに載置するときの工程を示す説明図である。
【図１０Ａ】図９の工程の続きを示す説明図である。
【図１０Ｂ】図９の工程の続きを示す説明図である。
【図１１】本発明の第二実施形態における可動基板受けがキャリアフレームに取り付けられた状態を示す断面図である。
【図１２Ａ】本発明の実施形態における可動基板受けの別の態様を示す説明図であり、外形が三角形のものである。
【図１２Ｂ】本発明の実施形態における可動基板受けの別の態様を示す説明図であり、外形が五角形のものである。
【図１２Ｃ】本発明の実施形態における可動基板受けの別の態様を示す説明図であり、外形が六角形のものである。
【図１３】本発明の実施形態における可動基板受けの別の態様を示す説明図である。
【図１４】従来の基板受けとガラス基板との関係を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（第一実施形態）
次に、本発明の第一実施形態を図１〜図１１に基づいて説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００２２】
図１は、キャリアにガラス基板を載置した状態を示す斜視図である。
図１に示すように、ガラス基板１１に成膜などを施す際には、キャリア１０と呼ばれる枠体にガラス基板１１を載置し、キャリア１０を後述するコンベアにより搬送しつつ、適宜処理を行う。
【００２３】
キャリア１０は縦型に配置された状態で、ガラス基板１１が載置されるように構成されている。キャリア１０は、アルミニウムなどからなる額縁状のキャリアフレーム１５と、キャリアフレーム１５の上辺に沿うように設けられたマグネット１６と、キャリアフレーム１５の下辺に沿うように設けられた丸棒からなるスライダ１７と、を備えている。また、ガラス基板１１の荷重を受け、かつガラス基板１１の水平度を保持するための複数の基板受け１８と、キャリアフレーム１５の開口部２１の周縁に設けられ、ガラス基板１１をキャリア１０に保持させるための複数のクランプ１９と、を備えている。また、キャリアフレーム１５の開口部２１の水平方向両端部にも、ガラス基板１１が搬送時などに左右にずれたときに当接され、衝撃を吸収可能な基板受け１８が設けられている。なお、ガラス基板１１の周縁の非成膜領域を覆うためのマスク２０はキャリアフレーム１５の開口部２１周縁に、キャリアフレーム１５と一体形成されている。
【００２４】
図２は、コンベアにキャリアを載置した状態を示す側面図である。
図２に示すように、キャリア１０は、コンベア５０により成膜装置内などを移動可能に構成されている。また、コンベア５０は、床面ＦＬに支持固定されたフレーム２２と、フレーム２２内に設けられた下部支持機構２３および上部支持機構２４とで構成されている。すなわち、キャリア１０の下辺に設けられたスライダ１７を、下部支持機構２３のローラ２５に係合させて、ローラ２５をモータ２６により回転駆動させることにより、キャリア１０を搬送経路（ローラ２５の外周側の溝部）に沿って水平移動させることができるように構成されている。また、キャリア１０の上辺に設けられたマグネット１６と、上部支持機構２４を構成する一対のマグネット２７ａ，２７ｂとが反発しあうことにより、キャリア１０を垂直に保持した状態で搬送可能に構成されている。
【００２５】
図３は、キャリアの部分詳細図である。
図３に示すように、本実施形態において、キャリアフレーム１５には、開口部２１の下辺に沿うように４個の基板受け１８が設けられ、これらの基板受け１８に、ガラス基板１１が当接可能に構成されている。４個の基板受け１８のうち、キャリアフレーム１５の両側には可動基板受け１８ａが配置され、中側の２個としては固定基板受け１８ｂが配置されている。なお、説明の都合上、クランプ１９は図示を省略している。
【００２６】
図４〜図６は、可動基板受け１８ａの本体部３０の正面図、背面図、斜視図である。
図４〜図６に示すように、可動基板受け１８ａは、その本体部３０が樹脂材料からなり、キャリアフレーム１５に取りつけた状態の正面視において、略四角形状で四隅が丸みを帯びた形状に形成されており、背面視において、略四角形状の四隅が湾曲するように切削されて突起部３１が形成され、かつ、四角形状の四辺に略同一形状の凹部３２がそれぞれ切削により形成されている。本体部３０の厚みは、ガラス基板１１の厚みより厚く形成され、凹部３２の厚みがガラス基板１１の厚みより厚く形成されている。なお、本体部３０は、エンジニアリングプラスチック、つまり、ポリイミド系やポリアミド系の樹脂、またはそれらの複合樹脂で形成されている。
【００２７】
図７は、図４のＡ−Ａ線に沿う断面図に、ボルト３４を図示したものである。
図７に示すように、可動基板受け１８ａの本体部３０は、その正面視略中央部に貫通孔３３が形成されており、ボルト３４が挿通されるように構成されている。ここで、貫通孔３３の孔径Ｄはボルト３４の軸部４４の外径ｄ１より大きく形成され、ボルト３４の頭部４５の外径ｄ２より小さく形成されている。さらに、本体部３０は、ボルト３４によりキャリアフレーム１５に取り付けられているが、ボルト３４は強固に締め付けず、キャリアフレーム１５の表面からボルト３４の頭部４５の底面までの距離が、本体部３０の幅（厚み）より大きくなるように取り付けられている。つまり、可動基板受け１８ａの本体部３０が移動可能に構成されている。
【００２８】
図８は、可動基板受け１８ａがキャリアフレーム１５に取り付けられた状態を示す断面図である。
図８に示すように、可動基板受け１８ａは、本体部３０と、本体部３０下端の凹部３２に当接された略凸形状の板バネ３５とを備えている。板バネ３５は、本体部３０を上方に付勢するようにキャリアフレーム１５に取り付けられている。ガラス基板１１が可動基板受け１８ａに当接（載置）されていない状態において、本体部３０は、最上位に位置するように板バネ３５により付勢されている。つまり、貫通孔３３の孔径Ｄがボルト３４の軸部４４の外径ｄ１よりも大きく形成されていることにより、本体部３０は上下に移動可能に構成されている。また、板バネ３５は、キャリアフレーム１５の表面と本体部３０の表面に形成された張出部３７との間に収まる幅で形成されている。これにより、板バネ３５の脱落を防止することもできる。
【００２９】
さらに、本体部３０は、キャリアフレーム１５に強固に固定されていないため、ボルト３４の軸部４４の周りを回動可能に構成されている。ただし、可動基板受け１８ａの下方に板バネ３５が取り付けられているため、回動量は制限されている。
【００３０】
図３に戻り、本体部３０は、低弾性の樹脂材料からなり、略四角形状で、ガラス基板１１より厚く形成されている。また、固定基板受け１８ｂは、キャリアフレーム１５にボルト３４などにより強固に固定して取り付けられている。このとき、固定基板受け１８ｂは、その四辺のうち一辺がガラス基板１１の下辺と略平行になるように取り付けられている。なお、固定基板受け１８ｂは、可動基板受け１８ａと同じ材料で形成してもよいし、異なる樹脂材料で略同等の弾性を有するもので形成してもよい。
【００３１】
また、ガラス基板１１がキャリア１０に載置されていない状態において、可動基板受け１８ａの上端部の位置は、固定基板受け１８ｂの上端部の位置よりも若干ガラス基板１１寄り（上方）になるように高低差を設けて取り付けられている（本実施形態においては、０．７５ｍｍ）。この取り付け位置の高低差は、ガラス基板１１が載置される際に、最初に可動基板受け１８ａに確実に当接され、可動基板受け１８ａがガラス基板１１の荷重により下方へ移動した後、固定基板受け１８ｂにガラス基板１１が当接される高低差を有していればよい。
【００３２】
さらに、可動基板受け１８ａは、キャリアフレーム１５の開口部２１の水平方向両端部にも複数取り付けられている。ガラス基板１１が載置された状態において、ガラス基板１１の水平方向両端部に取り付けられた可動基板受け１８ａとガラス基板１１との間には、隙間が形成されている。キャリア１０がコンベア５０により移動している際にガラス基板１１が左右にずれることがあっても、キャリアフレーム１５の水平方向両端部に取り付けられた可動基板受け１８ａによりその衝撃力を吸収できるように構成されている。
【００３３】
（作用）
次に、ガラス基板１１をキャリア１０に載置する際の作用について、図９，図１０に基づいて説明する。
図９Ａに示すように、ガラス基板１１が載置されていない状態において、可動基板受け１８ａの本体部３０は、板バネ３５により上方に向かって付勢され、最上位に位置している。
【００３４】
図９Ｂに示すように、ガラス基板１１がキャリア１０のキャリアフレーム１５に載置されると、まず、ガラス基板１１と本体部３０の突起部３１の一つ（突起部３１ａ）が接点４０ａにて接触する。
【００３５】
図９Ｃに示すように、ガラス基板１１がその荷重によりさらに下方に移動してくることで、本体部３０が下方へ移動する。また、本体部３０は板バネ３５が変形することで回動し、突起部３１ａに隣接する突起部３１ｂがガラス基板１１と接点４０ｂにてさらに接触し、ガラス基板１１と可動基板受け１８ａとが２点で接触する。
【００３６】
図１０Ａに示すように、上述の作用で、キャリアフレーム１５の両側の可動基板受け１８ａがそれぞれ２点ずつ計４点でガラス基板１１と接触する（接点４０ａ〜４０ｄ）。その後、さらにガラス基板１１の荷重により、ガラス基板１１は下方へ移動する。このとき、可動基板受け１８ａの本体部３０には板バネ３５が下方で当接しているため、板バネ３５が変形しながら本体部３０が下方へ移動する。つまり、ガラス基板１１の荷重による衝撃力を吸収しながらガラス基板１１は下方へ移動する。
【００３７】
図１０Ｂに示すように、ガラス基板１１がさらに下方へ移動し、ガラス基板１１が固定基板受け１８ｂに当接する位置まで移動して、キャリア１０に載置される。このとき、固定基板受け１８ｂとガラス基板１１とは、それぞれ１点ずつ計２点で点接触（線接触）される（接点４０ｅ，４０ｆ）。なお、固定基板受け１８ｂが、ガラス基板１１と平行な状態で取り付けられている場合には、点接触でなく面接触される。
【００３８】
ここで、ガラス基板１１は、可動基板受け１８ａにおいて各２点ずつ計４点で支持され、固定基板受け１８ｂにおいて各１点ずつ計２点で支持されている。したがって、ガラス基板１１は、計６点で支持されることとなる。また、可動基板受け１８ａと固定基板受け１８ｂとで受け持つ荷重が、１：２になるように板バネ３５の強さを調整したものを取り付けることで、確実に上述の６点で支持される。例えば、ガラス基板１１の荷重が６ｋｇであるときは、両側の可動基板受け１８ａでそれぞれ１ｋｇずつ受け持ち、固定基板受け１８ｂでそれぞれ２ｋｇずつ受け持つようにすればよい。
【００３９】
そして、開口部２１周縁に取り付けられているクランプ１９によりガラス基板１１の周縁部をキャリアフレーム１５のマスク２０に押し付けるようにして、ガラス基板１１をキャリア１０に固定支持する。
【００４０】
上述のようにガラス基板１１をキャリア１０に載置した後に、ガラス基板１１に成膜などの処理を行う。ガラス基板１１の成膜処理などが完了すると、ガラス基板１１をキャリア１０から取り外す。このような工程を繰り返し行うこととなるが、特に可動基板受け１８ａは、ガラス基板１１を載置する際の初期荷重により応力がかかりやすいため、樹脂からなる本体部３０の突起部３１に削れが発生する。このように本体部３０の突起部３１に削れが発生すると、ガラス基板１１の水平度を保持できなくなる可能性がある。
【００４１】
ここで、本体部３０はボルト３４でキャリアフレーム１５に取り付けられているだけであるため、ボルト３４を取り外すことで容易に本体部３０を取り外すことができる。そして、削れが発生している突起部３１以外の突起部３１が上端に位置するように本体部３０の向きを変えて（回転させて）、再度キャリアフレーム１５に取り付ける。このようにすることで、ガラス基板１１を削れのない突起部３１に当接させることができ、ガラス基板１１の水平度を保持することができる。本体部３０の形状が略四角形のため、一つの本体部３０で上述の作用を四度行うことができ、結果として、本体部３０の寿命を従来の四倍にすることができる。
【００４２】
本実施形態によれば、回動自在に取り付けられた可動基板受け１８ａの本体部３０に、本体部３０を回動中心軸から放射状に延設された複数の突起部３１を形成し、突起部３１をガラス基板１１の端部に当接させて、ガラス基板１１を支持するようにした。
この場合、ガラス基板１１が可動基板受け１８ａに当接する際に、まず本体部３０の突起部３１ａの１点（接点４０ａ）と接触し、さらにガラス基板１１の荷重が可動基板受け１８ａにかかることで、本体部３０が回動して隣接する突起部３１ｂとガラス基板１１が接触するため、一つの可動基板受け１８ａでガラス基板１１を確実に２点で支持することができる。したがって、ガラス基板１１への応力集中を緩和することができるため、ガラス基板１１のクラックの発生を防止することができる。結果として、ガラス基板１１の製造工程において歩留まりを向上させることができる。
【００４３】
また、可動基板受け１８ａの本体部３０に当接し、本体部３０をガラス基板１１に向かって付勢する板バネ３５を設けた。
この場合、ガラス基板１１が可動基板受け１８ａに当接する際に、板バネ３５によりガラス基板１１の荷重に起因した衝撃力を吸収しながら当接させることができるため、ガラス基板１１のクラックの発生を防止することができる。
【００４４】
また、可動基板受け１８ａの本体部３０を樹脂で構成した。
この場合、可動基板受け１８ａの本体部３０が樹脂からなる弾性材料で構成されているため、ガラス基板１１と可動基板受け１８ａとが当接する際に、ガラス基板１１にクラックが発生することを防止することができる。
【００４５】
また、可動基板受け１８ａの本体部３０を着脱自在に取り付けた。
この場合、ガラス基板１１と当接している突起部３１が経時的に摩耗した場合に、本体部３０を一旦取り外し、別の突起部３１がガラス基板１１と当接するように本体部３０を回転させて取り付けることができる。これにより、可動基板受け１８ａの本体部３０を継続して使用することができ、したがって、本体部３０の長寿命化を図ることができる。
【００４６】
また、ガラス基板１１を支持するキャリア１０において、可動基板受け１８ａをキャリア１０に取り付けた。
この場合、キャリア１０に可動基板受け１８ａを適宜取り付けることにより、ガラス基板１１の荷重を受ける役割をしたり、ガラス基板１１が搬送時などに左右にずれる際に、干渉材としての役割をしたりすることができる。
【００４７】
さらに、ガラス基板１１を縦型に支持するキャリア１０において、ガラス基板１１の下辺に当接するように可動基板受け１８ａをキャリア１０に取り付けた。
この場合、キャリア１０にガラス基板１１を取り付ける際に、可動基板受け１８ａにより確実にガラス基板１１の荷重を受けることができ、また、一つの可動基板受け１８ａにおいて支持点が２箇所あるため、ガラス基板１１の荷重を分散させることができる。したがって、ガラス基板１１にクラックが発生することを防止することができる。
【００４８】
そして、可動基板受け１８ａと、ガラス基板１１に当接する固定基板受け１８ｂとが、ガラス基板１１の下辺に沿う方向に取り付けられ、かつ、可動基板受け１８ａを固定基板受け１８ｂよりもガラス基板１１寄りに取り付けられ、ガラス基板１１が可動基板受け１８ａに当接した後に固定基板受け１８ｂに当接してキャリア１０に支持されるようにした。
この場合、キャリア１０にガラス基板１１を取り付ける際に、まず可動基板受け１８ａとガラス基板１１とが当接して、ガラス基板１１の荷重に起因する衝撃力を吸収しながらガラス基板１１を支持し、さらに、ガラス基板１１の荷重により本体部３０が下方へ移動して、固定基板受け１８ｂとガラス基板１１とが当接してガラス基板１１が支持されるため、ガラス基板１１にクラックが発生することを防止することができる。
したがって、ガラス基板１１の製造工程において歩留まりを向上させることができる。
【００４９】
また、可動基板受け１８ａおよび固定基板受け１８ｂにより、ガラス基板１１がより多くの箇所で支持され、ガラス基板１１の荷重を分散して支持することができるため、ガラス基板１１を安定して支持することができると共に、ガラス基板１１にクラックが発生することを防止することができる。
【００５０】
（第二実施形態）
次に、本発明の第二実施形態を図１１に基づいて説明する。なお、本実施形態の構成は、第一実施形態と可動基板受けの構成が異なるのみで、その他は略同一の構成であるため、同一部分に同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図１１は、可動基板受け６１ａがキャリアフレーム１５に取り付けられた状態を示す断面図である。
図１１に示すように、可動基板受け６１ａは、本体部３０と、本体部３０とボルト３４の軸部４４との間に介装されたリング状の弾性部材６３とを備えている。弾性部材６３は、耐熱性材料により円筒状に形成されている。ガラス基板１１が可動基板受け６１ａに当接（載置）されていない状態において、本体部３０は、最上位に位置しており、ガラス基板１１が可動基板受けに当接されると、弾性部材６３が圧縮され、可動基板受け６１ａが回動しながら下方へ移動可能に構成されている。なお、弾性部材６１ａとしては、弾力性を持つ樹脂素材またはゴムであればよい。より具体的には、真空中で使用すること、高温雰囲気で使用することを考慮して、テフロン（登録商標）、バイトン（登録商標）、フッ素系ゴムまたはＳｉ系ゴムを採用することが望ましい。
【００５１】
この場合、第一実施形態の作用効果に加え、ガラス基板１１と当接している突起部３１が経時的に摩耗した場合に、本体部３０を取り外すことなく、別の突起部３１がガラス基板１１と当接するように本体部３０を容易に回転させることができる。これにより、より簡単な方法で可動基板受け１８ａの本体部３０を継続使用することができ、本体部３０の長寿命化を図ることができる。
【００５２】
本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、実施形態で挙げた具体的な材料や構成等は一例にすぎず、適宜変更が可能である。
【００５３】
例えば、本実施形態では、略四角形状の可動基板受けを採用した場合の説明をしたが、図１２に示すように略三角形、略五角形、略六角形などの多突起体で、ガラス基板に２点接触可能な可動基板受けであればよい。
図１２Ａ，図１２Ｂのように奇数の辺を有する多角形の場合、可動基板受けの上端でガラス基板との接点を２点確保するように配置すると、下端には一つの突起部が位置することとなる。このような場合は、板バネの形状を下端の突起部に当接する凹部を形成するようにすると、可動基板受けが上述の実施形態と同様の作用をすることができる。
また、図１２Ｃのように偶数の辺を有する多角形の場合、本実施形態と略同一の形状を有する板バネを設けることで、可動基板受けが上述の実施形態と同様の作用をすることができる。
【００５４】
また、本実施形態では、可動基板受けに板バネからなる付勢部材を設けた場合の説明をしたが、図１３に示すように、弾力性を持つ弾性部材７１を設けてもよい。なお、この弾性部材７１は上述の第二実施形態に記載した弾性部材と同じ素材の中から構成される。このように構成することで、上述の第一実施形態と略同等の作用効果を得ることができる。
【００５５】
さらに、本実施形態では、ガラス基板の下辺に沿う方向に可動基板受けと固定基板受けをそれぞれ２個ずつ配置した場合の説明をしたが、全て可動基板受けとしてもよい。
そして、本実施形態では、ガラス基板が可動基板受けに当接した後、固定基板受けに当接して載置される場合の説明をしたが、通常は可動基板受けのみにガラス基板が当接し、移載機からガラス基板を移動させる際などの衝撃荷重入力時にのみ固定基板受けにもガラス基板が当接する構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明の支持部材およびキャリアによれば、基板のクラックの発生を防止することができ、基板の製造工程において歩留まりを向上させることができる。
【符号の説明】
【００５７】
１１…ガラス基板（基板） １０…キャリア １８…基板受け（支持部材） １８ａ…可動基板受け（支持部材） １８ｂ…固定基板受け（固定支持部材） ３０…本体部（支持部材本体） ３１…突起部（突起） ３５…板バネ（付勢部材） ６３…弾性部材。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回動自在に取り付けられた支持部材本体を備え、
前記支持部材本体は、回動中心軸から放射状に延設された複数の突起を備え、
前記複数の突起部のうち隣接する２つの突起部を基板の一辺に当接させて、前記基板を縦型に支持することを特徴とする支持部材。
【請求項２】
前記支持部材本体に当接し、前記支持部材本体を前記基板に向かって付勢する付勢部材
を備えている請求項１に記載の支持部材。
【請求項３】
前記支持部材本体と前記回動中心軸との間に、弾性部材が介装されている請求項１に記
載の支持部材。
【請求項４】
前記支持部材本体が、樹脂からなる請求項１に記載の支持部材。
【請求項５】
前記支持部材本体が、着脱自在に取り付けられている請求項１に記載の支持部材。
【請求項６】
基板を支持するキャリアにおいて、
請求項１に記載の支持部材が取り付けられているキャリア。
【請求項７】
基板を縦型に支持するキャリアにおいて、
基板の下辺に当接するように請求項１に記載の支持部材が取り付けられているキャ
リア。
【請求項８】
基板を縦型に支持するキャリアにおいて、
請求項２〜５のいずれかに記載の支持部材と、前記基板に当接する固定支持部材とが、
前記基板の下辺に沿う方向に取り付けられ、かつ、前記支持部材が前記固定支持部材より
も前記基板寄りに取り付けられており、
前記基板が、前記支持部材に当接した後に前記固定支持部材に当接して支持されるキャ
リア。
【請求項９】
請求項２に記載の支持部材を用いた基板の支持方法において、
前記基板が基板を支持するキャリアのキャリアフレームに載置されることにより、前記支持部材本
体の突起の一つが前記基板と１点で接触する工程と、
前記基板の荷重により前記基板が下方に移動することにより、前記支持部材本体が下方
へ移動し、前記付勢部材が変形する工程と、
前記付勢部材が変形することにより、前記支持部材本体が回動して隣接する突起と前記
基板が接触し、一つの前記支持部材によって前記基板を２点で支持する工程とを具備する
支持方法。
【請求項１０】
請求項８に記載のキャリアを用いた基板の支持方法において、
基板が前記キャリアのキャリアフレームに載置されることにより、前記支持部材本
体の突起の一つが前記基板と１点で接触する工程と、
前記基板の荷重により前記基板が下方に移動することにより、前記支持部材本体が下方
へ移動し、前記付勢部材が変形する工程と、
前記付勢部材が変形することにより、前記支持部材本体が回動して隣接する突起と前記
基板が接触し、一つの前記支持部材によって前記基板を２点で支持する工程と、
前記基板の荷重により前記基板がさらに下方に移動することにより、前記基板が前記固
定支持部材の１点で接触し、前記支持部材と前記固定支持部材によって基板を支持する工
程とを具備する支持方法。
【請求項１】
回動自在に取り付けられた支持部材本体を備え、
前記支持部材本体は、回動中心軸から放射状に延設された複数の突起を備え、
前記複数の突起部のうち隣接する２つの突起部を基板の一辺に当接させて、前記基板を縦型に支持することを特徴とする支持部材。
【請求項２】
前記支持部材本体に当接し、前記支持部材本体を前記基板に向かって付勢する付勢部材
を備えている請求項１に記載の支持部材。
【請求項３】
前記支持部材本体と前記回動中心軸との間に、弾性部材が介装されている請求項１に記
載の支持部材。
【請求項４】
前記支持部材本体が、樹脂からなる請求項１に記載の支持部材。
【請求項５】
前記支持部材本体が、着脱自在に取り付けられている請求項１に記載の支持部材。
【請求項６】
基板を支持するキャリアにおいて、
請求項１に記載の支持部材が取り付けられているキャリア。
【請求項７】
基板を縦型に支持するキャリアにおいて、
基板の下辺に当接するように請求項１に記載の支持部材が取り付けられているキャ
リア。
【請求項８】
基板を縦型に支持するキャリアにおいて、
請求項２〜５のいずれかに記載の支持部材と、前記基板に当接する固定支持部材とが、
前記基板の下辺に沿う方向に取り付けられ、かつ、前記支持部材が前記固定支持部材より
も前記基板寄りに取り付けられており、
前記基板が、前記支持部材に当接した後に前記固定支持部材に当接して支持されるキャ
リア。
【請求項９】
請求項２に記載の支持部材を用いた基板の支持方法において、
前記基板が基板を支持するキャリアのキャリアフレームに載置されることにより、前記支持部材本
体の突起の一つが前記基板と１点で接触する工程と、
前記基板の荷重により前記基板が下方に移動することにより、前記支持部材本体が下方
へ移動し、前記付勢部材が変形する工程と、
前記付勢部材が変形することにより、前記支持部材本体が回動して隣接する突起と前記
基板が接触し、一つの前記支持部材によって前記基板を２点で支持する工程とを具備する
支持方法。
【請求項１０】
請求項８に記載のキャリアを用いた基板の支持方法において、
基板が前記キャリアのキャリアフレームに載置されることにより、前記支持部材本
体の突起の一つが前記基板と１点で接触する工程と、
前記基板の荷重により前記基板が下方に移動することにより、前記支持部材本体が下方
へ移動し、前記付勢部材が変形する工程と、
前記付勢部材が変形することにより、前記支持部材本体が回動して隣接する突起と前記
基板が接触し、一つの前記支持部材によって前記基板を２点で支持する工程と、
前記基板の荷重により前記基板がさらに下方に移動することにより、前記基板が前記固
定支持部材の１点で接触し、前記支持部材と前記固定支持部材によって基板を支持する工
程とを具備する支持方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９Ａ】
【図９Ｂ】
【図９Ｃ】
【図１０Ａ】
【図１０Ｂ】
【図１１】
【図１２Ａ】
【図１２Ｂ】
【図１２Ｃ】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９Ａ】
【図９Ｂ】
【図９Ｃ】
【図１０Ａ】
【図１０Ｂ】
【図１１】
【図１２Ａ】
【図１２Ｂ】
【図１２Ｃ】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１２−２５６８９４（Ｐ２０１２−２５６８９４Ａ）
【公開日】平成２４年１２月２７日（２０１２．１２．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−１５４１１１（Ｐ２０１２−１５４１１１）
【出願日】平成２４年７月９日（２０１２．７．９）
【分割の表示】特願２００９−５１１８３２（Ｐ２００９−５１１８３２）の分割
【原出願日】平成２０年４月１６日（２００８．４．１６）
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月２７日（２０１２．１２．２７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年７月９日（２０１２．７．９）
【分割の表示】特願２００９−５１１８３２（Ｐ２００９−５１１８３２）の分割
【原出願日】平成２０年４月１６日（２００８．４．１６）
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]