【課題】輸送時におけるガラス板の積載効率の向上を図りつつ、衝撃等に由来するガラス板の下端縁近傍の割れや損傷を抑制する。また、梱包用パレットに収容された段階では湾曲しているガラス板を、その積層作業時及び取り出し作業時には略平坦な形状にして、作業性の改善を図る。
【解決手段】基台部４の受け面８に縦姿勢で受けられたガラス板積層体３を、裏面側に凸となる曲率半径が、上部よりも下部の方が小さくなり、且つ、幅方向と直交する断面において、下端３ｂの裏面に接する接線Ｌが、その裏面に接する点から前方に延びる水平線Ｈを基準として、上方に向かう角度αが、α≧０°となる形状に保持するように受け面８の形状を設定する。また、基台部４が、受け面８を有する上下動可能な可撓性受け部材９を備える。 （もっと読む）

【課題】各種の電子素子を収納して実用可能な形態とする容器であって、特に、経済的で、過酷な温度変化に対応することができる容器を提供する。
【解決手段】容器１０の一部が誘電体材料で構成され、容器１０内において電子素子３０に接続される内部電極２１と、容器１０外で回路に接続される外部電極２２とが、誘電体材料を介して電気的に接続されている。電子素子３０の収納空間を形成する枠体部１３と、枠体部１３の表裏を閉塞する表面板１１及び裏面板１２により構成される。裏面板１２が誘電体材料で構成され、内部電極２１及び前記外部電極２２が、裏面板１２の内外に対向して設けられている。 （もっと読む）

【課題】ボルトで固定する必要をなくす。
【解決手段】仕切ガイド１３は、直方体形状を呈し上方に開口１１を有する容器本体１２と共に搬送用容器１０を構成し、容器本体１２における複数の位置に取付け可能な仕切板１４をガイドする。この仕切ガイド１３は、容器本体１２における互いに対向する一対の側面１７ｂ，１７ｄの内側に沿って配され、互いに対向する面に、仕切板１４の側端部が挿入される複数の縦溝２８ａ，２９ａを有する一対のガイド板２８，２９と、この一対のガイド板２８，２９を連結して、一対のガイド板２８，２９が容器本体１２における側面１７ｂ，１７ｄの内側に沿って配されるように支持するダンボールプラスチック３０と、を備え、容器本体１２に着脱可能に収容される。 （もっと読む）

【課題】 ペリクルフレームの変形や歪みを低減することができるペリクル製造用キットを提供する。
【解決手段】 本発明のペリクル製造用ジグは、ジグピンの先端頭部分を、ジグ穴の奥部に設けられたテーパー部のテーパー面に当接させて、該テーパー面を押圧することにより、ペリクルフレームを固定する。 （もっと読む）

【課題】ウエハー又はレチクルと協働して拡散バリアを与える最小の接触を含む支持構造及び環境制御手段を与える容器において、ウエハー又はレチクルの面上に置かれる微粒子を軽減する。
【解決手段】容器は、突起物を伴う平坦で研磨された表面を有するベースを含み、ウエハー或いはレチクルはこの突起物上に設置される。突起物は、ウエハー又はレチクルと最小の接触を与えるとともにウエハー又はレチクルをベースに浮かせる球としての配置を有し、それらの間にギャップを与える。このギャップは、ウエハー又はレチクルをベースの平坦で研磨された表面から分離するとともに微粒子のギャップへの移動を防止し、それによってウエハー又はレチクルの高感度面の汚染を防止する。拡散フィルタは、ろ材なしで圧力均一化を与える。トップカバー上の移動可能なレチクルのピンはレチクルを規定する。二重ポッドの実施態様によってさらなる分離及び保護が得られる。 （もっと読む）

【課題】単純な構成のガラス運搬用パレットでありながら、ガラス板を破損しないように安全に運搬することが可能であり、ガラス板運搬後に前記パレットを回収する場合も、廃棄する場合も嵩張らないガラス板運搬用パレットを提供する。
【解決手段】
複数枚の矩形のガラス板を縦姿勢で載置するベース部と、前記複数枚の矩形のガラス板からなるガラス板群を背面から支持する背受と、前記ガラス板群の前面を覆う前枠と、からなるガラス板輸送用パレットにおいて、前記ガラス板群の左右端部にそれぞれ当接される一対のガラス板側部抑えフレームと、前記ガラス板側部抑えフレームと前枠及び背受とを締結する側部抑えバンドとを備えていることを特徴とするガラス板輸送用パレット。 （もっと読む）

【課題】積載する板ガラスの大きさに合わせてパレットの横幅が調整可能なように左右にスライド部材を設けたパレットに関して、スライド部材の円滑な伸縮動作を長期間保障できるガラス板輸送用パレットを提供する。
【解決手段】
背枠の左右に伸縮自在な一対のスライド部材とを備えるガラス板輸送用パレットであって、前記背枠に備えられた前記スライドガイドには、レールが備えられ、前記レールの一端にスライドガイド車輪が軸着されており、前記一対のスライド部材は、それぞれ少なくとも１本のスライド軸を備えており、前記スライド軸は、その一端部に、スライド軸車輪が軸着されており、前記スライド軸を、前記スライドガイドに挿入したときに、前記スライド軸は、前記レールよりも下方に位置しており、前記スライド軸車輪は、前記レールの下方から前記レールに当接し、前記スライドガイド車輪は、前記スライド軸の下方から前記スライド軸に当接している。 （もっと読む）

【課題】少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるような特に大型のペリクルを収納したペリクル収納容器を傾斜及び脱落させることなく安定にかつ清浄な状態を保ち保管するとともに、ペリクル収納容器及び収納されているペリクルに十分な緩衝能力を発揮して衝撃や振動を与えず、輸送及び運搬することが可能なペリクル用梱包箱を提供する。
【解決手段】ペリクル用梱包箱１は、少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるペリクルを収納するペリクル収納容器３０を保管及び／又は輸送するための梱包箱であって、該梱包箱の内部底面に、該ペリクル収納容器の外部底面に突出した複数の脚部３３を夫々挿入する凹みを有する複数の緩衝体１８が、分離して取り付けられているものである。 （もっと読む）

【課題】デバイスの大きさに関係なく、しかもデバイスを治具から搬送トレイへ効率よく移し替ることが可能な搬送トレイを提供する。
【解決手段】複数のデバイスを収容して搬送する搬送トレイであって、複数のデバイスを支持する表面を有するデバイス支持部と、デバイス支持部の外周を囲繞して形成された枠部とを備えたトレイ本体と、トレイ本体のデバイス支持部の表面に装着されタック力を有するタック層とを具備している。 （もっと読む）

【課題】コスト低減を図りつつ、複数の薄板パネルを縦置きで安定して搬送可能な薄板パネルの搬送ユニットを提供する。
【解決手段】矩形状パレット１２と、薄板パネルの高さより低い矩形断面の筒状スリーブ１４と、L字形断面を有し筒状スリーブの四隅に対して外側からあてがわれる４つのコーナーアングル１８と、一方の面に長手方向に互いに所定間隔を隔て互いに平行な複数の溝３０を備え、面同士が対向するように配置される一対のスペーサとを有し、複数の溝は、筒状スリーブ内に縦置きで収納される薄板パネルの側端部を受け入れ可能な幅を備え、パレットの上面に位置する第１下スペーサ３４と、筒状スリーブの内面３６の上端に位置する第２下スペーサ３８と、コーナーアングルの上端同士をかけ渡すように固定されるの上スペーサ４０とを有し、第１下スペーサおよび第２下スペーサ対応する溝が間隔を空けて同一面上に配置されるように設けられる。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の積み込みや積み下ろしの作業性を向上した、梱包容器および梱包体を提供する。
【解決手段】ガラス板を横置きに複数枚積層保持する梱包容器である。ガラス板を支持する載置部４を有した容器本体６には、一端側が回動軸１１に連結して固定端となり、他端側が回動端となる支持アーム１２が設けられている。支持アーム１２の回動端には係止めバー１３が設けられている。係止めバー１３は支持アーム１２の回動動作に伴い、ガラス板の上面に当接する状態と、ガラス板の上面から容器本体６側に退避した状態との間で変位可能になっている。回動軸１１には係止めバー１３がガラス板の上面に当接する状態から容器本体６側に退避するときに付勢し、容器本体６側に退避した状態からガラス板の上面に当接するときに抵抗を与える主ダンパー機構２０が付設されている。 （もっと読む）

【課題】被運搬板状物品の搬送用トレイに関し、ソーラーモジュール、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等の大型ガラス板、その製造中間製品、アルミニウム板等の面積が大きく自重による撓みが大きな金属薄板よりなる被運搬板状物品の大型化に対応して搬送用トレイの全体的な厚さを薄くして被運搬板状物品の製品輸送効率の向上をはかる。
【解決手段】支持部材５Ａ,５Ｂが、幅方向Ｘに膨出部５ａの外側下端にフレーム枠１の支持片６に取付可能に設けられた水平な取付板部５ｂと、膨出部の内側には被運搬板状物品４の外縁部４ａが当接して移動が規制可能に設けられた立壁部５ｃと、立壁部の内側に可撓可能に連設される弾性凹部５ｄと、水平板部５ｅを介して被運搬板状物品４を載置する載置突部５ｆと、で構成されている。 （もっと読む）

【課題】薄い大型の平板状基板を表面へのダメージ無く収納し搬送することができる、薄型、軽量の基板収納用トレイを提供するにより、一度に輸送できる基板の枚数を多くでき、輸送コストを低減する。
【解決手段】平板状で同一形状の複数の基板を一枚ずつ収納し、該基板を囲む枠部で水平に多段に積み重ねて搬送するための基板収納用トレイにおいて、枠部と連結して枠部の内側に基板を担持する基板支持部を有し、基板支持部の基板と接する部分に自己粘着性を有する基板固定部材を設けた。 （もっと読む）

【課題】簡易な設備を用いて低コストで生産することができるウェーハフレームカセットを提供すること。
【解決手段】半導体ウェーハがマウントされた複数のフレーム１００を内部に収納可能なウェーハフレームカセット１であって、複数の棚締結孔１３が一定の間隔を空けて形成されているとともに互いに平行に並べて設けられた一対の壁部材１１と、複数の棚締結孔１３に固定され、複数のフレーム１００のうちの１つのフレーム１００の周縁部が載置される載置面１６ａが形成された複数の棚部材１５と、一対の壁部材１１を互いに連結する枠体２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 少なくともひとつの辺長が５００ｍｍを超える矩形のペリクルを安全、確実かつ容易にハンドリングできるペリクルハンドリング治具を提供する。
【解決手段】 ペリクルフレームの一対の辺の外側面に沿って配置される２本の腕部を有し、該２本の各腕部はその一端で連結部に接続され、該連結部には操作部が設けられ、該２本の各腕部上には少なくとも２箇のペリクルフレーム把持手段が、任意の位置に移動ならびに固定可能な移動手段に搭載されていることを特徴とし、前記ペリクルフレーム把持手段の先端はピン形状または爪形状を有し、該先端をペリクルフレームの外側面に設けられた凹み部または溝部に挿入してペリクルの把持を行う。 （もっと読む）

【課題】複数種類の部品の収容が可能であると共に、部品の収容保持性に優れ、部品の収容密度を高めることが可能な、部品トレーを供給し、当該部品トレーにより、部品トレーの共通化を図る。
【解決手段】１本の棒状部材からなる部品、または、複数本の棒状部材を略平行に所定間隔で連結部材によって連結一体化した部品、部品１ｃを収容する部品トレー２において、部品トレーに収容凹部を設け、収容凹部を、棒状部材１１が収容される棒状凹部２１、２１が前記所定間隔で平行に連設されると共に、連設される棒状凹部の間が、前記連結部材を収容可能に形成された連結凹部２２，２２により連絡するようにされて、連設された棒状凹部と連結凹部とにより串ざし形状の収容凹部となるようにする。 （もっと読む）

【課題】高エネルギーの光の照射下においてもヘイズの発生を低減することができると共に、異物検査に優れたペリクル枠体及びペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクル枠体２は、アルミニウム材で枠状に形成されており、アルミニウム材は、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、リン酸、及びそれらの塩からなる群から選択される少なくとも１つの電解液で陽極酸化処理された陽極酸化皮膜Ｐが表面に形成されており、アルミニウム材の素材には、Ｃｕ：０．５〜３．０％、Ｍｇ：１．５〜４．５％、Ｚｎ：４．０〜７．０％を含む。 （もっと読む）

【課題】包装作業がより簡便となる物品用包装体を提供すること。
【解決手段】受け枠体（下枠体）１１と被せ枠体（上枠体）１３とからなる物品用包装体。被せ枠体１３と受け枠体１１とは、両側が相互に対面する合せ面縁部対１７とされ合体させたとき筒状空間Ｓ１を形成可能に上向き・下向き溝部１５、１６を一組以上備えている。各合せ面縁部対１７には、受け・被せ保護フィルム１９、２１を掛け渡し固着する。そして、受け枠体１１と被せ枠体１３とを合体させたとき受け・被せ保護フィルム１９、２１で被包装物品を挟持して抱持する。 （もっと読む）

【課題】耐発塵性、耐熱性、非帯電性、フラット製などを改善し、半導体の搬送に適したトレーを、安価に提供すること。
【解決手段】 半導体デバイスを含む面実装電子部品をその製造工程または検査工程に搬送するために使用される面実装電子部品の搬送用トレーであって、導電性および〔１００〕℃以上の耐熱性の少なくとも何れかの特性を具備する材料からなるプレート部と、当該プレート部の少なくとも一方の面上にリブ状に設けられ、各面実装電子部品を収容する複数の空間を区画する樹脂製の仕切り部とからなり、当該プレート部と仕切り部とが一体化されている面実装電子部品の搬送用トレーとする。 （もっと読む）

【課題】露光機内のマスクステージにマスクを装着した状態で、ペリクル上の透明性異物の検査を行うことができるペリクル及び露光装置を提供する。
【解決手段】ペリクル５０のペリクルフレーム５２に、ペリクル膜５１の表面上を伝搬する弾性表面波を発生させる弾性表面波素子２０Ａと、弾性表面波を受信する弾性表面波素子２０Ｂとを設け、当該弾性表面波によってペリクル膜５１上の異物の有無を検出する。このとき、ペリクル５０を装着したフォトマスク１を、露光機１００のマスクステージ１０３に載置した状態で異物検査を行う。また、弾性表面波素子２０Ａ，２０Ｂをペリクルフレーム５２に複数組設ければ、ペリクル膜５１上の異物の位置を特定できる。 （もっと読む）