【課題】前枠を備えたガラス板梱包体であって、ガラス板の取り出しを円滑に実施することができるとともに、ストックスペースを省スペース化する。
【解決手段】ガラス板梱包体１０のロックナット４６、４８を緩めて段積み用台座支持部材１８、１８を背面支持体１４と前枠１６とから取り外す。次に、前枠１６の脚部１７を穴２１から引き抜いて前枠１６を台座１２から取り外す。これにより、ガラス積層体の表面が、前枠１６及び段積み用台座支持部材１８に邪魔されることなく露出するので、ガラス板を円滑に取り出すことができる。空となったガラス板梱包体１０をストックする場合には、まず、前枠１６を台座１２に取り付け、次に、段積み用台座支持部材１８、１８を背面支持体１４と前枠１６とに再度取り付ける。次いで、段積み用台座支持部材１８、１８の木材２８、２８の上部に、別の空のガラス板梱包体１０の台座１２を載置する。 （もっと読む）

【課題】 積み重ねた半導体素子用トレイ自体を相互に固定することを可能にし、半導体素子の飛散、トレイ枚数に関する制約などを生じさせるクリップ等の別個の固定手段を不要とする。
【解決手段】 トレイ１０は、半導体素子４０を収容するポケット１３を有する。トレイ１０は更に、上面側に第１の嵌合部１５を有し、底面側に第２の嵌合部１６を有する。複数のトレイ１０を積み重ねるとき、下段のトレイと上段のトレイとを接触させながら相対的にスライドさせることにより、下段のトレイの第１の嵌合部１５と上段のトレイの第２の嵌合部１６とが嵌合し、上段のトレイと下段のトレイとが固定される。 （もっと読む）

【課題】広い範囲の除電ができる帯電防止電気機器搬送装置の提供。
【解決手段】電気機器搬送装置は、電気機器用の載置領域に望むように支持基体に設けられて、電気機器の側面に弾性的に接触して除電する除電ブラシ装置と、除電ブラシ装置を、電気機器を支持基体上に載置できる開放位置と、電気機器に弾性的に接触する接触位置とに選択的に弾性的に保持する保持装置と、電気機器を通過させ得る開口を有する搬送容器と、搬送容器上で開口に望んで配置され、開口を通過する電気機器の外周面に弾性的に接触して除電する除電ブラシ装置とを備えている。
【効果】電気機器での静電気放電を防止できる。 （もっと読む）

【課題】外装ケース１０内へ側面パッド２０を正確に位置決めすることができ、それにより、大型である太陽電池パネルＰを、外装ケース１０内の所定の位置に容易に収容しかつ梱包することのできるようにした太陽電池パネル用梱包体１Ａを提供する。
【解決手段】太陽電池パネル用梱包体１Ａは、外装ケース１０と、収容する太陽電池パネルＰの側縁が挿入される複数個の凹溝２２を並列に形成した左右一対の発泡樹脂製の側面パッド２０と、発泡樹脂製の底パッド３０と、発泡樹脂製の天パッド４０とを備える。側面パッド２０は前記凹溝２２を形成した背面壁２１とその両側に位置する左右の側壁２３とからなる水平断面コ字形をなしている。外装ケース１０内に一対の側面パッド２０を対向して配置したときに、一対の側面パッド２０はその下端部の間に底パッド３０が配置されることで下端側の自由な移動を規制されるように位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】大型の、ガラス基板及び工程途中のガラス基板を一時的に収納、保管するための、ロボットによるランダムアクセス可能で、且つ、収納効率の高いバッファカセットを提供する。
【解決手段】後壁部材と両側壁部材の内側の多段の収納部のそれぞれが、両側壁部材に片側が拘持されて内側方向に相対向して張り出し、先端部が離間して配置された複数本の上部に所定の間隔で設けられた支持ピンを有する側壁側の支持フレームと、後壁部材に片側が拘持されて前記側壁側の支持フレームの離間部に張り出した複数本の上部に所定の間隔で設けられた支持ピンを有する後壁側の支持フレームとを有し、それぞれの前記支持フレームの先端部と前記側壁部材及び前記後壁部材のそれぞれの拘持部との間に金属ワイヤーが張架されていて、前記基板支持フレームの先端部が基板質量による下側への撓みに対抗する張力を受けながらガラス基板を担持する構造を有する。 （もっと読む）

【課題】ペリクルを露光原版に貼り付けても、ペリクルフレームの変形に起因する露光原版の変形を極力低減することができるようなペリクルフレームを提供すること、及び、このようなペリクルフレームを有するリソグラフィ用ペリクルを提供すること。
【解決手段】ペリクルフレームの断面が、上辺及び下辺が平行で面積が２０ｍｍ²以下の四辺形の少なくとも片方の側辺に、曲線を含む窪みを有する形状であることを特徴とするペリクルフレーム、及び、ペリクルフレームの一端面にペリクル膜接着剤を介してペリクル膜が張設され、他端面に露光原版接着剤を設けたリソグラフィ用ペリクル。ここで、好ましくは、前記曲線が、円、楕円、双曲線及び放物線よりなる凸状曲線群から選ばれる。 （もっと読む）

【課題】ペリクルを露光原版に貼り付けても、ペリクルフレームの変形に起因する露光原版の変形を極力低減することができるようなペリクルフレームを提供すること、及び、このようなペリクルフレームを有するリソグラフィ用ペリクルを提供すること。
【解決手段】ペリクルフレームバーの断面が、上辺及び下辺が平行で面積が２０ｍｍ²以下の四辺形の少なくとも一つの側辺に少なくとも一つの三角形状の窪みを有した形状であることを特徴とするペリクルフレーム、並びに、前記ペリクルフレームの一端面にペリクル膜接着剤を介してペリクル膜が張設され、他端面に露光原版接着剤を設けたリソグラフィ用ペリクル。 （もっと読む）

【課題】ペリクルを露光原版に貼り付けても、ペリクルフレームの変形に起因する露光原版の変形を極力低減することができるようなペリクルフレームを提供すること、及び、このようなペリクルフレームを有するリソグラフィ用ペリクルを提供すること。
【解決手段】ペリクルフレームバーの断面が、上辺及び下辺が平行な基本四辺形の両側辺に、四辺形状の窪みを有した形状であることを特徴とするペリクルフレーム、好ましくは、前記基本四辺形が長方形であり、前記窪みの少なくとも一方が前記上辺と平行な辺を有した長方形であるペリクルフレーム、及び、前記ペリクルフレームの一端面にペリクル膜接着剤を介してペリクル膜が張設され、他端面に露光原版接着剤を設けたリソグラフィ用ペリクル。 （もっと読む）

【課題】搬送時のガラス板の割れの防止と押し込み時のガラス板の割れの防止を両立できるようにする。
【解決手段】ガラス板梱包用パレット１は、大型のガラス板１０の梱包に用いられるパレットであり、ガラス板１０が立てた状態で積層されながら載置される載置部２２、および積層されたガラス板１０を背面側から支持する背面板２１を有する本体２と、載置部２２上に配設された、ガラス板１０の下端面を受ける受け部材３とを備えている。受け部材３は、緩衝材と、この緩衝材の上に積層された応力分散板とを含み、受け部材３におけるガラス板１０の下端面と接する表面３ａの対ガラス静摩擦係数は、０．５０以上０．９０以下である。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板等の輸送トレイの薄型化を図り、多段積層できる枚数を増加して、輸送効率を上げて輸送費用を低減できる基板輸送トレイを提供する。
【解決手段】矩形状のディスプレイ用基板を一枚づつ収納し、該ディスプレイ用基板を取り囲む枠部で多段積重させて輸送する基板輸送トレイにおいて、前記ディスプレイ用基板が、鉛直方向下側に円筒側面形状に撓ませた状態で、前記枠部内側に撓ませた状態で懸架された複数本の基板受けワイヤーで担持する。 （もっと読む）

【課題】出荷トレイ１式当りのガラス基板の収納枚数を増やして輸送効率を上げ、輸送費用を低減できる基板輸送トレイ及び基板輸送方法を提供する。
【解決手段】外周枠部の内側に、矩形状のディスプレイ用基板が載置される基板受けとしての底部と側壁を有する緩衝材を嵌め込んだ基板輸送トレイであって、前記外周枠部で該基板輸送トレイを多段積重させたときに、下段となる基板輸送トレイの前記緩衝材の底部上面と上段となる基板輸送トレイの前記緩衝材の底部下面との間に、それぞれ基板寸法より大きな合紙またはフィルムを挿入貼付した複数枚の基板を積層載置可能な間隙を有する。 （もっと読む）

【課題】物品を保護する緩衝具を提供する。
【解決手段】本発明の緩衝具５は外ケース１１と内ケース３１と緩衝部材２０を有している。内ケース３１は外ケース１１に収容され、緩衝部材２０は、外ケース１１と内ケース３１の間に収容される。本発明の緩衝具５を利用する際には、搬送対象の物品９を、直接又は支持部材５１を介して内ケース３１上に配置する。外部からの衝撃は、外ケース１１から緩衝部材２０へ伝達され、緩衝部材２０で減衰されるので、内ケース３１上の物品９は衝撃から保護される。 （もっと読む）

【課題】高いシール性を確保し、ケース素材を原因とした半導体ウェーハの有機物汚染を解消可能で、航空輸送時の気圧変化によるウェーハやケースの変形、破損を防止できるウェーハケースを提供する。
【解決手段】各金属製の容器本体と蓋とを、第１，第２の波形シール部を有したシール構造で密閉するウェーハケースとし、第１，２の波形シール部を含む容器本体および蓋の各シール面の表面粗度を０．８Ｓ〜１．６Ｓとした。そのため、高いシール性を確保しながら、ウェーハケースの素材を原因とした半導体ウェーハの有機物汚染を解消できる。 （もっと読む）

【課題】優れた気密効果を具備したウェーハキャリアを提供する。
【解決手段】開口を形成する一側面を有し、複数個のウェーハを収納可能な複数個のスロットが内部に設けられた筐体を含み、ドアを利用して前記筐体の開口と結合してその内部のウェーハを保護する。筐体は、開口の内縁に磁性体が配置され、ドアの内面の磁性体に対抗する箇所に、断面が凹形を呈する導磁体中に設けられた磁石が配置されていることを特徴とする。これによって、ドア上の磁石が筐体の開口箇所の磁性体を吸引し、ドアを筐体にロックして一体化する。 （もっと読む）

【課題】 従来のカップまたはトレーを宙吊り状態にし、該カップまたはトレー内にブドウを収容した場合、カップまたはトレーの底面が箱の底面と接することがなく衝撃が小さいとしても、下側に位置する実には常に上側に位置する実の重量が加わっているために、下側の実は潰れたり皮が剥けたりするといった問題がある。
【解決手段】 ボックス状の箱体１と、該箱体の相対向する内周面に形成された少なくとも１対の受け部２ａと、該受け部に係合されブドウ４の軸４ａを固定するための軸固定部材３，６とより構成し、前記軸固定部材に前記軸を固定することでブドウの房が宙吊り状態で箱体内に収容されていることを特徴とするブドウ輸送用箱。 （もっと読む）

【課題】特性の変化を防止し、かつ十分な剛性と耐熱性を有する軽量のウェーハ用フレームを提供する。
【解決手段】天井部２１ｂと底部２２ｂと側壁２１ａ、２２ａとが金属材料から成り、かつ内部に空間を有するウェーハ用フレーム。 （もっと読む）

【課題】無機酸の含有量を低減して、高エネルギーの光の照射下においてもヘイズの発生を可及的に防止できるペリクル用支持枠の製造方法、及びこれによって得られるペリクル用支持枠を提供する。
【解決手段】アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム材で形成され、光学的薄膜体を備えてペリクルとして使用されるペリクル用支持枠の製造方法であって、酒石酸を含んだアルカリ性水溶液を用いた陽極酸化処理によりアルミニウム材の表面に陽極酸化皮膜を形成し、有機系染料を用いて染色処理した後、水蒸気により封孔処理してペリクル用支持枠を得る。 （もっと読む）

【課題】薄板状の基板であっても、簡易かつ確実に保持できる基板保持治具及び基板保持方法の提供。
【解決手段】基板１０を担持するキャリア２と、基板１０をキャリア２に固定し磁性体から構成される押さえ板３とを備え、キャリア２の上面２Ａには基板１０が載置される凹部２ａが形成されると共に凹部２ａの輪郭を画成する外周部２１には、押さえ板３と当接する第一磁石２２が埋設され、凹部２ａの底面２Ｂには、第二磁石２３が埋設され、押さえ板３は、外周部２１に沿った枠形状に構成され第一磁石２２に吸着される基部３１と、基部３１から枠形状の内方へ向けて延出され第二磁石２３に吸着される弾性変形部３２とを有し、弾性変形部３２は、延出方向の基端を支点として撓む様に構成された基板保持治具１及び基板保持治具１を用いた基板保持方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板収納ラックが備える板部材の間隔を精度よく調整できる器具を提供する。
【解決手段】この器具１は、それぞれが一対のベース部材を跨ぐように設けられ、内面に複数の溝がそれぞれ形成された一対の板部材を備える基板収納ラックに好適である。一対の板部材の少なくとも一方は、互いの間隔が可変するようにベース部材に対して第１の方向にスライドする。この器具１は、搭載面１１を含む台盤１０と、スライド可能な一方の板部材を支持する支持部材３０であって、搭載面１１と平行に上下方向にスライドする支持部材３０と、支持部材３０を上下方向にスライドさせ、搭載面１１に対する支持部材３０の位置を固定するスライド機構とを備える。基板収納ラックを台盤１０に搭載するとともに、一方の板部材を支持部材３０に上方から当てることにより、基板収納ラックの一対の板部材の間隔を所望の間隔に調整する。 （もっと読む）

【課題】搬送時にトレイの底面がリフターの爪により突き上げられた時にペリクル膜に該トレイが接触することを防止できるペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】ペリクルを載置するトレイと、該トレイの天面に被せる蓋と、該トレイの底面に配置された脚部とを有するペリクル収納容器であって、前記トレイは、ペリクル収納時に、天面の一部が前記ペリクル又は前記蓋のいずれかに接触し底面の一部が前記脚部と接する外周部と、該外周部の内側に位置し天面が前記ペリクル及び前記蓋のいずれにも接触しない内周部とを有し、該外周部は天面と底面との間に枠材を有し、該内周部は天面と底面との間に中空部を有することを特徴とするペリクル収納容器。 （もっと読む）