【課題】電子部品等の多数の部品を工程によらず安定して保持可能な部品搬送キャリアを提供する。
【解決手段】本発明に係る部品搬送キャリア１は、平板状の下部板２０と、厚さ方向に貫通する複数の第１の孔部が形成され、下部板２０上に重ねて接合される平板状の中間板３０と、厚さ方向に貫通する複数の第２の孔部が第１の孔部に対応する位置に形成され、中間板３０上に重ねて接合される平板状の上部板４０と、からなり、第１の孔部および前記第２の孔部は、部品を収容する複数の収容部１０を構成し、中間板３０は、収容部１０内の部品を付勢して挟持する弾性部材３１を備えている。 （もっと読む）

【課題】ある程度まで組み立てられた太陽電池用架台を効率よく運搬できる太陽電池用架台の運搬装置を提供する。
【解決手段】４本の支柱と、各支柱の上端に設置された掛け輪と、各支柱の下端に設置されたキャスターと、一対の支柱を横方向に連結する梁部と、この梁部によって連結された一対の支柱を、支柱の上方にて連結する上方支持材と、上方支持材が連結された支柱同士を支柱の上方支持材より下方にて連結する下方支持材と、を備える。運搬装置はクレーン付き貨物車のクレーンにてクレーン付き貨物車に積載され、運搬後積み下ろされる。運搬装置は基礎の上を移動してプレハブ架台が積み下ろされる。 （もっと読む）

【課題】 大型のペリクルを収納するペリクル収納容器で、安全に、運搬することができるペリクルの収納容器を提供する。
【解決手段】 ペリクルの収納容器１０は、ペリクルを載置するペリクル収納容器本体１１と、その周縁部がペリクル収納容器本体１１の開口部に嵌合することによって、ペリクルをペリクル収納容器１１本体との間に収納可能な蓋体１２と、ペリクル収納容器本体１１の底部に設けられた６つ脚部１３とを備え、脚部１３が、ペリクル収納容器１０を搬送する搬送手段の回動可能な載置台に嵌合可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 減圧環境下であっても変形を回避でき、収納された基板の信頼性ある保管を実現できる基板収納容器を提供することにある。
【解決手段】 ボトムプレートと、前記ボトムプレートに載置される基板収納カセットと、前記基板収納カセットを被って前記ボトムプレート上に配置されるシェルとを備える。前記シェルは、前記ボトムプレート側の一端が開口され、他端が閉じられた天面を有する円筒形状をなしている。前記天面は、外側に凸面となるドーム状の湾曲面となっているとともに、前記シェルの周側面とのコーナにＲ加工がなされている。前記ボトムプレートと前記シェルによって形成される容器内を真空環境から大気圧の環境に変化させた際に最大変形量が１ｍｍ以下となる。 （もっと読む）

【課題】ペリクル膜にシワが発生するなどの不具合が生じることを効果的に防止できるペリクルの製造方法を提供する。
【解決手段】一対の長辺と一対の短辺を有し、一対の長辺がそれぞれ直線形状をなし、一対の短辺が、それぞれ、短辺の中央部を含み、外側に対して凸状の円弧形状をなした中央領域と、中央領域の両側に位置し、外側に対して凹状の円弧形状をなした中間領域と、短辺の両端部近傍の直線状をなした端部近傍領域１２ｃを備えたペリクルフレーム１０の一方の表面に、ペリクルフレーム１０の一対の長辺に沿った方向の張力が、ペリクルフレーム１０の一対の短辺に沿った方向の張力よりも大きくなるように、その張力が調整されたペリクル膜２０を貼り付け、前記ペリクルフレームの前記一対の短辺を直線形状に変形させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】精度の高い小型部品を製造することのできる保持治具、及び、このような保持治具を効率よく製造できる保持治具の製造方法を提供すること。
【解決手段】厚さ方向に貫通形成された支持孔１３を有する補強部材６と、補強部材６を埋設し、支持孔１３の内部を通るように貫通形成された保持孔を有する弾性部材とを備えて成り、０．０５ｍｍ以下の平面度を有することを特徴とする保持治具、並びに、前記補強部材６と、この補強部材６を埋設し、支持孔１３の内部を通るように貫通形成された保持孔を有する弾性部材とを備えてなる保持治具を製造する方法であって、補強部材６をその厚さ方向の両表面に当接する規制体４４Ａ及び５４Ａで挟持した状態で補強部材６を挟むように前記両表面側に配置された弾性材料をプレス成形する成形工程を有することを特徴とする保持治具の製造方法。 （もっと読む）

【課題】強度を向上し、軽量化した板状体の収納容器を提供する。
【解決手段】本発明の収納容器１０は、台座１２の本体１４を軽量なアルミニウム合金の金属材２８によって構成し、本体１４の底部の外側枠部材１８を、アルミニウム合金よりもヤング率の高いステンレス鋼で構成する。台座１２において、外側枠部材１８のみをステンレス鋼とすることにより、重量物の積層体２０を収納する容器として十分な強度が得られる。外側枠部材１８のみがステンレス鋼であるので、台座の底面全体に鉄板が設けられた収納容器と比較して大幅な軽量化が図られる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス板の上辺部から突出させた合紙を良好に取り出すことができるガラス板積層体を提供する。
【解決手段】本発明のガラス板積層体１２によれば、ガラス板積層体１２の全ての合紙１０、１０…のうち、ガラス板Ｇの両側辺部から側方に突出させた合紙の両側縁部分１０ａ、１０ｂを、ガラス板Ｇの両側辺部に沿って傾斜台２２側に折り曲げる。これにより、ガラス板Ｇの上辺部から突出させた合紙の上縁部分１０ｃには、垂れ下がり方向に抗力が発生する。この抗力によって、合紙１０の上縁部分１０ｃは、剛性が強くなるため垂れ下がらなくなる。よって、ガラス板積層体１２によれば、吸着位置が予め記憶されている吸着パッドによって、合紙１０の上縁部分１０ｃが確実に把持されるので、パレット１４から合紙１０を良好に取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス板積層体に含まれるガラス板の積込作業や取出作業を阻害することなく、ガラス板の前後方向と幅方向のズレを同時に確実に抑制し得るガラス板梱包用パレットを提供する。
【解決手段】複数枚のガラス板を縦姿勢で積層したガラス板積層体Ｇの下面を支持する基台部１と、ガラス板積層体Ｇの背面を支持する背面部２と、ガラス板積層体Ｇの前面を押える前面押え部材３と、ガラス板積層体Ｇの両外側面よりも外側に食み出した前面押え部材３の両端部を支持する支持部材６とを備えたガラス板梱包用パレットであって、支持部材６にガラス板積層体Ｇの外側面を押える外側面押え部材４を設けるとともに、支持部材６が背面部２に係脱自在に支持されている。 （もっと読む）

【課題】梱包箱内への塵埃の侵入を防止し、輸送時の高さ寸法を低くして天井の低い格納室に容易に収納可能で且つ板状体の搬送が効率よく安定して行える板状体梱包箱、この板状体梱包箱を使用する板状体搬送方法を提供する。
【解決手段】上張り材を有する台座３と、該台座３上に載置される板状体収容箱１４と、前記台座３上で前記板状体収容箱１４を囲い前記台座３に対し着脱可能な上蓋２とからなり、前記板状体収容箱１４は、複数枚の板状体Ｇを略水平に積層された状態で載置する底板１５と、その周囲４辺の側板１６ａ〜１６ｄからなる上面が開放された支持体であり、前記上蓋２は、前記板状体収容箱１４の上面を覆う天板６と、周囲４辺の側枠５からなる下面が開放された箱体形状であり、前記台座３と前記底板１５の間に振動吸収材１７を介装し、前記天板６と底板１５上に積載された板状体Ｇとの間にクッション材２０を設けた。 （もっと読む）

【課題】レチクルを保護する保護部材を設けた場合でも、レチクルを搬送して露光装置の取り付ける場合に、適当な位置に取り付け可能なレチクル搬送装置を提供する。
【解決手段】位置測定装置２９はレチクル１の下面に形成された位置測定用マーク２６の位置を測定し、これによりレチクル１の位置を測定する。位置測定装置３０は、下蓋２ｂの下面に形成された位置測定用マーク２７の位置を測定し、これにより下蓋２ｂの位置を測定する。レチクル１の位置と下蓋２ｂの位置が分かれば、レチクル１と下蓋２ｂの相対的な位置ずれが分かる。よって、搬送装置によりレチクル１を搭載した下蓋２ｂを搬送して露光装置にセットするとき、このずれを勘案して下蓋２ｂの停止位置を決定することにより、レチクル１を正しく露光装置にセットできる。 （もっと読む）

【課題】加工装置のセンサが被検出領域を誤検出するのを防ぎ、後の作業にエラーが生じたり、プロセスの停止を招くおそれを払拭できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】ロードポート１上に搭載される半導体ウェーハ収納用の容器本体１０と、この容器本体１０の底部に形成されてロードポート１の複数の位置決めピン４上にそれぞれ嵌合する複数の位置決め芯出し具１４とを備え、容器本体１０の底部に、ロードポート１の位置決めピン４に位置決め芯出し具１４が適正に嵌合する場合にロードポート１のセンサ３に対向して検出される被検出領域５０と、この被検出領域５０の周囲に位置する非検出領域５１とを配設し、被検出領域５０の高さを非検出領域５１よりも相対的に高くしてロードポート１のセンサ３が被検出領域５０を誤検出するのを防止する。 （もっと読む）

包装食品（２０）は、トレー（１２）と、複数の積重ね可能なチップスナック（１４）と、管状容器（１６）とを備える。トレーはトレー本体（１８）を備え、トレー本体（１８）は、トレー基端部（２２）及びトレー末端部（２３）と、トレー末端部にある緩衝空間（２５）とを有する。スナックはトレー本体上に整列される。管状容器は、壁本体（３６）と、壁本体に隣接する閉鎖した容器端部（３２）と、壁本体に隣接し、閉鎖した容器端部の反対側にある開放可能な容器端部（３４）とを備える。管状容器は、スナックとトレーを中に収容する。トレーは壁本体に沿ってスライド可能であり、また、緩衝空間が閉鎖した容器端部に隣接した向きとなるように整列される。
（もっと読む）

【課題】容器本体に装着可能であり、基板支持部の寸法精度の向上を図り、基板支持部によって支持された基板の撓みを抑制することができる支持部材、及び支持部材を備えた基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、容器本体の内面に設けられ基板を支持する支持部材５と、支持部材を容器本体に固定する支柱部材５１Ａ，５１Ｂとを有する基板収納容器であって、支持部材５は、基板を載置可能な複数の支持片６１を有し、支柱部材５１Ａ，５１Ｂは、支持片６１を所定間隔で挟持する複数の棚部５２を有し、支持片６１は、棚部５２間に嵌入されている。これにより、複数の支持片６１が支柱部材５１Ａ，５１Ｂとは、別部材として形成されているため、支持片６１の成形が容易となり寸法精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロＳＤカードの如き、極小型軽量のメモリーカードの収納、携行に必要な簡単で便利な収納容器がなく、収納、整理に不便であることを解消すると共に、メモリーカードの紛失、小児の誤飲等の事故を防止する。
【解決手段】薄板状の台板１に、メモリーカード２を収納する収納部３を設け、該収納部３は、空間を有する孔部４と、該空間にメモリーカード２を保持する保持部５とを備えて形成したことを特徴とするメモリーカード用収納器１０。 （もっと読む）

【課題】 熱変形によるペリクルフレームの変形を抑制し、ペリクルを露光原版に貼り付けても、ペリクルフレームの変形に起因する露光原版の変形を極力低減することができるペリクルフレームおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 事前に所定温度で加熱処理しておくことで、リソグラフィー工程時の温度変化によるフレーム変形が実質的に生じないようにすることを特徴とする。温度変化によるフレーム変形が平坦度３μｍ以下であること、前記加熱処理温度が１４０〜２５０℃であること、ヤング率が１〜８０ＧＰａである材料で構成されたものであること、がそれぞれ好ましい。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の輸送トレイにおいて、従来外枠として用いている金属フレームを省略することによって、低コストでかつ、薄型化と軽量化によって積層密度を向上させ、輸送費用を低減できる、緩衝材からなるガラス基板輸送用トレイを提供すること。
【解決手段】ガラス基板を収納して搬送するために用いられる輸送トレイであって、金属フレームによる補強をおこなわずに、機械的強度を有する構造部分が緩衝材のみで構成されていることを特徴とする緩衝材輸送トレイ。 （もっと読む）

【課題】ペリクルの輸送時に、ペリクル収納ケースに収納されているペリクルに対して塵埃等の異物が付着することを抑制し得る梱包体を提供する。
【解決手段】梱包箱と、該梱包箱の中に収納されるペリクル収納ケースを該梱包箱内において保護する緩衝材とを含み、前記緩衝材は、前記ペリクル収納ケースの上面、又は底面を支持する伸縮可能な支持膜と、前記支持膜が貼張される枠体と、前記ペリクル収納ケースの側面方向への移動を抑制するための横ズレ抑制機構と、を有することを特徴とするペリクル収納ケースの梱包体。 （もっと読む）

【課題】ペリクルなどを収納するケースにおいて、フタの周縁部とトレイとの間に隙間が生じることを防止する。
【解決手段】ケース１は、トレイ３に被せられたフタ４が自重で撓んだ状態で、当該フタ４の周縁部１０とトレイ３の間を密閉する密閉構造Ａを有する。密閉構造Ａは、フタ４が自重で撓んで当該フタ４の周縁部１０の下面１０ａがトレイ３の水平上面に対し傾斜した状態で、フタ４の周縁部１０の下面１０ａが密着する傾斜部３ｂをトレイ３の上面に有している。 （もっと読む）

【課題】前枠を備えたガラス板梱包体であって、ガラス板の取り出しを円滑に実施することができるとともに、ストックスペースを省スペース化する。
【解決手段】ガラス板梱包体１０のロックナット４６、４８を緩めて段積み用台座支持部材１８、１８を背面支持体１４と前枠１６とから取り外す。次に、前枠１６の脚部１７を穴２１から引き抜いて前枠１６を台座１２から取り外す。これにより、ガラス積層体の表面が、前枠１６及び段積み用台座支持部材１８に邪魔されることなく露出するので、ガラス板を円滑に取り出すことができる。空となったガラス板梱包体１０をストックする場合には、まず、前枠１６を台座１２に取り付け、次に、段積み用台座支持部材１８、１８を背面支持体１４と前枠１６とに再度取り付ける。次いで、段積み用台座支持部材１８、１８の木材２８、２８の上部に、別の空のガラス板梱包体１０の台座１２を載置する。 （もっと読む）