ペリクルの収納容器およびペリクル収納容器の搬送用台車
【課題】 大型のペリクルを収納するペリクル収納容器で、安全に、運搬することができるペリクルの収納容器を提供する。
【解決手段】 ペリクルの収納容器１０は、ペリクルを載置するペリクル収納容器本体１１と、その周縁部がペリクル収納容器本体１１の開口部に嵌合することによって、ペリクルをペリクル収納容器１１本体との間に収納可能な蓋体１２と、ペリクル収納容器本体１１の底部に設けられた６つ脚部１３とを備え、脚部１３が、ペリクル収納容器１０を搬送する搬送手段の回動可能な載置台に嵌合可能に構成されている。
【解決手段】 ペリクルの収納容器１０は、ペリクルを載置するペリクル収納容器本体１１と、その周縁部がペリクル収納容器本体１１の開口部に嵌合することによって、ペリクルをペリクル収納容器１１本体との間に収納可能な蓋体１２と、ペリクル収納容器本体１１の底部に設けられた６つ脚部１３とを備え、脚部１３が、ペリクル収納容器１０を搬送する搬送手段の回動可能な載置台に嵌合可能に構成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置や液晶表示板を製造する場合に、マスクやレチクルの防塵カバーとして使用されるリソグラフィー用ペリクルの収納容器およびペリクルを搬送するために用いられるペリクル収納容器の搬送用台車に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体デバイスあるいは液晶ディスプレイを製造するにあたっては、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に、フォトマスクやレチクルなどの露光用原版（本明細書においては、総称して、「フォトマスク」と称する。）を介して、露光用の光が照射されて、フォトマスクのパターンが転写され、半導体デバイスあるいは液晶ディスプレイのパターンが形成される。
【０００３】
したがって、この場合に、フォトマスクにゴミなどの異物が付着していると、フォトマスクの表面に付着したゴミなどの異物によって、露光用の光が反射され、あるいは、吸収されるため、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に転写されたパターンが変形したり、パターンのエッジ部分が不鮮明になるだけでなく、下地が黒く汚れて、寸法、品質、外観などを損ない、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に、所望のように、フォトマスクのパターンを転写することができず、半導体デバイスあるいは液晶ディスプレイの性能が低下し、歩留まりが悪化するという問題があった。
【０００４】
かかる問題を防止するために、半導体ウエハーあるいは液晶用原板の露光は、クリーンルーム内で行われるが、それでも、フォトマスクの表面に異物が付着することを完全に防止することは困難であるため、通常は、フォトマスクの表面に、露光用の光に対し高い透過率を有するペリクルと呼ばれる防塵カバーを取り付けて、半導体ウエハーあるいは液晶用原板を露光するように構成されている。
【０００５】
一般に、ペリクルは、露光用の光に対し高い透過率を有するニトロセルロース、酢酸セルロースなどのセルロース系樹脂やフッ化樹脂などによって製作されたペリクル膜を、アルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどによって形成されたペリクルフレームの一方の面に、ペリクル膜材料の良溶媒を塗布し、ペリクル膜を風乾して、接着するか、アクリル樹脂、エポキシ樹脂やフッ素樹脂などの接着剤を用いて接着し、ペリクルフレームの他方の面に、ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂などからなり、フォトマスクに付着させるための粘着層を形成し、さらに、粘着層上に、粘着層保護用の離型層ないしセパレータを設けることによって、製作されている（特許文献１、２、３および４）。
【０００６】
このように構成されたペリクルをフォトマスクの表面に取り付けて、半導体ウエハーあるいは液晶用原板を露光する場合には、ゴミなどの異物は、ペリクルの表面に付着し、フォトマスクの表面には直接付着しないため、フォトマスクに形成されたパターン上に、焦点が位置するように、露光用の光を照射すれば、ゴミなどの異物の影響を除去することが可能になる。
【０００７】
近年、液晶ディスプレイの大型化に伴い、液晶用フォトマスクおよびペリクルも大型化が進んでおり、辺長が１０００ｍｍを超えるようなきわめて大きなペリクルも用いられるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開昭５８−２１９０２３号公報
【特許文献２】米国特許第４８６１４０２号明細書
【特許文献３】特公昭６３−２７７０７号公報
【特許文献４】特開平７−１６８３４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
このようなペリクルの大型化にともない、ペリクルを収納するための収納容器も必然的に大型化し、収納容器の剛性を高めるために、ペリクルの収納容器の重量も著しく増大するようになっている。ペリクルの収納容器の重量は、たとえば、５２０ｍｍ×８００ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納する容器では６ｋｇに過ぎないが、１２２０×１４００ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納する容器の場合にはおよそ４０ｋｇ、さらに、１６２０×１７８０ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納する容器の場合では、およそ８０ｋｇにも達する。
【００１０】
したがって、このように大型のペリクルの収納容器を運搬する場合、とりわけ、辺長が１０００ｍｍを超えるような特に大型のペリクルを収納する容器を運搬する場合には、重量やサイズの問題から、人手での運搬が困難になってくる。たとえば、１２２０×１４００ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納する容器を運搬する場合には、少なくとも２人の人手が必要であり、１６２０×１７８０ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納する容器を運搬する場合には、少なくとも４人、できれば６人の人手が必要になる。
【００１１】
このように、これら大型のペリクルを収納する収納容器の運搬作業は、工数がきわめて大きなものになるだけでなく、運搬の途中で、ペリクル収納容器が搬送機器から落下したりした場合には、作業者に重大な損傷を与えるおそれがあり、大型のペリクル収納容器の運搬作業は大きな危険を伴うものであった。
【００１２】
さらに、このように大型のペリクル収納容器を水平状態で運搬し、保管する場合には、幅の広い通路、大きな扉、広い保管場所など、大きなスペースが必要になるという問題もあった。かかる問題は、ペリクル収納容器を垂直に立てて運搬し、保管することによって解決可能ではあるが、実際には、その重量が８０ｋｇにも達するペリクル収納容器を垂直に立てて運搬し、保管することは、大きな危険がともない、多くの人手が必要で現実的ではない。
【００１３】
かかる問題を解決するために、チェーンブロック、クレーンなどの吊り下げ機械を用いることは可能ではあるが、このような吊り下げ機械を用いて、ペリクル容器を運搬するためには、運搬経路の各所に、これらの機械を設置する必要があるだけでなく、吊り下げ機械を設置した場所でしか、作業ができないという不都合がある。
【００１４】
さらに、ペリクル収納容器を垂直に立てて運搬し、保管する場合には、水平状態で運搬し、保管する場合に比して、ペリクル収納容器の把持可能な部分が少なくなり、多くの人手が必要であるにもかかわらず、多くの人が運搬作業に加わることが困難で、１人が分担する重量が大きくなり、運搬中に、ペリクル収納容器が転倒したり、搬送機器から落下したりする危険が増大するという問題があった。
【００１５】
このように、大型のペリクル収納容器を垂直に立てた状態で運搬することが困難であるため、大型のペリクル収納容器は、水平状態で、運搬されるのが通常であった。
【００１６】
したがって、本発明は、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを越えるような大型のペリクルを収納するペリクル収納容器で、安全に、運搬することができるペリクルの収納容器を提供することを目的とするものである。
【００１７】
また、本発明の別の目的は、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを越えるような大型のペリクルを収納するペリクル収納容器を安全に、かつ、少人数で運搬することができるペリクル収納容器の搬送用台車を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明のかかる目的は、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍ以上のペリクルを載置するペリクル収納容器本体と、その周縁部が前記ペリクル収納容器本体の開口部に嵌合することによって、前記ペリクルを前記ペリクル収納容器本体との間に収納可能な蓋体と、前記ペリクル収納容器本体の底部に設けられた少なくとも４つの互いに離間する脚部とを備えたペリクル収納容器であって、前記脚部が、ペリクル収納容器を搬送する搬送手段の回動可能な載置台に嵌合可能に構成されたことを特徴とするペリクル収納容器によって達成される。
【００１９】
本発明によれば、ペリクル収納容器本体の脚部が、ペリクル収納容器を搬送する搬送手段の回動可能な載置台に嵌合可能に構成されているから、少ない人数で、安全かつ容易に、組み立てたペリクル収納容器を、ペリクル収納容器の搬送手段にセットすることが可能になる。
【００２０】
本発明の前記目的はまた、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍ以上のペリクルを載置するペリクル収納容器本体と、その周縁部が前記ペリクル収納容器本体の開口部に嵌合することによって、前記ペリクルを前記ペリクル収納容器本体との間に収納可能な蓋体と、前記ペリクル収納容器本体の底部に設けられた少なくとも４つの互いに離間する脚部とを備えたペリクル収納容器を搬送するペリクル収納容器の搬送用台車であって、旋回可能な旋回軸によって支持され、その上に、前記ペリクル収納容器が載置可能な載置台と、前記載置台を任意の角度で固定可能な載置台固定手段を備えたペリクル収納容器の搬送用台車であって、前記載置台に、前記ペリクル収納容器の前記脚部が嵌合可能な連結部を備えたことを特徴とするペリクル収納容器の搬送用台車によって達成される。
【００２１】
本発明によれば、ペリクル収納容器の搬送用台車の載置台には、ペリクル収納容器本体の底部に設けられた脚部が嵌合可能な連結部が設けられているから、容易に、ペリクル収納容器を載置台に連結することができ、また、ペリクル収納容器の搬送用台車は載置台を任意の角度で固定可能な載置台固定手段を備えているから、ペリクル収納容器を搬送する通路幅や、保管スペースに応じて、ペリクル収納容器が連結された載置台の角度を設定することが可能になるから、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを越えるような大型のペリクルを収納するペリクル収納容器を安全に、かつ、少人数で運搬することができる。
【００２２】
本発明の好ましい実施態様においては、前記旋回軸が、前記載置台上に、前記ペリクル収納容器を搭載したときの重心を通るように位置決めされている。
【００２３】
本発明の好ましい実施態様によれば、旋回軸が、載置台上に、ペリクル収納容器を搭載したときの重心を通るように位置決めされているから、作業者が１人の場合にも、旋回軸まわりに、載置台を回転させて、容易に、ペリクル収納容器を任意の角度に固定し、ペリクル収納容器を運搬することが可能になる。
【００２４】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、搬送用台車の底部に衝撃緩衝機構を有する車輪が取り付けられている。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを越えるような大型のペリクルを収納するペリクルの収納容器で、安全に運搬することができるペリクルの収納容器を提供することが可能になる。
【００２６】
また、本発明によれば、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを越えるような大型のペリクルを収納するペリクルの収納容器を安全に、かつ、少人数で運搬することができるペリクル収納容器の搬送用台車を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルの収納容器の略平面図である。
【図２】図２は、図１に示されたペリクルの収納容器の略正面図である。
【図３】図３は、図１に示されたペリクルの収納容器の略右側面図である。
【図４】図４は、ペリクル収納容器が搭載された搬送用台車の略正面図である。
【図５】図５は、ペリクル収納容器を、水平面に対して７５度の角度で傾斜させた状態を示すペリクル収納容器および搬送用台車の略正面図である。
【図６】図６は、ペリクル収納容器を、水平面に対して７５度の角度で傾斜させた状態を示すペリクル収納容器および搬送用台車の略右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
図１は、本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルの収納容器の略平面図であり、図２は、その正面図、図３は、その右側面図である。
【００２９】
図１ないし図３に示されるように、本実施態様にかかるペリクル収納容器１０は、ペリクルを収納するペリクル収納容器本体１１と蓋体１２を備えている。
【００３０】
ペリクルはペリクル収納容器本体１１上に載置され、蓋体１２の周縁部がペリクル収納容器本体１１の内周部に嵌合されることによって、ペリクル収納容器１０内に収納されるように構成されている。
【００３１】
ペリクル収納容器本体１１の底部には、６つの脚部１３がボルト（図示せず）によって取り付けられている。
【００３２】
ペリクル収納容器本体１１は、ＰＭＭＡ、ＡＢＳ、ＰＣなどの樹脂を真空成型して、製造することができるが、より好ましくは、アルミニウム合金、マグネシウム合金などをプレス成型、鋳造などで加工し、適切な表面処理を施して、製造される。
【００３３】
蓋体１２は、ＰＭＭＡ、ＡＢＳ、ＰＣなどの樹脂を真空成型して、製造することが好ましいが、アルミニウム合金、マグネシウム合金などをプレス成型して、製造することもできる。
【００３４】
ペリクル収納容器本体１１には、８つの把持可能なハンドル１４が取付けられており、蓋体１２にも、４つの把持可能なハンドル１５が取付けられている。ハンドル１４、１５は、合成樹脂あるいは金属によって形成されている。
【００３５】
脚部１３を形成するための材料としては、アルミニウム合金、鉄鋼、ステンレス鋼などの金属のほか、ＰＯＭ、ＰＡなどのエンジニアリング樹脂を用いることができるが、帯電防止機能を有していることが好ましい。金属製の脚部１３の加工方法としては、塊からの切削加工のほか、鋳造加工、板金加工、板金・溶接加工などを用いることができる。一方、樹脂製の脚部１３の加工方法としては、射出成型、真空成型、板材の接着貼り合わせ、塊からの切削加工などを用いることができる。脚部１３の材質および加工方法としては、所望の強度と寸法精度を有するものを適宜選択すればよいが、洗浄の際に、内部に洗浄水が溜まったりすることのない構造であることが好ましい。
【００３６】
図４は、ペリクル収納容器１０が搭載された搬送用台車の略正面図である。
【００３７】
図４に示されるように、搬送用台車２０は、下部に方向転換自在な車輪２５が取付けられた架台部２１を備え、架台部２１の両端部には、支柱２２が設けられている。
【００３８】
ここに、車輪２５は、ペリクル収納容器１０の搬送中に、ペリクル収納容器に衝撃が加わり、異物が付着することを防止するために、図示しない衝撃緩衝機構を有している。
【００３９】
ペリクル収納容器１０は、載置台２４上に取付けられた脚部受け座２３上に搭載され、載置台２４は、支柱２２の先端部に旋回可能に取付けられた旋回軸２６によって支持されている。本実施態様においては、旋回軸２６の支持手段としては、ボールベアリング、クロスローラベアリングなどが用いられ、円滑に運動できるようになっている。
【００４０】
ペリクル収納容器１０は、ペリクル収納容器１０の脚部１３が、搬送用台車２０の載置台２４上に取付けられた脚部受け座２３に嵌合することによって、搬送用台車２０に搭載されるように構成されている。したがって、ペリクル収納容器１０の脚部１３および搬送用台車２０の脚部受け座２３は、ペリクル収納容器１０の脚部１３が脚部受け座２３に嵌合するように、正確に位置決めされている。嵌合の形は、様々に設計可能であるが、ペリクル収納容器１０の脚部１３を、上部から脚部受け座２３内に挿入しやすいこと、傾斜させた場合にも脚部受け座２３が脚部１３を確実に保持できること、洗浄が容易であることを考慮して、設計することが好ましい。
【００４１】
このように、ペリクル収納容器１０の脚部１３が搬送用台車２０の載置台２４上に取付けられた脚部受け座２３に嵌合することにより、ペリクル収納容器１０が搬送用台車２０に搭載されるように構成されているため、ペリクル収納容器本体１１および蓋部１２を設計する上での自由度が大きくなり、ハンドル１４、１５を所望の位置に設けることが可能になり、さらに、蓋体１２を止めるためのバックルなどの機能部品を設けることが容易になる。
【００４２】
載置台２４を支持している旋回軸２６は、搬送用台車２０の載置台２４上にペリクル収納容器１０が搭載されたときの重心位置に設けられており、したがって、搬送用台車２０の載置台２４上に搭載されたペリクル収納容器１０を、水平状態から垂直状態の間で傾斜させることができる。
【００４３】
図４に示されるように、傾斜状態にあるときに、ペリクル収納容器１０が転倒したり、落下したりすることを防止するために、搬送用台車２０には、旋回するレバー型構造の脱落防止手段２７が設けられている。
【００４４】
図５は、ペリクル収納容器１０を、水平面に対して７５度の角度θで傾斜させた状態を示すペリクル収納容器１０および搬送用台車２０の略正面図であり、図６は、その右側面図である。
【００４５】
上述のように、載置台２４を支持している旋回軸２６は、搬送用台車２０の載置台２４上にペリクル収納容器１０が搭載されたときの重心位置に設けられているため、作業者１人のみで、容易に、ペリクル収納容器１０を傾斜させることができる。本実施態様においては、さらに、任意の傾斜角度で、載置台２４を固定することができるように、角度固定手段２８を設けられている。本実施態様においては、角度固定手段２８は、長孔２８ａとボルト２８ｂを備え、ボルト２８ｂを長孔２８ａにねじ込むことによって、水平面に対する載置台２４の角度を所望の角度に設定することができるように構成されている。。
【００４６】
かかる搬送用台車２０に、ペリクル収納容器１０を搭載して、ペリクル収納容器１０を運搬するにあたっては、水平面に対する角度θが６０度ないし８０度になるように、ペリクル収納容器１０が載置された載置台２４を傾斜させて、ペリクル収納容器１０を運搬し、保管することが好ましい。
【００４７】
すなわち、省スペースの観点からは、ペリクル収納容器１０が載置された載置台２４の水平面に対する角度θが９０度になるように、載置台２４を垂直状態にして、ペリクル収納容器１０を運搬し、保管することが好ましいが、この場合には、転倒の危険性も高まり、安全上の問題があるし、また、載置台２４の水平面に対する角度θを大きくするほど、言い換えると、載置台２４を垂直状態に近くするほど、横方向の幅、言い換えると、ペリクル収納容器１０が載置された載置台２４を水平面上に投影したときの幅が小さくなり、横方向のスペースを小さくすることができるが、その一方で、上下方向の長さが長くなり、ドアやエアシャワーなど、上方のスペースに制約がある部分を通過することが困難になるという問題がある。さらに、ペリクル収納容器１０が載置された載置台２４の横方向の幅を小さくして、横方向のスペースを小さくする場合には、支柱２２を介して、載置台２４を支持する架台部２１の横幅も同様に小さくする必要があるが、架台部２１の幅を狭めれば狭めるほど、搬送用台車２０が不安定になり、この点からも、載置台２４を垂直状態に近くすることには制約がある。したがって、搬送用台車２０に、ペリクル収納容器１０を搭載して、ペリクル収納容器１０を運搬するにあたっては、水平面に対する角度θが６０度ないし８０度になるように、ペリクル収納容器１０が載置された載置台２４を傾斜させて、ペリクル収納容器１０を運搬し、保管することが好ましい。
【００４８】
本実施態様によれば、ペリクル収納容器１０は、ペリクル収納容器１０の脚部１３を、搬送用台車２０の載置台２４上に取付けられた脚部受け座２３に嵌合することにより、搬送用台車２０に搭載されるから、ペリクル収納容器１０の外周部の所望の位置に、ハンドル１３など、作業者が把持可能な把持部を設けることができるから、１６２０×１７８０ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納するペリクル収納容器１０のように、８０ｋｇもの重量を有するペリクル収納容器１０であっても、複数の作業者が協働して、容易に、搬送用台車２０の載置台２４上に搭載することができる。
【００４９】
また、本実施態様によれば、載置台２４を支持している旋回軸２６が、搬送用台車２０の載置台２４上にペリクル収納容器１０が搭載されたときの重心位置に設けられているため、作業者１人のみで、容易に、搬送用台車２０の載置台２４上に搭載されたペリクル収納容器１０を傾斜させることができ、搬送用台車２０の架台部２１の下部には、方向転換自在な車輪２５が取付けられているから、１６２０×１７８０ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納するペリクル収納容器１０のように、８０ｋｇもの重量を有するペリクル収納容器１０であっても、作業者１人で、安全に、かつ、容易にペリクル収納容器１０を運搬することができる。
【００５０】
さらに、本実施態様によれば、水平面に対する角度θが６０度ないし８０度になるように、ペリクル収納容器１０が載置された載置台２４を傾斜させて、ペリクル収納容器１０を安全に運搬することができるから、ペリクル収納容器１０を運搬するのに必要な通路幅は、ペリクル収納容器１０を水平にして運搬する場合の５０％以下になり、また、ペリクル収納容器１０を保管する場合にも、保管に必要なスペースは、ペリクル収納容器１０を水平にして保管する場合の５０％以下になり、省スペース化を実現することが可能になるし、搬送用台車２０の架台部２１の下部には、自在に方向転換可能な車輪２５が取付けられているから、ペリクル収納容器１０を保管している際に、ペリクル収納容器１０を移動させる必要が生じた場合にも、容易に、ペリクル収納容器１０を移動させることが可能になる。
【実施例】
【００５１】
以下、本発明の効果を明らかにするため、実施例および比較例を掲げる。
【００５２】
実施例
図1ないし図３に示される形状を有するペリクル収納容器１０を、以下のようにして、製作した。
【００５３】
ペリクル収納容器本体１１はアルミニウム合金ＡＣ４Ｃを砂型鋳造した後、表面を研磨布で仕上げ、外周部およびペリクルが搭載される面について、フライス盤による切削加工を行い、併せて、ペリクル収納容器１０の外周を基準にして、脚部１３の取り付け用のネジ孔を加工した。
【００５４】
以上の機械加工が終了した後、表面の巣などの鋳造欠陥をパテで仕上げ、導電性塗料を塗布し、オーブンで焼き付け乾燥を施した。
【００５５】
脚部１３は、厚さ４ｍｍのＳＵＳ３０４冷間圧延板を曲げ加工して、製作した。脚部１３のサイズは、７０×８０×１００ｍｍとし、Ｍ８の六角穴付ボルトによって、ペリクル収納容器本体１１の下面の６箇所に取り付けた。
【００５６】
次いで、厚さ３ｍｍのＰＭＭＡ板に帯電防止塗装を施した後、真空成型し、蓋体１２を製作した。蓋体１２の外周は、その寸法が、ペリクル収納容器本体１１の外周と同じ寸法になるように、ＮＣルーターにて切削加工した。
【００５７】
こうして製作された蓋体１２を、下面に６つの脚部１３が取付けられたペリクル収納容器本体１１に取り付けて、ペリクル収納容器１０を完成させた。こうして製作されたペリクル収納容器１０の重量は約８０ｋｇであった。
【００５８】
さらに、図４ないし図６にされるペリクル収納容器１０を載置し、搬送するための搬送用台車２０を、以下のようにして、製作した。
【００５９】
架台部２１および支柱２２は、アルミニウム合金中空押し出し材をボルト締結して、組み立て、架台部２１の下部には、車輪２５をボルトで取り付けた。２本ある支柱２２の各々の上部には、２列配置されたクロスローラベアリングにより支持された旋回軸２６が設けられている。ここに、旋回軸２６の中心軸の位置が、そのまわりに旋回するペリクル収納容器１０、後述する載置台２４および脚部受け座２３の重心に一致するように、各部材の位置を設定した。
【００６０】
旋回軸２６に支持される載置台２４は、アルミニウム合金の中空押し出し材をボルト締結して、組み立てた。さらに、載置台２４の所定の位置には、ペリクル収納容器１０の脚部１３が嵌合する脚部受け座２３を取り付けた。ここに、脚部受け座２３は、導電性ＭＣナイロンの切削加工にて製作した。また、ペリクル収納容器１０と接触する載置台２４の表面には傷付き、発塵防止のため、薄い帯電防止用のＰＶＣ板を取り付けた。
【００６１】
さらに、載置台２２の周囲２箇所にはレバー型の脱落防止手段２７を取り付けた。根元の旋回軸を中心に水平方向に０ないし９０度の範囲で旋回可能な構造にした。
【００６２】
また、旋回軸２６の近傍の支柱２２には、ノブを設けたＭ１２のボルト２８ｂからなる角度固定手段２８を設けた。角度固定手段２８は、支柱２２に設けられた長孔２８ａにボルト２８ｂを締め付けることによって、載置台２４の角度を所望の角度に固定することができるように構成した。
【００６３】
以上のように構成された搬送用台車２０の載置台２４上に取り付けられた脚部受け座２３内に、ペリクル収納容器１０の脚部１３を嵌合して、搬送用台車２０の載置台２４上にペリクル収納容器１０を搭載した後に、１人の作業者が、図６に示されるように、水平面に対する載置台２４の角度θが７５度になるように、ペリクル収納容器１０が搭載された載置台２４を傾斜させたが、容易に、ペリクル収納容器１０が搭載された載置台２４を傾斜させることができ、さらに、１人の作業者が、ペリクル収納容器１０が搭載された搬送用台車２０を移動させたが、危険を感じることがなかった。
【００６４】
また、ペリクル収納容器１０が搭載された搬送用台車２０を移動させる際に必要な通路幅は、若干の余裕を見ても、約１５００ｍｍであった。
【００６５】
比較例
実施例と全く同様にして製作したペリクル収納容器１０を水平状態に保ちつつ、８人の作業者によって搬送した。各作業者は、ペリクル収納容器本体１１のハンドル１４を把持して、ペリクル収納容器１０を搬送した。
【００６６】
各作業者が分担する重量は約１０ｋｇであり、やや重いが、搬送作業に支障はなかった。
【００６７】
しかしながら、ペリクル収納容器１０を搬送するために必要な通路幅を計測してみたところ、２５００ｍｍ以上の通路幅が必要であり、安全に作業できる余裕を考えるとおよそ３０００ｍｍの通路幅が必要であった。
【００６８】
本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【００６９】
たとえば、前記実施態様および実施例においては、ペリクル収納容器本体１１の底部に、６つの車輪２５が取り付けられているが、車輪２５の数は、ペリクル収納容器１０の剛性に応じて決定することが好ましく、６つの車輪２５がペリクル収納容器本体１１の底部に取り付けられていることは必ずしも必要でなく、少なくとも４つの車輪２５が取付けられていればよい。
【００７０】
さらに、前記実施態様においては、脱落防止手段２７が旋回するレバー型の構造を有しているが、脱落防止手段２７が旋回するレバー型の構造を有していることは必ずしも必要でなく、他の構造の脱落防止手段を選択することもできる。
【００７１】
また、前記実施態様においては、角度固定手段２８が、支柱２２に形成された長孔２８ａにボルト２８ｂを締め付けることによって、載置台２４の角度を所望の角度に固定するように構成されているが、角度固定手段２８が、支柱２２に形成された長孔２８ａにボルト２８ｂを締め付けることによって、載置台２４の角度を所望の角度に固定するように構成されていることは必ずしも必要でなく、載置台２４を所望の角度に固定することができるように、支柱２２にメス孔を形成し、メス孔内にピンを差し込むことによって、載置台２４を所望の角度に固定するなど、種々の構成を有する角度固定手段を用いることができる。
【００７２】
さらに、前記実施態様においては、車輪２５は、ペリクル収納容器１０の搬送中に、ペリクル収納容器に衝撃が加わり、異物が付着することを防止するために、図示しない衝撃緩衝機構を有しているが、車輪２５が衝撃緩衝機構を有していることは必ずしも必要でなく、搬送用台車２０の架台部２１の底部に、通常の車輪を取り付けることもできる。
【符号の説明】
【００７３】
１０ ペリクル収納容器
１１ ペリクル収納容器本体
１２ ペリクル収納容器の蓋体
１３ ペリクル収納容器の脚部
１４ ハンドル
１５ ハンドル
２０ 搬送用台車
２１ 架台部
２２ 支柱
２３ 脚部受け座
２４ 載置台
２５ 車輪
２６ 旋回軸
２７ 脱落防止手段
２８ 角度固定手段
２８ａ 長孔
２８ｂ ボルト
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置や液晶表示板を製造する場合に、マスクやレチクルの防塵カバーとして使用されるリソグラフィー用ペリクルの収納容器およびペリクルを搬送するために用いられるペリクル収納容器の搬送用台車に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体デバイスあるいは液晶ディスプレイを製造するにあたっては、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に、フォトマスクやレチクルなどの露光用原版（本明細書においては、総称して、「フォトマスク」と称する。）を介して、露光用の光が照射されて、フォトマスクのパターンが転写され、半導体デバイスあるいは液晶ディスプレイのパターンが形成される。
【０００３】
したがって、この場合に、フォトマスクにゴミなどの異物が付着していると、フォトマスクの表面に付着したゴミなどの異物によって、露光用の光が反射され、あるいは、吸収されるため、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に転写されたパターンが変形したり、パターンのエッジ部分が不鮮明になるだけでなく、下地が黒く汚れて、寸法、品質、外観などを損ない、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に、所望のように、フォトマスクのパターンを転写することができず、半導体デバイスあるいは液晶ディスプレイの性能が低下し、歩留まりが悪化するという問題があった。
【０００４】
かかる問題を防止するために、半導体ウエハーあるいは液晶用原板の露光は、クリーンルーム内で行われるが、それでも、フォトマスクの表面に異物が付着することを完全に防止することは困難であるため、通常は、フォトマスクの表面に、露光用の光に対し高い透過率を有するペリクルと呼ばれる防塵カバーを取り付けて、半導体ウエハーあるいは液晶用原板を露光するように構成されている。
【０００５】
一般に、ペリクルは、露光用の光に対し高い透過率を有するニトロセルロース、酢酸セルロースなどのセルロース系樹脂やフッ化樹脂などによって製作されたペリクル膜を、アルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどによって形成されたペリクルフレームの一方の面に、ペリクル膜材料の良溶媒を塗布し、ペリクル膜を風乾して、接着するか、アクリル樹脂、エポキシ樹脂やフッ素樹脂などの接着剤を用いて接着し、ペリクルフレームの他方の面に、ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂などからなり、フォトマスクに付着させるための粘着層を形成し、さらに、粘着層上に、粘着層保護用の離型層ないしセパレータを設けることによって、製作されている（特許文献１、２、３および４）。
【０００６】
このように構成されたペリクルをフォトマスクの表面に取り付けて、半導体ウエハーあるいは液晶用原板を露光する場合には、ゴミなどの異物は、ペリクルの表面に付着し、フォトマスクの表面には直接付着しないため、フォトマスクに形成されたパターン上に、焦点が位置するように、露光用の光を照射すれば、ゴミなどの異物の影響を除去することが可能になる。
【０００７】
近年、液晶ディスプレイの大型化に伴い、液晶用フォトマスクおよびペリクルも大型化が進んでおり、辺長が１０００ｍｍを超えるようなきわめて大きなペリクルも用いられるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開昭５８−２１９０２３号公報
【特許文献２】米国特許第４８６１４０２号明細書
【特許文献３】特公昭６３−２７７０７号公報
【特許文献４】特開平７−１６８３４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
このようなペリクルの大型化にともない、ペリクルを収納するための収納容器も必然的に大型化し、収納容器の剛性を高めるために、ペリクルの収納容器の重量も著しく増大するようになっている。ペリクルの収納容器の重量は、たとえば、５２０ｍｍ×８００ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納する容器では６ｋｇに過ぎないが、１２２０×１４００ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納する容器の場合にはおよそ４０ｋｇ、さらに、１６２０×１７８０ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納する容器の場合では、およそ８０ｋｇにも達する。
【００１０】
したがって、このように大型のペリクルの収納容器を運搬する場合、とりわけ、辺長が１０００ｍｍを超えるような特に大型のペリクルを収納する容器を運搬する場合には、重量やサイズの問題から、人手での運搬が困難になってくる。たとえば、１２２０×１４００ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納する容器を運搬する場合には、少なくとも２人の人手が必要であり、１６２０×１７８０ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納する容器を運搬する場合には、少なくとも４人、できれば６人の人手が必要になる。
【００１１】
このように、これら大型のペリクルを収納する収納容器の運搬作業は、工数がきわめて大きなものになるだけでなく、運搬の途中で、ペリクル収納容器が搬送機器から落下したりした場合には、作業者に重大な損傷を与えるおそれがあり、大型のペリクル収納容器の運搬作業は大きな危険を伴うものであった。
【００１２】
さらに、このように大型のペリクル収納容器を水平状態で運搬し、保管する場合には、幅の広い通路、大きな扉、広い保管場所など、大きなスペースが必要になるという問題もあった。かかる問題は、ペリクル収納容器を垂直に立てて運搬し、保管することによって解決可能ではあるが、実際には、その重量が８０ｋｇにも達するペリクル収納容器を垂直に立てて運搬し、保管することは、大きな危険がともない、多くの人手が必要で現実的ではない。
【００１３】
かかる問題を解決するために、チェーンブロック、クレーンなどの吊り下げ機械を用いることは可能ではあるが、このような吊り下げ機械を用いて、ペリクル容器を運搬するためには、運搬経路の各所に、これらの機械を設置する必要があるだけでなく、吊り下げ機械を設置した場所でしか、作業ができないという不都合がある。
【００１４】
さらに、ペリクル収納容器を垂直に立てて運搬し、保管する場合には、水平状態で運搬し、保管する場合に比して、ペリクル収納容器の把持可能な部分が少なくなり、多くの人手が必要であるにもかかわらず、多くの人が運搬作業に加わることが困難で、１人が分担する重量が大きくなり、運搬中に、ペリクル収納容器が転倒したり、搬送機器から落下したりする危険が増大するという問題があった。
【００１５】
このように、大型のペリクル収納容器を垂直に立てた状態で運搬することが困難であるため、大型のペリクル収納容器は、水平状態で、運搬されるのが通常であった。
【００１６】
したがって、本発明は、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを越えるような大型のペリクルを収納するペリクル収納容器で、安全に、運搬することができるペリクルの収納容器を提供することを目的とするものである。
【００１７】
また、本発明の別の目的は、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを越えるような大型のペリクルを収納するペリクル収納容器を安全に、かつ、少人数で運搬することができるペリクル収納容器の搬送用台車を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明のかかる目的は、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍ以上のペリクルを載置するペリクル収納容器本体と、その周縁部が前記ペリクル収納容器本体の開口部に嵌合することによって、前記ペリクルを前記ペリクル収納容器本体との間に収納可能な蓋体と、前記ペリクル収納容器本体の底部に設けられた少なくとも４つの互いに離間する脚部とを備えたペリクル収納容器であって、前記脚部が、ペリクル収納容器を搬送する搬送手段の回動可能な載置台に嵌合可能に構成されたことを特徴とするペリクル収納容器によって達成される。
【００１９】
本発明によれば、ペリクル収納容器本体の脚部が、ペリクル収納容器を搬送する搬送手段の回動可能な載置台に嵌合可能に構成されているから、少ない人数で、安全かつ容易に、組み立てたペリクル収納容器を、ペリクル収納容器の搬送手段にセットすることが可能になる。
【００２０】
本発明の前記目的はまた、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍ以上のペリクルを載置するペリクル収納容器本体と、その周縁部が前記ペリクル収納容器本体の開口部に嵌合することによって、前記ペリクルを前記ペリクル収納容器本体との間に収納可能な蓋体と、前記ペリクル収納容器本体の底部に設けられた少なくとも４つの互いに離間する脚部とを備えたペリクル収納容器を搬送するペリクル収納容器の搬送用台車であって、旋回可能な旋回軸によって支持され、その上に、前記ペリクル収納容器が載置可能な載置台と、前記載置台を任意の角度で固定可能な載置台固定手段を備えたペリクル収納容器の搬送用台車であって、前記載置台に、前記ペリクル収納容器の前記脚部が嵌合可能な連結部を備えたことを特徴とするペリクル収納容器の搬送用台車によって達成される。
【００２１】
本発明によれば、ペリクル収納容器の搬送用台車の載置台には、ペリクル収納容器本体の底部に設けられた脚部が嵌合可能な連結部が設けられているから、容易に、ペリクル収納容器を載置台に連結することができ、また、ペリクル収納容器の搬送用台車は載置台を任意の角度で固定可能な載置台固定手段を備えているから、ペリクル収納容器を搬送する通路幅や、保管スペースに応じて、ペリクル収納容器が連結された載置台の角度を設定することが可能になるから、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを越えるような大型のペリクルを収納するペリクル収納容器を安全に、かつ、少人数で運搬することができる。
【００２２】
本発明の好ましい実施態様においては、前記旋回軸が、前記載置台上に、前記ペリクル収納容器を搭載したときの重心を通るように位置決めされている。
【００２３】
本発明の好ましい実施態様によれば、旋回軸が、載置台上に、ペリクル収納容器を搭載したときの重心を通るように位置決めされているから、作業者が１人の場合にも、旋回軸まわりに、載置台を回転させて、容易に、ペリクル収納容器を任意の角度に固定し、ペリクル収納容器を運搬することが可能になる。
【００２４】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、搬送用台車の底部に衝撃緩衝機構を有する車輪が取り付けられている。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを越えるような大型のペリクルを収納するペリクルの収納容器で、安全に運搬することができるペリクルの収納容器を提供することが可能になる。
【００２６】
また、本発明によれば、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを越えるような大型のペリクルを収納するペリクルの収納容器を安全に、かつ、少人数で運搬することができるペリクル収納容器の搬送用台車を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルの収納容器の略平面図である。
【図２】図２は、図１に示されたペリクルの収納容器の略正面図である。
【図３】図３は、図１に示されたペリクルの収納容器の略右側面図である。
【図４】図４は、ペリクル収納容器が搭載された搬送用台車の略正面図である。
【図５】図５は、ペリクル収納容器を、水平面に対して７５度の角度で傾斜させた状態を示すペリクル収納容器および搬送用台車の略正面図である。
【図６】図６は、ペリクル収納容器を、水平面に対して７５度の角度で傾斜させた状態を示すペリクル収納容器および搬送用台車の略右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
図１は、本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルの収納容器の略平面図であり、図２は、その正面図、図３は、その右側面図である。
【００２９】
図１ないし図３に示されるように、本実施態様にかかるペリクル収納容器１０は、ペリクルを収納するペリクル収納容器本体１１と蓋体１２を備えている。
【００３０】
ペリクルはペリクル収納容器本体１１上に載置され、蓋体１２の周縁部がペリクル収納容器本体１１の内周部に嵌合されることによって、ペリクル収納容器１０内に収納されるように構成されている。
【００３１】
ペリクル収納容器本体１１の底部には、６つの脚部１３がボルト（図示せず）によって取り付けられている。
【００３２】
ペリクル収納容器本体１１は、ＰＭＭＡ、ＡＢＳ、ＰＣなどの樹脂を真空成型して、製造することができるが、より好ましくは、アルミニウム合金、マグネシウム合金などをプレス成型、鋳造などで加工し、適切な表面処理を施して、製造される。
【００３３】
蓋体１２は、ＰＭＭＡ、ＡＢＳ、ＰＣなどの樹脂を真空成型して、製造することが好ましいが、アルミニウム合金、マグネシウム合金などをプレス成型して、製造することもできる。
【００３４】
ペリクル収納容器本体１１には、８つの把持可能なハンドル１４が取付けられており、蓋体１２にも、４つの把持可能なハンドル１５が取付けられている。ハンドル１４、１５は、合成樹脂あるいは金属によって形成されている。
【００３５】
脚部１３を形成するための材料としては、アルミニウム合金、鉄鋼、ステンレス鋼などの金属のほか、ＰＯＭ、ＰＡなどのエンジニアリング樹脂を用いることができるが、帯電防止機能を有していることが好ましい。金属製の脚部１３の加工方法としては、塊からの切削加工のほか、鋳造加工、板金加工、板金・溶接加工などを用いることができる。一方、樹脂製の脚部１３の加工方法としては、射出成型、真空成型、板材の接着貼り合わせ、塊からの切削加工などを用いることができる。脚部１３の材質および加工方法としては、所望の強度と寸法精度を有するものを適宜選択すればよいが、洗浄の際に、内部に洗浄水が溜まったりすることのない構造であることが好ましい。
【００３６】
図４は、ペリクル収納容器１０が搭載された搬送用台車の略正面図である。
【００３７】
図４に示されるように、搬送用台車２０は、下部に方向転換自在な車輪２５が取付けられた架台部２１を備え、架台部２１の両端部には、支柱２２が設けられている。
【００３８】
ここに、車輪２５は、ペリクル収納容器１０の搬送中に、ペリクル収納容器に衝撃が加わり、異物が付着することを防止するために、図示しない衝撃緩衝機構を有している。
【００３９】
ペリクル収納容器１０は、載置台２４上に取付けられた脚部受け座２３上に搭載され、載置台２４は、支柱２２の先端部に旋回可能に取付けられた旋回軸２６によって支持されている。本実施態様においては、旋回軸２６の支持手段としては、ボールベアリング、クロスローラベアリングなどが用いられ、円滑に運動できるようになっている。
【００４０】
ペリクル収納容器１０は、ペリクル収納容器１０の脚部１３が、搬送用台車２０の載置台２４上に取付けられた脚部受け座２３に嵌合することによって、搬送用台車２０に搭載されるように構成されている。したがって、ペリクル収納容器１０の脚部１３および搬送用台車２０の脚部受け座２３は、ペリクル収納容器１０の脚部１３が脚部受け座２３に嵌合するように、正確に位置決めされている。嵌合の形は、様々に設計可能であるが、ペリクル収納容器１０の脚部１３を、上部から脚部受け座２３内に挿入しやすいこと、傾斜させた場合にも脚部受け座２３が脚部１３を確実に保持できること、洗浄が容易であることを考慮して、設計することが好ましい。
【００４１】
このように、ペリクル収納容器１０の脚部１３が搬送用台車２０の載置台２４上に取付けられた脚部受け座２３に嵌合することにより、ペリクル収納容器１０が搬送用台車２０に搭載されるように構成されているため、ペリクル収納容器本体１１および蓋部１２を設計する上での自由度が大きくなり、ハンドル１４、１５を所望の位置に設けることが可能になり、さらに、蓋体１２を止めるためのバックルなどの機能部品を設けることが容易になる。
【００４２】
載置台２４を支持している旋回軸２６は、搬送用台車２０の載置台２４上にペリクル収納容器１０が搭載されたときの重心位置に設けられており、したがって、搬送用台車２０の載置台２４上に搭載されたペリクル収納容器１０を、水平状態から垂直状態の間で傾斜させることができる。
【００４３】
図４に示されるように、傾斜状態にあるときに、ペリクル収納容器１０が転倒したり、落下したりすることを防止するために、搬送用台車２０には、旋回するレバー型構造の脱落防止手段２７が設けられている。
【００４４】
図５は、ペリクル収納容器１０を、水平面に対して７５度の角度θで傾斜させた状態を示すペリクル収納容器１０および搬送用台車２０の略正面図であり、図６は、その右側面図である。
【００４５】
上述のように、載置台２４を支持している旋回軸２６は、搬送用台車２０の載置台２４上にペリクル収納容器１０が搭載されたときの重心位置に設けられているため、作業者１人のみで、容易に、ペリクル収納容器１０を傾斜させることができる。本実施態様においては、さらに、任意の傾斜角度で、載置台２４を固定することができるように、角度固定手段２８を設けられている。本実施態様においては、角度固定手段２８は、長孔２８ａとボルト２８ｂを備え、ボルト２８ｂを長孔２８ａにねじ込むことによって、水平面に対する載置台２４の角度を所望の角度に設定することができるように構成されている。。
【００４６】
かかる搬送用台車２０に、ペリクル収納容器１０を搭載して、ペリクル収納容器１０を運搬するにあたっては、水平面に対する角度θが６０度ないし８０度になるように、ペリクル収納容器１０が載置された載置台２４を傾斜させて、ペリクル収納容器１０を運搬し、保管することが好ましい。
【００４７】
すなわち、省スペースの観点からは、ペリクル収納容器１０が載置された載置台２４の水平面に対する角度θが９０度になるように、載置台２４を垂直状態にして、ペリクル収納容器１０を運搬し、保管することが好ましいが、この場合には、転倒の危険性も高まり、安全上の問題があるし、また、載置台２４の水平面に対する角度θを大きくするほど、言い換えると、載置台２４を垂直状態に近くするほど、横方向の幅、言い換えると、ペリクル収納容器１０が載置された載置台２４を水平面上に投影したときの幅が小さくなり、横方向のスペースを小さくすることができるが、その一方で、上下方向の長さが長くなり、ドアやエアシャワーなど、上方のスペースに制約がある部分を通過することが困難になるという問題がある。さらに、ペリクル収納容器１０が載置された載置台２４の横方向の幅を小さくして、横方向のスペースを小さくする場合には、支柱２２を介して、載置台２４を支持する架台部２１の横幅も同様に小さくする必要があるが、架台部２１の幅を狭めれば狭めるほど、搬送用台車２０が不安定になり、この点からも、載置台２４を垂直状態に近くすることには制約がある。したがって、搬送用台車２０に、ペリクル収納容器１０を搭載して、ペリクル収納容器１０を運搬するにあたっては、水平面に対する角度θが６０度ないし８０度になるように、ペリクル収納容器１０が載置された載置台２４を傾斜させて、ペリクル収納容器１０を運搬し、保管することが好ましい。
【００４８】
本実施態様によれば、ペリクル収納容器１０は、ペリクル収納容器１０の脚部１３を、搬送用台車２０の載置台２４上に取付けられた脚部受け座２３に嵌合することにより、搬送用台車２０に搭載されるから、ペリクル収納容器１０の外周部の所望の位置に、ハンドル１３など、作業者が把持可能な把持部を設けることができるから、１６２０×１７８０ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納するペリクル収納容器１０のように、８０ｋｇもの重量を有するペリクル収納容器１０であっても、複数の作業者が協働して、容易に、搬送用台車２０の載置台２４上に搭載することができる。
【００４９】
また、本実施態様によれば、載置台２４を支持している旋回軸２６が、搬送用台車２０の載置台２４上にペリクル収納容器１０が搭載されたときの重心位置に設けられているため、作業者１人のみで、容易に、搬送用台車２０の載置台２４上に搭載されたペリクル収納容器１０を傾斜させることができ、搬送用台車２０の架台部２１の下部には、方向転換自在な車輪２５が取付けられているから、１６２０×１７８０ｍｍのフォトマスク用ペリクルを収納するペリクル収納容器１０のように、８０ｋｇもの重量を有するペリクル収納容器１０であっても、作業者１人で、安全に、かつ、容易にペリクル収納容器１０を運搬することができる。
【００５０】
さらに、本実施態様によれば、水平面に対する角度θが６０度ないし８０度になるように、ペリクル収納容器１０が載置された載置台２４を傾斜させて、ペリクル収納容器１０を安全に運搬することができるから、ペリクル収納容器１０を運搬するのに必要な通路幅は、ペリクル収納容器１０を水平にして運搬する場合の５０％以下になり、また、ペリクル収納容器１０を保管する場合にも、保管に必要なスペースは、ペリクル収納容器１０を水平にして保管する場合の５０％以下になり、省スペース化を実現することが可能になるし、搬送用台車２０の架台部２１の下部には、自在に方向転換可能な車輪２５が取付けられているから、ペリクル収納容器１０を保管している際に、ペリクル収納容器１０を移動させる必要が生じた場合にも、容易に、ペリクル収納容器１０を移動させることが可能になる。
【実施例】
【００５１】
以下、本発明の効果を明らかにするため、実施例および比較例を掲げる。
【００５２】
実施例
図1ないし図３に示される形状を有するペリクル収納容器１０を、以下のようにして、製作した。
【００５３】
ペリクル収納容器本体１１はアルミニウム合金ＡＣ４Ｃを砂型鋳造した後、表面を研磨布で仕上げ、外周部およびペリクルが搭載される面について、フライス盤による切削加工を行い、併せて、ペリクル収納容器１０の外周を基準にして、脚部１３の取り付け用のネジ孔を加工した。
【００５４】
以上の機械加工が終了した後、表面の巣などの鋳造欠陥をパテで仕上げ、導電性塗料を塗布し、オーブンで焼き付け乾燥を施した。
【００５５】
脚部１３は、厚さ４ｍｍのＳＵＳ３０４冷間圧延板を曲げ加工して、製作した。脚部１３のサイズは、７０×８０×１００ｍｍとし、Ｍ８の六角穴付ボルトによって、ペリクル収納容器本体１１の下面の６箇所に取り付けた。
【００５６】
次いで、厚さ３ｍｍのＰＭＭＡ板に帯電防止塗装を施した後、真空成型し、蓋体１２を製作した。蓋体１２の外周は、その寸法が、ペリクル収納容器本体１１の外周と同じ寸法になるように、ＮＣルーターにて切削加工した。
【００５７】
こうして製作された蓋体１２を、下面に６つの脚部１３が取付けられたペリクル収納容器本体１１に取り付けて、ペリクル収納容器１０を完成させた。こうして製作されたペリクル収納容器１０の重量は約８０ｋｇであった。
【００５８】
さらに、図４ないし図６にされるペリクル収納容器１０を載置し、搬送するための搬送用台車２０を、以下のようにして、製作した。
【００５９】
架台部２１および支柱２２は、アルミニウム合金中空押し出し材をボルト締結して、組み立て、架台部２１の下部には、車輪２５をボルトで取り付けた。２本ある支柱２２の各々の上部には、２列配置されたクロスローラベアリングにより支持された旋回軸２６が設けられている。ここに、旋回軸２６の中心軸の位置が、そのまわりに旋回するペリクル収納容器１０、後述する載置台２４および脚部受け座２３の重心に一致するように、各部材の位置を設定した。
【００６０】
旋回軸２６に支持される載置台２４は、アルミニウム合金の中空押し出し材をボルト締結して、組み立てた。さらに、載置台２４の所定の位置には、ペリクル収納容器１０の脚部１３が嵌合する脚部受け座２３を取り付けた。ここに、脚部受け座２３は、導電性ＭＣナイロンの切削加工にて製作した。また、ペリクル収納容器１０と接触する載置台２４の表面には傷付き、発塵防止のため、薄い帯電防止用のＰＶＣ板を取り付けた。
【００６１】
さらに、載置台２２の周囲２箇所にはレバー型の脱落防止手段２７を取り付けた。根元の旋回軸を中心に水平方向に０ないし９０度の範囲で旋回可能な構造にした。
【００６２】
また、旋回軸２６の近傍の支柱２２には、ノブを設けたＭ１２のボルト２８ｂからなる角度固定手段２８を設けた。角度固定手段２８は、支柱２２に設けられた長孔２８ａにボルト２８ｂを締め付けることによって、載置台２４の角度を所望の角度に固定することができるように構成した。
【００６３】
以上のように構成された搬送用台車２０の載置台２４上に取り付けられた脚部受け座２３内に、ペリクル収納容器１０の脚部１３を嵌合して、搬送用台車２０の載置台２４上にペリクル収納容器１０を搭載した後に、１人の作業者が、図６に示されるように、水平面に対する載置台２４の角度θが７５度になるように、ペリクル収納容器１０が搭載された載置台２４を傾斜させたが、容易に、ペリクル収納容器１０が搭載された載置台２４を傾斜させることができ、さらに、１人の作業者が、ペリクル収納容器１０が搭載された搬送用台車２０を移動させたが、危険を感じることがなかった。
【００６４】
また、ペリクル収納容器１０が搭載された搬送用台車２０を移動させる際に必要な通路幅は、若干の余裕を見ても、約１５００ｍｍであった。
【００６５】
比較例
実施例と全く同様にして製作したペリクル収納容器１０を水平状態に保ちつつ、８人の作業者によって搬送した。各作業者は、ペリクル収納容器本体１１のハンドル１４を把持して、ペリクル収納容器１０を搬送した。
【００６６】
各作業者が分担する重量は約１０ｋｇであり、やや重いが、搬送作業に支障はなかった。
【００６７】
しかしながら、ペリクル収納容器１０を搬送するために必要な通路幅を計測してみたところ、２５００ｍｍ以上の通路幅が必要であり、安全に作業できる余裕を考えるとおよそ３０００ｍｍの通路幅が必要であった。
【００６８】
本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【００６９】
たとえば、前記実施態様および実施例においては、ペリクル収納容器本体１１の底部に、６つの車輪２５が取り付けられているが、車輪２５の数は、ペリクル収納容器１０の剛性に応じて決定することが好ましく、６つの車輪２５がペリクル収納容器本体１１の底部に取り付けられていることは必ずしも必要でなく、少なくとも４つの車輪２５が取付けられていればよい。
【００７０】
さらに、前記実施態様においては、脱落防止手段２７が旋回するレバー型の構造を有しているが、脱落防止手段２７が旋回するレバー型の構造を有していることは必ずしも必要でなく、他の構造の脱落防止手段を選択することもできる。
【００７１】
また、前記実施態様においては、角度固定手段２８が、支柱２２に形成された長孔２８ａにボルト２８ｂを締め付けることによって、載置台２４の角度を所望の角度に固定するように構成されているが、角度固定手段２８が、支柱２２に形成された長孔２８ａにボルト２８ｂを締め付けることによって、載置台２４の角度を所望の角度に固定するように構成されていることは必ずしも必要でなく、載置台２４を所望の角度に固定することができるように、支柱２２にメス孔を形成し、メス孔内にピンを差し込むことによって、載置台２４を所望の角度に固定するなど、種々の構成を有する角度固定手段を用いることができる。
【００７２】
さらに、前記実施態様においては、車輪２５は、ペリクル収納容器１０の搬送中に、ペリクル収納容器に衝撃が加わり、異物が付着することを防止するために、図示しない衝撃緩衝機構を有しているが、車輪２５が衝撃緩衝機構を有していることは必ずしも必要でなく、搬送用台車２０の架台部２１の底部に、通常の車輪を取り付けることもできる。
【符号の説明】
【００７３】
１０ ペリクル収納容器
１１ ペリクル収納容器本体
１２ ペリクル収納容器の蓋体
１３ ペリクル収納容器の脚部
１４ ハンドル
１５ ハンドル
２０ 搬送用台車
２１ 架台部
２２ 支柱
２３ 脚部受け座
２４ 載置台
２５ 車輪
２６ 旋回軸
２７ 脱落防止手段
２８ 角度固定手段
２８ａ 長孔
２８ｂ ボルト
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍ以上のペリクルを載置するペリクル収納容器本体と、その周縁部が前記ペリクル収納容器本体の開口部に嵌合することによって、前記ペリクルを前記ペリクル収納容器本体との間に収納可能な蓋体と、前記ペリクル収納容器本体の底部に設けられた少なくとも４つの互いに離間する脚部とを備えたペリクル収納容器であって、前記脚部が、ペリクル収納容器を搬送する搬送手段の回動可能な載置台に嵌合可能に構成されたことを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍ以上のペリクルを載置するペリクル収納容器本体と、その周縁部が前記ペリクル収納容器本体の開口部に嵌合することによって、前記ペリクルを前記ペリクル収納容器本体との間に収納可能な蓋体と、前記ペリクル収納容器本体の底部に設けられた少なくとも４つの互いに離間する脚部とを備えたペリクル収納容器を搬送するペリクル収納容器の搬送用台車であって、旋回可能な旋回軸によって支持され、その上に、前記ペリクル収納容器が載置可能な載置台と、前記載置台を任意の角度で固定可能な載置台固定手段を備えたペリクル収納容器の搬送用台車であって、前記載置台に、前記ペリクル収納容器の前記脚部が嵌合可能な連結部を備えたことを特徴とするペリクル収納容器の搬送用台車。
【請求項３】
前記旋回軸が、前記載置台上に、前記ペリクル収納容器を搭載したときの重心を通るように位置決めされていることを特徴とする請求項２に記載のペリクル収納容器の搬送用台車。
【請求項４】
底部に衝撃緩衝機構を有する車輪が取り付けられていることを特徴とする請求項２または３に記載のペリクル収納容器の搬送用台車。
【請求項１】
少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍ以上のペリクルを載置するペリクル収納容器本体と、その周縁部が前記ペリクル収納容器本体の開口部に嵌合することによって、前記ペリクルを前記ペリクル収納容器本体との間に収納可能な蓋体と、前記ペリクル収納容器本体の底部に設けられた少なくとも４つの互いに離間する脚部とを備えたペリクル収納容器であって、前記脚部が、ペリクル収納容器を搬送する搬送手段の回動可能な載置台に嵌合可能に構成されたことを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍ以上のペリクルを載置するペリクル収納容器本体と、その周縁部が前記ペリクル収納容器本体の開口部に嵌合することによって、前記ペリクルを前記ペリクル収納容器本体との間に収納可能な蓋体と、前記ペリクル収納容器本体の底部に設けられた少なくとも４つの互いに離間する脚部とを備えたペリクル収納容器を搬送するペリクル収納容器の搬送用台車であって、旋回可能な旋回軸によって支持され、その上に、前記ペリクル収納容器が載置可能な載置台と、前記載置台を任意の角度で固定可能な載置台固定手段を備えたペリクル収納容器の搬送用台車であって、前記載置台に、前記ペリクル収納容器の前記脚部が嵌合可能な連結部を備えたことを特徴とするペリクル収納容器の搬送用台車。
【請求項３】
前記旋回軸が、前記載置台上に、前記ペリクル収納容器を搭載したときの重心を通るように位置決めされていることを特徴とする請求項２に記載のペリクル収納容器の搬送用台車。
【請求項４】
底部に衝撃緩衝機構を有する車輪が取り付けられていることを特徴とする請求項２または３に記載のペリクル収納容器の搬送用台車。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１１−２０３３０９（Ｐ２０１１−２０３３０９Ａ）
【公開日】平成２３年１０月１３日（２０１１．１０．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−６７９５２（Ｐ２０１０−６７９５２）
【出願日】平成２２年３月２４日（２０１０．３．２４）
【出願人】（０００００２０６０）信越化学工業株式会社 (3,361)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１０月１３日（２０１１．１０．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月２４日（２０１０．３．２４）
【出願人】（０００００２０６０）信越化学工業株式会社 (3,361)
【Ｆターム（参考）】
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