リークテスト用掃除装置
【課題】開口部を有する容器状のワークをリークテストする際、その精度を長期にわたって良好に維持する。
【解決手段】リークテスタ２のシール部材１３にてワーク９の開口部９ａをシールしてリークテストを行なう。上記リークテスタ２の前段に掃除装置３を設ける。掃除装置３のブラシ３１からなる接触体をワーク９の搬送経路７上に配置する。ブラシ３１をワーク９に接触させて、該ワーク９から微塵を離す。
【解決手段】リークテスタ２のシール部材１３にてワーク９の開口部９ａをシールしてリークテストを行なう。上記リークテスタ２の前段に掃除装置３を設ける。掃除装置３のブラシ３１からなる接触体をワーク９の搬送経路７上に配置する。ブラシ３１をワーク９に接触させて、該ワーク９から微塵を離す。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、開口部を有する容器状のワークのリークテストに先立ち、上記ワークを掃除する装置に関し、特にワークを洗浄液等で濡らすことなくドライ環境で掃除する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
開口部を有する容器状のワークをリークテストする場合、例えば、特許文献１に記載のように、ワークの開口部を下にしてリークテスタの台座に設置することで、上記開口部を塞ぎ、ワークの内部を密閉する。台座には、ワークとの間をシールするシール部材を設ける。そのうえで、ガス圧を導入してリークテストを行なう。ワークに欠陥があれば、その欠陥を通してワーク内の密閉空間から洩れが発生する。この洩れを検知することで、ワークの良否を判定できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−０６４７３７号公報（図３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ワークの表面には微塵（パーティクル）が付着していることがある。その状態でワークをリークテスタに設置すると、微塵がシール部材に移る可能性がある。そのため、幾つものワークに対してリークテストを繰り返すと、シール部材上の微塵の堆積量が増えてシール性が悪くなる。ひいては、リークテストの精度が低下してしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、開口部を有する容器状のワークの前記開口部をシール部材にてシールしてリークテストを行うリークテスタに付設され、前記リークテストの前に前記ワークをドライ環境で掃除するリークテスト用掃除装置であって、前記ワークを送る搬送経路上に配置され、前記ワークと接触して前記ワークから微塵を離す接触体を有することを特徴とする。これによって、リークテスト前にワークの微塵を除去できる。この結果、リークテスタのシール性を良好に保つことができ、リークテストの精度を良好に維持できる。
ここで、「ドライ環境」とは、洗浄液等の液体をワークに接触させてワークを掃除するウェット洗浄を含まない趣旨である。液体を用いたウェット洗浄では、液体がワークの開口部内に残留したり、更にはワークに欠陥があった場合には、その欠陥部に詰まったりしやすく、リークテストの精度を保つことが容易でない。
前記接触体は、前記ワークと接触した後、前記ワークから容易に離れることができる物体又は気体であることが望ましい。前記接触体が、ワークから容易に剥離可能な粘着性を有していてもよい。
【０００６】
前記接触体として、回転軸のまわりに回転するブラシを含むことが好ましい。これによって、ワークの微塵を確実に除去できる。
【０００７】
前記回転軸が前記搬送経路に対し斜めになり、かつ前記ブラシの前記ワークとの接触部の回転方向が前記搬送経路の下流方向への成分を含む向きに前記ブラシが回転されることが好ましい。これによって、ワークを搬送経路の側壁に押し当てることでブラシがワーク上を掃く時間を長くでき、微塵を充分に除去することができる。かつ、ワークを搬送方向の下流側へ押し動かすことができる。
【０００８】
前記搬送経路が、下傾する第１スロープ部と、前記第１スロープ部の下端にく字状に曲がった転向部を介して連なるとともに下傾する第２スロープ部とを含み、前記第１スロープ部及び前記第２スロープ部のそれぞれ上方に前記接触体が配置されることが好ましい。これによって、ワークの開口部側の面を、第１、第２スロープ部の何れかで確実に掃除できる。
【０００９】
前記接触体として、外周面が粘着性を有する一対の粘着ロールを含み、これら粘着ロールが、前記ワークを互いの間に挟んで前記搬送経路の下流側へ送るように回転されるようになっていてもよい。これによって、ワークの両面を確実に掃除できる。前記粘着ロールの粘着性は、塵埃をワークから容易に転写でき、かつ当該粘着ロールがワークから容易に剥離できる程度であることが好ましい。
【００１０】
前記搬送経路に前記接触体として粘着面を有する粘着部材が介在されており、前記粘着部材より上流側の搬送経路から前記ワークを取り出して該ワークの前記開口部側の面を前記粘着面に接触させ、その後、該ワークを剥離して前記粘着部材より下流側の搬送経路に移す移替手段を更に備えていてもよい。これによって、ワークの微塵を一層確実に除去できる。前記粘着面の粘着性は、塵埃をワークから容易に転写でき、かつ当該粘着ロールがワークから容易に剥離できる程度であることが好ましい。
【００１１】
前記シール部材のシール面を掃除する掃除手段を更に備えていることが好ましい。これによって、リークテスタのシール性ひいては検査精度を一層確実に良好に保つことができる。
【００１２】
前記搬送経路上のワークに清浄なガスを吹き出すノズルを含んでいてもよい。この清浄ガスを前記ワークに吹き付けることで、ワークから微塵を吹き飛ばすことができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、リークテスト前にワークの微塵を除去できる。したがって、リークテストの精度を長期にわたって良好に維持できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係るリークテストシステムを解説的に示す正面図である。
【図２】上記リークテストシステムの前段別付け掃除装置のガイドレールの断面図である。
【図３】上記ガイドレールの上面開放部の断面図である。
【図４】上記上面開放部を上方かつ斜め４５度の方向から矢視した図である。
【図５】上記前段別付け掃除装置の第１、第２掃除手段を、ワークの開口側面が当初上側を向いた状態で示す正面断面図である。
【図６】上記前段別付け掃除装置の第１、第２掃除手段を、ワークの開口側面が当初、下を向いた状態で示す正面断面図である。
【図７】上記前段別付け掃除装置の第３掃除手段の正面図である。
【図８】（ａ）は、上記リークテストシステムの移替部材が第１位置にある状態を示す正面図である。（ｂ）は、上記移替部材が第１位置から第２位置へ移行する状態を示す正面図である。（ｃ）は、上記移替部材が第２位置にある状態を示す正面図である。
【図９】上記移替部材の吸着ノズル及び粘着部材を拡大して示す正面断面図である。
【図１０】上記リークテストシステムの転写ロールユニットの側面図である。
【図１１】上記リークテストシステムにおけるワーク開口部を密閉するシール部材用の掃除装置（掃除手段）の側面図である。
【図１２】本発明の他の実施形態を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。
図１は、ワーク９のヘリウムリークテストを行なうリークテストシステム１を示したものである。図２及び図３に示すように、ワーク９は、開口部９ａを有する容器状になっている。ここで、ワーク９の開口部９ａが形成された面を「おもて（表）面」とし、その反対側の面を「裏面」とする。ワーク９は、例えば数ｍｍサイズの小型電子部品の筺体であるが、これに限定されるものではなく、機械部品であってもよい。
【００１６】
図１に示すように、リークテストシステム１は、ヘリウムリークテスタ２と、掃除装置３，４，５を備えている。ヘリウムリークテスタ２は、搬送機構６（搬送経路）と、リークテスト部１０を備えている。搬送機構６は、パーツフィーダー６０と、ガイドレール６１と、ピックアップ機構６３を含む。ワーク９が、パーツフィーダー６０、ガイドレール６１、ピックアップ機構６３の順にリークテスト部１０へ向けて搬送される。図示は省略するが、パーツフィーダー６０とガイドレール６１との間には、ワーク９のおもて面を下に向ける向き制御機構が設けられている。
【００１７】
ピックアップ機構６３は、ワーク９を吸着する吸着ノズル６５を含む。ピックアップ機構６３は、リークテスト部１０の近くの待機板６６の上方とリークテスト部１０との間を往復移動可能になっている（図８参照）。ピックアップ機構６３によって、待機板６６上のワーク９をピックアップしてリークテスト部１０にセットしたり、検査後のワーク９をピックアップして検査結果（ワーク９の良否）に応じた指定場所に搬出したりすることができる。
【００１８】
リークテスト部１０は、台座１１と、閉塞部材１２を含む。閉塞部材１２は、台座１１上に退避可能に設置されている。閉塞部材１２と台座１１との間に密閉された検査空間１０ａが形成されている。検査空間１０ａにヘリウム導入路１６と排気路１７が連なっている。
【００１９】
台座１１の上面には、板状のシール部材１３が設けられている。シール部材１３は、ワーク９の開口部９ａを気密に塞いでワーク９の内部空間を密封するためのものである。台座１１には吸着路１４が形成されている。吸着路１４内のガスを吸引することで、シール部材１３を台座１１の上面に吸着して固定できる。吸着を解除することによって、シール部材１３を台座１１から容易に取り外して交換等を行なうことができる。シール部材１３には検査孔１３ａが厚さ方向に貫通するように形成されている。ワーク９が、開口部９ａを下にして、上記検査孔１３ａに被さるようにシール部材１３上に載置される。台座１１には検査孔１３ａに連なる検出路１５が形成されている。検出路１５がヘリウム検知器（図示省略）に連なっている。
【００２０】
ヘリウムリークテストの際は、導入路１６から検査空間１０ａ内にヘリウムを導入する。このとき、初めに検査空間１０ａ内のガスを排気路１７から逃がすことで検査空間１０ａ内のガスを充分にヘリウムに置換したうえで、排気路１７を閉じることが好ましい。そして、ワーク９内のガスを検出路１５を介して吸引してヘリウム検知器へ送る。ワーク９に欠陥があれば、その欠陥を通して検査空間１０ａ内のヘリウムが検出路１５へ洩れ、ヘリウム検知器によって検知される。これによって、ワーク９の良否を判定できる。複数個のワーク９を一度にシール部材１３上に設置して、これら複数個のワーク９を一度に検査してもよく、１個のワーク９ごとに検査してもよい。一度に複数個のワーク９を検査する場合には、シール部材１３には上記ワーク９の個数分の検査孔１３ａを設ける。また、ピックアップ機構６３には上記ワーク９の個数分の吸着ノズル６５を設ける。
【００２１】
掃除装置３，４，５について説明する。図１に示すように、掃除装置３は、ヘリウムリークテスタ２の搬送機構６の前段に別付けされている。図１及び図１０に示すように、掃除装置４は、搬送機構６に組み込まれている。これら掃除装置３，４は、リークテスト部１０に搬入する前のワーク９を掃除する。図１及び図１１に示すように、掃除装置５（掃除手段）は、リークテスト部１０に組み込まれ、シール部材１３の上面（シール面）を掃除する。
掃除装置３，４，５について更に詳述する。
【００２２】
図１に示すように、前段の掃除装置３は、ワーク９の搬送経路を画成する送り機構７と、搬送経路上に配置された掃除手段３０，３５とを備えている。送り機構７は、パーツフィーダー２０と、ガイドレール２１を含む。ガイドレール２１は、第１スロープ部２１ａと、転向部２１ｂと、第２スロープ部２１ｃと、垂直部２１ｄを含む。第１スロープ部２１ａの上端部がパーツフィーダー２０に連なっている。第１スロープ部２１ａは、パーツフィーダー２０から遠ざかるにしたがって下へ傾いている。第１スロープ部２１ａの下端部に転向部２１ｂが連なっている。転向部２１ｂは、第１スロープ部２１ａと同じ垂直面内においてく字状に曲がっている。転向部２１ｂの下端部に第２スロープ部２１ｃが連なっている。第２スロープ部２１ｃは、転向部２１ｂから遠ざかるしたがって下へ傾いている。第２スロープ部２１ｃの下端部から垂直下方に垂直部２１ｄが延びている。垂直部２１ｄの下端部は開口されている。
【００２３】
図２及び図３は、ガイドレール２１（２１ａ〜２１ｄ）の断面を示したものである。図２に示すように、ガイドレール２１は、底部２２と、一対の側壁２３，２３と、蓋２４を有し、断面が四角形の枠状になっている。このガイドレール２１の内部にワーク９が通される。ガイドレール２１内においてワーク９の縦揺れ、横揺れ、回転が制限ないしは阻止されるように、ガイドレール２１の断面寸法（底部２２と蓋２４の間隔及び一対の側壁２３，２３どうしの間隔）が設定されている。蓋２４の幅は、一対の側壁２３，２３どうしの間隔より短い。蓋２４は、一方の側壁２３の上端部に連結されるとともに、他方の側壁２３に達することなく、側壁２３，２３どうし間の中間部で途切れている。蓋２４と上記他方の側壁２３の上端部との間に隙間２５が形成されている。この隙間２５を通して、ガイドレール２１の内部を確認できる。ワーク９がガイドレール２１内で詰まった場合には、隙間２５を通してワーク９の姿勢を矯正でき、詰まりを容易に解除できる。
【００２４】
図１、図３〜図５に示すように、ガイドレール２１のうちスロープ部２１ａ，２１ｃの中間部分には、蓋２４が設けられていない。これによって、スロープ部２１ａ，２１ｃの内部が上方へ開放され、上面開放部２６が構成されている。上面開放部２６の長さは、ワーク９の寸法の例えば数倍である。
【００２５】
図１に示すように、各スロープ部２１ａ，２１ｃの上面開放部２６の上方に掃除手段３０が配置されている。これら掃除手段３０を互いに区別するときは、第１スロープ部２１ａに対応する掃除手段３０を「第１掃除手段３０Ａ」と表記し、第２スロープ部２１ｃに対応する掃除手段３０を「第２掃除手段３０Ｂ」と表記する。
【００２６】
図４及び図５に示すように、各掃除手段３０は、モータからなる駆動部３４と、この駆動部３４の回転軸３３に取り付けられたブラシ３１（接触体）を含む。ブラシ３１は、円形になっている。ブラシ３１の材質は、ワーク９から微塵（パーティクル）を除去できて、かつワーク９を傷めることのない適度な軟性を有するものであれば特に限定がなく、樹脂でもよく、ゴムでもよく、天然繊維でもよい。この実施形態では、ブラシ３１を構成する一部又は全部の毛が導電性樹脂にて構成されている。
【００２７】
各掃除手段３０は、スロープ部２１ａ，２１ｃに対する位置及び角度を調節可能になっている。ひいては、回転軸３３が、スロープ部２１ａ，２１ｃに対する角度を調節可能になっている。図４及び図５に示すように、第１掃除手段３０Ａの回転軸３３は、第１スロープ部２１ａの底部２２及び蓋２４と平行な平面上に配置され、かつ第１スロープ部２１ａの延び方向に対して斜めになっている。図３及び図５に示すように、第１掃除手段３０Ａのブラシ３１の外周部が、第１スロープ部２１ａの上面開放部２６に差し入れられている。同様に、第２掃除手段３０Ｂの回転軸３３は、第２スロープ部２１ｃの底部２２及び蓋２４と平行な平面上に配置され、かつ第２スロープ部２１ｃの延び方向に対して斜めになっている。第２掃除手段３０Ｂのブラシ３１の外周部が、第２スロープ部２１ｃの上面開放部２６に差し入れられている。
【００２８】
駆動部３４によってブラシ３１が回転される。図１及び図５の矢印ａにて示すように、この回転の向きは、ブラシ３１のガイドレール２１と接する部分の移動方向が下向き成分を持つように設定されている。
【００２９】
各ブラシ３１に吸引ノズル３２が添えられている。吸引ノズル３２の先端部は、対応するブラシ３１のガイドレール２１と接する部分の回転方向の下流側の近傍に配置されている。
【００３０】
図１及び図７に示すように、垂直部２１ｄの下端部に第３掃除手段３５が設けられている。第３掃除手段３５は、一対の粘着ロール３６，３６と、各粘着ロール３６に付設された転写ロール３７とを有している。各粘着ロール３６の外周面は、シリコンゴム等の粘着性の材料にて構成され、塵埃に対して優れた接着性と、ワーク９に対して容易剥離性と、適度な軟性を有している。一対の粘着ロール３６，３６が狭い間隔３６ａを介して対向している。間隙３６ａの厚さは、ワーク９の厚さとほぼ同じかそれより小さい。間隙３６ａの直上に垂直部２１ｄの下端部が臨んでいる。粘着ロール３６，３６の下側には、一対の剥離部材３８，３８が配置されている。剥離部材３８，３８は、垂直な板状をなし、粘着ロール３６，３６と同じ方向に対向している。各剥離部材３８の上端部は、対応する粘着ロール３６の下側の外周面の近くに配置されている。剥離部材３８，３８どうしの間隔は、少なくともワーク９の長さ寸法より大きい。剥離部材３８，３８どうし間の空間の直下には、上面開口の箱状のワーク受け２９が配置されている。各粘着ロール３６の軸線は、垂直部２１ｄの一対の側壁２３，２３どうしの対向方向（図１及び図７の紙面と直交する方向）に向けられている。粘着ロール３６，３６どうしの対向方向（図１において左右）は、垂直部２１ｄの底部２２と蓋２４の対向方向と一致している。
【００３１】
図１及び図７の矢印ｂにて示したように、一対の粘着ロール３６，３６は、間隙３６ａを形成する部分が下方へ移動するように互いに等速で回転される。図１において、左側の粘着ロール３６は右回りに回転され、右側の粘着ロール３６は左回りに回転される。
【００３２】
各粘着ロール３６の斜め上方に転写ロール３７が設けられている。転写ロール３７は、外周が粘着面になった粘着テープや粘着ロールにて構成されている。転写ロール３７の粘着性は、粘着ロール３６の粘着性より大きいことが好ましい。転写ロール３７の外周面が、対応する粘着ロール３６の外周面に接触している。転写ロール３７は、対応する粘着ロール３６とは反対方向に回転される。
【００３３】
次に、掃除装置４について説明する。
図１、図８〜図１０に示すように、掃除装置４は、板状の粘着部材４０（接触体）と、移替部材４２（移替手段）と、転写ロールユニット４４を備えている。粘着部材４０は、シリコンゴム等の粘着性の材料にて構成され、塵埃に対して優れた接着性を有し、ワーク９に対して容易剥離性を有している。粘着部材４０は、水平をなして、搬送機構６のガイドレール６１と待機板６６との間に介在されている。粘着部材４０に位置替機構４１が接続されている。位置替機構４１によって、粘着部材４０が前後左右（Ｘ−Ｙ方向）に移動可能になっている。
【００３４】
図１に示すように、粘着部材４０の上方に移替部材４２が配置されている。移替部材４２の下端部に一対の吸着ノズル４３，４３が設けられている。吸着ノズル４３は、金属より軟質の材料にて構成され、好ましくはワーク９より軟質の材料にて構成されている。ここでは、吸着ノズル４３は、ポリプロピレン等の樹脂にて構成されている。図９に示すように、吸着ノズル４３の下端面は、僅かに斜めにカットされている。
【００３５】
図８に示すように、移替部材４２は、ガイドレール６１と粘着部材４０の上方に跨る第１位置（図８（ａ））と、粘着部材４０と待機板６６の上方に跨る第２位置（図８（ｃ））との間を往復移動可能になっている。図１及び図８（ａ）に示すように、移替部材４２が第１位置のとき、一方（図において右側）の吸着ノズル４３がガイドレール６１の搬送方向の下流端（図において左端）のワーク９の真上に配置され、他方（図において左側）の吸着ノズル４３が粘着部材４０の真上に配置される。図８（ｃ）に示すように、移替部材４２が第２位置のとき、一方（図において右）の吸着ノズル４３が粘着部材４０の真上に配置され、他方（図において左）の吸着ノズル４３が待機板６６の真上に配置される。吸着ノズル４３をワーク９の直上に配置して吸引を行なうことで、ワーク９を吸着ノズル４３に吸着できる。吸着ノズル４３の吸引を停止し、又は吸着ノズル４３に正のガス圧を導入することで、ワーク９の吸着を解除できる。
【００３６】
図１において、転写ロールユニット４４は、移替部材４２よりも図１の紙面奥側に配置されている。位置替機構４１によって粘着部材４０を図１の紙面奥側にスライドさせることで、図１０に示すように、転写ロールユニット４４が粘着部材４０の上方に配置される。或いは、移替部材４２を退避させ、転写ロールユニット４４を図１の紙面手前に前進させることで、転写ロールユニット４４が粘着部材４０の上方に配置される。図１０に示すように、転写ロールユニット４４は、押当ロール４５と、剥離ロール４６を備えている。押当ロール４５は、軸線を転写ロールユニット４４の前進後退方向と直交する水平に向けて配置されている。剥離ロール４６は、押当ロール４５の前方（図１０において左）に離れて、押当ロール４５と平行に配置されている。剥離ロール４６は、押当ロール４５より小径になっている。剥離ロール４６の下端部は、押当ロール４５より上に位置している。
【００３７】
転写ロールユニット４４に粘着テープ４７が巻き付けられている。粘着テープ４７は、粘着面を下にして押当ロール４５の下側の周面に巻き付けられている。粘着テープ４７の粘着面は、塵埃を粘着部材４０から転写可能、かつ粘着部材４０からは容易に剥離可能な粘着性を有している。押当ロール４５より後方（図１０において右）の粘着テープ４７は、ほぼ水平になっている。押当ロール４５より前方（図１０において左）の粘着テープ４７が剥離ロール４６の上側の周面に巻き付けられている。
【００３８】
図１０の白抜き矢印に示すように、転写ロールユニット４４は、粘着部材４０に対して上下及び前後（図１の紙面直交方向、図１０の左右方向）に移動できる。転写ロールユニット４４を下げることで、押当ロール４５が粘着部材４０に押し当てられ、ひいては粘着テープ４７が粘着部材４０の上面に貼り付けられる。転写ロールユニット４４を図１０において左方向に前進させることで、上記粘着テープ４７の貼付部分が拡がる。転写ロールユニット４４を図１０において右方向に後退させると、剥離ロール４６が上記粘着テープ４７の貼付部分を剥がす。
【００３９】
次に、掃除装置５について説明する。図１において、掃除装置５は、１０よりも図１の紙面奥側に配置されている。閉塞部材１２を台座１１上から離して退避させたうえで、掃除装置５を図１の紙面手前へ前進させることで、掃除装置５が台座１１ひいてはシール部材１３の上方に配置される。台座１１が動くことで掃除装置５の下方に配置されるようにしてもよい。図１１に示すように、掃除装置５は、テープホルダ５０を備えている。テープホルダ５０に粘着テープ５１が軸線を水平に向けて回転可能かつ着脱可能に取り付けられている。粘着テープ５１は、粘着面を外側にしてロール状に巻かれている。粘着テープ５１の粘着面は、塵埃をシール部材１３から転写可能、かつシール部材１３からは容易に剥離可能な粘着性を有している。
【００４０】
図１１の白抜き矢印に示すように、テープホルダ５０は、台座１１及びシール部材１３に対して上下及び前後（図１の紙面直交方向、図１１の左右方向）に移動できる。テープホルダ５０を下げることで、粘着テープ５１がシール部材１３の上面に押し当てられる。そして、テープホルダ５０を前後動させることで、粘着テープ５１がシール部材１３上を転動する。
【００４１】
上記構成のリークテストシステム１の動作を、掃除装置３，４，５による掃除動作を中心に説明する。
ワーク９は、ヘリウムリークテスタ２に供給する前に、前段の掃除装置３にて掃除され、次いで、ヘリウムリークテスタ２の搬送機構６にて搬送中に掃除装置４にて掃除される。更に、リークテスト部１０のシール部材１３が掃除装置５にて掃除される。
【００４２】
詳述すると、先ず、ワーク９を掃除装置３のパーツフィーダー２０に導入する。パーツフィーダー２０は、ワーク９を１個ずつガイドレール２１に送る。このとき、ワーク９の表裏判別は行なわない。したがって、ワーク９のおもて面が上向きでガイドレール２１に導入されることもあり、下向きでガイドレール２１に導入されることもある。ワーク９は、重力によってガイドレール２１を下降する。途中で、ワーク９が第１スロープ部２１ａの上面開放部２６を通過する。
【００４３】
上記ワーク９の搬送と併行して、掃除手段３０Ａ，３０Ｂの駆動部３４を駆動し、各ブラシ３１を回転軸３３の周りに回転させる。同時に、各吸引ノズル３２による吸引を行なう。
【００４４】
図３〜図５に示すように、第１掃除手段３０Ａのブラシ３１は、回転しながら、第１スロープ部２１ａの上面開放部２６を通過中のワーク９と接触し、ワーク９の上側を向く露出面を掃く。これによって、上記露出面から微塵を離して飛ばすことができる。上記露出面は、ワーク９のおもて面であることもあり（図５）、裏面であることもある（図６）。ブラシ９の一部又は全部の毛を導電性樹脂にて構成することによって、ワーク９に静電気がたまるのを防止できる。ワーク９から離れた微塵は、第１掃除手段３０Ａの吸引ノズル３２によって吸引して収集できる。
【００４５】
図４に示すように、回転軸３３を第１スロープ部２１ａに対して斜めにすることで、ブラシ３１から上面開放部２６内のワーク９に斜め方向の力が働く。この斜め方向の力のうち、第１スロープ部２１ａと直交する分力によって、ワーク９が片側の側壁２３に押し当てられて摩擦抵抗が生じ、ワーク９の速度が小さくなる。これによって、ブラシ３１がワーク９上を掃く時間を長くでき、微塵を充分に除去することができる。かつ、上記斜めの力のうち、第１スロープ部２１ａと平行な分力（搬送経路の下流方向への力成分）によって、ワーク９を搬送方向の下流側へ押し動かすことができる。これによって、ワーク９を第１スロープ部２１ａの上面開放部２６より下方の送り機構７へ確実に送ることができる。
【００４６】
図５及び図６において二点鎖線にて示すように、その後、ワーク９は、転向部２１ｂを通過することで、それまで上方を向いていた面が下になり、下方を向いていた面が上になる。その後、ワーク９は、第２スロープ部２１ｃに導入され、第２スロープ部２１ｃの上面開放部２６を通過する。この第２スロープ部２１ｃの上面開放部２６において、第２掃除手段３０Ｂのブラシ３１がワーク９と接触し、ワーク９の上側を向く露出面を掃いて上記露出面から微塵を離して飛ばす。この露出面は、第１スロープ部２１ａで掃除した面とは反対側の面である。
【００４７】
すなわち、図５に示すように、第１スロープ部２１ａにおいて、ワーク９のおもて面を掃除したときは、第２スロープ部２１ｃにおいて、当該ワーク９の裏面を掃除できる。図６に示すように、第１スロープ部２１ａにおいて、ワーク９の裏面を掃除したときは、第２スロープ部２１ｃにおいて、当該ワーク９のおもて面を掃除できる。したがって、ワーク９をパーツフィーダー２０からガイドレール２１に導入する際のワーク９の向きに拘わらず、ワーク９の両面を掃除でき、おもて面を確実に掃除できる。よって、ガイドレール２１への導入時におけるワーク９の表裏判定及び表裏制御は不要である。
【００４８】
第２スロープ部２１ｃにおいてワーク９から離れた微塵は、第２掃除手段３０Ｂの吸引ノズル３２によって吸引して回収できる。
【００４９】
第２掃除手段３０Ｂにおいても、第１掃除手段３０Ａと同様に、回転軸３３が第２スロープ部２１ｃに対し斜めになることで、ブラシ３１からワーク９に斜め方向の力が働く。この斜め方向の力のうち、第２スロープ部２１ｃと直交する分力によって、ワーク９が片側の側壁２３に押し当てられ、摩擦によってワーク９の速度が小さくなり、ブラシ３１がワーク９上を掃く時間を長くでき、微塵を充分に除去することができる。かつ、上記斜めの力のうち、第２スロープ部２１ｃと平行な分力（搬送経路の下流方向への力成分）によって、ワーク９を搬送方向の下流側へ押し動かすことができる。これによって、ワーク９を第２スロープ部２１ｃの上面開放部２６より下流側の送り機構７へ確実に送ることができる。
【００５０】
その後、ワーク９は、第２スロープ部２１ｃから垂直部２１ｄに導かれて、垂直部２１ｄを下降する。そして、垂直部２１ｄの下端から出て、第３掃除手段３５の一対の粘着ロール３６，３６間の間隙３６ａに導入される。図７に示すように、一対の粘着ロール３６，３６は、互いに同期して回転し、ワーク９を両側から挟み付ける。これによって、ワーク９の表裏両面に残留した微塵を粘着ロール３６に移すことができる。ワーク９のおもて面の向きに拘わらず、一対の粘着ロール３６，３６の何れかによってワーク９のおもて面を確実に掃除することができる。一対の粘着ロール３６，３６は、ワーク９を掃除しながら下方（搬送経路の下流側）へ送る。粘着ロール３６，３６は、送り機構７の要素を兼ねる。
【００５１】
粘着ロール３６の外周部の各箇所は、ワーク９から離れた後、転写ロール３７と接触する。これによって、ワーク９から粘着ロール３６の外周面に移った微塵が、更に転写ロール３７に移される。したがって、粘着ロール３６の外周部を清浄な状態にしてワーク９と接触させることができる。
【００５２】
図１に示すように、粘着ロール３６，３６どうしの間隙３６ａを通過したワーク９は、下方のワーク受け２９に落下して収容される。図７の仮想線に示すように、ワーク９が間隙３６ａを通過後、何れか一方の粘着ロール３６にくっ付いたままの状態になった場合、まもなくワーク９は上記一方の粘着ロール３６の下側の剥離部材３７に当たる。この剥離部材３７によって、ワーク９を粘着ロール３６から剥離させてワーク受け２９に落とすことができる。ワーク受け２９内には、複数のワーク受け２９が不規則な姿勢で蓄えられる。これらワーク９はおもて面だけでなく裏面も掃除されているため、ワーク受け２９内で互いに接触しても、一方のワーク９の裏面から他のワーク９のおもて面に塵埃が移るのを防止できる。
【００５３】
ワーク受け２９に溜まった掃除済みのワーク９をヘリウムリークテスタ２のパーツフィーダー６０に移す。この作業は、自動機械によって自動で行ってもよく、人手によって行ってもよい。パーツフィーダー６０は、ワーク９を１個ずつガイドレール６１へ供出する。このとき、パーツフィーダー６０に付設した向き制御機構によって、ワーク９のおもて面を下に向ける。ガイドレール６１から下流の搬送経路上のワーク９は、すべておもて面が下を向いている。ガイドレール６１は、ワーク９を少しずつ搬送経路の下流側へ移す。
【００５４】
ここで、図８（ａ）に示すように、移替部材４２を第１位置に位置させる。そして、ガイドレール６１の下流端のワーク９を吸着ノズル４３に吸着して取り出す。次に、図８（ｂ）に示すように、移替部材４２を第２位置に向けて移動させる。そして、図８（ｃ）に示すように、移替部材４２を第２位置に位置させ、上記吸着を解除することで、ワーク９を粘着部材４０上に載置する。このとき、図９に示すように、ワーク９のおもて面が粘着部材４０の上面（粘着面）に接触して粘着する。これによって、ワーク９のおもて面に微塵が残っていた場合には、これを粘着部材４０に移すことができる。したがって、ワーク９のおもて面を一層確実に清浄にすることができる。
【００５５】
図８（ａ）に示すように、第１位置における移替部材４２のもう１つ（同図において左側）の吸着ノズル４３は、粘着部材４０上のワーク９の真上に位置する。上述したガイドレール６１の下流端のワーク９を右側の吸着ノズル４３で吸着するとき、これと同時に粘着部材４０上のワーク９をも左側の吸着ノズル４３で吸着する。このとき、図９の二点鎖線に示すように、移替部材４２を下げて吸着ノズル４３をワーク９に押し付けるとよい。この押し付け力によってワーク９を吸着ノズル４３の下面に添うように傾けることができ、ワーク９を粘着部材４０から容易に剥離することができる。
【００５６】
続いて、図８（ｂ）〜図８（ｃ）に示すように、移替部材４２を第２位置に移動させて吸着を解除することによって、掃除済みのワーク９を粘着部材４０から待機板６６に移すことができる。その後、ピックアップ機構６３によって、ワーク９を待機板６６からリークテスト部１０のシール部材１３上に移し、ヘリウムリークテストを行なう。
【００５７】
移替部材４２によって１個のワーク９を粘着部材４０からピックアップするごとに、位置替機構４１によって上記粘着部材４０の位置を少しずらす。例えば、粘着部材４０を前後左右（Ｘ−Ｙ方向）にジグザグな軌跡になるように上記ピックアップの度に少しずつずらしていく。１回にずらす距離はワーク９の寸法より若干大きい程度が好ましい。これによって、ワーク９を常に粘着部材４０の上面（粘着面）の清浄な箇所に接触させて掃除することができる。
【００５８】
粘着部材４０の上面（粘着面）のほぼ全域をワーク９との接触すなわち掃除に使用した後は、移替部材４２を粘着部材４０上から退避させ、又は粘着部材４０を移替部材４２の下方から退避させる。そして、図１０に示すように、転写ロールユニット４４の押当ロール４５を粘着部材４０に押し当て、かつ転写ロールユニット４４を粘着部材４０の一端から他端まで図１０の左方向に前進させる。これによって、粘着テープ４７が粘着部材４０の上面の全域に貼り付けられ、粘着部材４０の上面の塵埃を粘着テープ４７に移すことができる。次に、転写ロールユニット４４を図１０の右方向に後退させる。このとき、剥離ロール４６が粘着テープ４７を粘着部材４０から剥がしながら移動する。これによって、粘着部材４０の上面をきれいな状態に戻すことができる。粘着テープ４７の使用済みの部分は、転写ロールユニット４４の巻き取りロール（図示省略）にて巻き取る。
【００５９】
このように、リークテストシステム１においては、ワーク９のヘリウムリークテストを行なう前に、掃除装置３，４によってワーク９を掃除することで、ワーク９から微塵を確実に除去することができる。したがって、シール部材１３のシール面（上面）に微塵が付着して堆積するのを防止又は抑制できる。この結果、シール部材１３のシール性能を良好に維持でき、ひいてはリークテストの精度を高く維持することができる。
【００６０】
更に、図１１に示すように、ワーク９のリークテストをある程度の回数行った時点で、掃除装置５を作動してシール部材１３の上面を掃除する。具体的には、閉塞部材１２を退避させたうえで、掃除装置５のテープホルダ５０を下げて、粘着テープ５１をシール部材１３の上面に押し当てる。そして、テープホルダ５０をシール部材１３の全長にわたって図１１の左右方向に移動させる。これによって、シール部材１３の上面に塵埃が付着していた場合には、この塵埃を粘着テープ５１に転写でき、シール部材１３の上面をきれいな状態に戻すことができる。したがって、シール部材１３のシール性能を確実に良好に保つことができ、ひいてはリークテストの精度を確実に高く維持することができる。粘着テープ５１は、使用の都度、使用済みの部分を切り取る。
【００６１】
本発明は、上記実施形態に限定されず、発明の要旨を変更しない限りにおいて種々の改変をなすことができる。
掃除装置３，４に加えて、又は掃除装置３，４に代えて、図１２に示すように、ガス吹出ノズル７０からクリーンエアや窒素ガス等の清浄ガス７１を吹き出してワーク９に接触させることで、ワーク９を掃除することにしてもよい。この場合、好ましくは、ノズル７０をワーク９のおもて面（開口部９ａ側の面）に向ける。ノズル７０は、ワークの搬送経路上に設けてもよく、搬送経路とは別個に設けてもよい。上記清浄ガスは「ワークと接触してワークから微塵を離す接触体」を構成する。
【００６２】
掃除装置３と掃除装置４のうち何れかを省略してもよい。
掃除装置３の掃除手段３０と第３掃除手段３５のうち何れかを省略してもよい。
パーツフィーダー２０にワーク９の表裏の向きを制御する機構を付設してもよく、第１掃除手段３０Ａと第２掃除手段３０Ｂのうち何れかを省略してもよい。
回転軸３３が、ガイドレール２１に対し直交し、又はガイドレール２１と平行になっていてもよい。
ワーク受け２９を省略し、ヘリウムリークテスタ２のパーツフィーダー６０を粘着ロール３６，３６間の間隙３６ａの直下に配置してもよい。パーツフィーダー６０がワーク受け２９を兼ねていてもよい。
リークテスト部１０は、ヘリウムリークテスタに代えて、エアリークテスタであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、電子部品等の開口部付き容器の良否判定を行なうリークテスタに適用できる。
【符号の説明】
【００６４】
１ リークテストシステム
２ ヘリウムリークテスタ
３ 前段掃除装置
４ 掃除装置
５ 掃除装置（掃除手段）
６ 搬送機構（搬送経路）
７ 送り機構（搬送経路）
９ ワーク
９ａ 開口部
１０ リークテスト部
１０ａ 検査空間
１１ 台座
１２ 閉塞部材
１３ シール部材
１３ａ 検査孔
１４ 吸着路
１５ 検出路
１６ ヘリウム導入路
１７ 排気路
２０ パーツフィーダー
２１ ガイドレール
２１ａ 第１スロープ部
２１ｂ 転向部
２１ｃ 第２スロープ部
２１ｄ 垂直部
２２ 底部
２３ 側壁
２４ 蓋
２５ 隙間
２６ 上面開放部
２９ ワーク受け
３０Ａ 第１掃除手段
３０Ｂ 第２掃除手段
３１ ブラシ（接触体）
３２ 吸引ノズル
３３ 回転軸
３４ 駆動部
３５ 第３掃除手段
３６ 粘着ロール（接触体）
３６ａ 間隙
３７ 転写ロール
３８ 剥離部材
４０ 粘着部材（接触体）
４１ 位置替機構
４２ 移替部材（移替手段）
４３ 吸着ノズル
４４ 転写ロールユニット
４５ 押当ロール
４６ 剥離ロール
４７ 粘着テープ
５０ テープホルダ
５１ 粘着テープ
６０ パーツフィーダー
６１ ガイドレール
６３ ピックアップ機構
６５ 吸着ノズル
６６ 待機板
７０ 清浄ガス吹出ノズル
７１ 清浄ガス
【技術分野】
【０００１】
この発明は、開口部を有する容器状のワークのリークテストに先立ち、上記ワークを掃除する装置に関し、特にワークを洗浄液等で濡らすことなくドライ環境で掃除する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
開口部を有する容器状のワークをリークテストする場合、例えば、特許文献１に記載のように、ワークの開口部を下にしてリークテスタの台座に設置することで、上記開口部を塞ぎ、ワークの内部を密閉する。台座には、ワークとの間をシールするシール部材を設ける。そのうえで、ガス圧を導入してリークテストを行なう。ワークに欠陥があれば、その欠陥を通してワーク内の密閉空間から洩れが発生する。この洩れを検知することで、ワークの良否を判定できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−０６４７３７号公報（図３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ワークの表面には微塵（パーティクル）が付着していることがある。その状態でワークをリークテスタに設置すると、微塵がシール部材に移る可能性がある。そのため、幾つものワークに対してリークテストを繰り返すと、シール部材上の微塵の堆積量が増えてシール性が悪くなる。ひいては、リークテストの精度が低下してしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、開口部を有する容器状のワークの前記開口部をシール部材にてシールしてリークテストを行うリークテスタに付設され、前記リークテストの前に前記ワークをドライ環境で掃除するリークテスト用掃除装置であって、前記ワークを送る搬送経路上に配置され、前記ワークと接触して前記ワークから微塵を離す接触体を有することを特徴とする。これによって、リークテスト前にワークの微塵を除去できる。この結果、リークテスタのシール性を良好に保つことができ、リークテストの精度を良好に維持できる。
ここで、「ドライ環境」とは、洗浄液等の液体をワークに接触させてワークを掃除するウェット洗浄を含まない趣旨である。液体を用いたウェット洗浄では、液体がワークの開口部内に残留したり、更にはワークに欠陥があった場合には、その欠陥部に詰まったりしやすく、リークテストの精度を保つことが容易でない。
前記接触体は、前記ワークと接触した後、前記ワークから容易に離れることができる物体又は気体であることが望ましい。前記接触体が、ワークから容易に剥離可能な粘着性を有していてもよい。
【０００６】
前記接触体として、回転軸のまわりに回転するブラシを含むことが好ましい。これによって、ワークの微塵を確実に除去できる。
【０００７】
前記回転軸が前記搬送経路に対し斜めになり、かつ前記ブラシの前記ワークとの接触部の回転方向が前記搬送経路の下流方向への成分を含む向きに前記ブラシが回転されることが好ましい。これによって、ワークを搬送経路の側壁に押し当てることでブラシがワーク上を掃く時間を長くでき、微塵を充分に除去することができる。かつ、ワークを搬送方向の下流側へ押し動かすことができる。
【０００８】
前記搬送経路が、下傾する第１スロープ部と、前記第１スロープ部の下端にく字状に曲がった転向部を介して連なるとともに下傾する第２スロープ部とを含み、前記第１スロープ部及び前記第２スロープ部のそれぞれ上方に前記接触体が配置されることが好ましい。これによって、ワークの開口部側の面を、第１、第２スロープ部の何れかで確実に掃除できる。
【０００９】
前記接触体として、外周面が粘着性を有する一対の粘着ロールを含み、これら粘着ロールが、前記ワークを互いの間に挟んで前記搬送経路の下流側へ送るように回転されるようになっていてもよい。これによって、ワークの両面を確実に掃除できる。前記粘着ロールの粘着性は、塵埃をワークから容易に転写でき、かつ当該粘着ロールがワークから容易に剥離できる程度であることが好ましい。
【００１０】
前記搬送経路に前記接触体として粘着面を有する粘着部材が介在されており、前記粘着部材より上流側の搬送経路から前記ワークを取り出して該ワークの前記開口部側の面を前記粘着面に接触させ、その後、該ワークを剥離して前記粘着部材より下流側の搬送経路に移す移替手段を更に備えていてもよい。これによって、ワークの微塵を一層確実に除去できる。前記粘着面の粘着性は、塵埃をワークから容易に転写でき、かつ当該粘着ロールがワークから容易に剥離できる程度であることが好ましい。
【００１１】
前記シール部材のシール面を掃除する掃除手段を更に備えていることが好ましい。これによって、リークテスタのシール性ひいては検査精度を一層確実に良好に保つことができる。
【００１２】
前記搬送経路上のワークに清浄なガスを吹き出すノズルを含んでいてもよい。この清浄ガスを前記ワークに吹き付けることで、ワークから微塵を吹き飛ばすことができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、リークテスト前にワークの微塵を除去できる。したがって、リークテストの精度を長期にわたって良好に維持できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係るリークテストシステムを解説的に示す正面図である。
【図２】上記リークテストシステムの前段別付け掃除装置のガイドレールの断面図である。
【図３】上記ガイドレールの上面開放部の断面図である。
【図４】上記上面開放部を上方かつ斜め４５度の方向から矢視した図である。
【図５】上記前段別付け掃除装置の第１、第２掃除手段を、ワークの開口側面が当初上側を向いた状態で示す正面断面図である。
【図６】上記前段別付け掃除装置の第１、第２掃除手段を、ワークの開口側面が当初、下を向いた状態で示す正面断面図である。
【図７】上記前段別付け掃除装置の第３掃除手段の正面図である。
【図８】（ａ）は、上記リークテストシステムの移替部材が第１位置にある状態を示す正面図である。（ｂ）は、上記移替部材が第１位置から第２位置へ移行する状態を示す正面図である。（ｃ）は、上記移替部材が第２位置にある状態を示す正面図である。
【図９】上記移替部材の吸着ノズル及び粘着部材を拡大して示す正面断面図である。
【図１０】上記リークテストシステムの転写ロールユニットの側面図である。
【図１１】上記リークテストシステムにおけるワーク開口部を密閉するシール部材用の掃除装置（掃除手段）の側面図である。
【図１２】本発明の他の実施形態を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。
図１は、ワーク９のヘリウムリークテストを行なうリークテストシステム１を示したものである。図２及び図３に示すように、ワーク９は、開口部９ａを有する容器状になっている。ここで、ワーク９の開口部９ａが形成された面を「おもて（表）面」とし、その反対側の面を「裏面」とする。ワーク９は、例えば数ｍｍサイズの小型電子部品の筺体であるが、これに限定されるものではなく、機械部品であってもよい。
【００１６】
図１に示すように、リークテストシステム１は、ヘリウムリークテスタ２と、掃除装置３，４，５を備えている。ヘリウムリークテスタ２は、搬送機構６（搬送経路）と、リークテスト部１０を備えている。搬送機構６は、パーツフィーダー６０と、ガイドレール６１と、ピックアップ機構６３を含む。ワーク９が、パーツフィーダー６０、ガイドレール６１、ピックアップ機構６３の順にリークテスト部１０へ向けて搬送される。図示は省略するが、パーツフィーダー６０とガイドレール６１との間には、ワーク９のおもて面を下に向ける向き制御機構が設けられている。
【００１７】
ピックアップ機構６３は、ワーク９を吸着する吸着ノズル６５を含む。ピックアップ機構６３は、リークテスト部１０の近くの待機板６６の上方とリークテスト部１０との間を往復移動可能になっている（図８参照）。ピックアップ機構６３によって、待機板６６上のワーク９をピックアップしてリークテスト部１０にセットしたり、検査後のワーク９をピックアップして検査結果（ワーク９の良否）に応じた指定場所に搬出したりすることができる。
【００１８】
リークテスト部１０は、台座１１と、閉塞部材１２を含む。閉塞部材１２は、台座１１上に退避可能に設置されている。閉塞部材１２と台座１１との間に密閉された検査空間１０ａが形成されている。検査空間１０ａにヘリウム導入路１６と排気路１７が連なっている。
【００１９】
台座１１の上面には、板状のシール部材１３が設けられている。シール部材１３は、ワーク９の開口部９ａを気密に塞いでワーク９の内部空間を密封するためのものである。台座１１には吸着路１４が形成されている。吸着路１４内のガスを吸引することで、シール部材１３を台座１１の上面に吸着して固定できる。吸着を解除することによって、シール部材１３を台座１１から容易に取り外して交換等を行なうことができる。シール部材１３には検査孔１３ａが厚さ方向に貫通するように形成されている。ワーク９が、開口部９ａを下にして、上記検査孔１３ａに被さるようにシール部材１３上に載置される。台座１１には検査孔１３ａに連なる検出路１５が形成されている。検出路１５がヘリウム検知器（図示省略）に連なっている。
【００２０】
ヘリウムリークテストの際は、導入路１６から検査空間１０ａ内にヘリウムを導入する。このとき、初めに検査空間１０ａ内のガスを排気路１７から逃がすことで検査空間１０ａ内のガスを充分にヘリウムに置換したうえで、排気路１７を閉じることが好ましい。そして、ワーク９内のガスを検出路１５を介して吸引してヘリウム検知器へ送る。ワーク９に欠陥があれば、その欠陥を通して検査空間１０ａ内のヘリウムが検出路１５へ洩れ、ヘリウム検知器によって検知される。これによって、ワーク９の良否を判定できる。複数個のワーク９を一度にシール部材１３上に設置して、これら複数個のワーク９を一度に検査してもよく、１個のワーク９ごとに検査してもよい。一度に複数個のワーク９を検査する場合には、シール部材１３には上記ワーク９の個数分の検査孔１３ａを設ける。また、ピックアップ機構６３には上記ワーク９の個数分の吸着ノズル６５を設ける。
【００２１】
掃除装置３，４，５について説明する。図１に示すように、掃除装置３は、ヘリウムリークテスタ２の搬送機構６の前段に別付けされている。図１及び図１０に示すように、掃除装置４は、搬送機構６に組み込まれている。これら掃除装置３，４は、リークテスト部１０に搬入する前のワーク９を掃除する。図１及び図１１に示すように、掃除装置５（掃除手段）は、リークテスト部１０に組み込まれ、シール部材１３の上面（シール面）を掃除する。
掃除装置３，４，５について更に詳述する。
【００２２】
図１に示すように、前段の掃除装置３は、ワーク９の搬送経路を画成する送り機構７と、搬送経路上に配置された掃除手段３０，３５とを備えている。送り機構７は、パーツフィーダー２０と、ガイドレール２１を含む。ガイドレール２１は、第１スロープ部２１ａと、転向部２１ｂと、第２スロープ部２１ｃと、垂直部２１ｄを含む。第１スロープ部２１ａの上端部がパーツフィーダー２０に連なっている。第１スロープ部２１ａは、パーツフィーダー２０から遠ざかるにしたがって下へ傾いている。第１スロープ部２１ａの下端部に転向部２１ｂが連なっている。転向部２１ｂは、第１スロープ部２１ａと同じ垂直面内においてく字状に曲がっている。転向部２１ｂの下端部に第２スロープ部２１ｃが連なっている。第２スロープ部２１ｃは、転向部２１ｂから遠ざかるしたがって下へ傾いている。第２スロープ部２１ｃの下端部から垂直下方に垂直部２１ｄが延びている。垂直部２１ｄの下端部は開口されている。
【００２３】
図２及び図３は、ガイドレール２１（２１ａ〜２１ｄ）の断面を示したものである。図２に示すように、ガイドレール２１は、底部２２と、一対の側壁２３，２３と、蓋２４を有し、断面が四角形の枠状になっている。このガイドレール２１の内部にワーク９が通される。ガイドレール２１内においてワーク９の縦揺れ、横揺れ、回転が制限ないしは阻止されるように、ガイドレール２１の断面寸法（底部２２と蓋２４の間隔及び一対の側壁２３，２３どうしの間隔）が設定されている。蓋２４の幅は、一対の側壁２３，２３どうしの間隔より短い。蓋２４は、一方の側壁２３の上端部に連結されるとともに、他方の側壁２３に達することなく、側壁２３，２３どうし間の中間部で途切れている。蓋２４と上記他方の側壁２３の上端部との間に隙間２５が形成されている。この隙間２５を通して、ガイドレール２１の内部を確認できる。ワーク９がガイドレール２１内で詰まった場合には、隙間２５を通してワーク９の姿勢を矯正でき、詰まりを容易に解除できる。
【００２４】
図１、図３〜図５に示すように、ガイドレール２１のうちスロープ部２１ａ，２１ｃの中間部分には、蓋２４が設けられていない。これによって、スロープ部２１ａ，２１ｃの内部が上方へ開放され、上面開放部２６が構成されている。上面開放部２６の長さは、ワーク９の寸法の例えば数倍である。
【００２５】
図１に示すように、各スロープ部２１ａ，２１ｃの上面開放部２６の上方に掃除手段３０が配置されている。これら掃除手段３０を互いに区別するときは、第１スロープ部２１ａに対応する掃除手段３０を「第１掃除手段３０Ａ」と表記し、第２スロープ部２１ｃに対応する掃除手段３０を「第２掃除手段３０Ｂ」と表記する。
【００２６】
図４及び図５に示すように、各掃除手段３０は、モータからなる駆動部３４と、この駆動部３４の回転軸３３に取り付けられたブラシ３１（接触体）を含む。ブラシ３１は、円形になっている。ブラシ３１の材質は、ワーク９から微塵（パーティクル）を除去できて、かつワーク９を傷めることのない適度な軟性を有するものであれば特に限定がなく、樹脂でもよく、ゴムでもよく、天然繊維でもよい。この実施形態では、ブラシ３１を構成する一部又は全部の毛が導電性樹脂にて構成されている。
【００２７】
各掃除手段３０は、スロープ部２１ａ，２１ｃに対する位置及び角度を調節可能になっている。ひいては、回転軸３３が、スロープ部２１ａ，２１ｃに対する角度を調節可能になっている。図４及び図５に示すように、第１掃除手段３０Ａの回転軸３３は、第１スロープ部２１ａの底部２２及び蓋２４と平行な平面上に配置され、かつ第１スロープ部２１ａの延び方向に対して斜めになっている。図３及び図５に示すように、第１掃除手段３０Ａのブラシ３１の外周部が、第１スロープ部２１ａの上面開放部２６に差し入れられている。同様に、第２掃除手段３０Ｂの回転軸３３は、第２スロープ部２１ｃの底部２２及び蓋２４と平行な平面上に配置され、かつ第２スロープ部２１ｃの延び方向に対して斜めになっている。第２掃除手段３０Ｂのブラシ３１の外周部が、第２スロープ部２１ｃの上面開放部２６に差し入れられている。
【００２８】
駆動部３４によってブラシ３１が回転される。図１及び図５の矢印ａにて示すように、この回転の向きは、ブラシ３１のガイドレール２１と接する部分の移動方向が下向き成分を持つように設定されている。
【００２９】
各ブラシ３１に吸引ノズル３２が添えられている。吸引ノズル３２の先端部は、対応するブラシ３１のガイドレール２１と接する部分の回転方向の下流側の近傍に配置されている。
【００３０】
図１及び図７に示すように、垂直部２１ｄの下端部に第３掃除手段３５が設けられている。第３掃除手段３５は、一対の粘着ロール３６，３６と、各粘着ロール３６に付設された転写ロール３７とを有している。各粘着ロール３６の外周面は、シリコンゴム等の粘着性の材料にて構成され、塵埃に対して優れた接着性と、ワーク９に対して容易剥離性と、適度な軟性を有している。一対の粘着ロール３６，３６が狭い間隔３６ａを介して対向している。間隙３６ａの厚さは、ワーク９の厚さとほぼ同じかそれより小さい。間隙３６ａの直上に垂直部２１ｄの下端部が臨んでいる。粘着ロール３６，３６の下側には、一対の剥離部材３８，３８が配置されている。剥離部材３８，３８は、垂直な板状をなし、粘着ロール３６，３６と同じ方向に対向している。各剥離部材３８の上端部は、対応する粘着ロール３６の下側の外周面の近くに配置されている。剥離部材３８，３８どうしの間隔は、少なくともワーク９の長さ寸法より大きい。剥離部材３８，３８どうし間の空間の直下には、上面開口の箱状のワーク受け２９が配置されている。各粘着ロール３６の軸線は、垂直部２１ｄの一対の側壁２３，２３どうしの対向方向（図１及び図７の紙面と直交する方向）に向けられている。粘着ロール３６，３６どうしの対向方向（図１において左右）は、垂直部２１ｄの底部２２と蓋２４の対向方向と一致している。
【００３１】
図１及び図７の矢印ｂにて示したように、一対の粘着ロール３６，３６は、間隙３６ａを形成する部分が下方へ移動するように互いに等速で回転される。図１において、左側の粘着ロール３６は右回りに回転され、右側の粘着ロール３６は左回りに回転される。
【００３２】
各粘着ロール３６の斜め上方に転写ロール３７が設けられている。転写ロール３７は、外周が粘着面になった粘着テープや粘着ロールにて構成されている。転写ロール３７の粘着性は、粘着ロール３６の粘着性より大きいことが好ましい。転写ロール３７の外周面が、対応する粘着ロール３６の外周面に接触している。転写ロール３７は、対応する粘着ロール３６とは反対方向に回転される。
【００３３】
次に、掃除装置４について説明する。
図１、図８〜図１０に示すように、掃除装置４は、板状の粘着部材４０（接触体）と、移替部材４２（移替手段）と、転写ロールユニット４４を備えている。粘着部材４０は、シリコンゴム等の粘着性の材料にて構成され、塵埃に対して優れた接着性を有し、ワーク９に対して容易剥離性を有している。粘着部材４０は、水平をなして、搬送機構６のガイドレール６１と待機板６６との間に介在されている。粘着部材４０に位置替機構４１が接続されている。位置替機構４１によって、粘着部材４０が前後左右（Ｘ−Ｙ方向）に移動可能になっている。
【００３４】
図１に示すように、粘着部材４０の上方に移替部材４２が配置されている。移替部材４２の下端部に一対の吸着ノズル４３，４３が設けられている。吸着ノズル４３は、金属より軟質の材料にて構成され、好ましくはワーク９より軟質の材料にて構成されている。ここでは、吸着ノズル４３は、ポリプロピレン等の樹脂にて構成されている。図９に示すように、吸着ノズル４３の下端面は、僅かに斜めにカットされている。
【００３５】
図８に示すように、移替部材４２は、ガイドレール６１と粘着部材４０の上方に跨る第１位置（図８（ａ））と、粘着部材４０と待機板６６の上方に跨る第２位置（図８（ｃ））との間を往復移動可能になっている。図１及び図８（ａ）に示すように、移替部材４２が第１位置のとき、一方（図において右側）の吸着ノズル４３がガイドレール６１の搬送方向の下流端（図において左端）のワーク９の真上に配置され、他方（図において左側）の吸着ノズル４３が粘着部材４０の真上に配置される。図８（ｃ）に示すように、移替部材４２が第２位置のとき、一方（図において右）の吸着ノズル４３が粘着部材４０の真上に配置され、他方（図において左）の吸着ノズル４３が待機板６６の真上に配置される。吸着ノズル４３をワーク９の直上に配置して吸引を行なうことで、ワーク９を吸着ノズル４３に吸着できる。吸着ノズル４３の吸引を停止し、又は吸着ノズル４３に正のガス圧を導入することで、ワーク９の吸着を解除できる。
【００３６】
図１において、転写ロールユニット４４は、移替部材４２よりも図１の紙面奥側に配置されている。位置替機構４１によって粘着部材４０を図１の紙面奥側にスライドさせることで、図１０に示すように、転写ロールユニット４４が粘着部材４０の上方に配置される。或いは、移替部材４２を退避させ、転写ロールユニット４４を図１の紙面手前に前進させることで、転写ロールユニット４４が粘着部材４０の上方に配置される。図１０に示すように、転写ロールユニット４４は、押当ロール４５と、剥離ロール４６を備えている。押当ロール４５は、軸線を転写ロールユニット４４の前進後退方向と直交する水平に向けて配置されている。剥離ロール４６は、押当ロール４５の前方（図１０において左）に離れて、押当ロール４５と平行に配置されている。剥離ロール４６は、押当ロール４５より小径になっている。剥離ロール４６の下端部は、押当ロール４５より上に位置している。
【００３７】
転写ロールユニット４４に粘着テープ４７が巻き付けられている。粘着テープ４７は、粘着面を下にして押当ロール４５の下側の周面に巻き付けられている。粘着テープ４７の粘着面は、塵埃を粘着部材４０から転写可能、かつ粘着部材４０からは容易に剥離可能な粘着性を有している。押当ロール４５より後方（図１０において右）の粘着テープ４７は、ほぼ水平になっている。押当ロール４５より前方（図１０において左）の粘着テープ４７が剥離ロール４６の上側の周面に巻き付けられている。
【００３８】
図１０の白抜き矢印に示すように、転写ロールユニット４４は、粘着部材４０に対して上下及び前後（図１の紙面直交方向、図１０の左右方向）に移動できる。転写ロールユニット４４を下げることで、押当ロール４５が粘着部材４０に押し当てられ、ひいては粘着テープ４７が粘着部材４０の上面に貼り付けられる。転写ロールユニット４４を図１０において左方向に前進させることで、上記粘着テープ４７の貼付部分が拡がる。転写ロールユニット４４を図１０において右方向に後退させると、剥離ロール４６が上記粘着テープ４７の貼付部分を剥がす。
【００３９】
次に、掃除装置５について説明する。図１において、掃除装置５は、１０よりも図１の紙面奥側に配置されている。閉塞部材１２を台座１１上から離して退避させたうえで、掃除装置５を図１の紙面手前へ前進させることで、掃除装置５が台座１１ひいてはシール部材１３の上方に配置される。台座１１が動くことで掃除装置５の下方に配置されるようにしてもよい。図１１に示すように、掃除装置５は、テープホルダ５０を備えている。テープホルダ５０に粘着テープ５１が軸線を水平に向けて回転可能かつ着脱可能に取り付けられている。粘着テープ５１は、粘着面を外側にしてロール状に巻かれている。粘着テープ５１の粘着面は、塵埃をシール部材１３から転写可能、かつシール部材１３からは容易に剥離可能な粘着性を有している。
【００４０】
図１１の白抜き矢印に示すように、テープホルダ５０は、台座１１及びシール部材１３に対して上下及び前後（図１の紙面直交方向、図１１の左右方向）に移動できる。テープホルダ５０を下げることで、粘着テープ５１がシール部材１３の上面に押し当てられる。そして、テープホルダ５０を前後動させることで、粘着テープ５１がシール部材１３上を転動する。
【００４１】
上記構成のリークテストシステム１の動作を、掃除装置３，４，５による掃除動作を中心に説明する。
ワーク９は、ヘリウムリークテスタ２に供給する前に、前段の掃除装置３にて掃除され、次いで、ヘリウムリークテスタ２の搬送機構６にて搬送中に掃除装置４にて掃除される。更に、リークテスト部１０のシール部材１３が掃除装置５にて掃除される。
【００４２】
詳述すると、先ず、ワーク９を掃除装置３のパーツフィーダー２０に導入する。パーツフィーダー２０は、ワーク９を１個ずつガイドレール２１に送る。このとき、ワーク９の表裏判別は行なわない。したがって、ワーク９のおもて面が上向きでガイドレール２１に導入されることもあり、下向きでガイドレール２１に導入されることもある。ワーク９は、重力によってガイドレール２１を下降する。途中で、ワーク９が第１スロープ部２１ａの上面開放部２６を通過する。
【００４３】
上記ワーク９の搬送と併行して、掃除手段３０Ａ，３０Ｂの駆動部３４を駆動し、各ブラシ３１を回転軸３３の周りに回転させる。同時に、各吸引ノズル３２による吸引を行なう。
【００４４】
図３〜図５に示すように、第１掃除手段３０Ａのブラシ３１は、回転しながら、第１スロープ部２１ａの上面開放部２６を通過中のワーク９と接触し、ワーク９の上側を向く露出面を掃く。これによって、上記露出面から微塵を離して飛ばすことができる。上記露出面は、ワーク９のおもて面であることもあり（図５）、裏面であることもある（図６）。ブラシ９の一部又は全部の毛を導電性樹脂にて構成することによって、ワーク９に静電気がたまるのを防止できる。ワーク９から離れた微塵は、第１掃除手段３０Ａの吸引ノズル３２によって吸引して収集できる。
【００４５】
図４に示すように、回転軸３３を第１スロープ部２１ａに対して斜めにすることで、ブラシ３１から上面開放部２６内のワーク９に斜め方向の力が働く。この斜め方向の力のうち、第１スロープ部２１ａと直交する分力によって、ワーク９が片側の側壁２３に押し当てられて摩擦抵抗が生じ、ワーク９の速度が小さくなる。これによって、ブラシ３１がワーク９上を掃く時間を長くでき、微塵を充分に除去することができる。かつ、上記斜めの力のうち、第１スロープ部２１ａと平行な分力（搬送経路の下流方向への力成分）によって、ワーク９を搬送方向の下流側へ押し動かすことができる。これによって、ワーク９を第１スロープ部２１ａの上面開放部２６より下方の送り機構７へ確実に送ることができる。
【００４６】
図５及び図６において二点鎖線にて示すように、その後、ワーク９は、転向部２１ｂを通過することで、それまで上方を向いていた面が下になり、下方を向いていた面が上になる。その後、ワーク９は、第２スロープ部２１ｃに導入され、第２スロープ部２１ｃの上面開放部２６を通過する。この第２スロープ部２１ｃの上面開放部２６において、第２掃除手段３０Ｂのブラシ３１がワーク９と接触し、ワーク９の上側を向く露出面を掃いて上記露出面から微塵を離して飛ばす。この露出面は、第１スロープ部２１ａで掃除した面とは反対側の面である。
【００４７】
すなわち、図５に示すように、第１スロープ部２１ａにおいて、ワーク９のおもて面を掃除したときは、第２スロープ部２１ｃにおいて、当該ワーク９の裏面を掃除できる。図６に示すように、第１スロープ部２１ａにおいて、ワーク９の裏面を掃除したときは、第２スロープ部２１ｃにおいて、当該ワーク９のおもて面を掃除できる。したがって、ワーク９をパーツフィーダー２０からガイドレール２１に導入する際のワーク９の向きに拘わらず、ワーク９の両面を掃除でき、おもて面を確実に掃除できる。よって、ガイドレール２１への導入時におけるワーク９の表裏判定及び表裏制御は不要である。
【００４８】
第２スロープ部２１ｃにおいてワーク９から離れた微塵は、第２掃除手段３０Ｂの吸引ノズル３２によって吸引して回収できる。
【００４９】
第２掃除手段３０Ｂにおいても、第１掃除手段３０Ａと同様に、回転軸３３が第２スロープ部２１ｃに対し斜めになることで、ブラシ３１からワーク９に斜め方向の力が働く。この斜め方向の力のうち、第２スロープ部２１ｃと直交する分力によって、ワーク９が片側の側壁２３に押し当てられ、摩擦によってワーク９の速度が小さくなり、ブラシ３１がワーク９上を掃く時間を長くでき、微塵を充分に除去することができる。かつ、上記斜めの力のうち、第２スロープ部２１ｃと平行な分力（搬送経路の下流方向への力成分）によって、ワーク９を搬送方向の下流側へ押し動かすことができる。これによって、ワーク９を第２スロープ部２１ｃの上面開放部２６より下流側の送り機構７へ確実に送ることができる。
【００５０】
その後、ワーク９は、第２スロープ部２１ｃから垂直部２１ｄに導かれて、垂直部２１ｄを下降する。そして、垂直部２１ｄの下端から出て、第３掃除手段３５の一対の粘着ロール３６，３６間の間隙３６ａに導入される。図７に示すように、一対の粘着ロール３６，３６は、互いに同期して回転し、ワーク９を両側から挟み付ける。これによって、ワーク９の表裏両面に残留した微塵を粘着ロール３６に移すことができる。ワーク９のおもて面の向きに拘わらず、一対の粘着ロール３６，３６の何れかによってワーク９のおもて面を確実に掃除することができる。一対の粘着ロール３６，３６は、ワーク９を掃除しながら下方（搬送経路の下流側）へ送る。粘着ロール３６，３６は、送り機構７の要素を兼ねる。
【００５１】
粘着ロール３６の外周部の各箇所は、ワーク９から離れた後、転写ロール３７と接触する。これによって、ワーク９から粘着ロール３６の外周面に移った微塵が、更に転写ロール３７に移される。したがって、粘着ロール３６の外周部を清浄な状態にしてワーク９と接触させることができる。
【００５２】
図１に示すように、粘着ロール３６，３６どうしの間隙３６ａを通過したワーク９は、下方のワーク受け２９に落下して収容される。図７の仮想線に示すように、ワーク９が間隙３６ａを通過後、何れか一方の粘着ロール３６にくっ付いたままの状態になった場合、まもなくワーク９は上記一方の粘着ロール３６の下側の剥離部材３７に当たる。この剥離部材３７によって、ワーク９を粘着ロール３６から剥離させてワーク受け２９に落とすことができる。ワーク受け２９内には、複数のワーク受け２９が不規則な姿勢で蓄えられる。これらワーク９はおもて面だけでなく裏面も掃除されているため、ワーク受け２９内で互いに接触しても、一方のワーク９の裏面から他のワーク９のおもて面に塵埃が移るのを防止できる。
【００５３】
ワーク受け２９に溜まった掃除済みのワーク９をヘリウムリークテスタ２のパーツフィーダー６０に移す。この作業は、自動機械によって自動で行ってもよく、人手によって行ってもよい。パーツフィーダー６０は、ワーク９を１個ずつガイドレール６１へ供出する。このとき、パーツフィーダー６０に付設した向き制御機構によって、ワーク９のおもて面を下に向ける。ガイドレール６１から下流の搬送経路上のワーク９は、すべておもて面が下を向いている。ガイドレール６１は、ワーク９を少しずつ搬送経路の下流側へ移す。
【００５４】
ここで、図８（ａ）に示すように、移替部材４２を第１位置に位置させる。そして、ガイドレール６１の下流端のワーク９を吸着ノズル４３に吸着して取り出す。次に、図８（ｂ）に示すように、移替部材４２を第２位置に向けて移動させる。そして、図８（ｃ）に示すように、移替部材４２を第２位置に位置させ、上記吸着を解除することで、ワーク９を粘着部材４０上に載置する。このとき、図９に示すように、ワーク９のおもて面が粘着部材４０の上面（粘着面）に接触して粘着する。これによって、ワーク９のおもて面に微塵が残っていた場合には、これを粘着部材４０に移すことができる。したがって、ワーク９のおもて面を一層確実に清浄にすることができる。
【００５５】
図８（ａ）に示すように、第１位置における移替部材４２のもう１つ（同図において左側）の吸着ノズル４３は、粘着部材４０上のワーク９の真上に位置する。上述したガイドレール６１の下流端のワーク９を右側の吸着ノズル４３で吸着するとき、これと同時に粘着部材４０上のワーク９をも左側の吸着ノズル４３で吸着する。このとき、図９の二点鎖線に示すように、移替部材４２を下げて吸着ノズル４３をワーク９に押し付けるとよい。この押し付け力によってワーク９を吸着ノズル４３の下面に添うように傾けることができ、ワーク９を粘着部材４０から容易に剥離することができる。
【００５６】
続いて、図８（ｂ）〜図８（ｃ）に示すように、移替部材４２を第２位置に移動させて吸着を解除することによって、掃除済みのワーク９を粘着部材４０から待機板６６に移すことができる。その後、ピックアップ機構６３によって、ワーク９を待機板６６からリークテスト部１０のシール部材１３上に移し、ヘリウムリークテストを行なう。
【００５７】
移替部材４２によって１個のワーク９を粘着部材４０からピックアップするごとに、位置替機構４１によって上記粘着部材４０の位置を少しずらす。例えば、粘着部材４０を前後左右（Ｘ−Ｙ方向）にジグザグな軌跡になるように上記ピックアップの度に少しずつずらしていく。１回にずらす距離はワーク９の寸法より若干大きい程度が好ましい。これによって、ワーク９を常に粘着部材４０の上面（粘着面）の清浄な箇所に接触させて掃除することができる。
【００５８】
粘着部材４０の上面（粘着面）のほぼ全域をワーク９との接触すなわち掃除に使用した後は、移替部材４２を粘着部材４０上から退避させ、又は粘着部材４０を移替部材４２の下方から退避させる。そして、図１０に示すように、転写ロールユニット４４の押当ロール４５を粘着部材４０に押し当て、かつ転写ロールユニット４４を粘着部材４０の一端から他端まで図１０の左方向に前進させる。これによって、粘着テープ４７が粘着部材４０の上面の全域に貼り付けられ、粘着部材４０の上面の塵埃を粘着テープ４７に移すことができる。次に、転写ロールユニット４４を図１０の右方向に後退させる。このとき、剥離ロール４６が粘着テープ４７を粘着部材４０から剥がしながら移動する。これによって、粘着部材４０の上面をきれいな状態に戻すことができる。粘着テープ４７の使用済みの部分は、転写ロールユニット４４の巻き取りロール（図示省略）にて巻き取る。
【００５９】
このように、リークテストシステム１においては、ワーク９のヘリウムリークテストを行なう前に、掃除装置３，４によってワーク９を掃除することで、ワーク９から微塵を確実に除去することができる。したがって、シール部材１３のシール面（上面）に微塵が付着して堆積するのを防止又は抑制できる。この結果、シール部材１３のシール性能を良好に維持でき、ひいてはリークテストの精度を高く維持することができる。
【００６０】
更に、図１１に示すように、ワーク９のリークテストをある程度の回数行った時点で、掃除装置５を作動してシール部材１３の上面を掃除する。具体的には、閉塞部材１２を退避させたうえで、掃除装置５のテープホルダ５０を下げて、粘着テープ５１をシール部材１３の上面に押し当てる。そして、テープホルダ５０をシール部材１３の全長にわたって図１１の左右方向に移動させる。これによって、シール部材１３の上面に塵埃が付着していた場合には、この塵埃を粘着テープ５１に転写でき、シール部材１３の上面をきれいな状態に戻すことができる。したがって、シール部材１３のシール性能を確実に良好に保つことができ、ひいてはリークテストの精度を確実に高く維持することができる。粘着テープ５１は、使用の都度、使用済みの部分を切り取る。
【００６１】
本発明は、上記実施形態に限定されず、発明の要旨を変更しない限りにおいて種々の改変をなすことができる。
掃除装置３，４に加えて、又は掃除装置３，４に代えて、図１２に示すように、ガス吹出ノズル７０からクリーンエアや窒素ガス等の清浄ガス７１を吹き出してワーク９に接触させることで、ワーク９を掃除することにしてもよい。この場合、好ましくは、ノズル７０をワーク９のおもて面（開口部９ａ側の面）に向ける。ノズル７０は、ワークの搬送経路上に設けてもよく、搬送経路とは別個に設けてもよい。上記清浄ガスは「ワークと接触してワークから微塵を離す接触体」を構成する。
【００６２】
掃除装置３と掃除装置４のうち何れかを省略してもよい。
掃除装置３の掃除手段３０と第３掃除手段３５のうち何れかを省略してもよい。
パーツフィーダー２０にワーク９の表裏の向きを制御する機構を付設してもよく、第１掃除手段３０Ａと第２掃除手段３０Ｂのうち何れかを省略してもよい。
回転軸３３が、ガイドレール２１に対し直交し、又はガイドレール２１と平行になっていてもよい。
ワーク受け２９を省略し、ヘリウムリークテスタ２のパーツフィーダー６０を粘着ロール３６，３６間の間隙３６ａの直下に配置してもよい。パーツフィーダー６０がワーク受け２９を兼ねていてもよい。
リークテスト部１０は、ヘリウムリークテスタに代えて、エアリークテスタであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、電子部品等の開口部付き容器の良否判定を行なうリークテスタに適用できる。
【符号の説明】
【００６４】
１ リークテストシステム
２ ヘリウムリークテスタ
３ 前段掃除装置
４ 掃除装置
５ 掃除装置（掃除手段）
６ 搬送機構（搬送経路）
７ 送り機構（搬送経路）
９ ワーク
９ａ 開口部
１０ リークテスト部
１０ａ 検査空間
１１ 台座
１２ 閉塞部材
１３ シール部材
１３ａ 検査孔
１４ 吸着路
１５ 検出路
１６ ヘリウム導入路
１７ 排気路
２０ パーツフィーダー
２１ ガイドレール
２１ａ 第１スロープ部
２１ｂ 転向部
２１ｃ 第２スロープ部
２１ｄ 垂直部
２２ 底部
２３ 側壁
２４ 蓋
２５ 隙間
２６ 上面開放部
２９ ワーク受け
３０Ａ 第１掃除手段
３０Ｂ 第２掃除手段
３１ ブラシ（接触体）
３２ 吸引ノズル
３３ 回転軸
３４ 駆動部
３５ 第３掃除手段
３６ 粘着ロール（接触体）
３６ａ 間隙
３７ 転写ロール
３８ 剥離部材
４０ 粘着部材（接触体）
４１ 位置替機構
４２ 移替部材（移替手段）
４３ 吸着ノズル
４４ 転写ロールユニット
４５ 押当ロール
４６ 剥離ロール
４７ 粘着テープ
５０ テープホルダ
５１ 粘着テープ
６０ パーツフィーダー
６１ ガイドレール
６３ ピックアップ機構
６５ 吸着ノズル
６６ 待機板
７０ 清浄ガス吹出ノズル
７１ 清浄ガス
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有する容器状のワークの前記開口部をシール部材にてシールしてリークテストを行うリークテスタに付設され、前記リークテストの前に前記ワークをドライ環境で掃除するリークテスト用掃除装置であって、
前記ワークを送る搬送経路上に配置され、前記ワークと接触して前記ワークから微塵を離す接触体を有することを特徴とするリークテスト用掃除装置。
【請求項２】
前記接触体として、回転軸のまわりに回転するブラシを含むことを特徴とする請求項１に記載のリークテスト用掃除装置。
【請求項３】
前記回転軸が前記搬送経路に対し斜めになり、かつ前記ブラシの前記ワークとの接触部の回転方向が前記搬送経路の下流方向への成分を含む向きに前記ブラシが回転されることを特徴とする請求項２に記載のリークテスト用掃除装置。
【請求項４】
前記搬送経路が、下傾する第１スロープ部と、前記第１スロープ部の下端にく字状に曲がった転向部を介して連なるとともに下傾する第２スロープ部とを含み、前記第１スロープ部及び前記第２スロープ部のそれぞれ上方に前記接触体が配置されることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のリークテスト用掃除装置。
【請求項５】
前記接触体として、外周面が粘着性を有する一対の粘着ロールを含み、これら粘着ロールが、前記ワークを互いの間に挟んで前記搬送経路の下流側へ送るように回転されることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のリークテスト用掃除装置。
【請求項６】
前記搬送経路に前記接触体として粘着面を有する粘着部材が介在されており、
前記粘着部材より上流側の搬送経路から前記ワークを取り出して該ワークの前記開口部側の面を前記粘着面に接触させ、その後、該ワークを剥離して前記粘着部材より下流側の搬送経路に移す移替手段を更に備えたことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のリークテスト用掃除装置。
【請求項７】
前記シール部材のシール面を掃除する掃除手段を更に備えたことを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載のリークテスト用掃除装置。
【請求項８】
前記搬送経路上のワークに清浄なガスを吹き出すノズルを含むことを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載のリークテスト用掃除装置。
【請求項１】
開口部を有する容器状のワークの前記開口部をシール部材にてシールしてリークテストを行うリークテスタに付設され、前記リークテストの前に前記ワークをドライ環境で掃除するリークテスト用掃除装置であって、
前記ワークを送る搬送経路上に配置され、前記ワークと接触して前記ワークから微塵を離す接触体を有することを特徴とするリークテスト用掃除装置。
【請求項２】
前記接触体として、回転軸のまわりに回転するブラシを含むことを特徴とする請求項１に記載のリークテスト用掃除装置。
【請求項３】
前記回転軸が前記搬送経路に対し斜めになり、かつ前記ブラシの前記ワークとの接触部の回転方向が前記搬送経路の下流方向への成分を含む向きに前記ブラシが回転されることを特徴とする請求項２に記載のリークテスト用掃除装置。
【請求項４】
前記搬送経路が、下傾する第１スロープ部と、前記第１スロープ部の下端にく字状に曲がった転向部を介して連なるとともに下傾する第２スロープ部とを含み、前記第１スロープ部及び前記第２スロープ部のそれぞれ上方に前記接触体が配置されることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のリークテスト用掃除装置。
【請求項５】
前記接触体として、外周面が粘着性を有する一対の粘着ロールを含み、これら粘着ロールが、前記ワークを互いの間に挟んで前記搬送経路の下流側へ送るように回転されることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のリークテスト用掃除装置。
【請求項６】
前記搬送経路に前記接触体として粘着面を有する粘着部材が介在されており、
前記粘着部材より上流側の搬送経路から前記ワークを取り出して該ワークの前記開口部側の面を前記粘着面に接触させ、その後、該ワークを剥離して前記粘着部材より下流側の搬送経路に移す移替手段を更に備えたことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のリークテスト用掃除装置。
【請求項７】
前記シール部材のシール面を掃除する掃除手段を更に備えたことを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載のリークテスト用掃除装置。
【請求項８】
前記搬送経路上のワークに清浄なガスを吹き出すノズルを含むことを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載のリークテスト用掃除装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１２−２４２３１６（Ｐ２０１２−２４２３１６Ａ）
【公開日】平成２４年１２月１０日（２０１２．１２．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１１４５０３（Ｐ２０１１−１１４５０３）
【出願日】平成２３年５月２３日（２０１１．５．２３）
【出願人】（３９００１９０３５）株式会社フクダ (23)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月１０日（２０１２．１２．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年５月２３日（２０１１．５．２３）
【出願人】（３９００１９０３５）株式会社フクダ (23)
【Ｆターム（参考）】
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