保持装置および保持装置を有する搬送装置
【課題】被搬送物を着脱自在に確実にかつ安定して吸着して保持する保持装置を提供する
こと。
【解決手段】基部に配置されて第１通路１１１Ａを有する継手部１１１と、第２通路１１
３Ａを有し第１通路１１１Ａと第２通路１１３Ａを通じて吸引することで被搬送物Ｄを保
持するノズル先端部１１３と、ノズル先端部１１３と継手部１１１を接続する伸縮自在な
胴体部１１４であり、第２通路１１３Ａと第１通路１１１Ａとを連絡する胴体部１１４と
、ノズル先端部１１３と継手部１１１の間に配置されてノズル先端部１１３を継手部１１
１から離れる方向に沿って付勢するための付勢部材と、基部に対して固定されている受け
部１１６でありノズル先端部１１３が被搬送物Ｄを吸着する時にノズル先端部１１３を付
勢部材１１５の力に抗してノズル先端部１１３の軸方向に移動する際にノズル先端部１１
３を案内する案内孔を有する受け部１１６を備える。
こと。
【解決手段】基部に配置されて第１通路１１１Ａを有する継手部１１１と、第２通路１１
３Ａを有し第１通路１１１Ａと第２通路１１３Ａを通じて吸引することで被搬送物Ｄを保
持するノズル先端部１１３と、ノズル先端部１１３と継手部１１１を接続する伸縮自在な
胴体部１１４であり、第２通路１１３Ａと第１通路１１１Ａとを連絡する胴体部１１４と
、ノズル先端部１１３と継手部１１１の間に配置されてノズル先端部１１３を継手部１１
１から離れる方向に沿って付勢するための付勢部材と、基部に対して固定されている受け
部１１６でありノズル先端部１１３が被搬送物Ｄを吸着する時にノズル先端部１１３を付
勢部材１１５の力に抗してノズル先端部１１３の軸方向に移動する際にノズル先端部１１
３を案内する案内孔を有する受け部１１６を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物を着脱自在に保持するための保持装置および保持装置を有する搬送
装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（半導体集積回路装置）のようなデバイスは、その回路の信頼性や電気的な特性を
判定するために電気的な試験を行う。このようなデバイスは、いわゆるＩＣテストハンド
ラと呼ばれる装置においてノズルにより吸着して搬送することにより各種の電気的な試験
を行うようになっている。たとえばデバイスに形成されている多数のバンプは、ＩＣソケ
ット側の接触端子に接触されることにより、デバイスの電気的な特性や回路の信頼性を判
定する。
デバイスは、吸着することにより着脱可能に吸引して保持する構造のものにより保持し
て搬送される（たとえば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１４８７号公報（第２頁、図４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されている装置では、蛇腹状のスカート部が、ＩＣを吸着して保持す
る構造になっていて、このスカート部は収縮するようになっている。ＩＣは、ＩＣソケッ
ト側に装着された後に、ＩＣソケット側からまた取り外される。この場合に、蛇腹状のス
カート部は、ＩＣの位置決め受けの中に配置されているが、蛇腹状のスカート部の上端部
は取付基部に取り付けられているが、蛇腹状のスカート部の下端部はＩＣを吸着するため
に自由端となっていて、ＩＣ位置決め受けに対して位置が変わりやすい構造になっている
。このために、蛇腹状のスカート部の下端部が、ＩＣの上面を吸着する場合にスカート部
の下端部の位置がずれる可能性があり、蛇腹状のスカート部がＩＣを正確に吸着して保持
することができない恐れがある。
そこで本発明は上記課題を解消し、被搬送物を着脱自在に確実にかつ安定して吸着して
保持することができる保持装置および保持装置を有する搬送装置を提供することを目的と
する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的は、第１の発明にあっては、被搬送物を着脱自在に吸着して保持するための保
持装置であって、基部と、前記基部に配置されて第１通路を有する継手部と、第２通路を
有し、前記第１通路と前記第２通路を通じて吸引することで前記被搬送物を保持するノズ
ル先端部と、前記ノズル先端部と前記継手部とを接続する伸縮自在な胴体部であり、前記
ノズル先端部の前記第２通路と前記継手部の前記第１通路とを連絡する前記胴体部と、前
記ノズル先端部と前記継手部との間に配置されて、前記ノズル先端部を前記継手部から離
れる方向に沿って付勢するための付勢部材と、前記基部に対して固定されている受け部で
あり、前記ノズル先端部が前記被搬送物を吸着する時に前記ノズル先端部を前記付勢部材
の力に抗して前記ノズル先端部の軸方向に移動する際に前記ノズル先端部を案内する案内
孔を有する前記受け部と、を備えることを特徴とする保持装置により、達成される。
【０００６】
第１の発明の構成によれば、継手部は、基部に配置されて第１通路を有する。ノズル先
端部は、第２通路を有し、このノズル先端部は第１通路と第２通路を通じて吸引すること
で被搬送物を保持する。
胴体部は、ノズル先端部と継手部とを接続する伸縮自在な部分である。この胴体部は、
ノズル先端部の第１通路と継手部の第２通路とを連絡する。
付勢部材は、ノズル先端部と継手部との間に配置されていて、ノズル先端部を継手部か
ら離れる方向に沿って付勢する。受け部は、基部に対して固定されている。この受け部は
、ノズル先端部を付勢部材の力に抗してノズル先端部の軸方向に移動する際にノズル先端
部を案内する案内孔を有している。
これにより、ノズル先端部が被搬送物を吸引して保持する際には、ノズル先端部の第１
通路および胴体部そして継手部の第２通路を通じて吸引することができる。付勢部材は、
ノズル先端部を継手部から離れる方向に沿って付勢しているが、ノズル先端部を付勢部材
に抗してノズル先端部の軸方向に移動する際には、この受け部の案内孔はノズル先端部を
案内する。
ノズル先端部が被搬送物を吸着する際に、受け部の案内孔は、ノズル先端部を確実に軸
方向に沿って案内することができ、ノズル先端部の軸方向がぶれてしまうことが無く、ノ
ズル先端部は被搬送物を確実にかつ安定して着脱可能に吸着して保持することができる。
【０００７】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記ノズル先端部の外周面は先細り形状を
有し、前記案内孔は前記ノズル先端部の前記外周面に対応した先細りの内周面を有してい
ることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、ノズル先端部の外周面は先細り形状であり、案内孔の内周
面も先細り形状になっている。
これにより、ノズル先端部は案内孔により軸方向に沿ってさらに確実に安定して案内す
ることができる。
【０００８】
第３の発明は、第１の発明または第２の発明の構成において、前記付勢部材は圧縮コイ
ルバネであり、前記付勢部材は前記胴体部の内側または外側において同軸状に配置されて
いることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、付勢部材は圧縮コイルバネであり、付勢部材は胴体部の内
側または外側において同軸状に配置されている。
これにより、胴体部がたとえば低温により縮んだままになってしまうのを、付勢部材の
力により防ぐことができる。
【０００９】
第４の発明は、第１の発明または第２の発明の構成において、前記付勢部材は圧縮コイ
ルバネであり、前記付勢部材は前記胴体部の内部に埋め込まれていることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、付勢部材は圧縮コイルバネであり、この付勢部材は胴体部
の中に埋め込まれている。
これにより、胴体部がたとえば低温により縮んでだままになってしまうのを、付勢部材
の力により防ぐことができるとともに、部品点数を少なくすることができる。
【００１０】
第５の発明は、第１の発明の構成において、前記基部と前記受け部は、前記継手部と前
記胴体部を覆っていることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、基部と受け部は、継手部と胴体部を覆っている。
これにより、基部と受け部は、継手部と胴体部を外部から保護していて、破損が防げる
。
【００１１】
第６の発明は、第１の発明の構成において、前記受け部は、前記ノズル先端部に対する
前記被搬送物の位置をガイドするためのガイド突起部を有していることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、受け部は、ガイド突起部を有していて、このガイド突起部
は、ノズル先端部に対する被搬送物の位置をガイドする。
これにより、ノズル先端部が被搬送物を吸着して保持する際に、ガイド突起部は被搬送
物の位置を正確にガイドすることができ、被搬送物の横滑り現象を防ぐことができる。
【００１２】
第７の発明は、第６の発明の構成において、前記受け部は、前記被搬送物を収容してい
るトレイに突き当たることで前記受け部と前記ノズル先端部が前記被搬送物に対して押し
込まれすぎるのを阻止する押し込み防止突起部を有していることを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、受け部は、被搬送物を収容しているトレイに突き当たるこ
とで受け部とノズル先端部が被搬送物に対して押し込まれるのを阻止する押し込み防止突
起部を有している。
これにより、受け部がトレイおよび被搬送物側に余計に押し込まれるのを防ぎ、余計な
圧力を被搬送物に対して与えることを確実に防ぐことができる。
【００１３】
第８の発明は、第１の発明の構成において、前記胴体部は、低温度時に柔軟性を有する
ゴムにより形成されていることを特徴とする。
第８の発明の構成によれば、胴体部は、低温度時に柔軟性を有するゴムにより形成され
ている。
これにより、胴体部が低温度時において柔軟性が低下したり永久ひずみが生じるのを抑
えることができる。
【００１４】
第９の発明は、第５の発明の構成において、前記基部と前記受け部が形成している空間
に前記胴体部を暖めるための加熱媒体を供給する加熱媒体供給部が前記基部に接続されて
いることを特徴とする。
第９の発明の構成によれば、基部と受け部が形成している空間に胴体部を暖めるための
加熱媒体を供給する加熱媒体供給部が基部に接続されている。
これにより、胴体部を暖めることができ、胴体部の低温による柔軟性の低下や永久ひず
みの発生を防ぐことができる。
【００１５】
第１０の発明は、第１の発明の構成において、前記基部と前記受け部が形成している空
間内の前記胴体部を暖めるための熱源を有していることを特徴とする。
第１０の発明の構成によれば、基部と受け部が形成している空間内の胴体部を暖めるた
めの熱源を有している。
これにより、熱源は胴体部を暖めることにより、胴体部が低温時に柔軟性が低下したり
永久ひずみが生じるのを防ぐことができる。
【００１６】
第１１の発明は、第１０の発明の構成において、前記熱源により加熱された温度を検出
する測温センサを有していることを特徴とする。
第１１の発明の構成によれば、熱源により加熱する際の温度を測温センサにより検出す
ることで、胴体部の温度を適正に保つことができる。
【００１７】
第１２の発明は、第１の発明の構成によれば、前記基部は、搬送用のロボットハンドに
おいてフローティング機構を介して設けられていることを特徴とする。
第１２の発明の構成によれば、フローティング機構により基部は搬送用のロボットハン
ドに対して浮遊状態に保持することができる。
【００１８】
上記目的は、第１３の発明にあっては、被搬送物を着脱自在に保持するための保持装置
を有し、前記保持装置により保持された前記被搬送物を搬送する搬送装置であって、前記
保持装置は、基部と、前記基部に配置されて第１通路を有する継手部と、第２通路を有し
、前記第１通路と前記第２通路を通じて吸引することで前記被搬送物を保持するノズル先
端部と、前記ノズル先端部と前記継手部とを接続する伸縮自在な胴体部であり、前記ノズ
ル先端部の前記第２通路と前記継手部の前記第１通路とを連絡する前記胴体部と、前記ノ
ズル先端部と前記継手部との間に配置されて、前記ノズル先端部を前記継手部から離れる
方向に沿って付勢するための付勢部材と、前記基部に対して固定されている受け部であり
、前記ノズル先端部が前記被搬送物を吸着する時に前記ノズル先端部を前記付勢部材に抗
して前記ノズル先端部の軸方向に移動する際に前記ノズル先端部を案内する案内孔を有す
る前記受け部と、を備えることを特徴とする保持装置を有する搬送装置により、達成され
る。
これにより、ノズル先端部が被搬送物を吸引して保持する際には、ノズル先端部の第１
通路および胴体部そして継手部の第２通路を通じて吸引することができる。付勢部材は、
ノズル先端部を継手部から離れる方向に沿って付勢しているが、ノズル先端部を付勢部材
に抗してノズル先端部の軸方向に移動する際には、この受け部の案内孔はノズル先端部を
案内する。
ノズル先端部が被搬送物を吸着する際に、受け部の案内孔は、ノズル先端部を確実に軸
方向に沿って案内することができ、ノズル先端部の軸方向がぶれてしまうことが無く、ノ
ズル先端部は被搬送物を確実にかつ安定して着脱可能に吸着して保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の搬送装置の好ましい実施形態であるＩＣハンドラの構造例を示す平面図。
【図２】図１のＩＣハンドラにおけるＢ−Ｂ線付近の構造を示す図。
【図３】図１のＩＣハンドラにおけるＡ−Ａ線付近の構造を示す図。
【図４】本発明の保持装置の好ましい実施形態を示す断面図。
【図５】図４におけるノズル受け部、ノズル先端部およびジャバラ形状パッドなどを含む領域を拡大して示す図。
【図６】ノズル先端部がデバイスの表面に突き当たっている状態を示す図。
【図７】ノズル先端部によりデバイスが吸着されている状態を示す図。
【図８】吸着されたデバイスが保持装置により上昇された状態を示す図。
【図９】本発明の別の実施形態を示す図。
【図１０】本発明のさらに別の実施形態を示す図。
【図１１】本発明のさらに別の実施形態を示す図。
【図１２】本発明のさらに別の実施形態を示す図。
【図１３】本発明のさらに別の実施形態を示す図。
【図１４】本発明のさらに別の実施形態を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の保持装置を有する搬送装置の好ましい実施形態を示している。図１に
示す搬送装置は、一例としてＩＣハンドラ１０である。このＩＣハンドラ１０は、ＩＣテ
ストハンドラとも呼ぶことができる。このＩＣハンドラ１０は、ベース１１、常温チャン
バ１２、低温チャンバ１３、供給ロボット２０、回収ロボット２１、スライドテーブル４
２１、スライドテーブル４２２、複数のコンベア２３ないし２８を有している。
【００２１】
ベース１１は、上述した各要素を搭載しているが、ベース１１はたとえば図１の平面図
で見て矩形形状を有している。常温チャンバ１２は、ベース１１の大きな領域を囲ってい
る部分であり、この内部にはドライエアーが供給されている。常温チャンバ１２の中には
、上述した供給ロボット２０、回収ロボット２１、低温チャンバ１３、スライドテーブル
４２１，４２２などが収容されている。
【００２２】
コンベア２３ないし２８の一端部は常温チャンバ１２の外に位置しているが、コンベア
２３ないし２８の他端部は常温チャンバ１２の中に位置している。
図１において、図面左右方向がＸ方向であり、図面上下方向がＹ方向である。そして図
面垂直方向がＺ方向であり、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向は、それぞれ直交している。
コンベア２３ないし２８は、トレイ３０をＹ１方向あるいはＹ２方向に沿って搬送する
ためのものである。これによりトレイ３０は、常温チャンバ１２の外から常温チャンバ１
２の中へ、あるいは常温チャンバ１２の中から常温チャンバ１２の外へ搬送することがで
きる。
【００２３】
供給ロボット２０は、Ｘ軸フレーム３１とＹ軸フレーム３２により構成されている。回
収ロボット２１は、Ｘ軸フレーム３１と、Ｙ軸フレーム３３により構成されている。
Ｘ軸フレーム３１は、Ｘ方向に配置されている。Ｙ軸フレーム３２，３３は、それぞれ
Ｙ方向に沿って平行に配置されていて、図示しない駆動源によりＸ軸フレーム３１におい
てＸ方向に沿って移動して位置決め可能である。
Ｙ軸フレーム３２は供給ロボット２０側のものであり、Ｙ軸フレーム３３は回収ロボッ
ト２１側のものである。しかしＸ軸フレーム３１は、供給ロボット２０と回収ロボット２
１に共通して用いられている。供給ロボット２０は、ロボットハンドユニット４０を有し
ている。回収ロボット２１はロボットハンドユニット４１を有している。ロボットハンド
ユニット４０は、Ｙ軸フレーム３２に沿って図示しない駆動源によりＹ方向に移動して位
置決めできる。ロボットハンドユニット４１は、Ｙ軸フレーム３３に沿って図示しない駆
動源によりＹ方向に移動して位置決めできる。
【００２４】
供給ロボット２０は、トレイ３０の上に搭載されている被搬送物であるデバイスＤをた
とえばスライドテーブル４２１側に供給するためのロボットである。供給ロボット２０の
ロボットハンドユニット４０によりスライドテーブル４２１側に供給されたデバイスＤは
、低温チャンバ１３の中において測定ロボット３５内のソケット３６に置かれることによ
り、デバイスＤの電気的特性などを判定するようになっている。判定されたデバイスＤは
、ソケット３６側からスライドテーブル４２２側に移された後、回収ロボット２１のロボ
ットハンドユニット４１により回収側のコンベア２６，２７，２８のいずれかの上にある
トレイ３０の上に排出できるようになっている。
【００２５】
図２は、図１のＢ−Ｂ線付近における構造例を示していて、供給ロボット２０と回収ロ
ボット２１付近を示している。
ロボットハンドユニット４０，４１は、複数のノズル先端部５０を有している。このノ
ズル先端部５０により、図１に示すたとえばコンベア２３の上のトレイ３０の上に搭載さ
れているデバイスＤを吸着した後に、たとえばスライドテーブル４２１側に搬送するよう
になっている。そしてロボットハンドユニット４１は、たとえばスライドテーブル４２２
に移されたデバイスＤを、たとえば排出側のコンベア２８の上にあるトレイ３０の上に測
定済みのデバイスＤとして排出することができる。
【００２６】
図３は、図１におけるＡ−Ａ線付近における構造例を示している。
測定ロボット３５は、ロボットハンドユニット６０，６１を有している。ロボットハン
ドユニット６０，６１は、それぞれモータ６２とボールネジ６３によりＺ方向に上下動し
て位置決め可能である。
ロボットハンドユニット６１は、別のモータ６４とボールネジ６５により、Ｙ方向に移
動して位置決め可能である。ロボットハンドユニット６０，６１は、図１に示すスライド
テーブル４２１とソケット３６の間におけるデバイスＤのやり取りを行ったり、ソケット
３６とスライドテーブル４２２側におけるデバイスＤのやり取りを行うことができる。
【００２７】
図４は、保持装置の好ましい実施形態を示している。保持装置１００は、たとえば図２
に示すロボットハンドユニット４０ないし４１あるいは図３に示すロボットハンドユニッ
ト６０ないし６１に適用することができる。
保持装置１００は、ロボットハンドユニット４０，４１，６０，６１に対してフローテ
ィング機構１０１を介して接続されている。このフローティング機構１０１は、ロボット
ハンドユニットをＺ方向に関してある程度浮遊できる構造である。このフローティング機
構１０１は、実施例では、コイルバネを用いている。
【００２８】
図４の保持装置１００は、ロボットハンド先端部１０２、基部１１０、ノズル継手部１
１１、ノズル先端部１１３、胴体部としてのジャバラ形状パッド１１４、付勢部材である
圧縮コイルバネ１１５、そして受け部としてのノズル受け部１１６を少なくとも有してい
る。
ロボットハンド先端部１０２はたとえば金属により作られていて、ロボットハンド先端
部１０２の下部には基部１１０が固定されている。この基部１１０は、ロボットハンド先
端部１０２と同様に、たとえば金属により作られている。
【００２９】
ノズル継手部１１１は、継手部の一例であるが、ノズル継手部１１１は、基部１１０の
接続孔１１０Ａに着脱可能に接続されている。
このノズル継手部１１１は第１通路１１１Ａを有している。第１通路１１１Ａは、基部
１１０内の第３通路１１０Ｃに対して接続されている。第３通路１１０Ｃは、チューブ１
１９の一端部に接続されている。チューブ１１９の他端部は、真空吸引および圧力気体供
給部１２０に対して接続されている。
【００３０】
ノズル継手部１１１は、胴体部の一例であるジャバラ形状パッド１１４の上端部に対し
て着脱可能になるようにしかも抜けないようにして接続されている。ノズル継手部１１１
は、金属により作られている。
ノズル先端部１１３は、その内部に第２通路１１３Ａを有している。この第２通路１１
３Ａは、ノズル先端部１１３の軸方向に形成されている。この第２通路１１３Ａは、第１
通路１１１Ａに対して同じ延長線（軸方向，Ｚ方向）上に配置されている。ジャバラ形状
パッド１１４の下端部は、ノズル先端部１１３に対して接続されている。
このジャバラ形状パッド１１４は、ノズル先端部１１３とノズル継手部１１１とを機械
的に接続する伸縮自在なものであり、ノズル先端部１１３の第２通路１１３Ａとノズル継
手部１１１の第１通路１１１Ａとを連絡している。
【００３１】
ジャバラ形状パッド１１４は、ジャバラ形状を有していて、軸方向、すなわちＺ方向に
伸縮可能な部材である。このジャバラ形状パッド１１４は、好ましくは低温度に対応した
たとえばゴム材質により作ることができる。このゴム材質としては、フェニル基のシリコ
ンゴムなどを採用できる。このような低温度対応のゴムを使用することにより、ジャバラ
形状パッド１１４は、低温度時における柔軟性の低下や永久ひずみの発生を抑えることが
できる。
ジャバラ形状パッド１１４は、筒状またはジャバラ状の形状であり、弱い力（たとえば
数グラム）で弾性変形可能な部材である。
圧縮コイルバネ１１５は、図４に示すようにノズル継手部１１１とノズル先端部１１３
の間に配置されていて、圧縮コイルバネ１１５はノズル先端部１１３をノズル継手部１１
１から離れる方向、すなわち図４において下方向に沿ってノズル受け部１１６の内面１１
６Ａ側へ付勢するためのものである。
【００３２】
図５は、ノズル先端部１１３、圧縮コイルバネ１１５、ジャバラ形状パッド１１４、ノ
ズル継手部１１１などの付近を拡大して示している。
図４と図５に示すように、圧縮コイルバネ１１５は、ジャバラ形状パッド１１４と同軸
であって、しかも外側に配置されている。この圧縮コイルバネ１１５は、ジャバラ形状パ
ッド１１４が低温度状態にさらされた場合であっても、ジャバラ形状パッド１１４が縮ん
だままの状態を保持するのを防いで、ノズル受け部１１６の内面１１６Ａ側へ伸ばすとと
もに、ノズル先端部１１３をノズル受け部１１６の内面１１６Ａ側に付勢することができ
る。
【００３３】
図５のノズル先端部１１３は、たとえば略円筒状の部材であり、フランジ部１１３Ｆを
有している。このフランジ部１１３Ｆは、ノズル受け部１１６の内面１１６Ａに対して突
き当たることにより、ノズル先端部１１３がＹ方向すなわち、下方向にこれ以上下がらな
いように止める役割を果たしている。
【００３４】
次に、図４と図５のノズル受け部１１６について説明する。
ノズル受け部１１６は、基部１１０の下面側において固定されていて、基部１１０とノ
ズル受け部１１６は、ノズル継手部１１１、圧縮コイルバネ１１５、ジャバラ形状パッド
１１４およびノズル先端部１１３のフランジ部１１３Ｆを収容して外部から覆って保護し
ている。図４と図５に示すように、ノズル受け部１１６は、断面で見て略Ｕ字型を有して
いる。
【００３５】
ノズル受け部１１６は、側面部１１６Ｓと底面部１１６Ｔを有している。側面部１１６
Ｓは、たとえば円筒状の部分であり、底面部１１６Ｔは平坦面になっている。この底面部
１１６Ｔの中央には、断面円形で軸方向に沿って同じ内径の案内孔１２５を有している。
案内孔１２５は、ノズル先端部１１３の外周面を案内することで、ノズル先端部１１３の
Ｘ方向およびＹ方向に関する位置決めを行うためのものである。ノズル受け部１１６の案
内孔１２５は、ノズル先端部１１３が被搬送物であるデバイスＤを吸着する時に、ノズル
先端部１１３を圧縮コイルバネ１１５の力に抗してノズル先端部１１３の軸方向（Ｚ）方
向に移動する際に、ノズル先端部１１３を案内する。
【００３６】
これにより、ノズル先端部１１３がデバイスＤの表面に接触して吸着する時に、ノズル
先端部１１３の軸方向は常にノズル受け部１１６の案内孔１２５の中心に対して強制的に
合わせることができる。したがって、ノズル先端部１１３はトレイ３０内のデバイスＤの
表面の正しい位置を確実に吸着することができる。
【００３７】
図４と図５に示すように、ノズル受け部１１６は、この他にガイド突起部１３０と押し
込み防止突起部１３３を有している。
ガイド突起部１３０は、図４のデバイスＤの側面１３５に接することにより、デバイス
Ｄを倣わせることができる。このために、ノズル先端部１１３がデバイスＤの表面を吸着
した後に、ガイド突起部１３０はデバイスＤの側面１３５を確実にガイドすることができ
、デバイスＤの横滑り現象を防ぐことができる。
【００３８】
押し込み防止突起部１３３は、複数設けられており、この押し込み防止突起部１３３は
、ノズル受け部１１６を含む保持装置１００がデバイスＤおよびトレイ３０に近付き過ぎ
ることによる余計な押圧力をデバイスＤにかけてしまうことを防ぐことができる。つまり
、押し込み防止突起部１３３はトレイ３０の表面３０Ｓに突き当たることにより、ノズル
受け部１１６を含む保持装置１００が、トレイ３０およびデバイスＤに対してこれ以上、
下方向に押し付けられるのを確実に防止することができる。
この押し込み現象を防止することにより、ノズル先端部１１３、圧縮コイルバネ１１５
、ジャバラ形状パッド１１４に対して余計な負荷をかけないで済むので、保持装置１００
および保持装置１００を含むロボットハンドユニットなどの耐久性を高めることができる
。
【００３９】
図４と図５に示すようにノズル受け部１１６は、この他に穴１１６Ｈを有している。こ
れに対応して、トレイ３０は、ピン３０Ｐを有している。ピン３０Ｐは、穴１１６Ｈには
まり込むことにより、トレイ３０とノズル受け部１１６の相対的な位置を機械的に強制的
に確保することができる。しかも、トレイ３０とノズル受け部１１６との平行度も保つこ
とができる。
図４に示すように、トレイ３０は凹部１２６を有している。この凹部１２６は平坦な底
面１２７と傾斜した側面１２７Ａを有している。底面１２７の上には、デバイスＤの底面
側が配置されている。この凹部１２６にこのような要領でデバイスＤが収容されている。
【００４０】
次に、図４、図６、図７および図８を参照して、保持装置１００がトレイ３０内のデバ
イスＤを吸着して保持する動作について説明する。
図４は、保持装置１００がトレイ３０のデバイスＤの上方に配置された状態を示してい
る。図６は、保持装置１００がＺ方向に沿って下がり、ノズル先端部１１３がデバイスＤ
の表面に接触している状態を示している。
図７は、ノズル先端部１１３がデバイスＤの表面を吸着して保持してデバイスＤを少し
持ち上げた状態を示している。図８は、保持装置１００自体がＺ方向に沿って上昇するこ
とにより、デバイスＤがトレイ３０の上方に離れた状態を示している。
【００４１】
図４において、真空吸引および圧力気体供給部１２０が、真空吸引を行うことにより、
ノズル先端部１１３の第２通路１１３Ａは、チューブ１１９、第３通路１１０Ｃおよび第
１通路１１１Ａとジャバラ形状パッド１１４の中とを通じて真空吸引される。
この状態では、圧縮コイルバネ１１５はノズル先端部１１３のフランジ１１３Ｆをノズ
ル受け部１１６の内面１１６Ａ側に押し付けている。各ガイド突起部１３０は、トレイ３
０内のデバイスＤの各側面１３５に略対応する位置にある。
【００４２】
図６において、保持装置１００がＺ方向に沿って下がると、押し込み防止突起部１３３
がトレイ３０の表面３０Ｓに突き当たる。これにより、保持装置１００がこれ以上、下方
向に沿ってトレイ３０およびデバイスＤ側に押し込まれるのを防ぐことができる。ガイド
突起部１３０をデバイスＤの側面１３５を倣わせることにより、ノズル先端部１１３に対
するデバイスＤの姿勢が矯正される。ノズル先端部１１３はデバイスＤの表面を吸引し始
める。
図７に示すようにノズル先端部１１３はデバイスＤを吸着するとともに、ジャバラ形状
パッド１１４はＺ方向に弾性変形して収縮する。この場合には、圧縮コイルバネ１１５の
力に抗してジャバラ形状パッド１１４が収縮した状態になり、この結果ノズル先端部１１
３は上方向に上昇してフランジ部１１３Ｆは内面１１６Ａから離れることになる。図６に
おける装着状態では、フランジ部１１３Ｆは、内面１１６Ａからやや離れた状態にある。
この場合では案内孔１２５はノズル先端部１１３の外周面を案内していて、ノズル先端部
１１３の軸方向にぶれは生じない。
【００４３】
そして、図８に示すように保持装置１００がさらに上昇することにより、デバイスＤは
トレイ３０の凹部１２６から上方に持ち上げることができる。
その後、保持装置１００が移動して、たとえば図１に示すようにスライドテーブル４２
１上の別のトレイ３０に置かれる場合には、図１に示す真空吸引および圧力気体供給部１
２０が、真空吸引を止めて、圧力気体を逆にチューブ１１９、第３通路１１０Ｃ、第１通
路１１１Ａ、ジャバラ形状パッド１１４を通じて第２通路１１３Ａに供給することにより
、ノズル先端部１１３はデバイスＤをトレイ３０の上に即座に放すことができる。
【００４４】
図９ないし図１４は本発明の別の実施形態を示している。
図９ないし図１４に示す各実施形態において、図４に示す実施形態と同じ箇所には同じ
符号を記してその説明を用いることにする。
図９に示す実施形態が図４の実施形態と異なるのは、圧縮コイルバネ１１５が、ジャバ
ラ形状パッド１１４の内側に配置されていることである。この圧縮コイルバネ１１５は、
ノズル継手部１１１とノズル先端部１１３の間に配置されており、圧縮コイルバネ１１５
は、ジャバラ形状パッド１１４と同軸状に配置されている。
【００４５】
図１０に示す実施形態が、図４に示す実施形態と異なるのは、圧縮コイルバネ１１５が
、ジャバラ形状パッド１１４の内部に内蔵されている点が異なる。圧縮コイルバネ１１５
は、ノズル継手部１１１とノズル先端部１１３の間に配置されている。これにより、圧縮
コイルバネとジャバラ形状パッドが別部材であるのに比べて部品点数が減らせる。
【００４６】
図１１に示す実施形態が図４に示す実施形態と異なるのは、ノズル先端部の外周面１１
３Ｇの形状と、案内孔１３５の内周面１３５Ｔの形状が異なる点である。外周面１１３Ｇ
と内周面１３５Ｔは、ともにテーパ状、すなわち図１１において、Ｚ方向に沿って下に向
かうに従って、先細りになった形状になっている。つまり外周面１１３Ｇと内周面１３５
Ｔは、ともにテーパ状を有している。
このように、外周面１１３Ｇが内周面１３５Ｔに嵌合し合う形状にすることにより、ノ
ズル先端部１１３がデバイスＤの表面に接触して吸引する場合に、ノズル先端部１１３の
軸は、常にノズル受け部１１６の案内孔１３５の中心に位置させることができる。このた
めに、ノズル先端部１１３は、デバイスＤの表面の正確な位置に対してより安定してかつ
確実に吸着して保持することができる。
【００４７】
図１２のさらに別の実施形態が、図４に示す実施形態と異なるのは、基部１１０に対し
て、加熱媒体用の配管１６０と排気用の配管１６１が接続されていることである。加熱媒
体用の配管１６０は、加熱媒体供給部１６３に接続されている。加熱媒体供給部１６３は
、加熱媒体用の配管１６０および基部１１０の通路１６５を通じて、空間１６６の中に供
給することができる。
この空間１６６は、基部１１０とノズル受け部１１６により囲まれてかつ覆われて形成
された空間である。この空間１６６の中にはジャバラ形状パッド１１４が配置されている
。このために、加熱媒体は、ジャバラ形状パッド１１４を外部から加熱することができる
ので、低温状態にさらされた場合であっても、ジャバラ形状パッド１１４の柔軟性が低下
したり永久ひずみを生じたりするのを防ぐことができる。
【００４８】
図１３の別の実施形態が、図４の実施形態と異なるのは、熱源としてのランプ２００が
、基部１１０に固定されていることである。このランプ２００は、空間１６６内のジャバ
ラ形状パッド１１４を加熱できる。ランプ２００は、電源２００Ｒにより点灯する。これ
によりランプ２００がノズル受け部１１６の空間１６６内の空気を通じてジャバラ形状パ
ッド１１４を加熱することにより、ジャバラ形状パッド１１４の柔軟性の低下や永久ひず
みの発生を防止することができる。
【００４９】
図１４のさらに別の実施形態が、図４の実施形態と異なるのは、熱源としてのヒータ２
０１と測温センサ２０３が設けられていることである。ヒータ２０１は、基部１１０に対
して設けられている。このヒータ２０１が発熱することにより、空間１６６内の空気を通
じてジャバラ形状パッド１１４を加熱することができる。この場合の加熱温度は、測温セ
ンサ２０３により測温することにより、ジャバラ形状パッド１１４がどの程度加熱されて
いるかを知ることができ、ジャバラ形状パッド１１４の加熱温度を適正に保てる。ヒータ
２０１はジャバラ形状パッド１１４を加熱することにより、ジャバラ形状パッド１１４の
柔軟性の低下や永久ひずみの発生を防ぐことができる。
【００５０】
本発明の実施形態では、ノズル先端部が被搬送物を吸引して保持する際には、ノズル先
端部の第１通路およびジャバラ形状パッドそしてノズル継手部の第２通路を通じて吸引す
ることができる。圧縮コイルバネは、ノズル先端部をノズル継手部から離れる方向に沿っ
て付勢しているが、ノズル先端部を圧縮コイルバネの力に抗してノズル先端部の軸方向に
移動する際には、この受け部の案内孔はノズル先端部を案内する。
これにより、ノズル先端部が被搬送物を吸着する際に、ノズル受け部の案内孔は、ノズ
ル先端部を確実に案内することができ、ノズル先端部の軸方向がぶれてしまうことが無く
、ノズル先端部は被搬送物を確実にかつ安定して着脱可能に吸着して保持することができ
る。
【００５１】
本発明の実施形態では、ジャバラ形状パッドがたとえば低温により縮んだままになって
しまうのを圧縮コイルバネは防ぐことができる。ノズル先端部が被搬送物を吸着して保持
する際に、ガイド突起部は被搬送物の位置を正確にガイドすることができ、被搬送物の横
滑り現象を防ぐことができる。
【００５２】
本発明の実施形態では、ランプやヒータは、ジャバラ形状パッドを低温度時において加
熱することができ、柔軟性が低下したり永久ひずみが生じるのを抑えることができる。
【００５３】
ノズル先端部の材質は、たとえば変形の少ない樹脂や金属により作ることができる。も
しノズル先端部が柔軟性のあるゴム材質で作られていると、低温度使用時においてひずみ
変形が残ってしまう場合がある。
ノズル先端部がジャバラ形状パッドの伸張力および／または圧縮コイルバネの伸張力に
よりノズル先端部の軸上の方向（下方向）に押し出された時に、ノズル受け部はノズル先
端部の一部分と接触してノズル先端部を受けるようになっている。これにより、ノズル先
端部がデバイスに接触する時に、ノズル先端部の軸方向の位置を常に一定の位置にするこ
とができる。
【００５４】
図４において、チューブ１１９、第３通路１１０Ｃ、第１通路１１１Ａ、ジャバラ形状
パッド１１４の内部および第２通路１１３Ａの中が、大気圧に近くなるか、もしくは大気
圧より高くなった場合には、圧縮コイルバネ１１５の復元力により、ゴム材質のジャバラ
形状パッド１１４は、Ｚ下方向に伸びるのであるが、この伸びた形状は常に一定の寸法に
はならない。つまり、ノズル先端部は基部１１０から見て下方向に一定の高さにはならな
いことがある。
このために、ノズル受け部１１６が設けられており、ジャバラ形状パッド１１４が圧縮
コイルバネ１１５の力により下方向に伸びて形状が復帰する時に、フランジ部１１３Ｆが
ノズル受け部１１６の内面１１６Ａに突き当たることにより、ノズル先端部１１３の下面
（吸着面）は常にトレイ３０の表面３０Ｓから、あるいは基部１１０側から見て一定の高
さにすることができる。
【００５５】
ジャバラ形状パッド１１４を低温度対応のゴム材質にすることで、低温度環境において
も柔軟性の低下を抑えることができる。この結果、デバイスＤを吸着する時に、デバイス
Ｄに対する衝撃力を抑えることができる。圧縮コイルバネ１１５のような付勢部材をジャ
バラ形状パッド１１４に設けることにより、低温度環境においてもジャバラ形状パッド１
１４の形状復元性を常に維持することができるとともに、ノズル先端部１１３のＺ方向の
高さ位置を安定させることができる。このために、ノズル先端部１１３は、デバイスＤを
安定かつ確実に吸着することができる。
なお、図４に示す押し込み防止突起部１３３は、ノズル受け部１１６に設ける以外に、
ロボットハンドユニットのロボットハンド先端部１０２側に設けても良いし、トレイ３０
側に設けるようにしても同様の機能を果たすことができる。
【００５６】
本発明の実施形態では、搬送装置としてＩＣハンドラを例に挙げている。しかしこれに
限らず、搬送装置としては他の種類の装置であっても勿論構わないし、被搬送物がデバイ
ス以外のものであっても勿論構わない。
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更
を行うことができる。
上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合
わせることができる。
【符号の説明】
【００５７】
１０・・・ＩＣハンドラ（搬送装置の一例）、３０・・・トレイ、４０，４１，６０，
６１・・・ロボットハンドユニット、１００・・・保持装置、１１１・・・ノズル継手部
（継手部の一例）、１１３・・・ノズル先端部、１１４・・・ジャバラ形状パッド（胴体
部の一例）、１１５・・・圧縮コイルバネ（付勢部材）、１１６・・・ノズル受け部（受
け部の一例）、１３０・・・ガイド突起部、１３３・・・押し込み防止突起部、Ｄ・・・
デバイス（被搬送物の一例）、１１１Ａ・・・第１通路、１１３Ａ・・・第２通路。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物を着脱自在に保持するための保持装置および保持装置を有する搬送
装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（半導体集積回路装置）のようなデバイスは、その回路の信頼性や電気的な特性を
判定するために電気的な試験を行う。このようなデバイスは、いわゆるＩＣテストハンド
ラと呼ばれる装置においてノズルにより吸着して搬送することにより各種の電気的な試験
を行うようになっている。たとえばデバイスに形成されている多数のバンプは、ＩＣソケ
ット側の接触端子に接触されることにより、デバイスの電気的な特性や回路の信頼性を判
定する。
デバイスは、吸着することにより着脱可能に吸引して保持する構造のものにより保持し
て搬送される（たとえば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１４８７号公報（第２頁、図４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されている装置では、蛇腹状のスカート部が、ＩＣを吸着して保持す
る構造になっていて、このスカート部は収縮するようになっている。ＩＣは、ＩＣソケッ
ト側に装着された後に、ＩＣソケット側からまた取り外される。この場合に、蛇腹状のス
カート部は、ＩＣの位置決め受けの中に配置されているが、蛇腹状のスカート部の上端部
は取付基部に取り付けられているが、蛇腹状のスカート部の下端部はＩＣを吸着するため
に自由端となっていて、ＩＣ位置決め受けに対して位置が変わりやすい構造になっている
。このために、蛇腹状のスカート部の下端部が、ＩＣの上面を吸着する場合にスカート部
の下端部の位置がずれる可能性があり、蛇腹状のスカート部がＩＣを正確に吸着して保持
することができない恐れがある。
そこで本発明は上記課題を解消し、被搬送物を着脱自在に確実にかつ安定して吸着して
保持することができる保持装置および保持装置を有する搬送装置を提供することを目的と
する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的は、第１の発明にあっては、被搬送物を着脱自在に吸着して保持するための保
持装置であって、基部と、前記基部に配置されて第１通路を有する継手部と、第２通路を
有し、前記第１通路と前記第２通路を通じて吸引することで前記被搬送物を保持するノズ
ル先端部と、前記ノズル先端部と前記継手部とを接続する伸縮自在な胴体部であり、前記
ノズル先端部の前記第２通路と前記継手部の前記第１通路とを連絡する前記胴体部と、前
記ノズル先端部と前記継手部との間に配置されて、前記ノズル先端部を前記継手部から離
れる方向に沿って付勢するための付勢部材と、前記基部に対して固定されている受け部で
あり、前記ノズル先端部が前記被搬送物を吸着する時に前記ノズル先端部を前記付勢部材
の力に抗して前記ノズル先端部の軸方向に移動する際に前記ノズル先端部を案内する案内
孔を有する前記受け部と、を備えることを特徴とする保持装置により、達成される。
【０００６】
第１の発明の構成によれば、継手部は、基部に配置されて第１通路を有する。ノズル先
端部は、第２通路を有し、このノズル先端部は第１通路と第２通路を通じて吸引すること
で被搬送物を保持する。
胴体部は、ノズル先端部と継手部とを接続する伸縮自在な部分である。この胴体部は、
ノズル先端部の第１通路と継手部の第２通路とを連絡する。
付勢部材は、ノズル先端部と継手部との間に配置されていて、ノズル先端部を継手部か
ら離れる方向に沿って付勢する。受け部は、基部に対して固定されている。この受け部は
、ノズル先端部を付勢部材の力に抗してノズル先端部の軸方向に移動する際にノズル先端
部を案内する案内孔を有している。
これにより、ノズル先端部が被搬送物を吸引して保持する際には、ノズル先端部の第１
通路および胴体部そして継手部の第２通路を通じて吸引することができる。付勢部材は、
ノズル先端部を継手部から離れる方向に沿って付勢しているが、ノズル先端部を付勢部材
に抗してノズル先端部の軸方向に移動する際には、この受け部の案内孔はノズル先端部を
案内する。
ノズル先端部が被搬送物を吸着する際に、受け部の案内孔は、ノズル先端部を確実に軸
方向に沿って案内することができ、ノズル先端部の軸方向がぶれてしまうことが無く、ノ
ズル先端部は被搬送物を確実にかつ安定して着脱可能に吸着して保持することができる。
【０００７】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記ノズル先端部の外周面は先細り形状を
有し、前記案内孔は前記ノズル先端部の前記外周面に対応した先細りの内周面を有してい
ることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、ノズル先端部の外周面は先細り形状であり、案内孔の内周
面も先細り形状になっている。
これにより、ノズル先端部は案内孔により軸方向に沿ってさらに確実に安定して案内す
ることができる。
【０００８】
第３の発明は、第１の発明または第２の発明の構成において、前記付勢部材は圧縮コイ
ルバネであり、前記付勢部材は前記胴体部の内側または外側において同軸状に配置されて
いることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、付勢部材は圧縮コイルバネであり、付勢部材は胴体部の内
側または外側において同軸状に配置されている。
これにより、胴体部がたとえば低温により縮んだままになってしまうのを、付勢部材の
力により防ぐことができる。
【０００９】
第４の発明は、第１の発明または第２の発明の構成において、前記付勢部材は圧縮コイ
ルバネであり、前記付勢部材は前記胴体部の内部に埋め込まれていることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、付勢部材は圧縮コイルバネであり、この付勢部材は胴体部
の中に埋め込まれている。
これにより、胴体部がたとえば低温により縮んでだままになってしまうのを、付勢部材
の力により防ぐことができるとともに、部品点数を少なくすることができる。
【００１０】
第５の発明は、第１の発明の構成において、前記基部と前記受け部は、前記継手部と前
記胴体部を覆っていることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、基部と受け部は、継手部と胴体部を覆っている。
これにより、基部と受け部は、継手部と胴体部を外部から保護していて、破損が防げる
。
【００１１】
第６の発明は、第１の発明の構成において、前記受け部は、前記ノズル先端部に対する
前記被搬送物の位置をガイドするためのガイド突起部を有していることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、受け部は、ガイド突起部を有していて、このガイド突起部
は、ノズル先端部に対する被搬送物の位置をガイドする。
これにより、ノズル先端部が被搬送物を吸着して保持する際に、ガイド突起部は被搬送
物の位置を正確にガイドすることができ、被搬送物の横滑り現象を防ぐことができる。
【００１２】
第７の発明は、第６の発明の構成において、前記受け部は、前記被搬送物を収容してい
るトレイに突き当たることで前記受け部と前記ノズル先端部が前記被搬送物に対して押し
込まれすぎるのを阻止する押し込み防止突起部を有していることを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、受け部は、被搬送物を収容しているトレイに突き当たるこ
とで受け部とノズル先端部が被搬送物に対して押し込まれるのを阻止する押し込み防止突
起部を有している。
これにより、受け部がトレイおよび被搬送物側に余計に押し込まれるのを防ぎ、余計な
圧力を被搬送物に対して与えることを確実に防ぐことができる。
【００１３】
第８の発明は、第１の発明の構成において、前記胴体部は、低温度時に柔軟性を有する
ゴムにより形成されていることを特徴とする。
第８の発明の構成によれば、胴体部は、低温度時に柔軟性を有するゴムにより形成され
ている。
これにより、胴体部が低温度時において柔軟性が低下したり永久ひずみが生じるのを抑
えることができる。
【００１４】
第９の発明は、第５の発明の構成において、前記基部と前記受け部が形成している空間
に前記胴体部を暖めるための加熱媒体を供給する加熱媒体供給部が前記基部に接続されて
いることを特徴とする。
第９の発明の構成によれば、基部と受け部が形成している空間に胴体部を暖めるための
加熱媒体を供給する加熱媒体供給部が基部に接続されている。
これにより、胴体部を暖めることができ、胴体部の低温による柔軟性の低下や永久ひず
みの発生を防ぐことができる。
【００１５】
第１０の発明は、第１の発明の構成において、前記基部と前記受け部が形成している空
間内の前記胴体部を暖めるための熱源を有していることを特徴とする。
第１０の発明の構成によれば、基部と受け部が形成している空間内の胴体部を暖めるた
めの熱源を有している。
これにより、熱源は胴体部を暖めることにより、胴体部が低温時に柔軟性が低下したり
永久ひずみが生じるのを防ぐことができる。
【００１６】
第１１の発明は、第１０の発明の構成において、前記熱源により加熱された温度を検出
する測温センサを有していることを特徴とする。
第１１の発明の構成によれば、熱源により加熱する際の温度を測温センサにより検出す
ることで、胴体部の温度を適正に保つことができる。
【００１７】
第１２の発明は、第１の発明の構成によれば、前記基部は、搬送用のロボットハンドに
おいてフローティング機構を介して設けられていることを特徴とする。
第１２の発明の構成によれば、フローティング機構により基部は搬送用のロボットハン
ドに対して浮遊状態に保持することができる。
【００１８】
上記目的は、第１３の発明にあっては、被搬送物を着脱自在に保持するための保持装置
を有し、前記保持装置により保持された前記被搬送物を搬送する搬送装置であって、前記
保持装置は、基部と、前記基部に配置されて第１通路を有する継手部と、第２通路を有し
、前記第１通路と前記第２通路を通じて吸引することで前記被搬送物を保持するノズル先
端部と、前記ノズル先端部と前記継手部とを接続する伸縮自在な胴体部であり、前記ノズ
ル先端部の前記第２通路と前記継手部の前記第１通路とを連絡する前記胴体部と、前記ノ
ズル先端部と前記継手部との間に配置されて、前記ノズル先端部を前記継手部から離れる
方向に沿って付勢するための付勢部材と、前記基部に対して固定されている受け部であり
、前記ノズル先端部が前記被搬送物を吸着する時に前記ノズル先端部を前記付勢部材に抗
して前記ノズル先端部の軸方向に移動する際に前記ノズル先端部を案内する案内孔を有す
る前記受け部と、を備えることを特徴とする保持装置を有する搬送装置により、達成され
る。
これにより、ノズル先端部が被搬送物を吸引して保持する際には、ノズル先端部の第１
通路および胴体部そして継手部の第２通路を通じて吸引することができる。付勢部材は、
ノズル先端部を継手部から離れる方向に沿って付勢しているが、ノズル先端部を付勢部材
に抗してノズル先端部の軸方向に移動する際には、この受け部の案内孔はノズル先端部を
案内する。
ノズル先端部が被搬送物を吸着する際に、受け部の案内孔は、ノズル先端部を確実に軸
方向に沿って案内することができ、ノズル先端部の軸方向がぶれてしまうことが無く、ノ
ズル先端部は被搬送物を確実にかつ安定して着脱可能に吸着して保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の搬送装置の好ましい実施形態であるＩＣハンドラの構造例を示す平面図。
【図２】図１のＩＣハンドラにおけるＢ−Ｂ線付近の構造を示す図。
【図３】図１のＩＣハンドラにおけるＡ−Ａ線付近の構造を示す図。
【図４】本発明の保持装置の好ましい実施形態を示す断面図。
【図５】図４におけるノズル受け部、ノズル先端部およびジャバラ形状パッドなどを含む領域を拡大して示す図。
【図６】ノズル先端部がデバイスの表面に突き当たっている状態を示す図。
【図７】ノズル先端部によりデバイスが吸着されている状態を示す図。
【図８】吸着されたデバイスが保持装置により上昇された状態を示す図。
【図９】本発明の別の実施形態を示す図。
【図１０】本発明のさらに別の実施形態を示す図。
【図１１】本発明のさらに別の実施形態を示す図。
【図１２】本発明のさらに別の実施形態を示す図。
【図１３】本発明のさらに別の実施形態を示す図。
【図１４】本発明のさらに別の実施形態を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の保持装置を有する搬送装置の好ましい実施形態を示している。図１に
示す搬送装置は、一例としてＩＣハンドラ１０である。このＩＣハンドラ１０は、ＩＣテ
ストハンドラとも呼ぶことができる。このＩＣハンドラ１０は、ベース１１、常温チャン
バ１２、低温チャンバ１３、供給ロボット２０、回収ロボット２１、スライドテーブル４
２１、スライドテーブル４２２、複数のコンベア２３ないし２８を有している。
【００２１】
ベース１１は、上述した各要素を搭載しているが、ベース１１はたとえば図１の平面図
で見て矩形形状を有している。常温チャンバ１２は、ベース１１の大きな領域を囲ってい
る部分であり、この内部にはドライエアーが供給されている。常温チャンバ１２の中には
、上述した供給ロボット２０、回収ロボット２１、低温チャンバ１３、スライドテーブル
４２１，４２２などが収容されている。
【００２２】
コンベア２３ないし２８の一端部は常温チャンバ１２の外に位置しているが、コンベア
２３ないし２８の他端部は常温チャンバ１２の中に位置している。
図１において、図面左右方向がＸ方向であり、図面上下方向がＹ方向である。そして図
面垂直方向がＺ方向であり、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向は、それぞれ直交している。
コンベア２３ないし２８は、トレイ３０をＹ１方向あるいはＹ２方向に沿って搬送する
ためのものである。これによりトレイ３０は、常温チャンバ１２の外から常温チャンバ１
２の中へ、あるいは常温チャンバ１２の中から常温チャンバ１２の外へ搬送することがで
きる。
【００２３】
供給ロボット２０は、Ｘ軸フレーム３１とＹ軸フレーム３２により構成されている。回
収ロボット２１は、Ｘ軸フレーム３１と、Ｙ軸フレーム３３により構成されている。
Ｘ軸フレーム３１は、Ｘ方向に配置されている。Ｙ軸フレーム３２，３３は、それぞれ
Ｙ方向に沿って平行に配置されていて、図示しない駆動源によりＸ軸フレーム３１におい
てＸ方向に沿って移動して位置決め可能である。
Ｙ軸フレーム３２は供給ロボット２０側のものであり、Ｙ軸フレーム３３は回収ロボッ
ト２１側のものである。しかしＸ軸フレーム３１は、供給ロボット２０と回収ロボット２
１に共通して用いられている。供給ロボット２０は、ロボットハンドユニット４０を有し
ている。回収ロボット２１はロボットハンドユニット４１を有している。ロボットハンド
ユニット４０は、Ｙ軸フレーム３２に沿って図示しない駆動源によりＹ方向に移動して位
置決めできる。ロボットハンドユニット４１は、Ｙ軸フレーム３３に沿って図示しない駆
動源によりＹ方向に移動して位置決めできる。
【００２４】
供給ロボット２０は、トレイ３０の上に搭載されている被搬送物であるデバイスＤをた
とえばスライドテーブル４２１側に供給するためのロボットである。供給ロボット２０の
ロボットハンドユニット４０によりスライドテーブル４２１側に供給されたデバイスＤは
、低温チャンバ１３の中において測定ロボット３５内のソケット３６に置かれることによ
り、デバイスＤの電気的特性などを判定するようになっている。判定されたデバイスＤは
、ソケット３６側からスライドテーブル４２２側に移された後、回収ロボット２１のロボ
ットハンドユニット４１により回収側のコンベア２６，２７，２８のいずれかの上にある
トレイ３０の上に排出できるようになっている。
【００２５】
図２は、図１のＢ−Ｂ線付近における構造例を示していて、供給ロボット２０と回収ロ
ボット２１付近を示している。
ロボットハンドユニット４０，４１は、複数のノズル先端部５０を有している。このノ
ズル先端部５０により、図１に示すたとえばコンベア２３の上のトレイ３０の上に搭載さ
れているデバイスＤを吸着した後に、たとえばスライドテーブル４２１側に搬送するよう
になっている。そしてロボットハンドユニット４１は、たとえばスライドテーブル４２２
に移されたデバイスＤを、たとえば排出側のコンベア２８の上にあるトレイ３０の上に測
定済みのデバイスＤとして排出することができる。
【００２６】
図３は、図１におけるＡ−Ａ線付近における構造例を示している。
測定ロボット３５は、ロボットハンドユニット６０，６１を有している。ロボットハン
ドユニット６０，６１は、それぞれモータ６２とボールネジ６３によりＺ方向に上下動し
て位置決め可能である。
ロボットハンドユニット６１は、別のモータ６４とボールネジ６５により、Ｙ方向に移
動して位置決め可能である。ロボットハンドユニット６０，６１は、図１に示すスライド
テーブル４２１とソケット３６の間におけるデバイスＤのやり取りを行ったり、ソケット
３６とスライドテーブル４２２側におけるデバイスＤのやり取りを行うことができる。
【００２７】
図４は、保持装置の好ましい実施形態を示している。保持装置１００は、たとえば図２
に示すロボットハンドユニット４０ないし４１あるいは図３に示すロボットハンドユニッ
ト６０ないし６１に適用することができる。
保持装置１００は、ロボットハンドユニット４０，４１，６０，６１に対してフローテ
ィング機構１０１を介して接続されている。このフローティング機構１０１は、ロボット
ハンドユニットをＺ方向に関してある程度浮遊できる構造である。このフローティング機
構１０１は、実施例では、コイルバネを用いている。
【００２８】
図４の保持装置１００は、ロボットハンド先端部１０２、基部１１０、ノズル継手部１
１１、ノズル先端部１１３、胴体部としてのジャバラ形状パッド１１４、付勢部材である
圧縮コイルバネ１１５、そして受け部としてのノズル受け部１１６を少なくとも有してい
る。
ロボットハンド先端部１０２はたとえば金属により作られていて、ロボットハンド先端
部１０２の下部には基部１１０が固定されている。この基部１１０は、ロボットハンド先
端部１０２と同様に、たとえば金属により作られている。
【００２９】
ノズル継手部１１１は、継手部の一例であるが、ノズル継手部１１１は、基部１１０の
接続孔１１０Ａに着脱可能に接続されている。
このノズル継手部１１１は第１通路１１１Ａを有している。第１通路１１１Ａは、基部
１１０内の第３通路１１０Ｃに対して接続されている。第３通路１１０Ｃは、チューブ１
１９の一端部に接続されている。チューブ１１９の他端部は、真空吸引および圧力気体供
給部１２０に対して接続されている。
【００３０】
ノズル継手部１１１は、胴体部の一例であるジャバラ形状パッド１１４の上端部に対し
て着脱可能になるようにしかも抜けないようにして接続されている。ノズル継手部１１１
は、金属により作られている。
ノズル先端部１１３は、その内部に第２通路１１３Ａを有している。この第２通路１１
３Ａは、ノズル先端部１１３の軸方向に形成されている。この第２通路１１３Ａは、第１
通路１１１Ａに対して同じ延長線（軸方向，Ｚ方向）上に配置されている。ジャバラ形状
パッド１１４の下端部は、ノズル先端部１１３に対して接続されている。
このジャバラ形状パッド１１４は、ノズル先端部１１３とノズル継手部１１１とを機械
的に接続する伸縮自在なものであり、ノズル先端部１１３の第２通路１１３Ａとノズル継
手部１１１の第１通路１１１Ａとを連絡している。
【００３１】
ジャバラ形状パッド１１４は、ジャバラ形状を有していて、軸方向、すなわちＺ方向に
伸縮可能な部材である。このジャバラ形状パッド１１４は、好ましくは低温度に対応した
たとえばゴム材質により作ることができる。このゴム材質としては、フェニル基のシリコ
ンゴムなどを採用できる。このような低温度対応のゴムを使用することにより、ジャバラ
形状パッド１１４は、低温度時における柔軟性の低下や永久ひずみの発生を抑えることが
できる。
ジャバラ形状パッド１１４は、筒状またはジャバラ状の形状であり、弱い力（たとえば
数グラム）で弾性変形可能な部材である。
圧縮コイルバネ１１５は、図４に示すようにノズル継手部１１１とノズル先端部１１３
の間に配置されていて、圧縮コイルバネ１１５はノズル先端部１１３をノズル継手部１１
１から離れる方向、すなわち図４において下方向に沿ってノズル受け部１１６の内面１１
６Ａ側へ付勢するためのものである。
【００３２】
図５は、ノズル先端部１１３、圧縮コイルバネ１１５、ジャバラ形状パッド１１４、ノ
ズル継手部１１１などの付近を拡大して示している。
図４と図５に示すように、圧縮コイルバネ１１５は、ジャバラ形状パッド１１４と同軸
であって、しかも外側に配置されている。この圧縮コイルバネ１１５は、ジャバラ形状パ
ッド１１４が低温度状態にさらされた場合であっても、ジャバラ形状パッド１１４が縮ん
だままの状態を保持するのを防いで、ノズル受け部１１６の内面１１６Ａ側へ伸ばすとと
もに、ノズル先端部１１３をノズル受け部１１６の内面１１６Ａ側に付勢することができ
る。
【００３３】
図５のノズル先端部１１３は、たとえば略円筒状の部材であり、フランジ部１１３Ｆを
有している。このフランジ部１１３Ｆは、ノズル受け部１１６の内面１１６Ａに対して突
き当たることにより、ノズル先端部１１３がＹ方向すなわち、下方向にこれ以上下がらな
いように止める役割を果たしている。
【００３４】
次に、図４と図５のノズル受け部１１６について説明する。
ノズル受け部１１６は、基部１１０の下面側において固定されていて、基部１１０とノ
ズル受け部１１６は、ノズル継手部１１１、圧縮コイルバネ１１５、ジャバラ形状パッド
１１４およびノズル先端部１１３のフランジ部１１３Ｆを収容して外部から覆って保護し
ている。図４と図５に示すように、ノズル受け部１１６は、断面で見て略Ｕ字型を有して
いる。
【００３５】
ノズル受け部１１６は、側面部１１６Ｓと底面部１１６Ｔを有している。側面部１１６
Ｓは、たとえば円筒状の部分であり、底面部１１６Ｔは平坦面になっている。この底面部
１１６Ｔの中央には、断面円形で軸方向に沿って同じ内径の案内孔１２５を有している。
案内孔１２５は、ノズル先端部１１３の外周面を案内することで、ノズル先端部１１３の
Ｘ方向およびＹ方向に関する位置決めを行うためのものである。ノズル受け部１１６の案
内孔１２５は、ノズル先端部１１３が被搬送物であるデバイスＤを吸着する時に、ノズル
先端部１１３を圧縮コイルバネ１１５の力に抗してノズル先端部１１３の軸方向（Ｚ）方
向に移動する際に、ノズル先端部１１３を案内する。
【００３６】
これにより、ノズル先端部１１３がデバイスＤの表面に接触して吸着する時に、ノズル
先端部１１３の軸方向は常にノズル受け部１１６の案内孔１２５の中心に対して強制的に
合わせることができる。したがって、ノズル先端部１１３はトレイ３０内のデバイスＤの
表面の正しい位置を確実に吸着することができる。
【００３７】
図４と図５に示すように、ノズル受け部１１６は、この他にガイド突起部１３０と押し
込み防止突起部１３３を有している。
ガイド突起部１３０は、図４のデバイスＤの側面１３５に接することにより、デバイス
Ｄを倣わせることができる。このために、ノズル先端部１１３がデバイスＤの表面を吸着
した後に、ガイド突起部１３０はデバイスＤの側面１３５を確実にガイドすることができ
、デバイスＤの横滑り現象を防ぐことができる。
【００３８】
押し込み防止突起部１３３は、複数設けられており、この押し込み防止突起部１３３は
、ノズル受け部１１６を含む保持装置１００がデバイスＤおよびトレイ３０に近付き過ぎ
ることによる余計な押圧力をデバイスＤにかけてしまうことを防ぐことができる。つまり
、押し込み防止突起部１３３はトレイ３０の表面３０Ｓに突き当たることにより、ノズル
受け部１１６を含む保持装置１００が、トレイ３０およびデバイスＤに対してこれ以上、
下方向に押し付けられるのを確実に防止することができる。
この押し込み現象を防止することにより、ノズル先端部１１３、圧縮コイルバネ１１５
、ジャバラ形状パッド１１４に対して余計な負荷をかけないで済むので、保持装置１００
および保持装置１００を含むロボットハンドユニットなどの耐久性を高めることができる
。
【００３９】
図４と図５に示すようにノズル受け部１１６は、この他に穴１１６Ｈを有している。こ
れに対応して、トレイ３０は、ピン３０Ｐを有している。ピン３０Ｐは、穴１１６Ｈには
まり込むことにより、トレイ３０とノズル受け部１１６の相対的な位置を機械的に強制的
に確保することができる。しかも、トレイ３０とノズル受け部１１６との平行度も保つこ
とができる。
図４に示すように、トレイ３０は凹部１２６を有している。この凹部１２６は平坦な底
面１２７と傾斜した側面１２７Ａを有している。底面１２７の上には、デバイスＤの底面
側が配置されている。この凹部１２６にこのような要領でデバイスＤが収容されている。
【００４０】
次に、図４、図６、図７および図８を参照して、保持装置１００がトレイ３０内のデバ
イスＤを吸着して保持する動作について説明する。
図４は、保持装置１００がトレイ３０のデバイスＤの上方に配置された状態を示してい
る。図６は、保持装置１００がＺ方向に沿って下がり、ノズル先端部１１３がデバイスＤ
の表面に接触している状態を示している。
図７は、ノズル先端部１１３がデバイスＤの表面を吸着して保持してデバイスＤを少し
持ち上げた状態を示している。図８は、保持装置１００自体がＺ方向に沿って上昇するこ
とにより、デバイスＤがトレイ３０の上方に離れた状態を示している。
【００４１】
図４において、真空吸引および圧力気体供給部１２０が、真空吸引を行うことにより、
ノズル先端部１１３の第２通路１１３Ａは、チューブ１１９、第３通路１１０Ｃおよび第
１通路１１１Ａとジャバラ形状パッド１１４の中とを通じて真空吸引される。
この状態では、圧縮コイルバネ１１５はノズル先端部１１３のフランジ１１３Ｆをノズ
ル受け部１１６の内面１１６Ａ側に押し付けている。各ガイド突起部１３０は、トレイ３
０内のデバイスＤの各側面１３５に略対応する位置にある。
【００４２】
図６において、保持装置１００がＺ方向に沿って下がると、押し込み防止突起部１３３
がトレイ３０の表面３０Ｓに突き当たる。これにより、保持装置１００がこれ以上、下方
向に沿ってトレイ３０およびデバイスＤ側に押し込まれるのを防ぐことができる。ガイド
突起部１３０をデバイスＤの側面１３５を倣わせることにより、ノズル先端部１１３に対
するデバイスＤの姿勢が矯正される。ノズル先端部１１３はデバイスＤの表面を吸引し始
める。
図７に示すようにノズル先端部１１３はデバイスＤを吸着するとともに、ジャバラ形状
パッド１１４はＺ方向に弾性変形して収縮する。この場合には、圧縮コイルバネ１１５の
力に抗してジャバラ形状パッド１１４が収縮した状態になり、この結果ノズル先端部１１
３は上方向に上昇してフランジ部１１３Ｆは内面１１６Ａから離れることになる。図６に
おける装着状態では、フランジ部１１３Ｆは、内面１１６Ａからやや離れた状態にある。
この場合では案内孔１２５はノズル先端部１１３の外周面を案内していて、ノズル先端部
１１３の軸方向にぶれは生じない。
【００４３】
そして、図８に示すように保持装置１００がさらに上昇することにより、デバイスＤは
トレイ３０の凹部１２６から上方に持ち上げることができる。
その後、保持装置１００が移動して、たとえば図１に示すようにスライドテーブル４２
１上の別のトレイ３０に置かれる場合には、図１に示す真空吸引および圧力気体供給部１
２０が、真空吸引を止めて、圧力気体を逆にチューブ１１９、第３通路１１０Ｃ、第１通
路１１１Ａ、ジャバラ形状パッド１１４を通じて第２通路１１３Ａに供給することにより
、ノズル先端部１１３はデバイスＤをトレイ３０の上に即座に放すことができる。
【００４４】
図９ないし図１４は本発明の別の実施形態を示している。
図９ないし図１４に示す各実施形態において、図４に示す実施形態と同じ箇所には同じ
符号を記してその説明を用いることにする。
図９に示す実施形態が図４の実施形態と異なるのは、圧縮コイルバネ１１５が、ジャバ
ラ形状パッド１１４の内側に配置されていることである。この圧縮コイルバネ１１５は、
ノズル継手部１１１とノズル先端部１１３の間に配置されており、圧縮コイルバネ１１５
は、ジャバラ形状パッド１１４と同軸状に配置されている。
【００４５】
図１０に示す実施形態が、図４に示す実施形態と異なるのは、圧縮コイルバネ１１５が
、ジャバラ形状パッド１１４の内部に内蔵されている点が異なる。圧縮コイルバネ１１５
は、ノズル継手部１１１とノズル先端部１１３の間に配置されている。これにより、圧縮
コイルバネとジャバラ形状パッドが別部材であるのに比べて部品点数が減らせる。
【００４６】
図１１に示す実施形態が図４に示す実施形態と異なるのは、ノズル先端部の外周面１１
３Ｇの形状と、案内孔１３５の内周面１３５Ｔの形状が異なる点である。外周面１１３Ｇ
と内周面１３５Ｔは、ともにテーパ状、すなわち図１１において、Ｚ方向に沿って下に向
かうに従って、先細りになった形状になっている。つまり外周面１１３Ｇと内周面１３５
Ｔは、ともにテーパ状を有している。
このように、外周面１１３Ｇが内周面１３５Ｔに嵌合し合う形状にすることにより、ノ
ズル先端部１１３がデバイスＤの表面に接触して吸引する場合に、ノズル先端部１１３の
軸は、常にノズル受け部１１６の案内孔１３５の中心に位置させることができる。このた
めに、ノズル先端部１１３は、デバイスＤの表面の正確な位置に対してより安定してかつ
確実に吸着して保持することができる。
【００４７】
図１２のさらに別の実施形態が、図４に示す実施形態と異なるのは、基部１１０に対し
て、加熱媒体用の配管１６０と排気用の配管１６１が接続されていることである。加熱媒
体用の配管１６０は、加熱媒体供給部１６３に接続されている。加熱媒体供給部１６３は
、加熱媒体用の配管１６０および基部１１０の通路１６５を通じて、空間１６６の中に供
給することができる。
この空間１６６は、基部１１０とノズル受け部１１６により囲まれてかつ覆われて形成
された空間である。この空間１６６の中にはジャバラ形状パッド１１４が配置されている
。このために、加熱媒体は、ジャバラ形状パッド１１４を外部から加熱することができる
ので、低温状態にさらされた場合であっても、ジャバラ形状パッド１１４の柔軟性が低下
したり永久ひずみを生じたりするのを防ぐことができる。
【００４８】
図１３の別の実施形態が、図４の実施形態と異なるのは、熱源としてのランプ２００が
、基部１１０に固定されていることである。このランプ２００は、空間１６６内のジャバ
ラ形状パッド１１４を加熱できる。ランプ２００は、電源２００Ｒにより点灯する。これ
によりランプ２００がノズル受け部１１６の空間１６６内の空気を通じてジャバラ形状パ
ッド１１４を加熱することにより、ジャバラ形状パッド１１４の柔軟性の低下や永久ひず
みの発生を防止することができる。
【００４９】
図１４のさらに別の実施形態が、図４の実施形態と異なるのは、熱源としてのヒータ２
０１と測温センサ２０３が設けられていることである。ヒータ２０１は、基部１１０に対
して設けられている。このヒータ２０１が発熱することにより、空間１６６内の空気を通
じてジャバラ形状パッド１１４を加熱することができる。この場合の加熱温度は、測温セ
ンサ２０３により測温することにより、ジャバラ形状パッド１１４がどの程度加熱されて
いるかを知ることができ、ジャバラ形状パッド１１４の加熱温度を適正に保てる。ヒータ
２０１はジャバラ形状パッド１１４を加熱することにより、ジャバラ形状パッド１１４の
柔軟性の低下や永久ひずみの発生を防ぐことができる。
【００５０】
本発明の実施形態では、ノズル先端部が被搬送物を吸引して保持する際には、ノズル先
端部の第１通路およびジャバラ形状パッドそしてノズル継手部の第２通路を通じて吸引す
ることができる。圧縮コイルバネは、ノズル先端部をノズル継手部から離れる方向に沿っ
て付勢しているが、ノズル先端部を圧縮コイルバネの力に抗してノズル先端部の軸方向に
移動する際には、この受け部の案内孔はノズル先端部を案内する。
これにより、ノズル先端部が被搬送物を吸着する際に、ノズル受け部の案内孔は、ノズ
ル先端部を確実に案内することができ、ノズル先端部の軸方向がぶれてしまうことが無く
、ノズル先端部は被搬送物を確実にかつ安定して着脱可能に吸着して保持することができ
る。
【００５１】
本発明の実施形態では、ジャバラ形状パッドがたとえば低温により縮んだままになって
しまうのを圧縮コイルバネは防ぐことができる。ノズル先端部が被搬送物を吸着して保持
する際に、ガイド突起部は被搬送物の位置を正確にガイドすることができ、被搬送物の横
滑り現象を防ぐことができる。
【００５２】
本発明の実施形態では、ランプやヒータは、ジャバラ形状パッドを低温度時において加
熱することができ、柔軟性が低下したり永久ひずみが生じるのを抑えることができる。
【００５３】
ノズル先端部の材質は、たとえば変形の少ない樹脂や金属により作ることができる。も
しノズル先端部が柔軟性のあるゴム材質で作られていると、低温度使用時においてひずみ
変形が残ってしまう場合がある。
ノズル先端部がジャバラ形状パッドの伸張力および／または圧縮コイルバネの伸張力に
よりノズル先端部の軸上の方向（下方向）に押し出された時に、ノズル受け部はノズル先
端部の一部分と接触してノズル先端部を受けるようになっている。これにより、ノズル先
端部がデバイスに接触する時に、ノズル先端部の軸方向の位置を常に一定の位置にするこ
とができる。
【００５４】
図４において、チューブ１１９、第３通路１１０Ｃ、第１通路１１１Ａ、ジャバラ形状
パッド１１４の内部および第２通路１１３Ａの中が、大気圧に近くなるか、もしくは大気
圧より高くなった場合には、圧縮コイルバネ１１５の復元力により、ゴム材質のジャバラ
形状パッド１１４は、Ｚ下方向に伸びるのであるが、この伸びた形状は常に一定の寸法に
はならない。つまり、ノズル先端部は基部１１０から見て下方向に一定の高さにはならな
いことがある。
このために、ノズル受け部１１６が設けられており、ジャバラ形状パッド１１４が圧縮
コイルバネ１１５の力により下方向に伸びて形状が復帰する時に、フランジ部１１３Ｆが
ノズル受け部１１６の内面１１６Ａに突き当たることにより、ノズル先端部１１３の下面
（吸着面）は常にトレイ３０の表面３０Ｓから、あるいは基部１１０側から見て一定の高
さにすることができる。
【００５５】
ジャバラ形状パッド１１４を低温度対応のゴム材質にすることで、低温度環境において
も柔軟性の低下を抑えることができる。この結果、デバイスＤを吸着する時に、デバイス
Ｄに対する衝撃力を抑えることができる。圧縮コイルバネ１１５のような付勢部材をジャ
バラ形状パッド１１４に設けることにより、低温度環境においてもジャバラ形状パッド１
１４の形状復元性を常に維持することができるとともに、ノズル先端部１１３のＺ方向の
高さ位置を安定させることができる。このために、ノズル先端部１１３は、デバイスＤを
安定かつ確実に吸着することができる。
なお、図４に示す押し込み防止突起部１３３は、ノズル受け部１１６に設ける以外に、
ロボットハンドユニットのロボットハンド先端部１０２側に設けても良いし、トレイ３０
側に設けるようにしても同様の機能を果たすことができる。
【００５６】
本発明の実施形態では、搬送装置としてＩＣハンドラを例に挙げている。しかしこれに
限らず、搬送装置としては他の種類の装置であっても勿論構わないし、被搬送物がデバイ
ス以外のものであっても勿論構わない。
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更
を行うことができる。
上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合
わせることができる。
【符号の説明】
【００５７】
１０・・・ＩＣハンドラ（搬送装置の一例）、３０・・・トレイ、４０，４１，６０，
６１・・・ロボットハンドユニット、１００・・・保持装置、１１１・・・ノズル継手部
（継手部の一例）、１１３・・・ノズル先端部、１１４・・・ジャバラ形状パッド（胴体
部の一例）、１１５・・・圧縮コイルバネ（付勢部材）、１１６・・・ノズル受け部（受
け部の一例）、１３０・・・ガイド突起部、１３３・・・押し込み防止突起部、Ｄ・・・
デバイス（被搬送物の一例）、１１１Ａ・・・第１通路、１１３Ａ・・・第２通路。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を保持するための保持装置であって、
基部と、
前記基部に配置され、第１通路を有する継手部と、
第２通路を有し、前記第１通路と前記第２通路を通じて吸引することで前記被搬送物を
保持するノズル先端部と、
前記ノズル先端部と前記継手部とを接続し、前記第２通路と前記第１通路とを連絡する
胴体部と、
前記胴体部の前記第２通路とは異なる側において、前記胴体部と同軸に配置され、前記
ノズル先端部を前記継手部から離れる方向に付勢するための付勢部材と、
前記基部に固定され、前記ノズル先端部を案内する案内孔を有する受け部と、
を備えることを特徴とする保持装置。
【請求項２】
前記ノズル先端部の外周面は先細り形状を有し、前記案内孔は前記ノズル先端部の前記
外周面に対応した先細りの内周面を有していることを特徴とする請求項１に記載の保持装
置。
【請求項３】
被搬送物を保持するための保持装置を有し、前記保持装置により保持された前記被搬送
物を搬送する搬送装置であって、
前記保持装置は、
基部と、
前記基部に配置され、第１通路を有する継手部と、
第２通路を有し、前記第１通路と前記第２通路を通じて吸引することで前記被搬送物を
保持するノズル先端部と、
前記ノズル先端部と前記継手部とを接続し、前記第２通路と前記第１通路とを連絡する
胴体部と、
前記胴体部の前記第２通路とは異なる側において、前記胴体部と同軸に配置され、前記
ノズル先端部を前記継手部から離れる方向に沿って付勢するための付勢部材と、
前記基部に固定され、前記ノズル先端部を案内する案内孔を有する受け部と、
を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項１】
被搬送物を保持するための保持装置であって、
基部と、
前記基部に配置され、第１通路を有する継手部と、
第２通路を有し、前記第１通路と前記第２通路を通じて吸引することで前記被搬送物を
保持するノズル先端部と、
前記ノズル先端部と前記継手部とを接続し、前記第２通路と前記第１通路とを連絡する
胴体部と、
前記胴体部の前記第２通路とは異なる側において、前記胴体部と同軸に配置され、前記
ノズル先端部を前記継手部から離れる方向に付勢するための付勢部材と、
前記基部に固定され、前記ノズル先端部を案内する案内孔を有する受け部と、
を備えることを特徴とする保持装置。
【請求項２】
前記ノズル先端部の外周面は先細り形状を有し、前記案内孔は前記ノズル先端部の前記
外周面に対応した先細りの内周面を有していることを特徴とする請求項１に記載の保持装
置。
【請求項３】
被搬送物を保持するための保持装置を有し、前記保持装置により保持された前記被搬送
物を搬送する搬送装置であって、
前記保持装置は、
基部と、
前記基部に配置され、第１通路を有する継手部と、
第２通路を有し、前記第１通路と前記第２通路を通じて吸引することで前記被搬送物を
保持するノズル先端部と、
前記ノズル先端部と前記継手部とを接続し、前記第２通路と前記第１通路とを連絡する
胴体部と、
前記胴体部の前記第２通路とは異なる側において、前記胴体部と同軸に配置され、前記
ノズル先端部を前記継手部から離れる方向に沿って付勢するための付勢部材と、
前記基部に固定され、前記ノズル先端部を案内する案内孔を有する受け部と、
を備えることを特徴とする搬送装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２００９−２６９１７１（Ｐ２００９−２６９１７１Ａ）
【公開日】平成２１年１１月１９日（２００９．１１．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１８８９３４（Ｐ２００９−１８８９３４）
【出願日】平成２１年８月１８日（２００９．８．１８）
【分割の表示】特願２００５−４４５３２（Ｐ２００５−４４５３２）の分割
【原出願日】平成１７年２月２１日（２００５．２．２１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１１月１９日（２００９．１１．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年８月１８日（２００９．８．１８）
【分割の表示】特願２００５−４４５３２（Ｐ２００５−４４５３２）の分割
【原出願日】平成１７年２月２１日（２００５．２．２１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]