【課題】シートの特性によらずに広く適用でき、シートの重搬送を抑制することができるシート取出装置の提供。
【解決手段】シートＳを重ねて複数枚収容する収容部２からシートＳを取り出すシート取出装置１であって、収容部２には、シートＳが、その直下のシートＳに支持される支持部ｓ１と、その直下のシートＳに支持されない非支持部ｓ２とを有するようにして重ねて収容されており、少なくとも非支持部ｓ２を保持して上記取り出しを行うハンド装置３を有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】薄物のワークの局所変形を抑制しつつ、ワークを取り出す際の撓みを許容できる真空吸着装置の提供。
【解決手段】吸着面１０ａを有する多孔質体１０と、吸着面１０ａの周囲を気密に閉塞して多孔質体１０を保持するホルダ２０と、吸着面１０ａから吸引を行う吸引装置３０と、ホルダ２０を支持し、吸着面１０ａの水平面に対する傾きを変位自在とするベローズ管４０と、を有する真空吸着装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】吸盤を用いてワークを把持する吸着パッドを用いて把持を行う際に、吸着力の不足により把持が不完全な状態になることや把持ができても移動する際に落下することを防止する。
【解決手段】ワークを把持する吸着パットであって、ワークの一方向に位置する固定部材１１と、固定部材１１のワークに対向する面に密着して取り付けられた中央に減圧空間１７を有する形状自在パッド１２と、減圧空間１７内の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる減圧装置と、を備える。さらに、形状自在パッド１２は、ワークの固定部材１１に対向する面に対して押し付ける押付力によりワークの表面形状をならうようになっている。 （もっと読む）

【課題】構造が簡易で、回転板の微小変位に対応可能な、回転板位置調整装置及び方法を提供する。
【解決手段】吸着搬送装置５１と認識カメラ７と制御装置１０とを備えた回転板位置調整装置５０において、上記吸着搬送装置に備わり回転板２の吸着動作を行う吸着ヘッド１は、ヘッド本体１０１と、上記回転板を吸着する金属製の吸着パッド１０２と、上記ヘッド本体と上記吸着パッドとを接合し、かつ上記回転板の姿勢に上記吸着パッドが倣うように変形する接着部１０３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】被搬送物Ｗがロボットハンド９から落下することを回避して、被搬送物Ｗの搬送作業の煩雑化を十分に抑えること。
【解決手段】ハンド本体１１に設けられかつ真空圧を利用して被搬送物を吸着する複数のベローズ型吸着パッド１９と、吸着状態における各ベローズ型吸着パッド１９の軸長を測定する軸長センサ２９と、各軸長センサ２９から測定された各ベローズ型吸着パット１９の軸長に基づいて、搬送中における被搬送物Ｗの姿勢を判定するコントローラ３１と、を備えたこと。 （もっと読む）

【課題】ベローズ型吸着パッド１９による吸着状態の安定化を図りつつ、ベローズ型吸着パッド１９の吸着力を向上させること。
【解決手段】パッド本体２７にベローズ３１が一体形成され、ベローズ３１は、径方向外側へ突出した複数の山部３３と径方向内側に窪んだ複数の谷部３５を交互に有し、パッド本体２７の軸心方向へ伸縮可能であって、ベローズ３１の内部がパッド本体２７の接続孔２９に連通し、ベローズ３１の各山部３３の内側にワッシャ３９が密着して配設されたこと。 （もっと読む）

【課題】Ｗｅｔ処理装置（洗浄装置あるいは現像装置等液体を用いるプロセス処理機）内の基板搬送にも適用可能で、配管系の不要なコンパクトな基板吸着装置の提供を目的とした。
【解決手段】少なくとも、基板を気密に吸着するためのラッパ状の吸着口を備えるゴムパッド８と、前記ゴムパッドの基部を膜保持ハウジング３０を介して気密に被覆するダイアフラム膜７と、前記ダイアフラム膜７を変形させるための圧力制御ブロック３と、を有することを特徴とする基板吸着装置である。 （もっと読む）

【課題】高温環境下において、複数の吸着部材の吸着面高さを容易に一致させて精度よく保持すること、及び被搬送物とは反対の方向に負荷が加えられた場合には容易に十分な変位を生じて負荷の加えられた吸着部材のみを容易に一時的に吸着から離脱可能な吸着装置を提供する。
【解決手段】本発明の吸着装置は、複数の吸着部材４０を備え、当該吸着部材における吸着面４１に被搬送物２を吸着して保持し、ベース部材２０と、当該ベース部材上に設けられ、且つ上記ベース部材２０に保持される板状保持部材３０とを備え、上記吸着部材４０は、吸着時にかかる圧力に耐える剛性を有し、板状保持部材３０に保持され、その吸着面４１が、ベース部材２０における板状保持部材３０が設けられている側の面とは反対側の面側に位置し、ベース部材２０における板状保持部材３０が設けられている側へ当該板状保持部材３０の弾性変形により変位可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】板状のワークを搬送する際に、その吸着面に凹凸があった場合でも、その凹凸を吸収し、かつワークの湾曲または偏角にも対応して吸着することのできる真空パッドを提供する。
【解決手段】蛇腹状のスカート部２の一端部２ｃに、このスカート部２内を真空にする真空装置からのパイプ９が接続された基部１が気密的に設けられ、蛇腹状のスカート部２内の大径部２ａに、少なくとも一つ以上の貫通穴３ｂが形成された円板状の固定板３が設けられ、蛇腹状のスカート部２の大径部２ａからなる他端部２ｄに、他端部２ｄと当接するとともに、少なくとも一つ以上の貫通穴４ｃが形成された軟質ゴムよりなる円板状のエッジホルダ４が設けられ、エッジホルダ４と固定板３とが一体的に形成されるとともに、エッジホルダ４の外装面４ａには、エッジホルダ４よりも軟らかい軟質ゴムより形成されて平面上のワークの板面に当接する環状のエッジ部５が気密的に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ワークの横ズレや傾きによる位置ズレの発生がなく、確実にワークを保持、固定でき、また多種多様な形状、大きさのワークに対応でき、さらにワークの保持位置の自由度が高く、汎用性に優れたロボットハンドを提供する
【解決手段】ロボットアームの先端に取り付けられ、ワーク６を保持するためのロボットハンド１であって、ワーク面の形状に追従可能なベローズ式吸着パッド２と、ベローズ式吸着パッドの内側に配置され、ベローズ式吸着パッドとともにワークを保持、固定するための高硬度吸着パッド３と、ベローズ式吸着パッドの外側に配置され、ワークの傾きを固定するための固定ロッド４とからなる。固定ロッドはシャフト４ａとシャフトの先端に取り付けられたワーク押さえ部４ｂとからなり、固定ロッドの先端に位置決めピン７が取り付けられていてもよい。 （もっと読む）

【課題】被搬送物を着脱自在に確実にかつ安定して吸着して保持する保持装置を提供する
こと。
【解決手段】基部に配置されて第１通路１１１Ａを有する継手部１１１と、第２通路１１
３Ａを有し第１通路１１１Ａと第２通路１１３Ａを通じて吸引することで被搬送物Ｄを保
持するノズル先端部１１３と、ノズル先端部１１３と継手部１１１を接続する伸縮自在な
胴体部１１４であり、第２通路１１３Ａと第１通路１１１Ａとを連絡する胴体部１１４と
、ノズル先端部１１３と継手部１１１の間に配置されてノズル先端部１１３を継手部１１
１から離れる方向に沿って付勢するための付勢部材と、基部に対して固定されている受け
部１１６でありノズル先端部１１３が被搬送物Ｄを吸着する時にノズル先端部１１３を付
勢部材１１５の力に抗してノズル先端部１１３の軸方向に移動する際にノズル先端部１１
３を案内する案内孔を有する受け部１１６を備える。 （もっと読む）

【課題】高温のワークの吸着に適した吸着パッドを提供する。
【解決手段】吸着パッド３５は、ゴム管４１とワーク吸着部４２とからなり、エアの吸引口３３が開口したロボットアーム３１の先端に接続され、吸引口３３からのエア吸引によりレンズ２１の上面を吸着して保持する。ゴム管４１は、ロボットアーム３１の先端に根元側が接続され、吸引口３３に連通する吸引路３６が内部に菅ついして形成されており、可撓性を有する。ワーク吸着部４２は、ガラス転位点Ｔｇが１３０℃以上の耐熱性樹脂からなり、ゴム管４１の先端側に設けられ、吸引路３６に連通してレンズ２１の上面を吸着する吸着口４３を有するとともに、ゴム管４１よりも高い耐熱性を持つ。 （もっと読む）

【課題】基板にかかる応力を抑制しつつ確実に吸着保持できるようにする。
【解決手段】外観検査装置１は、基板吸着装置として板金１５に固定された３つの吸着部群１６Ａ〜１６Ｃを備える。吸着部群１６Ａ〜１６Ｃはガラス基板Ｗの搬送方向に並んで配置されており、各々が３つの吸着部１８Ａ〜１８Ｃを備える。吸着部１８Ａ〜１８Ｃは、ガラス基板Ｗの裏面に吸着可能で、首振り動作が可能な吸着パッド２２が１つずつ設けられている。最も中央にある吸着部群１６Ｂの吸着部１８Ｂは、上方に押し付け部３３が配置されている。押し付け部３３は補助パッド３５を降下させてガラス基板Ｗを吸着部１８Ｂに押し付ける。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置への基板の搭載および取り外しを自動化することのできる基板ハンドリング装置、基板搭載方法、基板取り出し方法を提供する。
【解決手段】ロボットアームの先端に取り付けられる基板ハンドリング装置であって、ロボットアームに取り付けられた板状保持部材と、板状保持部材に基板保持方向に突出可能に軸支され、先端に基板吸着パッド部１５を備えた基板保持アーム１６と、基板保持アーム１６を板状保持部材から突出しない状態で固定するロック機構と、基板吸着パッド部１５を基板保持アーム１６から突出する方向に付勢する突出機構１８と、基板吸着パッド部１５の基板保持アーム１６からの突出を制限する吸着パッド部２４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 ホルダとスライダ間の生じる真空リークを防止し、スライダの円滑なスライド動作を確実に行なうことができるワークの吸着装置を提供する。
【解決手段】 基端外周部にフランジ１１ｇを突設させたスライダ本体１１ｂに、段部１１ｃを介して小径部１１ｄを一体的に形成し、かつ真空吸引用の通路１１ａを上下に開口させたスライダ１１を形成し、スライダ本体１１ｂの外周部に、弾性を有する中空円筒状のシース１３を、隙間を存して嵌め込み、スライダ本体１１ｂの小径部１１ｄをホルダ１２に挿通させ、前記小径部１１ｄの先端部をホルダ１２の先端部から突出させた状態で、スライダ１１をホルダ１２に対してスライド可能に保持し、前記シース１３の先端面を、ホルダ１２の基端開口面に、基端面をスライダ１１のフランジ１１ｆ上面にそれぞれ密着係合さてワークの吸着装置とする。 （もっと読む）

【課題】 従来のロボットハンドの吸着装置に在った吸着パッドの吸着面積を大きくすることに対する不都合さ、および部品が多く、装置の複雑化、製作コストのアップ等の欠点を取除いたロボットハンドの吸着装置を提供することにある。
【解決手段】 内部が中空で角形の筒状をしたロボットハンドの中空内に取付けられ、真空用の配管に繋がった孔を設けたブロックと、このブロックの真空用配管に繋がった孔に連通する真空孔を有し、搬送物を吸引するロボットハンドの吸着パッドと、吸着パッドとブロックの間に設けられ、吸着パッドの真空孔とブロックにある真空用の配管に繋がった孔とを連通させる可撓性の筒状の継手と、吸着パッドがロボットハンドの表面より予め定められた寸法以内に保持されよう吸着パッドを押えるロボットハンドの搬送物に面した部材とを有して成るロボットハンドの吸着装置。 （もっと読む）

【課題】パッド部材と蛇腹部材との間の密着性を安定に維持でき、パッド部材の交換も可能な真空吸着パッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る真空吸着パッド１１は、内部に排気通路１２が形成されたベース部材１３と、ベース部材１３と一体的に取り付けられ内部が排気通路１３と連通する蛇腹部材１４と、蛇腹部材１４の先端１４ｂに取り付けられ吸着孔１５ａを有するパッド部材１５とを備え、パッド部材１５は、蛇腹部材１４の先端１４ｂに嵌入され内部に吸着孔１５ａが形成された嵌入軸部１５ｂを有するとともに、蛇腹部材１４の先端１４ｂには、嵌入軸部１５ｂとの間の密着状態を保持する環状弾性部材１７が装着されている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に大きな反り（撓み）があっても基板の反りに合わせて、確実に吸引できる基板吸着装置と、それを用いたガラス基板搬送用ロボットを提供する。
【解決手段】上部周囲に３６０度に亘る周縁凸部２３ａを設けると共に上部中央から下方に貫通する吸気貫通孔２３ｃを設けた吸引パッド２３と、中央部に設けた凹部２１ａと該凹部２１ａの底部中央から外部に通じる吸気通路２１ｃ、２１ｄとを有するパッド座２１と、吸引パッド２３とパッド座２１との間に介在するクッション材として蛇腹状をした弾性パッド支持体２２を用い、さらに、吸引パッド２３に支点となる支点軸２３ｂを設け、支点軸２３ｂがはまる溝の深さをパッド押さえ２４で変えるようにした。 （もっと読む）

【課題】被搬送物を着脱自在に確実にかつ安定して吸着して保持する保持装置を提供すること。
【解決手段】基部に配置されて第１通路１１１Ａを有する継手部１１１と、第２通路１１３Ａを有し第１通路１１１Ａと第２通路１１３Ａを通じて吸引することで被搬送物Ｄを保持するノズル先端部１１３と、ノズル先端部１１３と継手部１１１を接続する伸縮自在な胴体部１１４であり、第２通路１１３Ａと第１通路１１１Ａとを連絡する胴体部１１４と、ノズル先端部１１３と継手部１１１の間に配置されてノズル先端部１１３を継手部１１１から離れる方向に沿って付勢するための付勢部材と、基部に対して固定されている受け部１１６でありノズル先端部１１３が被搬送物Ｄを吸着する時にノズル先端部１１３を付勢部材１１５の力に抗してノズル先端部１１３の軸方向に移動する際にノズル先端部１１３を案内する案内孔を有する受け部１１６を備える。 （もっと読む）

【課題】吸着し保持する対象物を開放するとともに伸縮可能でチャック装置との干渉を避けることができる保持装置を提供する。
【解決手段】伸縮型保持装置１０は、流体を独立して導入排出可能な帯状の管であって一体的に形成された第１変形部２a、第２変形部２b、第３変形部２c及び第４変形部２dと、各変形部に密着かつ固定されて板状に形成された真空排気可能な帯状の管で吸着穴５を有する保持部６とを備え、各変形部と保持部６とが密接する箇所に、形状維持用スプリング８a、８b、８c、８dが設けられている。保持部６を真空排気して基板を吸着保持し、各変形部に充填した流体を排出して流体圧をゼロにしていくと形状維持用スプリング８a、８b、８c、８dの自然状態の形状に変形していき、保持装置の先端が曲がり、チャック装置との干渉を避けることができる。可変ステージ及び可変ハンドとして使用可能である。 （もっと読む）