光磁気記録用磁気ヘッド
【構成】 飽和磁束密度Ｂ10が２５℃において５４００Ｇよりも大きいか又は９２℃において４２００Ｇよりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトより成る磁気コアと、２０℃〜５００℃における熱膨張率が１２０×１０-7〔１／℃〕以上１５０×１０-7〔１／℃〕以下である非磁性材料からなるスライダーとがガラスボンディングにより接合されている。非磁性材料は、ＮｉＯを主成分とし少なくともＣａＯ，ＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＭｎＯのうち１つ以上の成分が添加されたセラミックであるか、または結晶化ガラスである。
【効果】 磁気コアとスライダーとの間で熱膨張率を略一致させることができるため、ガラスボンディングによる接合が可能である。また、磁気コアの飽和磁束密度を大きくしたことにより、磁界を高周波で変調する際にも、磁気コア内部での磁束の飽和が発生し難く、したがって記録信号の周波数の上限を高め、より高速の信号記録が実現される。
【効果】 磁気コアとスライダーとの間で熱膨張率を略一致させることができるため、ガラスボンディングによる接合が可能である。また、磁気コアの飽和磁束密度を大きくしたことにより、磁界を高周波で変調する際にも、磁気コア内部での磁束の飽和が発生し難く、したがって記録信号の周波数の上限を高め、より高速の信号記録が実現される。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁界変調方式の光磁気記録に使用される変調磁界発生用の磁気ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
（Ａ）従来より、光磁気記録媒体としての光磁気ディスクに磁界変調方式により信号記録を行なうための光磁気記録用磁気ヘッドとしては、例えば図６及び図７に示すようなコンポジット型の浮上磁気ヘッドが一般に使用される。ここで、Ｃは“コ”の字型の磁気コアであり、通常高透磁率のＭｎ−Ｚｎフェライトから成る。磁気ヘッドは、ディスクの高速回転にともなって生じる空気流によりディスクとの間に微小な間隔を保ち浮上走行するために、空気力学的な浮上面形状を有するスライダーＳに搭載される。スライダーＳは通常は非磁性のセラミックであるＣａＯ−ＴｉＯ2 よりなり、スライダーＳと磁気コアＣとはガラスＧによりボンディング接合される。その際、磁気コアＣの開放端側がスライダーＳの浮上面側に向けられるとともに、磁気コアＣの主磁極Ｐの周囲にはコイルＷが巻回される。
【０００３】コイルＷに記録されるべき情報信号により変調された電流が供給されると、磁気コアＣの主磁極Ｐの端面よりディスクに対して垂直な方向に磁界を発生するのである。
【０００４】さて、ここで前記したスライダーＳを成す非磁性のセラミックに対しては次のような特性が要求される。
【０００５】まず第１には、スライダーＳがディスクとの摺動や摩擦により摩耗することを防ぐために十分な硬度を有することが必要であり、少なくともビッカース硬度５００〔ｋｇ／ｍｍ2 〕以上でなければならない。上記のセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 の場合、ビッカース硬度は約８５０〔ｋｇ／ｍｍ2 〕であり、この条件を満たす。
【０００６】さらに第２には、磁気ヘッド製造時に磁気コアＣとスライダーＳとを数百度の温度でガラスボンディング接合する際に両者の熱膨張率の差により磁気コアＣ，スライダーＳ，ガラスＧ等が割れることを防ぐために、磁気コアＣとスライダーＳとの熱膨張率が略一致するような材料により構成することが必要である。上記のセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 の場合、２０℃〜５００℃の間の熱膨張率は、その組成比を変えることにより１００×１０-7〜１１８×１０-7〔１／℃〕の間で任意のものが作製可能である。そこで磁気コアＣをなすＭｎ−Ｚｎフェライトとしては上記のセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 と熱膨張率が略一致するものを選択して使用するのである。実際にはこれら相互の熱膨張率の許容差は最大５×１０-7〔１／℃〕程度である。
【０００７】これについてさらに詳細に説明する。
【０００８】次に示す表１および表２は、各々代表的なセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 とＭｎ−Ｚｎフェライトの試料について、その組成、熱膨張率、２５℃における飽和磁束密度Ｂ10について比較したものである。
【０００９】
【表１】
【００１０】
【表２】
これらの表におけるセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 とＭｎ−Ｚｎフェライトの熱膨張率の比較により、セラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 の試料Ｓ1 とＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ3 の組み合わせ、および、セラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 の試料Ｓ2 とＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ4 の組み合わせが利用できることが解る。
【００１１】しかしながら、セラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 の試料Ｓ1 に適合するＭｎ−Ｚｎフェライトの熱膨張率は最高でも１２３×１０-7〔１／℃〕程度であるから、Ｍｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ1 ，Ｃ2 の様に熱膨張率が１２３×１０-7〔１／℃〕よりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトについては適合するセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 がないため、従来、実用化されていなかった。
【００１２】なお、補足するとセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 のＣａＯ成分の組成比を増大させると熱膨張率も増大する傾向があるが、ＣａＯ成分が過剰となると前述のスライダーの浮上面を鏡面加工することが困難となるため、実際的には熱膨張率を最大とする組成は表中の試料Ｓ1 に示すようなものであるから、従来のセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 において熱膨張率を１１８×１０-7〔１／℃〕よりも大きくすることはできないのである。
【００１３】以上述べたように、従来の光磁気記録用磁気ヘッドにおいては、スライダーをセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 により構成しているのであるが、その熱膨張率が最大となるのは例えば前記の試料Ｓ1 のような組成であって、その値は１１８×１０-7〔１／℃〕である。また一方、磁気コアを構成するＭｎ−Ｚｎフェライトはスライダーとのガラスボンディングを可能とする上でスライダーを構成するセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 と熱膨張率を略一致（許容差５×１０-7〔１／℃〕以内）させる必要がある。このため、例えば前記の試料Ｃ3 のような組成のものが選択されるのである。
【００１４】ところで、近年光磁気記録装置における信号記録の高速化に対する要求が高まりつつある。このため、より高い周波数で磁界を変調することが磁気ヘッドに求められる。ところが、磁界の変調周波数を高くした場合には、磁気コアおよびコイルにおける高周波損失が増大するために、磁気ヘッドが発熱することが知られている。図８は、本発明者の実験により得られた磁界の変調周波数と磁気ヘッドの温度上昇の関係の一例を示したグラフである。これによると、磁界の変調周波数を６ＭＨｚとした場合、磁気ヘッドの温度は約３２℃ほど上昇する。ここで、実際の光磁気記録装置の内部の温度環境は最高で６０℃程度になることを考慮すると、磁気ヘッドの動作温度は６ＭＨｚで約９２℃となるのである。
【００１５】また一方、磁気ヘッドの磁気コアを成すＭｎ−Ｚｎフェライトは温度の上昇により飽和磁束密度が低下することが知られている。例えば、前記したＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ1 〜Ｃ4 について、飽和磁束密度Ｂ10と温度の関係を図９に示す。ここで、磁界発生の際に、特に磁気コアＣのコイルＷが巻回される主磁極Ｐの内部は磁束密度が高く磁束の飽和が生じやすい。磁束が飽和すると信号記録に必要な十分な強度の磁界発生ができなくなる。磁束の飽和を防ぐためには、磁気コアＣを十分に飽和磁束密度の高いＭｎ−Ｚｎフェライトで構成することが重要である。一般的には、良好な信号記録を行なうため十分な強度の磁界を発生しようとすると、磁気コアＣの飽和磁束密度Ｂ10は４２００Ｇ（図中破線で示すレベル）以上でなければならない。Ｍｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ3 については飽和磁束密度Ｂ10が４２００Ｇ以上であるのは約９２℃以下であり、また試料Ｃ4については約６０℃以下である。
【００１６】ところが、上述のような事情により、光磁気記録装置内の温度環境は最高で６０℃程度であり、これに加えて磁界変調時には変調周波数に応じて磁気ヘッドの高周波損失による温度上昇があるので、磁気ヘッドの温度を９２℃以下とするには磁界変調周波数を６ＭＨｚ以下としなければならない。したがって、従来のＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ3 を使用する場合の磁界変調周波数は６ＭＨｚ以下に限られる。
【００１７】また、Ｍｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ4 については、光磁気記録装置内の温度環境を考慮すると、使用できないのである。
【００１８】一方、試料Ｃ1 ，Ｃ2 については、試料Ｃ3 よりもさらに飽和磁束密度Ｂ10が高く、試料Ｃ1 では飽和磁束密度Ｂ10が４２００Ｇ以上であるのは約１２２℃以下、試料Ｃ2 では約１１０℃以下である。即ち、光磁気記録装置内の温度環境を６０℃とした場合、試料Ｃ1 では約６２℃、試料Ｃ2 では約５０℃の温度上昇まで許容されることがわかる。これらの値から、図８により試料Ｃ1 では磁界変調周波数は最高約１２．６ＭＨｚ、試料Ｃ2 では最高約１０ＭＨｚであることがわかる。このように飽和磁束密度Ｂ10が大きいＭｎ−Ｚｎフェライトを磁気コアとして使用することは、信号記録の高速化を実現するうえで非常に有効な手段である。
【００１９】ところが、前述のようにＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ1 ，Ｃ2 のような飽和磁束密度Ｂ10の大きいものについては、熱膨張率を略一致させるＣａＯ−ＴｉＯ2 セラミックが無いために、磁気コアとスライダーのガラスボンディング接合ができず、実用化がなされていない。
【００２０】このような磁気コアの飽和磁束密度にかかわる問題は、光磁気記録用磁気ヘッドと同じくＣａＯ−ＴｉＯ2 セラミックよりなるスライダーとＭｎ−Ｚｎフェライトより成る磁気コアから構成された磁気ディスク装置用のコンポジット型の浮上磁気ヘッドにおいても従来より知られているので、ここで対比して補足説明する。磁気ディスク装置等において、近年信号のより高密度な記録に対する要求が高まりつつある。一般的な磁気記録方式である面内記録においては、高密度で信号記録を行なう場合に特有の現象である記録減磁により良好な信号記録が妨げられる。この記録減磁を防ぐために記録媒体の保磁力を大きくする試みが種々なされている。これにともなって磁気ヘッドにより記録媒体に印加される記録磁界をより大きくすることが必要となってくる。ところが、従来の磁気コアを成すＭｎ−Ｚｎフェライトでは飽和磁束密度Ｂ10の大きさが不十分である。
【００２１】そこで、磁気ディスク装置用磁気ヘッドにおいては、磁束の集中が著しい磁気コアのギャップ部分に飽和磁束密度の十分に高いセンダスト等の金属磁性材料からなる膜を設けたいわゆるＭＩＧ（Ｍｅｔａｌ Ｉｎ Ｇａｐ）ヘッドによりこの問題を解決している。
【００２２】しかし、光磁気記録用磁気ヘッドの場合には、数十μｍ〜数百μｍ四方とかなり広い領域に均一な垂直磁界を発生するという目的のため先にも述べたようにギャップのない“コ”の字型の磁気コアを使用しており、磁束の飽和が磁気コアの内部で発生し易いため磁気ディスク装置用のＭＩＧヘッドのような解決手段をとることはできないのである。
【００２３】このように、光磁気記録用磁気ヘッドにおける飽和磁束密度にかかわる問題は、磁気ディスク装置用磁気ヘッドにおける同様の問題とは背景及びとりうる解決手段が異なるのである。
【００２４】（Ｂ）また、従来、ディスク状の磁気記録媒体に対して、光ビームを照射した状態で、磁界変調方式で上記記録媒体に情報の書き込みを行うオーバーライト可能な光磁気記録再生装置は、種々提案されている（特開昭５１−１０７１２１号公報、特開昭６３−２１７５４８号公報、特開昭５９−２１５００８号公報、特公昭６０−４８８０６号公報など参照）。ここでは、光磁気記録媒体に対して、オーバーライトするために、磁気ヘッドスライダーに磁気コイル及びコアを配設し、これを回転する上記光磁気記録媒体に対向して配設し、両者の間に生じる空気流で上記磁気ヘッドスライダーを上記光磁気記録媒体上で浮上させている。このため、磁気ヘッドスライダーは、光磁気記録媒体が所定の回転数の時には、上記空気流の働きで、上記光磁気記録再生装置による記録、再生、消去などの過程で摩耗損傷されることはない。
【００２５】しかしながら、上記光磁気記録媒体の駆動開始時あるいは駆動終了時には、相対回転数の低下で磁気ヘッドスライダーは浮上力を失い、上記光磁気記録媒体に対して上記磁気ヘッドスライダーが直接摺接することとなる。
【００２６】さらに、上記磁気ヘッドを高速でシーク動作させる場合に加えられる大きな加速度によっても浮上安定性が失なわれて、磁気ヘッドスライダーと媒体とが接触し、磁気ヘッドスライダーが摩耗損傷を受けやすくなる。このような事態を防ぐため、従来の光磁気記録用磁気ヘッドにおいては、上記スライダーとしては、ビッカース硬度８００〜９００と高硬度のセラミックＣａＴｉＯ3 が通常使用されるのである。ところが、このような材質をスライダーとして使用する場合、次のような問題点がある。
【００２７】第１には、スライダーが、媒体の表面に比べて非常に硬く、また潤滑特性を十分には備えていないため、前述のような磁気ヘッドスライダーと媒体との接触により、媒体表面が摩耗損傷を受け、正常な信号の記録、再生が行なえなくなるおそれがあることである。
【００２８】第２には、セラミックＣａＴｉＯ3 の電気抵抗率が３×１０12Ω・ｃｍ程度と高いため、同程度に電気抵抗率の高い媒体表面との摩擦により双方に静電気の帯電を生じやすく、このため、大気中に浮遊する塵埃がスライダーまたは媒体の表面に付着したり、また静電気による吸引力によりスライダーと媒体とが吸着するなどして、ヘッドクラッシュを生ずるおそれがあることである。
【００２９】第３には、セラミックＣａＴｉＯ3 の熱膨張係数が９０×１０-7〜１１８×１０-7〔１／℃〕程度と小さいため、磁気ヘッドのコアをガラス融着する際の熱応力によるクラック（ひび割れ）の発生を防ぐために、コアの材質が熱膨張係数が上記セラミックＣａＴｉＯ3 の値に近いフェライトに限定される点である。
【００３０】従来より、この種の用途に適したＭｎＯ，ＺｎＯ，Ｆｅ2 Ｏ3 を主成分とするフェライトにおいて熱膨張係数を上記の要求の範囲内とするためには、Ｆｅ2 Ｏ3 の組成比を５２モル％以下とする必要があった。ところが、このような組成のフェライトは、実効飽和磁束密度が５４００Ｇ以下であり、高密度信号記録に必要な大きさの発生磁界を得ることが困難であるという問題点がある。
【００３１】
【課題を解決するための手段】以上述べた従来の光磁気記録用磁気ヘッドにおける問題点を解決するために、本発明は、飽和磁束密度Ｂ10が２５℃において５４００Ｇよりも大きいか又は９２℃において４２００Ｇよりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトより成る磁気コアと、２０℃〜５００℃における熱膨張率が１２０×１０-7〔１／℃〕以上１５０×１０-7〔１／℃〕以下である非磁性材料からなるスライダーとが、ガラスボンディングにより接合されたことを特徴とする光磁気記録用磁気ヘッドを提供する。
【００３２】本発明では、上記非磁性材料を結晶化ガラスとすることができる。
【００３３】以上述べた従来の光磁気記録用磁気ヘッドにおける問題点を解決するために、本発明は、非磁性材料よりなるスライダーに磁界発生用コア及びコイルを配設し記録情報に対応した極性の磁界を光磁気記録媒体に印加する光磁気記録用磁気ヘッドにおいて、上記スライダーの少なくとも上記光磁気記録媒体に対向する部分の表面電気抵抗率を１×１０11Ω・ｃｍ以下としたことを特徴とする光磁気記録用磁気ヘッドを提供する。
【００３４】本発明では、上記スライダーの少なくとも上記光磁気記録媒体に対向する部分の表面硬度をビッカース硬度５００以上とすることができる。また、上記スライダーは少なくとも上記光磁気記録媒体に対向する部分に耐摩耗性の潤滑性かつ帯電防止性樹脂材料を設けたものとすることができる。
【００３５】更に、上記スライダーをＭｎＯ，ＮｉＯ，ＭｇＯのうち少なくともいずれかを主成分とする非磁性セラミックにより構成することができ、またＮｉＯを主成分とし少なくともＣａＯ，ＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＭｎＯのうち１つ以上の成分が添加されたセラミックとすることができる。
【００３６】
【実施例】以下、本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの具体的実施例について説明する。
【００３７】（Ａ）まず、本発明の第１の実施例において、磁気コアＣは、飽和磁束密度Ｂ10が２５℃において５４００Ｇよりも大きいか又は９２℃において４２００Ｇよりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトとして先に述べた試料Ｃ1 やＣ2 を用いて構成される。さらに、スライダーＳは、２０℃〜５００℃における熱膨張率が１２０×１０-7〔１／℃〕以上１５０×１０-7〔１／℃〕以下である非磁性材料として特にＮｉＯを主成分とし少なくともＣａＯ，ＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＭｎＯのうちの１つ以上が添加されたセラミックを用いて構成される。このようなセラミックとしては、例えば次の表３に示す試料Ｓ3 ，Ｓ4 ，Ｓ5 のようなものがある。
【００３８】
【表３】
ここで、主成分であるＮｉＯは、単体では熱膨張率が１６０×１０-7〔１／℃〕とかなり大きいが、上述のように添加物を適切な割合で配合することで、１２０×１０-7〜１５０×１０-7〔１／℃〕の間で所望の熱膨張率のセラミックを得ることができるのである。これについては、ここでは詳述しないが、例えば特公平３−４５０２４号公報等にくわしく述べられている。尚、主成分ＮｉＯの含有率は例えば３０〜７０モル％である。
【００３９】これらの試料はいずれもビッカース硬度が５００〔ｋｇ／ｍｍ2 〕以上であり、スライダーとして十分な耐摩耗性を有するものである。また、熱膨張率を従来のＣａＯ−ＴｉＯ2 セラミックよりも大きくしたことによって、飽和磁束密度Ｂ10が従来よりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトで構成した磁気コアとのガラスボンディングによる接合が可能となる。例えば、前述のＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ1 とセラミックの試料Ｓ3 との組み合わせや、Ｍｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ2 とセラミックの試料Ｓ4 またはＳ5 の組み合わせは、いずれも熱膨張率が略一致（許容差５×１０-7〔１／℃〕以内）であり、利用可能である。
【００４０】次に、本発明の第２の実施例について説明する。ここでも、第１の実施例と同様、磁気コアＣは、飽和磁束密度Ｂ10が２５℃において５４００Ｇよりも大きいか又は９２℃において４２００Ｇよりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトとして先に述べた試料Ｃ1 やＣ2 を用いて構成される。さらに、スライダーＳは、２０℃〜５００℃における熱膨張率が１２０×１０-7〔１／℃〕以上１５０×１０-7〔１／℃〕以下である非磁性材料として特に結晶化ガラスを用いて構成される。このような結晶化ガラスとしては、例えば次の表４に示す試料Ｓ6 ，Ｓ7 ，Ｓ8 ，Ｓ9 のようなものがある。
【００４１】
【表４】
なお、ここで示す試料は一例であって、これ以外にも適切な組成および組成比を選択することにより１２０×１０-7〔１／℃〕〜１５０×１０-7〔１／℃〕の間で所望の熱膨張率の結晶化ガラスを得ることができる。
【００４２】これらの試料はいずれもビッカース硬度が５００〔ｋｇ／ｍｍ2 〕以上であり、スライダーとして十分な耐摩耗性を有するものである。また、熱膨張率を従来のＣａＯ−ＴｉＯ2 セラミックよりも大きくしたことによって、飽和磁束密度Ｂ10が従来よりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトで構成した磁気コアとのガラスボンディングによる接合が可能となる。例えば、前述のＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ1 と結晶化ガラスの試料Ｓ6 の組み合わせや、Ｍｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ2 と結晶化ガラスの試料Ｓ9 の組み合わせは、いずれも熱膨張率が略一致（許容差５×１０-7〔１／℃〕以内）であり利用可能である。
【００４３】（Ｂ）図１は本発明の磁気ヘッドの使用状態を示す斜視図であり、図２は本発明の磁気ヘッドの一実施例を示す斜視図であり、図３は本発明の磁気ヘッドの他の実施例を示す斜視図である。これらの図において、符号１はスピンドルモーター（図示せず）によって駆動されるディスク状の光磁気記録媒体であり、この記録媒体の上表面には非磁性材料よりなる磁気ヘッドスライダー２が対向して配設されている。上記磁気ヘッドスライダー２は、スプリングアーム３で弾持されており、図２及び図３に示すように中央にスライド方向に延びるスリット２ａを具備する偏平なスライダー部分を備えている。上記スライダーには、ＭｎＯ，ＺｎＯ，Ｆｅ2 Ｏ3 を主成分とするフェライトよりなるコア４が設けられる。特にスライダー２を非磁性セラミックにより構成した場合、コア４はガラス融着により接着される（５は融着部分）。また、スライダー２を樹脂により構成する場合、コア４はスライダー２とともに一体モールド成形される。コア４は“コ”の字型でありその開放端を媒体側に向けて設けられる。コア４にはコイルが巻回され、コイルに供給した電流で発生磁界を変調している。
【００４４】特に本発明では、上記スライダー部分の少なくとも媒体に対向する部分は電気抵抗率が１×１０11Ω・ｃｍ以下の材料で構成し、さらに望ましくは、表面硬度をビッカース硬度５００以上とする。例えば、上記実施例では、上記媒体に対向する部分を含む磁気ヘッドスライダー２全体を、潤滑性を有する熱硬化性樹脂あるいは熱可塑性樹脂もしくは光硬化性樹脂に帯電防止剤成分としてカチオン性界面活性剤もしくはアニオン性界面活性剤等を配合しモールド成形で構成するとよい。なお、樹脂成分の具体例としては、弗素化樹脂、シリコン化樹脂が挙げられる。このようにスライダーを樹脂材料により構成する場合、十分な表面硬度（ビッカース硬度５００以上）とするのは困難であるが、これを補うために十分な潤滑性を付与することが重要である。
【００４５】なお、上記磁気ヘッドスライダー２は、少なくとも媒体に対向する部分の表面に、潤滑性薄膜の形で、弗素系化合物またはパーフルオロポリオキシアルキレンなどのグループに属する材料に帯電防止剤成分としてカチオン性界面活性剤もしくはアニオン性界面活性剤等を配合した材料をコーティングしてもよい。
【００４６】また、スライダーは、ＭｎＯ，ＮｉＯ，ＭｇＯのうちの少なくともいずれかを主成分とする非磁磁セラミック（ここで、ＭｎＯ，ＮｉＯ，ＭｇＯの含有率の合計は、例えば６０モル％以上である）、あるいは前記ＮｉＯを主成分とし少なくともＣａＯ，ＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＭｎＯのうち１つ以上の成分が添加された非磁性セラミックにより構成してもよい。この場合には、少なくともスライダーの媒体に対向する部分の表面硬度をビッカース硬度５００以上とすることができる。もちろん、セラミックによるスライダーに上記潤滑性薄膜をコーティングしてもよい。
【００４７】このように材料を特定することによる本発明の効果を実験の結果から説明する。
【００４８】（実験例−１）上記磁気ヘッドスライダー２の材料として、弗素化ポリイミド樹脂に、カチオン性界面活性剤として、ピリジニウム塩を１重量％配合した樹脂組成物を用いた。なお、弗素化ポリイミド樹脂は、モノマーとして、ジアミン例えば、２，２′−ビス（トリフルオロメチル）−４，４′−ジアミノビフェニルを用い、また酸二無水物例えばピロメリット酸二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）−ヘキサフルオロプロパン二無水物を用いることができ、ここでは上記２種類のポリイミド成分をモノマー段階で混合し、共重合体として使用した。この材料で作られた上記磁気ヘッドスライダーを、ＣＳＳテスト（ＣＯＮＴＡＣＴ ＳＴＡＲＴ ＳＴＯＰ ＴＥＳＴ）１０万回の耐久試験を行った結果、光磁気記録媒体表面に傷を付けることなく、また磁気ヘッドスライダー側においてもクラッシュを発生しなかった。なお、上記スライダーの表面電気抵抗率は８．５×１０8 Ω・ｃｍであった。
【００４９】（実験例−２）上記磁気ヘッドスライダーの材料として、セラミックＣａＴｉＯ3 を用い、これを、式Ｆ〔ＣＦ（ＣＦ3 ）ＣＦ2 −Ｏ−〕n −ＣＦ（ＣＦ3 ）ＣＦ3 ［但し、ｎは平均２８である］で示されるようなクライトックス１４３ＡＣ溶液にアニオン性界面活性剤としてスルホン酸を１．５重量％配合した溶液に浸漬したあと、静かに引き上げることで、表面に潤滑性薄膜を形成した。その後、硬化処理を行なった。このような処理を施した磁気ヘッドスライダーを、上記と同様なＣＳＳテストで１０万回の耐久試験を行った結果、光磁気記録媒体表面に傷を付けるとがなく、また磁気ヘッドスライダー側においてもクラッシュを発生しなかった。なお、上記スライダーの表面電気抵抗率は７．０×１０8 Ω・ｃｍであった。
【００５０】（比較例）因に、磁気ヘッドスライダーの材料として従来の材料即ちセラミックＣａＴｉＯ3 を用い潤滑性薄膜を形成しない場合、スライダーの表面電気抵抗率は３×１０12Ω・ｃｍであり、ＣＳＳによる１０万回の耐久試験で、潤滑性の不足および静電気の帯電によりクラッシュを発生し媒体表面を損傷した。
【００５１】（実験例３）上記磁気ヘッドスライダーの材料としてＭｇＯ，ＮｉＯを主成分とする非磁性のセラミック（ここで、ＭｇＯ含有率は５０モル％、ＮｉＯ含有率は５０モル％）を用いたところ、表面電気抵抗率は１×１０8 Ω・ｃｍであり、表面硬度はビッカース硬度８００であった。また、ＭｎＯ，ＮｉＯを主成分とする非磁性セラミック（ここで、ＭｎＯ含有率は６０モル％、ＮｉＯ含有率は４０モル％）を用いたところ、表面電気抵抗は４×１０10Ω・ｃｍであり、表面硬度はビッカース硬度６５０であった。また、ＮｉＯを主成分として６０モル％含みＣａＯを１０モル％、ＴｉＯ2 を３０モル％添加した非磁性セラミックを用いたところ、表面電気抵抗は６×１０8 Ω・ｃｍであり、表面硬度はビッカース硬度８３０であった。これらの磁気ヘッドをＣＳＳにより１０万回の耐久試験を行った結果、スライダーおよび媒体の表面の静電気の帯電は小さく、ともにクラッシュによる損傷は発生しなかった。さらに、上記のセラミックの熱膨張率は、いずれも１３０×１０-7〜１４０×１０-7〔１／℃〕であり、磁気ヘッドのコアの材質としてＦｅ2 Ｏ3 の組成比が５８〜６４モル％のフェライトを用いた場合に熱膨張率がほぼ一致し、ガラス融着によるクラックの発生はなかった。尚、上記のフェライトの実効飽和磁束密度Ｂ10は５７００〜６０００Ｇであって、発生磁界の大きさを従来よりも１５〜２０％程度大きくすることができ良好な信号記録が確認された。
【００５２】以上の様な本発明の光磁気記録用磁気ヘッドは、潤滑性及び帯電防止性を有するため、図４に示すような摺動型の磁気ヘッドとすることも可能である。即ち、磁気ヘッド４１の磁界発生面を凸の曲面に加工し、記録媒体（基板４２と記録のための磁性層４３と保護層４４とを有する）の保護層４４に対し接触摺動させるのである。尚、４５はレーザ光である。これによれば、従来の浮上磁気ヘッドよりも、記録媒体磁性層４３と磁気ヘッド４１との距離を短くできるので、従来のものと比べて、磁性層４３上での磁界強度が大きくなり、かつ記録媒体の面振れによる記録信号の乱れを低減させることも可能となる。尚、図５は磁性層と磁気ヘッドとの距離に対する磁性層の磁界強度の関係の一例を示す。
【００５３】
【発明の効果】
（Ａ）以上述べた様に、本発明による光磁気記録用磁気ヘッドは、飽和磁束密度Ｂ10が２５℃において５４００Ｇよりも大きいか又は９２℃において４２００Ｇよりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトより成る磁気コアと、２０℃〜５００℃における熱膨張率が１２０×１０-7〔１／℃〕以上１５０×１０-7〔１／℃〕以下である非磁性材料からなるスライダーとがガラスボンディングにより接合されたことを特徴とするものである。また、特に上記非磁性材料は、ＮｉＯを主成分とし少なくともＣａＯ，ＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＭｎＯのうち１つ以上の成分が添加されたセラミックであるか、または結晶化ガラスであることを特徴とするものである。
【００５４】このため、本発明による光磁気記録用磁気ヘッドは、従来よりも飽和磁束密度Ｂ10の大きいＭｎ−Ｚｎフェライトを磁気コアとして用いているにもかかわらず、スライダーとの間で熱膨張率を略一致させることができるためガラスボンディングによる接合が可能であり、また、スライダーのビッカース硬度も５００〔ｋｇ／ｍｍ2 〕以上と十分に大きく十分な耐摩耗性を有しており、実用性の高い磁気ヘッドである。
【００５５】このように、磁気コアの飽和磁束密度を従来よりも大きくしたことにより、磁界を高周波で変調する際にも、磁気コア内部での磁束の飽和が発生し難く、したがって従来は約６ＭＨｚであった記録信号の周波数の上限を高め、より高速の信号記録が実現されるのである。その一例として、磁気コアを前記したＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ1 により構成し、スライダーを前記したセラミックの試料Ｓ3 または結晶化ガラスの試料Ｓ6 で構成した場合、熱膨張率が略一致しておりガラスボンディングが可能である。この磁気ヘッドは最高約１２．６ＭＨｚの記録信号周波数において使用できるのである。また磁気コアを前記したＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ2 により構成し、スライダーを前記したセラミックの試料Ｓ4またはＳ5 あるいは結晶化ガラスの試料Ｓ9 で構成した場合、ガラスボンディングが可能である。この磁気ヘッドは最高約１０ＭＨｚの記録信号周波数において使用できる。
【００５６】（Ｂ）以上述べた様に、本発明による光磁気記録用磁気ヘッドは、スライダーの少なくとも光磁気記録媒体に対向する部分の表面電気抵抗率を１×１０11Ω・ｃｍ以下とすることにより、更に好ましくはこれに加えてスライダーの少なくとも光磁気記録媒体に対向する部分に潤滑性かつ帯電防止性を有する樹脂材料を設けるか又は非磁性セラミックによりスライダーを構成することにより、たとい光磁気記録媒体と磁気ヘッドスライダーとの間の相対回転数が低下したり上記磁気ヘッドの高速シーク動作により浮上安定性が失なわれたりして上記磁気ヘッドと媒体とが接触した場合でも、静電気の帯電を防いで塵埃の付着やスライダーと記録媒体との静電吸着を防止でき、これにより光磁気記録媒体の表面に傷を発生するのを避けることができ、また磁気ヘッドスライダー自体のクラッシュを避けることができる。
【００５７】また、摺動型の磁気ヘッドスライダーの少なくとも光磁気記録媒体に対向する部分に潤滑性かつ帯電防止性を有する樹脂材料を設けることにより、磁界変調記録特性をも向上させることができる。さらに、スライダーをＭｎＯ，ＮｉＯ，ＭｇＯのうち少なくとも１つを主成分とする非磁性セラミックあるいはＮｉＯを主成分とし少なくともＣａＯ，ＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＭｎＯのうち１つ以上の成分が添加された非磁性セラミックにより構成することにより、熱膨張率を１２０×１０-7〜１５０×１０-7〔１／℃〕と大きくすることができ、磁気ヘッドのコアの材質としてＭｎＯ，ＺｎＯ，Ｆｅ2 Ｏ3 を主成分としＦｅ2 Ｏ3 含有率５２モル％より大きいフェライトを用いた場合に熱膨張率が略一致するのでガラス融着によりクラックが発生することがない。上記フェライトの使用により実効飽和磁束密度Ｂ10を５４００Ｇよりも大きくすることができ、良好な信号記録に必要な強度の磁界を発生することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気ヘッドの使用状態を示す斜視図。
【図２】本発明の磁気ヘッドの一実施例を示す斜視図。
【図３】本発明の磁気ヘッドの他の実施例を示す斜視図。
【図４】本発明の磁気ヘッドの更に他の実施例を示す模式図。
【図５】磁性層と磁気ヘッドとの距離に対する磁性層の磁界強度の関係を示す図。
【図６】光磁気記録用磁気ヘッドの構成を示す斜視図。
【図７】光磁気記録用磁気ヘッドの磁気コアを示す拡大斜視図。
【図８】磁界の変調周波数と磁気ヘッドの温度上昇の関係を示すグラフ。
【図９】磁気コアをなすＭｎ−Ｚｎフェライト各種試料の温度と飽和磁束密度Ｂ10の関係を示すグラフ。
【符号の説明】
１ 光磁気記録媒体
２ スライダー
２ａ スリット
３ スプリングアーム
４ コア
５ ガラス融着部
４１ 摺動型磁気ヘッド
４２ 記録媒体基板
４３ 記録媒体磁性層
４４ 記録媒体保護層
４５ レーザー光
Ｃ 磁気コア
Ｓ スライダー
Ｇ ガラス
Ｗ コイル
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁界変調方式の光磁気記録に使用される変調磁界発生用の磁気ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
（Ａ）従来より、光磁気記録媒体としての光磁気ディスクに磁界変調方式により信号記録を行なうための光磁気記録用磁気ヘッドとしては、例えば図６及び図７に示すようなコンポジット型の浮上磁気ヘッドが一般に使用される。ここで、Ｃは“コ”の字型の磁気コアであり、通常高透磁率のＭｎ−Ｚｎフェライトから成る。磁気ヘッドは、ディスクの高速回転にともなって生じる空気流によりディスクとの間に微小な間隔を保ち浮上走行するために、空気力学的な浮上面形状を有するスライダーＳに搭載される。スライダーＳは通常は非磁性のセラミックであるＣａＯ−ＴｉＯ2 よりなり、スライダーＳと磁気コアＣとはガラスＧによりボンディング接合される。その際、磁気コアＣの開放端側がスライダーＳの浮上面側に向けられるとともに、磁気コアＣの主磁極Ｐの周囲にはコイルＷが巻回される。
【０００３】コイルＷに記録されるべき情報信号により変調された電流が供給されると、磁気コアＣの主磁極Ｐの端面よりディスクに対して垂直な方向に磁界を発生するのである。
【０００４】さて、ここで前記したスライダーＳを成す非磁性のセラミックに対しては次のような特性が要求される。
【０００５】まず第１には、スライダーＳがディスクとの摺動や摩擦により摩耗することを防ぐために十分な硬度を有することが必要であり、少なくともビッカース硬度５００〔ｋｇ／ｍｍ2 〕以上でなければならない。上記のセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 の場合、ビッカース硬度は約８５０〔ｋｇ／ｍｍ2 〕であり、この条件を満たす。
【０００６】さらに第２には、磁気ヘッド製造時に磁気コアＣとスライダーＳとを数百度の温度でガラスボンディング接合する際に両者の熱膨張率の差により磁気コアＣ，スライダーＳ，ガラスＧ等が割れることを防ぐために、磁気コアＣとスライダーＳとの熱膨張率が略一致するような材料により構成することが必要である。上記のセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 の場合、２０℃〜５００℃の間の熱膨張率は、その組成比を変えることにより１００×１０-7〜１１８×１０-7〔１／℃〕の間で任意のものが作製可能である。そこで磁気コアＣをなすＭｎ−Ｚｎフェライトとしては上記のセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 と熱膨張率が略一致するものを選択して使用するのである。実際にはこれら相互の熱膨張率の許容差は最大５×１０-7〔１／℃〕程度である。
【０００７】これについてさらに詳細に説明する。
【０００８】次に示す表１および表２は、各々代表的なセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 とＭｎ−Ｚｎフェライトの試料について、その組成、熱膨張率、２５℃における飽和磁束密度Ｂ10について比較したものである。
【０００９】
【表１】
【００１０】
【表２】
これらの表におけるセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 とＭｎ−Ｚｎフェライトの熱膨張率の比較により、セラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 の試料Ｓ1 とＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ3 の組み合わせ、および、セラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 の試料Ｓ2 とＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ4 の組み合わせが利用できることが解る。
【００１１】しかしながら、セラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 の試料Ｓ1 に適合するＭｎ−Ｚｎフェライトの熱膨張率は最高でも１２３×１０-7〔１／℃〕程度であるから、Ｍｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ1 ，Ｃ2 の様に熱膨張率が１２３×１０-7〔１／℃〕よりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトについては適合するセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 がないため、従来、実用化されていなかった。
【００１２】なお、補足するとセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 のＣａＯ成分の組成比を増大させると熱膨張率も増大する傾向があるが、ＣａＯ成分が過剰となると前述のスライダーの浮上面を鏡面加工することが困難となるため、実際的には熱膨張率を最大とする組成は表中の試料Ｓ1 に示すようなものであるから、従来のセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 において熱膨張率を１１８×１０-7〔１／℃〕よりも大きくすることはできないのである。
【００１３】以上述べたように、従来の光磁気記録用磁気ヘッドにおいては、スライダーをセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 により構成しているのであるが、その熱膨張率が最大となるのは例えば前記の試料Ｓ1 のような組成であって、その値は１１８×１０-7〔１／℃〕である。また一方、磁気コアを構成するＭｎ−Ｚｎフェライトはスライダーとのガラスボンディングを可能とする上でスライダーを構成するセラミックＣａＯ−ＴｉＯ2 と熱膨張率を略一致（許容差５×１０-7〔１／℃〕以内）させる必要がある。このため、例えば前記の試料Ｃ3 のような組成のものが選択されるのである。
【００１４】ところで、近年光磁気記録装置における信号記録の高速化に対する要求が高まりつつある。このため、より高い周波数で磁界を変調することが磁気ヘッドに求められる。ところが、磁界の変調周波数を高くした場合には、磁気コアおよびコイルにおける高周波損失が増大するために、磁気ヘッドが発熱することが知られている。図８は、本発明者の実験により得られた磁界の変調周波数と磁気ヘッドの温度上昇の関係の一例を示したグラフである。これによると、磁界の変調周波数を６ＭＨｚとした場合、磁気ヘッドの温度は約３２℃ほど上昇する。ここで、実際の光磁気記録装置の内部の温度環境は最高で６０℃程度になることを考慮すると、磁気ヘッドの動作温度は６ＭＨｚで約９２℃となるのである。
【００１５】また一方、磁気ヘッドの磁気コアを成すＭｎ−Ｚｎフェライトは温度の上昇により飽和磁束密度が低下することが知られている。例えば、前記したＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ1 〜Ｃ4 について、飽和磁束密度Ｂ10と温度の関係を図９に示す。ここで、磁界発生の際に、特に磁気コアＣのコイルＷが巻回される主磁極Ｐの内部は磁束密度が高く磁束の飽和が生じやすい。磁束が飽和すると信号記録に必要な十分な強度の磁界発生ができなくなる。磁束の飽和を防ぐためには、磁気コアＣを十分に飽和磁束密度の高いＭｎ−Ｚｎフェライトで構成することが重要である。一般的には、良好な信号記録を行なうため十分な強度の磁界を発生しようとすると、磁気コアＣの飽和磁束密度Ｂ10は４２００Ｇ（図中破線で示すレベル）以上でなければならない。Ｍｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ3 については飽和磁束密度Ｂ10が４２００Ｇ以上であるのは約９２℃以下であり、また試料Ｃ4については約６０℃以下である。
【００１６】ところが、上述のような事情により、光磁気記録装置内の温度環境は最高で６０℃程度であり、これに加えて磁界変調時には変調周波数に応じて磁気ヘッドの高周波損失による温度上昇があるので、磁気ヘッドの温度を９２℃以下とするには磁界変調周波数を６ＭＨｚ以下としなければならない。したがって、従来のＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ3 を使用する場合の磁界変調周波数は６ＭＨｚ以下に限られる。
【００１７】また、Ｍｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ4 については、光磁気記録装置内の温度環境を考慮すると、使用できないのである。
【００１８】一方、試料Ｃ1 ，Ｃ2 については、試料Ｃ3 よりもさらに飽和磁束密度Ｂ10が高く、試料Ｃ1 では飽和磁束密度Ｂ10が４２００Ｇ以上であるのは約１２２℃以下、試料Ｃ2 では約１１０℃以下である。即ち、光磁気記録装置内の温度環境を６０℃とした場合、試料Ｃ1 では約６２℃、試料Ｃ2 では約５０℃の温度上昇まで許容されることがわかる。これらの値から、図８により試料Ｃ1 では磁界変調周波数は最高約１２．６ＭＨｚ、試料Ｃ2 では最高約１０ＭＨｚであることがわかる。このように飽和磁束密度Ｂ10が大きいＭｎ−Ｚｎフェライトを磁気コアとして使用することは、信号記録の高速化を実現するうえで非常に有効な手段である。
【００１９】ところが、前述のようにＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ1 ，Ｃ2 のような飽和磁束密度Ｂ10の大きいものについては、熱膨張率を略一致させるＣａＯ−ＴｉＯ2 セラミックが無いために、磁気コアとスライダーのガラスボンディング接合ができず、実用化がなされていない。
【００２０】このような磁気コアの飽和磁束密度にかかわる問題は、光磁気記録用磁気ヘッドと同じくＣａＯ−ＴｉＯ2 セラミックよりなるスライダーとＭｎ−Ｚｎフェライトより成る磁気コアから構成された磁気ディスク装置用のコンポジット型の浮上磁気ヘッドにおいても従来より知られているので、ここで対比して補足説明する。磁気ディスク装置等において、近年信号のより高密度な記録に対する要求が高まりつつある。一般的な磁気記録方式である面内記録においては、高密度で信号記録を行なう場合に特有の現象である記録減磁により良好な信号記録が妨げられる。この記録減磁を防ぐために記録媒体の保磁力を大きくする試みが種々なされている。これにともなって磁気ヘッドにより記録媒体に印加される記録磁界をより大きくすることが必要となってくる。ところが、従来の磁気コアを成すＭｎ−Ｚｎフェライトでは飽和磁束密度Ｂ10の大きさが不十分である。
【００２１】そこで、磁気ディスク装置用磁気ヘッドにおいては、磁束の集中が著しい磁気コアのギャップ部分に飽和磁束密度の十分に高いセンダスト等の金属磁性材料からなる膜を設けたいわゆるＭＩＧ（Ｍｅｔａｌ Ｉｎ Ｇａｐ）ヘッドによりこの問題を解決している。
【００２２】しかし、光磁気記録用磁気ヘッドの場合には、数十μｍ〜数百μｍ四方とかなり広い領域に均一な垂直磁界を発生するという目的のため先にも述べたようにギャップのない“コ”の字型の磁気コアを使用しており、磁束の飽和が磁気コアの内部で発生し易いため磁気ディスク装置用のＭＩＧヘッドのような解決手段をとることはできないのである。
【００２３】このように、光磁気記録用磁気ヘッドにおける飽和磁束密度にかかわる問題は、磁気ディスク装置用磁気ヘッドにおける同様の問題とは背景及びとりうる解決手段が異なるのである。
【００２４】（Ｂ）また、従来、ディスク状の磁気記録媒体に対して、光ビームを照射した状態で、磁界変調方式で上記記録媒体に情報の書き込みを行うオーバーライト可能な光磁気記録再生装置は、種々提案されている（特開昭５１−１０７１２１号公報、特開昭６３−２１７５４８号公報、特開昭５９−２１５００８号公報、特公昭６０−４８８０６号公報など参照）。ここでは、光磁気記録媒体に対して、オーバーライトするために、磁気ヘッドスライダーに磁気コイル及びコアを配設し、これを回転する上記光磁気記録媒体に対向して配設し、両者の間に生じる空気流で上記磁気ヘッドスライダーを上記光磁気記録媒体上で浮上させている。このため、磁気ヘッドスライダーは、光磁気記録媒体が所定の回転数の時には、上記空気流の働きで、上記光磁気記録再生装置による記録、再生、消去などの過程で摩耗損傷されることはない。
【００２５】しかしながら、上記光磁気記録媒体の駆動開始時あるいは駆動終了時には、相対回転数の低下で磁気ヘッドスライダーは浮上力を失い、上記光磁気記録媒体に対して上記磁気ヘッドスライダーが直接摺接することとなる。
【００２６】さらに、上記磁気ヘッドを高速でシーク動作させる場合に加えられる大きな加速度によっても浮上安定性が失なわれて、磁気ヘッドスライダーと媒体とが接触し、磁気ヘッドスライダーが摩耗損傷を受けやすくなる。このような事態を防ぐため、従来の光磁気記録用磁気ヘッドにおいては、上記スライダーとしては、ビッカース硬度８００〜９００と高硬度のセラミックＣａＴｉＯ3 が通常使用されるのである。ところが、このような材質をスライダーとして使用する場合、次のような問題点がある。
【００２７】第１には、スライダーが、媒体の表面に比べて非常に硬く、また潤滑特性を十分には備えていないため、前述のような磁気ヘッドスライダーと媒体との接触により、媒体表面が摩耗損傷を受け、正常な信号の記録、再生が行なえなくなるおそれがあることである。
【００２８】第２には、セラミックＣａＴｉＯ3 の電気抵抗率が３×１０12Ω・ｃｍ程度と高いため、同程度に電気抵抗率の高い媒体表面との摩擦により双方に静電気の帯電を生じやすく、このため、大気中に浮遊する塵埃がスライダーまたは媒体の表面に付着したり、また静電気による吸引力によりスライダーと媒体とが吸着するなどして、ヘッドクラッシュを生ずるおそれがあることである。
【００２９】第３には、セラミックＣａＴｉＯ3 の熱膨張係数が９０×１０-7〜１１８×１０-7〔１／℃〕程度と小さいため、磁気ヘッドのコアをガラス融着する際の熱応力によるクラック（ひび割れ）の発生を防ぐために、コアの材質が熱膨張係数が上記セラミックＣａＴｉＯ3 の値に近いフェライトに限定される点である。
【００３０】従来より、この種の用途に適したＭｎＯ，ＺｎＯ，Ｆｅ2 Ｏ3 を主成分とするフェライトにおいて熱膨張係数を上記の要求の範囲内とするためには、Ｆｅ2 Ｏ3 の組成比を５２モル％以下とする必要があった。ところが、このような組成のフェライトは、実効飽和磁束密度が５４００Ｇ以下であり、高密度信号記録に必要な大きさの発生磁界を得ることが困難であるという問題点がある。
【００３１】
【課題を解決するための手段】以上述べた従来の光磁気記録用磁気ヘッドにおける問題点を解決するために、本発明は、飽和磁束密度Ｂ10が２５℃において５４００Ｇよりも大きいか又は９２℃において４２００Ｇよりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトより成る磁気コアと、２０℃〜５００℃における熱膨張率が１２０×１０-7〔１／℃〕以上１５０×１０-7〔１／℃〕以下である非磁性材料からなるスライダーとが、ガラスボンディングにより接合されたことを特徴とする光磁気記録用磁気ヘッドを提供する。
【００３２】本発明では、上記非磁性材料を結晶化ガラスとすることができる。
【００３３】以上述べた従来の光磁気記録用磁気ヘッドにおける問題点を解決するために、本発明は、非磁性材料よりなるスライダーに磁界発生用コア及びコイルを配設し記録情報に対応した極性の磁界を光磁気記録媒体に印加する光磁気記録用磁気ヘッドにおいて、上記スライダーの少なくとも上記光磁気記録媒体に対向する部分の表面電気抵抗率を１×１０11Ω・ｃｍ以下としたことを特徴とする光磁気記録用磁気ヘッドを提供する。
【００３４】本発明では、上記スライダーの少なくとも上記光磁気記録媒体に対向する部分の表面硬度をビッカース硬度５００以上とすることができる。また、上記スライダーは少なくとも上記光磁気記録媒体に対向する部分に耐摩耗性の潤滑性かつ帯電防止性樹脂材料を設けたものとすることができる。
【００３５】更に、上記スライダーをＭｎＯ，ＮｉＯ，ＭｇＯのうち少なくともいずれかを主成分とする非磁性セラミックにより構成することができ、またＮｉＯを主成分とし少なくともＣａＯ，ＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＭｎＯのうち１つ以上の成分が添加されたセラミックとすることができる。
【００３６】
【実施例】以下、本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの具体的実施例について説明する。
【００３７】（Ａ）まず、本発明の第１の実施例において、磁気コアＣは、飽和磁束密度Ｂ10が２５℃において５４００Ｇよりも大きいか又は９２℃において４２００Ｇよりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトとして先に述べた試料Ｃ1 やＣ2 を用いて構成される。さらに、スライダーＳは、２０℃〜５００℃における熱膨張率が１２０×１０-7〔１／℃〕以上１５０×１０-7〔１／℃〕以下である非磁性材料として特にＮｉＯを主成分とし少なくともＣａＯ，ＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＭｎＯのうちの１つ以上が添加されたセラミックを用いて構成される。このようなセラミックとしては、例えば次の表３に示す試料Ｓ3 ，Ｓ4 ，Ｓ5 のようなものがある。
【００３８】
【表３】
ここで、主成分であるＮｉＯは、単体では熱膨張率が１６０×１０-7〔１／℃〕とかなり大きいが、上述のように添加物を適切な割合で配合することで、１２０×１０-7〜１５０×１０-7〔１／℃〕の間で所望の熱膨張率のセラミックを得ることができるのである。これについては、ここでは詳述しないが、例えば特公平３−４５０２４号公報等にくわしく述べられている。尚、主成分ＮｉＯの含有率は例えば３０〜７０モル％である。
【００３９】これらの試料はいずれもビッカース硬度が５００〔ｋｇ／ｍｍ2 〕以上であり、スライダーとして十分な耐摩耗性を有するものである。また、熱膨張率を従来のＣａＯ−ＴｉＯ2 セラミックよりも大きくしたことによって、飽和磁束密度Ｂ10が従来よりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトで構成した磁気コアとのガラスボンディングによる接合が可能となる。例えば、前述のＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ1 とセラミックの試料Ｓ3 との組み合わせや、Ｍｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ2 とセラミックの試料Ｓ4 またはＳ5 の組み合わせは、いずれも熱膨張率が略一致（許容差５×１０-7〔１／℃〕以内）であり、利用可能である。
【００４０】次に、本発明の第２の実施例について説明する。ここでも、第１の実施例と同様、磁気コアＣは、飽和磁束密度Ｂ10が２５℃において５４００Ｇよりも大きいか又は９２℃において４２００Ｇよりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトとして先に述べた試料Ｃ1 やＣ2 を用いて構成される。さらに、スライダーＳは、２０℃〜５００℃における熱膨張率が１２０×１０-7〔１／℃〕以上１５０×１０-7〔１／℃〕以下である非磁性材料として特に結晶化ガラスを用いて構成される。このような結晶化ガラスとしては、例えば次の表４に示す試料Ｓ6 ，Ｓ7 ，Ｓ8 ，Ｓ9 のようなものがある。
【００４１】
【表４】
なお、ここで示す試料は一例であって、これ以外にも適切な組成および組成比を選択することにより１２０×１０-7〔１／℃〕〜１５０×１０-7〔１／℃〕の間で所望の熱膨張率の結晶化ガラスを得ることができる。
【００４２】これらの試料はいずれもビッカース硬度が５００〔ｋｇ／ｍｍ2 〕以上であり、スライダーとして十分な耐摩耗性を有するものである。また、熱膨張率を従来のＣａＯ−ＴｉＯ2 セラミックよりも大きくしたことによって、飽和磁束密度Ｂ10が従来よりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトで構成した磁気コアとのガラスボンディングによる接合が可能となる。例えば、前述のＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ1 と結晶化ガラスの試料Ｓ6 の組み合わせや、Ｍｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ2 と結晶化ガラスの試料Ｓ9 の組み合わせは、いずれも熱膨張率が略一致（許容差５×１０-7〔１／℃〕以内）であり利用可能である。
【００４３】（Ｂ）図１は本発明の磁気ヘッドの使用状態を示す斜視図であり、図２は本発明の磁気ヘッドの一実施例を示す斜視図であり、図３は本発明の磁気ヘッドの他の実施例を示す斜視図である。これらの図において、符号１はスピンドルモーター（図示せず）によって駆動されるディスク状の光磁気記録媒体であり、この記録媒体の上表面には非磁性材料よりなる磁気ヘッドスライダー２が対向して配設されている。上記磁気ヘッドスライダー２は、スプリングアーム３で弾持されており、図２及び図３に示すように中央にスライド方向に延びるスリット２ａを具備する偏平なスライダー部分を備えている。上記スライダーには、ＭｎＯ，ＺｎＯ，Ｆｅ2 Ｏ3 を主成分とするフェライトよりなるコア４が設けられる。特にスライダー２を非磁性セラミックにより構成した場合、コア４はガラス融着により接着される（５は融着部分）。また、スライダー２を樹脂により構成する場合、コア４はスライダー２とともに一体モールド成形される。コア４は“コ”の字型でありその開放端を媒体側に向けて設けられる。コア４にはコイルが巻回され、コイルに供給した電流で発生磁界を変調している。
【００４４】特に本発明では、上記スライダー部分の少なくとも媒体に対向する部分は電気抵抗率が１×１０11Ω・ｃｍ以下の材料で構成し、さらに望ましくは、表面硬度をビッカース硬度５００以上とする。例えば、上記実施例では、上記媒体に対向する部分を含む磁気ヘッドスライダー２全体を、潤滑性を有する熱硬化性樹脂あるいは熱可塑性樹脂もしくは光硬化性樹脂に帯電防止剤成分としてカチオン性界面活性剤もしくはアニオン性界面活性剤等を配合しモールド成形で構成するとよい。なお、樹脂成分の具体例としては、弗素化樹脂、シリコン化樹脂が挙げられる。このようにスライダーを樹脂材料により構成する場合、十分な表面硬度（ビッカース硬度５００以上）とするのは困難であるが、これを補うために十分な潤滑性を付与することが重要である。
【００４５】なお、上記磁気ヘッドスライダー２は、少なくとも媒体に対向する部分の表面に、潤滑性薄膜の形で、弗素系化合物またはパーフルオロポリオキシアルキレンなどのグループに属する材料に帯電防止剤成分としてカチオン性界面活性剤もしくはアニオン性界面活性剤等を配合した材料をコーティングしてもよい。
【００４６】また、スライダーは、ＭｎＯ，ＮｉＯ，ＭｇＯのうちの少なくともいずれかを主成分とする非磁磁セラミック（ここで、ＭｎＯ，ＮｉＯ，ＭｇＯの含有率の合計は、例えば６０モル％以上である）、あるいは前記ＮｉＯを主成分とし少なくともＣａＯ，ＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＭｎＯのうち１つ以上の成分が添加された非磁性セラミックにより構成してもよい。この場合には、少なくともスライダーの媒体に対向する部分の表面硬度をビッカース硬度５００以上とすることができる。もちろん、セラミックによるスライダーに上記潤滑性薄膜をコーティングしてもよい。
【００４７】このように材料を特定することによる本発明の効果を実験の結果から説明する。
【００４８】（実験例−１）上記磁気ヘッドスライダー２の材料として、弗素化ポリイミド樹脂に、カチオン性界面活性剤として、ピリジニウム塩を１重量％配合した樹脂組成物を用いた。なお、弗素化ポリイミド樹脂は、モノマーとして、ジアミン例えば、２，２′−ビス（トリフルオロメチル）−４，４′−ジアミノビフェニルを用い、また酸二無水物例えばピロメリット酸二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）−ヘキサフルオロプロパン二無水物を用いることができ、ここでは上記２種類のポリイミド成分をモノマー段階で混合し、共重合体として使用した。この材料で作られた上記磁気ヘッドスライダーを、ＣＳＳテスト（ＣＯＮＴＡＣＴ ＳＴＡＲＴ ＳＴＯＰ ＴＥＳＴ）１０万回の耐久試験を行った結果、光磁気記録媒体表面に傷を付けることなく、また磁気ヘッドスライダー側においてもクラッシュを発生しなかった。なお、上記スライダーの表面電気抵抗率は８．５×１０8 Ω・ｃｍであった。
【００４９】（実験例−２）上記磁気ヘッドスライダーの材料として、セラミックＣａＴｉＯ3 を用い、これを、式Ｆ〔ＣＦ（ＣＦ3 ）ＣＦ2 −Ｏ−〕n −ＣＦ（ＣＦ3 ）ＣＦ3 ［但し、ｎは平均２８である］で示されるようなクライトックス１４３ＡＣ溶液にアニオン性界面活性剤としてスルホン酸を１．５重量％配合した溶液に浸漬したあと、静かに引き上げることで、表面に潤滑性薄膜を形成した。その後、硬化処理を行なった。このような処理を施した磁気ヘッドスライダーを、上記と同様なＣＳＳテストで１０万回の耐久試験を行った結果、光磁気記録媒体表面に傷を付けるとがなく、また磁気ヘッドスライダー側においてもクラッシュを発生しなかった。なお、上記スライダーの表面電気抵抗率は７．０×１０8 Ω・ｃｍであった。
【００５０】（比較例）因に、磁気ヘッドスライダーの材料として従来の材料即ちセラミックＣａＴｉＯ3 を用い潤滑性薄膜を形成しない場合、スライダーの表面電気抵抗率は３×１０12Ω・ｃｍであり、ＣＳＳによる１０万回の耐久試験で、潤滑性の不足および静電気の帯電によりクラッシュを発生し媒体表面を損傷した。
【００５１】（実験例３）上記磁気ヘッドスライダーの材料としてＭｇＯ，ＮｉＯを主成分とする非磁性のセラミック（ここで、ＭｇＯ含有率は５０モル％、ＮｉＯ含有率は５０モル％）を用いたところ、表面電気抵抗率は１×１０8 Ω・ｃｍであり、表面硬度はビッカース硬度８００であった。また、ＭｎＯ，ＮｉＯを主成分とする非磁性セラミック（ここで、ＭｎＯ含有率は６０モル％、ＮｉＯ含有率は４０モル％）を用いたところ、表面電気抵抗は４×１０10Ω・ｃｍであり、表面硬度はビッカース硬度６５０であった。また、ＮｉＯを主成分として６０モル％含みＣａＯを１０モル％、ＴｉＯ2 を３０モル％添加した非磁性セラミックを用いたところ、表面電気抵抗は６×１０8 Ω・ｃｍであり、表面硬度はビッカース硬度８３０であった。これらの磁気ヘッドをＣＳＳにより１０万回の耐久試験を行った結果、スライダーおよび媒体の表面の静電気の帯電は小さく、ともにクラッシュによる損傷は発生しなかった。さらに、上記のセラミックの熱膨張率は、いずれも１３０×１０-7〜１４０×１０-7〔１／℃〕であり、磁気ヘッドのコアの材質としてＦｅ2 Ｏ3 の組成比が５８〜６４モル％のフェライトを用いた場合に熱膨張率がほぼ一致し、ガラス融着によるクラックの発生はなかった。尚、上記のフェライトの実効飽和磁束密度Ｂ10は５７００〜６０００Ｇであって、発生磁界の大きさを従来よりも１５〜２０％程度大きくすることができ良好な信号記録が確認された。
【００５２】以上の様な本発明の光磁気記録用磁気ヘッドは、潤滑性及び帯電防止性を有するため、図４に示すような摺動型の磁気ヘッドとすることも可能である。即ち、磁気ヘッド４１の磁界発生面を凸の曲面に加工し、記録媒体（基板４２と記録のための磁性層４３と保護層４４とを有する）の保護層４４に対し接触摺動させるのである。尚、４５はレーザ光である。これによれば、従来の浮上磁気ヘッドよりも、記録媒体磁性層４３と磁気ヘッド４１との距離を短くできるので、従来のものと比べて、磁性層４３上での磁界強度が大きくなり、かつ記録媒体の面振れによる記録信号の乱れを低減させることも可能となる。尚、図５は磁性層と磁気ヘッドとの距離に対する磁性層の磁界強度の関係の一例を示す。
【００５３】
【発明の効果】
（Ａ）以上述べた様に、本発明による光磁気記録用磁気ヘッドは、飽和磁束密度Ｂ10が２５℃において５４００Ｇよりも大きいか又は９２℃において４２００Ｇよりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトより成る磁気コアと、２０℃〜５００℃における熱膨張率が１２０×１０-7〔１／℃〕以上１５０×１０-7〔１／℃〕以下である非磁性材料からなるスライダーとがガラスボンディングにより接合されたことを特徴とするものである。また、特に上記非磁性材料は、ＮｉＯを主成分とし少なくともＣａＯ，ＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＭｎＯのうち１つ以上の成分が添加されたセラミックであるか、または結晶化ガラスであることを特徴とするものである。
【００５４】このため、本発明による光磁気記録用磁気ヘッドは、従来よりも飽和磁束密度Ｂ10の大きいＭｎ−Ｚｎフェライトを磁気コアとして用いているにもかかわらず、スライダーとの間で熱膨張率を略一致させることができるためガラスボンディングによる接合が可能であり、また、スライダーのビッカース硬度も５００〔ｋｇ／ｍｍ2 〕以上と十分に大きく十分な耐摩耗性を有しており、実用性の高い磁気ヘッドである。
【００５５】このように、磁気コアの飽和磁束密度を従来よりも大きくしたことにより、磁界を高周波で変調する際にも、磁気コア内部での磁束の飽和が発生し難く、したがって従来は約６ＭＨｚであった記録信号の周波数の上限を高め、より高速の信号記録が実現されるのである。その一例として、磁気コアを前記したＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ1 により構成し、スライダーを前記したセラミックの試料Ｓ3 または結晶化ガラスの試料Ｓ6 で構成した場合、熱膨張率が略一致しておりガラスボンディングが可能である。この磁気ヘッドは最高約１２．６ＭＨｚの記録信号周波数において使用できるのである。また磁気コアを前記したＭｎ−Ｚｎフェライトの試料Ｃ2 により構成し、スライダーを前記したセラミックの試料Ｓ4またはＳ5 あるいは結晶化ガラスの試料Ｓ9 で構成した場合、ガラスボンディングが可能である。この磁気ヘッドは最高約１０ＭＨｚの記録信号周波数において使用できる。
【００５６】（Ｂ）以上述べた様に、本発明による光磁気記録用磁気ヘッドは、スライダーの少なくとも光磁気記録媒体に対向する部分の表面電気抵抗率を１×１０11Ω・ｃｍ以下とすることにより、更に好ましくはこれに加えてスライダーの少なくとも光磁気記録媒体に対向する部分に潤滑性かつ帯電防止性を有する樹脂材料を設けるか又は非磁性セラミックによりスライダーを構成することにより、たとい光磁気記録媒体と磁気ヘッドスライダーとの間の相対回転数が低下したり上記磁気ヘッドの高速シーク動作により浮上安定性が失なわれたりして上記磁気ヘッドと媒体とが接触した場合でも、静電気の帯電を防いで塵埃の付着やスライダーと記録媒体との静電吸着を防止でき、これにより光磁気記録媒体の表面に傷を発生するのを避けることができ、また磁気ヘッドスライダー自体のクラッシュを避けることができる。
【００５７】また、摺動型の磁気ヘッドスライダーの少なくとも光磁気記録媒体に対向する部分に潤滑性かつ帯電防止性を有する樹脂材料を設けることにより、磁界変調記録特性をも向上させることができる。さらに、スライダーをＭｎＯ，ＮｉＯ，ＭｇＯのうち少なくとも１つを主成分とする非磁性セラミックあるいはＮｉＯを主成分とし少なくともＣａＯ，ＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＭｎＯのうち１つ以上の成分が添加された非磁性セラミックにより構成することにより、熱膨張率を１２０×１０-7〜１５０×１０-7〔１／℃〕と大きくすることができ、磁気ヘッドのコアの材質としてＭｎＯ，ＺｎＯ，Ｆｅ2 Ｏ3 を主成分としＦｅ2 Ｏ3 含有率５２モル％より大きいフェライトを用いた場合に熱膨張率が略一致するのでガラス融着によりクラックが発生することがない。上記フェライトの使用により実効飽和磁束密度Ｂ10を５４００Ｇよりも大きくすることができ、良好な信号記録に必要な強度の磁界を発生することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気ヘッドの使用状態を示す斜視図。
【図２】本発明の磁気ヘッドの一実施例を示す斜視図。
【図３】本発明の磁気ヘッドの他の実施例を示す斜視図。
【図４】本発明の磁気ヘッドの更に他の実施例を示す模式図。
【図５】磁性層と磁気ヘッドとの距離に対する磁性層の磁界強度の関係を示す図。
【図６】光磁気記録用磁気ヘッドの構成を示す斜視図。
【図７】光磁気記録用磁気ヘッドの磁気コアを示す拡大斜視図。
【図８】磁界の変調周波数と磁気ヘッドの温度上昇の関係を示すグラフ。
【図９】磁気コアをなすＭｎ−Ｚｎフェライト各種試料の温度と飽和磁束密度Ｂ10の関係を示すグラフ。
【符号の説明】
１ 光磁気記録媒体
２ スライダー
２ａ スリット
３ スプリングアーム
４ コア
５ ガラス融着部
４１ 摺動型磁気ヘッド
４２ 記録媒体基板
４３ 記録媒体磁性層
４４ 記録媒体保護層
４５ レーザー光
Ｃ 磁気コア
Ｓ スライダー
Ｇ ガラス
Ｗ コイル
【特許請求の範囲】
【請求項１】 飽和磁束密度Ｂ10が２５℃において５４００Ｇよりも大きいか又は９２℃において４２００Ｇよりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトより成る磁気コアと、２０℃から５００℃までの間の熱膨張率が１２０×１０-7［１／℃］以上１５０×１０-7［１／℃］以下である非磁性材料より成るスライダーとがガラスボンディングにより接合されたことを特徴とする光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項２】 上記非磁性材料は結晶化ガラスであることを特徴とする請求項１に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項３】 非磁性材料よりなるスライダーに磁界発生用コア及びコイルを配設し記録情報に対応した極性の磁界を光磁気記録媒体に印加する光磁気記録用磁気ヘッドにおいて、上記スライダーの少なくとも上記光磁気記録媒体に対向する部分の表面電気抵抗率が１×１０11Ω・ｃｍ以下であることを特徴とする光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項４】 上記スライダーの少なくとも上記光磁気記録媒体に対向する部分の表面硬度はビッカース硬度５００以上であることを特徴とする請求項３に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項５】 上記スライダーは少なくとも上記光磁気記録媒体に対向する部分に耐摩耗性の潤滑性かつ帯電防止性樹脂材料を設けていることを特徴とする請求項３に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項６】 上記スライダーはＭｎＯ，ＮｉＯ，ＭｇＯのうち少なくともいずれかを主成分とする非磁性セラミックにより構成されるものであることを特徴とする請求項１、請求項３または請求項４に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項７】 上記スライダーはＮｉＯを主成分とし少なくともＣａＯ，ＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＭｎＯのうち１つ以上の成分が添加された非磁性セラミックであることを特徴とする請求項１、請求項３または請求項４に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項１】 飽和磁束密度Ｂ10が２５℃において５４００Ｇよりも大きいか又は９２℃において４２００Ｇよりも大きいＭｎ−Ｚｎフェライトより成る磁気コアと、２０℃から５００℃までの間の熱膨張率が１２０×１０-7［１／℃］以上１５０×１０-7［１／℃］以下である非磁性材料より成るスライダーとがガラスボンディングにより接合されたことを特徴とする光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項２】 上記非磁性材料は結晶化ガラスであることを特徴とする請求項１に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項３】 非磁性材料よりなるスライダーに磁界発生用コア及びコイルを配設し記録情報に対応した極性の磁界を光磁気記録媒体に印加する光磁気記録用磁気ヘッドにおいて、上記スライダーの少なくとも上記光磁気記録媒体に対向する部分の表面電気抵抗率が１×１０11Ω・ｃｍ以下であることを特徴とする光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項４】 上記スライダーの少なくとも上記光磁気記録媒体に対向する部分の表面硬度はビッカース硬度５００以上であることを特徴とする請求項３に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項５】 上記スライダーは少なくとも上記光磁気記録媒体に対向する部分に耐摩耗性の潤滑性かつ帯電防止性樹脂材料を設けていることを特徴とする請求項３に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項６】 上記スライダーはＭｎＯ，ＮｉＯ，ＭｇＯのうち少なくともいずれかを主成分とする非磁性セラミックにより構成されるものであることを特徴とする請求項１、請求項３または請求項４に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項７】 上記スライダーはＮｉＯを主成分とし少なくともＣａＯ，ＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＭｎＯのうち１つ以上の成分が添加された非磁性セラミックであることを特徴とする請求項１、請求項３または請求項４に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開平６−１２４４０１
【公開日】平成６年（１９９４）５月６日
【国際特許分類】
【出願番号】特願平４−２９６５９１
【出願日】平成４年（１９９２）１０月９日
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【公開日】平成６年（１９９４）５月６日
【国際特許分類】
【出願日】平成４年（１９９２）１０月９日
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
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