容器内検査、修理、及び/又は他の作業を行う装置及び方法
【課題】継続している必要性は容器への人立入りなくHP及びUHP液を保管するために使用される容器の内部検査及び修理を実施する装置及び方法について存在する。
【解決手段】装置及び方法は、容器へ人立入りなく、及び容器に保管される物質の純度を予備定量最小水準未満に減少することができるであろう汚染物を導入することなく容器内で検査、修理、及び他作業を容易にする。
【解決手段】装置及び方法は、容器へ人立入りなく、及び容器に保管される物質の純度を予備定量最小水準未満に減少することができるであろう汚染物を導入することなく容器内で検査、修理、及び他作業を容易にする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、高純度(HP)及び超高純度(UHP)液のような特殊及び他物質を入れて輸送するのに使用される容器または中空容器に関する。より詳しくはこの発明は容器へ人の立入る必要なくそのような容器内面を検査及び/又は修繕するのに使用されることができる装置と方法に関する。
【0002】
エレクトロニクス産業で利用される新規技術展開及び拡張は製造工程において使用されるHP及びUHP 液のような特殊物質の増量要求につながる。特殊物質は、電子部品製造のような製造工程において使用され、高純度または超高純度のようなある性質を示す化学物質である。特殊物質は、例えば、粉、エマルション、懸濁液、及び、蒸気でありうる。専門語「液体」はここで使用されるように、ガス、液、昇華固体、及びそれらの組合せを包含するものと解釈される。
【0003】
関連生産装置異作業及び処理用に使用される特殊物質はppb水準において測定される不純物で製品配送を必要とするものとする。特殊ガス及び化学物質は生産費のおよそ0.01 パーセント〜およそ0.1 パーセントだけを説明できるが、これらの物質欠乏は、例えば、電子装置製造設備において、所望または必要生産量を維持する能力を危うくするかもしれない。ある事情において製造プロセスで汚染製品を使用することは、製造工程の非常に最後の段階、例えばウェーハー生産の場合に製品品質保証において決定されるだろう最終製品仕様を危うくするかもしれない。生産されたウェーハーは「規格外」とみなされることがあり、処分されることがあり、何百万ドルの損失を説明する。それゆえに特殊物質純度を配送中に保つことは実質的に意義がある。
【0004】
HPもしくUHP 液または他の特別品物質を保管するのに使用される容器の汚染は、特別品物質の容器への投入で特別品物質の予備定義純度レベルを危うくすることができる物質存在、または、運搬及び/又は容器で高純度製品の貯蔵中に不純物の侵入として識別されることができる。
【0005】
汚染物は固体、液体、及びガスの形をとることができる。汚染物は、例えば、以前に容器に貯蔵された別種類の物質からの残留物により形成されうる。汚染物は、例えば、容器の漏れによる周囲空気の容器内容積への浸透によっても導入されうる。より詳しくは周囲空気浸透により導入された酸素は、電子装置製造において使用されるHP及びUHP流体に関して汚染物と通常みなされる。酸素は容器の内面で汚酸化物を形成することができる。さらに酸素分子は、容器の内面で捕捉されることができ、HPもしくはUHP流体、またはその後容器に配置される他の特殊物質へ拡散することができる。HPまたはUHP流体が容器内に存するので、酸素分子はHPまたはUHP流体の濃度勾配により容器内面から抜き出されることができ、生産設備に運搬され、逆に最終製品仕様に影響することができる。
【0006】
特殊物質の汚染物として識別される物質は、用途に依存し、特殊物質の特定種類、特殊物質の製品仕様、及び、特殊物質の予定された使用のような要因で変化することができる。したがって、1つの用途において汚染物とみなされる物質は、他の用途において汚染物とみなされないことがある。例えば、酸素、炭化水素、金属粒子、水、及び窒素は、超臨界二酸化炭素の汚染物とみなされる。窒素は汚染物とみなされないが、NH3,NF3,及びCl2のような電子装置グレードガスの汚染物である。
【0007】
ある事情において、少量のHP及UHP物質を配送するより以前の配送方法は、もはや適用できないことがある。例えば、円筒ボトルまたは他の小形パッケージを用いる配送は、比較的多量のそのような物質の必要性により、ある製造工程においてはもはや許容されないことがある。例えば、超高純度「白アンモニア」(NH3)と三弗化窒素(NF3)の需要は、近年はかなり生長し、大量のこれらの物質は、今では多数の異なる製造工程において必要とされる。
【0008】
HP及びUHP物質を送出す大量送出し容器及びシステムは、近い過去において知られていないかまたは使用されていない。新規技術、例えば、種々の電子装置の生産に使用される最近の技術展開だけがNF3,NH3,CL2,HCl,及び、他の特殊物質並びに化学物質のような多量のHP及びUHP製品の要求量をもたらした。ボトルボンベのような小形容器は従来比較的少量のHP及びUHP製品の送出しに使用された。小形容器の作製についての要求条件は、厳密である一方で比較的容易に満たされることができる。それどころかHP及びUHP製品を運搬するのに使用される比較的小形容器及び器についての容器調製手順はよく知られている。例えば、「ベーク」として知られるオーブンでの単純容器加熱法は容器内面要求純度を達成することを助長する。調製されるかまたは「清浄処理された」といわれる容器は、UHP製品を汚染するおそれなくUHP製品を受けることが可能である。容器加熱のために使用される「ベーク」オーブンは、大きさと形状について変更することが可能であり、しかし、一般的にはボンベのような比較的小形容器の調製に限定される。
【0009】
大量に工業用ガスの送出しに必要なもののような大寸法容器または器は比較的小形容器の作製方法を利用することができない。大量HP及びUHP製品用新規容器調製方法は開発され、容器工業に導入された。例えば、およそ6,000-ポンドISO容器の調製は、「超高純度大量容器を状態調節する設備及び方法」という題の米国特許第6,616,769号明細書(特許文献1)及び米国特許第6,814,092号明細書(特許文献2)に記載される。これらの容器の調製は、より大容器は大きくて現存する「ベーク」オーブンには収まらないために、並びに、容器最高表面温度が、例えば、米国運輸省(DOT)、国際連合(UN)、国際海事危険物資(IMDG)、道路による危険物資の国際運賃に関するヨーロッパ協定(ADR)、安全コンテナ協約(CSC)等のような国運搬団体により規制されるために、より小形容器の作製よりもずっと複雑である。換言すれば、運搬容器として使用される大容器は、世界の運搬組織により規制される。例えば、DOT勧告によれば、ポータブルISOタンクT50型の最高外部温度は、タンクの熱応力及び疲れを導入することを防止するために、125°Fを越えるべきではない。明らかに、「ベーク」プロセスは、ベークが妥当な容器表面調製を達成するためには有意により高温を必要とするので、行われることができない。
【0010】
HP及びUHP製品の送出し用大寸法容器を清浄し、調製する方法は知られ、産業において実施中である。これらの方法は、かなり処理が難しく、相当の力と費用を必要とする。それゆえに容器純度の保存は、必須であり、送出HPまたはUHP製品収入と送出HPまたはUHP物質を用いて生産される装置品質に有効に影響を及ぼすことが可能である。例えば、半導体ウェーハーの製造プロセスの種々の段階は、NF3,NH3,CO2等のような送出HP及びUHP物質の使用に依存することが可能である。
【0011】
有効な努力は正味量のHP及びUHP物質についての送出し設備と手段を開発し、実行することを約束した。これらの送出しに関連する重要な挑戦の1つは、これらの容器がこれらの容器を危険にさらすことなく要求製品純度を運搬し、送出すために使用されることが可能である方法においてのバルクコンテナの設計及び調製であった。いくらかの特有の容器設計と調製手順は現在では知られている。高純度物質の取扱を満たす容器設計及び調製作業は、固定容器の場合は多少複雑ではない。しかし、ポータブルコンテナについては、製品純度達成及び保存作業はさらに難しい。ポータブルコンテナは、容器物質、設計、及び機械的性質を規制する標準によるばかりでなく、例えば、DOT、UN、IMDG、ADR、CSC、等を含む世界ここかしこの異なる国運搬団体によっても課される種々の規制に従うことを必要とする。これらの団体とその規制の役目は、大量の異なる物質を運送するポータブルコンテナが輸送工程中に周囲世界に対する危険を負わせない手段を講じるためである。容器設計、検査、運搬、及び、他の取扱手順は厳しく規制され、現存規制に従わない容器はどれも危険物資を運搬することに使用されることを許可されない。けれどもやはり若干数の容器設計、調製、及び検査手順は高純度製品要求条件に矛盾する。
【0012】
だれでも輸送適性容器に課される要求条件をわかり、標準容器設計、規制容器調製工程、検査手順、等になされるかまたはなされないかもしれないところをわからなければならないであろう。新規または改良容器設計および新規または改良調製並びに検査手順は国運搬団体により使用について承認されなければならないことがある。容器に課されるいくらかの検査関連要求条件例はITCO ACC MANUAL第3号:2003年1月の節「ISO 検査要求品質(“ISO Inspection Requirements”)」において示され、「人立入りについてタンクが立入りに安全であることを確保するのが貯蔵所管理者の責務である、これは低酸素のガス汚れについて検査を必要とすることがある。」と述べる。容器検査マニュアルから抜粋されるこの陳述は、タンク(容器)への人立入りの場合は適正条件は危険ガス残留物が容器内に取り残されず、酸素欠乏雰囲気が除去されるということである。後のものは容器が主容器汚染形成、例えば、金属酸化物及び他の望ましくない残留物源であるとすればエアパージを必要とする可能性がある。さらに、完全容器調製(汚染除去)手順は、容器が不活性ガスでパージされた後でも残留酸素を除去することを必要になる。容器面はその後に容器に導入されるUHP製品を汚すに十分であろう酸素有効量を捕捉することが可能である。全く必要とされる容器調製方法例は、例えば、US patent no. 6,616,769において記載される。相当量の時間、エネルギー、及び、金銭は、いつでもできるときに容器調製についての必要性を避けることにより省かれることができる。
【0013】
規制容器検査要求品質別例は、ITCO ACC MANUAL 第3号:2003年1月の章「圧力容器の受入れられない条件(“Pressure Vessel Not Acceptable Conditions”)」において見られることが可能である。例えば、以下の検査中にわかる容器条件は継続使用には不合格として検査容器を限定する可能性がある:
・ 溶接または母材についての欠点
・ 0.1 mm(0.004 inch)よりも深く研削を果たされる本体
・ 外殻厚を最小未満に減少する過剰研削または他金属減耗
・ 必要最小未満外殻厚を結果として生ずるかまたは汚れトラップ をもたらす腐食または点蝕
・ 応力腐食
・ 鋭角押込、折りじわ、または圧痕…
・ タンク外殻の上部3分の1についてそこで6 mm(0.25 inch) 大の圧痕
・ タンク外殻の底3分の2についてそこで10 mm(0.4 inch)大 の圧痕
【0014】
上に列挙された条件に従うために、厳密な内容器検査が必要とされる。検査は容器内面の目視定性分析ばかりでなく内部構造についてできるかぎりの表面不連続、粒度、形状実測も含むことが可能である。現在の実施基準の下では検査容器の人的立入りは必要検査品質を達するためには事実上避けられない。それで工業受入確立基準は内容器検査に関する人通路を通じて検査官による容器立入りを必要とするのである。したがって、人通路の大きさ、並びに大抵その位置も検査官による限界空間の安全立入り及び退去を保証することを規制される。
【0015】
世界周り輸送容器必要条件を制定する別文献はUNにより展開された。例えば、UN型式T50ポータブルISO タンクは無水アンモニアUN1005の運送と使用のための国際運搬において使用した。これらは修正安全コンテナ国際協約(CSC)、1972のコンテナ規定を満たすポータブルタンクであり、UN型規則6.7.3.15その他及びCSCに従って検査試験を受けなければならない。文献は、容器検査を実施することおよびこれらの検査を実施する厳密期間必要条件を規定することにも厳しい要求を課する。例えば、文献は、「・・・ポータブルタンクは最後の2.5または5年試験期日の満了後に充填されないものとする。試験期日内に充填されたタンクは最終定期試験期日の有効期限を越えて3月まで運搬されることが可能である・・・」と述べる。明らかに、遅れずに検査を完了されていなかったかまたは検査に合格しなかった容器は国際的物資送出しに使用されないことになっている。米国では、同種規則はDOTにより展開した。容器検査及び保守についてのCSC規則はCSC規則#2において扱われている。例えば:「・・・初検査は5年までに発生しなければならず、そしてその後少なくとも2.5年ごとに・・・」。CSC同様検査規則は検査を行なうことが可能である人を規定する。認定及び認可代理人の存在は本質的であり、これらの代理人だけが検査を行ない、継続使用について結局は容器を合格するかまたは合格しないことが可能である。下記のものはCSC文献別節においても述べられている:「・・・ここに記載された検査試験は有資格権者またはその授権法人により認定及び承認された検査官/代理権者により実行されるかまたは立会われなければならない。CSC及びUNタンク試験及び検査はそうすることを適性に認定されれば同じ検査官により実施されることが可能である。この仕事を実施することを認定された代表的代理権者は、米国船級協会(ABS)、フランス船級協会(Bureau Veritas)、ロイズ船級協会(Lloyds Register)等・・・・である。」。実際には、最後の例においての要求条件は認定検査官が容器に立入り、検査を行なうべきと要求する。容器が使用されて用いられることを続けることが可能であるかどうかについての最終意見は検査の完了でのみ発行されることが可能である。認定検査代理権者はHP及びUHP製品を運搬、供給する容器及び設備についての必要条件を詳細には熟知していない。それゆえに検査官は容器検査を実施することを認定されることが可能であるがHPまたはUHP商品を運搬する容器に立入ることを認定されることは可能でない。
【0016】
それゆえに、継続している必要性は容器への人立入りなくHP及びUHP液を保管するために使用される容器の内部検査及び修理を実施する装置及び方法について存在する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0017】
【特許文献1】米国特許第6,616,769号明細書
【特許文献2】米国特許第6,814,092号明細書
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【0018】
装置及び方法は、容器へ人立入りなく、及び容器に保管される物質の純度を予備定量最小水準未満に減少することができるであろう汚染物を導入することなく容器内で検査、修理、及び他作業を容易にする。
【0019】
装置の実施形態は予備定量最小純度を有する第一物質を保管するために使用される容器内で作業を実施することに提供される。装置は、本体;本体に可動連結され、装置が容器内で作業を実施しているときに容器面に装置を支持する車輪及び/又は軌道;及び、本体に取付けられ、装置が容器内で作業を実施しているときに少なくとも一部分が本体と容器面の間に配置された、外殻を含む。外殻と車輪及び/又は軌道は、第一物質が一以上の物質に暴露されるときに初物質純度を予備決定最小限未満に低下させない一以上の物質から形成される。
【0020】
システムの実施形態は容器内部に関する情報を獲得することに提供される。システムは容器内部に入ることができる装置を含む。装置は、本体;本体に取付けられたセンサー;装置から情報を伝達する少なくとも1つの送信機及び情報を蓄積する記憶−蓄積装置;及び、少なくとも部分的に本体を囲み、分解物破片及び粒状物質を装置の他部分から受けることができる外殻を含む。
【0021】
方法は予備定量最小純度を有する第一物質の存在において第一物質純度を予備決定最小限未満に低下させることなく作業するように形成された装置を提供すること;第一物質を収容するように形成された容器内容積に装置を挿入すること;及び装置を用いて容器検査及び/又は修繕することを含む。
【0022】
内容積を有する容器を検査する方法はセンサーを有する装置を提供すること;容器の外殻において形成された口から弁を取外すこと;装置を口を通って内容積へ導入すること;容器に関して情報をセンサーから獲得することを含む。
【図面の簡単な説明】
【0023】
前述の要約、および望ましい実施形態の以下の詳細な説明は添付図面と共に読まれるときによく理解される。図面は図解目的にのみ示され、添付の特許請求の範囲は図面において示される特定の実施形態に限定されない。図面において:
【0024】
【図1】検査、補修、及び/又は容器内他作業を実行する装置の実施形態側面図である。
【0025】
【図2】図1において示される装置正面図である。
【0026】
【図3】図1の線“A-A”によりとられる図1において示される装置上部横断面図である。
【0027】
【図4】容器内容積内の装置を描き、縦断面の容器を描く図1〜図4において示される装置側面図である。
【0028】
【図5】図4の視点から概略90度回転された視点からの表示“B”区域拡大図である。
【0029】
【図6】図1〜図4において示される装置の代替実施形態側面図である。
【0030】
【図7】図1〜図4において示される装置に関連して使用されることができる作業者コンソール透視図である。
【0031】
【図8】図4において示される容器内補修作業を実行するように構成され、図1〜図4において示される装置側面図である。
【0032】
【図9】図1〜図4及び図8において示される装置を図4において示される容器から回収するために使用されることができるつなぎ鎖と、つなぎ鎖を蓄積するために使用されることができるスプール及びハウジングのハウジング部分が取外された側面図である。
【0033】
【図10】図1〜図4及び図8において示され、救出装置と結び合わされて救出装置により図4において示される容器から回収される装置側面図である。
【0034】
【図11】その端に取付けられるカメラを有し、図4において描かれる容器内検査及び他作業を実行するケーブル側面図である。
【0035】
【図12】図1〜図4及び図8において示される装置が内容積に挿入され、それから回収されるときに容器内容積を周囲環境から分離する弁系を有する、図4において描かれる容器の代替実施形態側面図である。
【0036】
【図13】横断面弁系導管を描き、導管内に図1〜図4及び図8において示される装置を現わす図12においての表示“C”区域拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【0037】
図1〜図4、図8、及び図10は装置10実施形態を示す。装置10はコンテナまたは容器200内部を検査及び/又は補修するのに使用されることができる。容器200は、99.999パーセント以上の純度でアンモニア(NH3)のようなUHP液体を入れるために使用されることができる内容積202を規定する。装置10は以下に論じられるように容器200をUHPアンモニア貯蔵に不適当にする汚染物を導入することなく作動するように構成される。
【0038】
UHPアンモニアを収容するために使用される容器200に関する装置10の使用は例示目的だけのために記載される。装置10はまた超高純度ガス他物質を収容するのに使用される容器内部を検査するためにも使用可能である。
【0039】
装置10は内側及び容器200内機動に収まる大きさに作られる。例えば、容器200はその外殻208に開口部206を有する。各開口部206は圧力解放弁209(図4において擬似模型に示される)に適応する。容器200はまた内容積202を区画に分ける内じゃま板210を含む。じゃま板210はそれぞれ、例えば、図5において示されるV形開口部212を含む。装置10は内容積202内全区画に到達可能であるほど到達口206の少なくとも1つ及びV形開口部212に収まるだけ小さいことが必要である(関連圧力逃がし弁209が取外されるときに)。
【0040】
装置10は図3に示される本体20とそれぞれ本体20に装備される二つのモーター24を含む。装置10はまた二つの駆動車軸と、それぞれ駆動車軸28各自一つに取付けられる二つの車輪30aを含む。本明細書及び特許請求の範囲を通じて使用される術語「車輪」はローラー、円板、ドラム、円形フレーム等を包含することを意味する。
【0041】
各駆動車軸28は各モーター24が一つの車輪30aを駆動または回転するようにモーター24各自一つに接続される。代替実施形態は両方の車輪30aを駆動する一モーターを備え付け可能である。他の代替実施形態は二以上の駆動車軸28、二モーター24、二車輪30aを含むことが可能である。さらに代替実施形態は車輪30aの代わりにまたはそれに加えて軌道を備え付け可能である。装置10代替実施形態において使用可能である軌道は図1において擬似模型に描かれ、参照符号31で示される。
【0042】
モーター24は、炭化水素、水蒸気、粒状物質等のような排気関係汚染物を容積202に導入することを避けるために電動機であることができる。装置10はモーター24及び装置10の他電気部品に動力を供給する電池を含むことができる。
【0043】
装置10a形態について代替実施形態は図6において描かれる。装置10aは以下の例外及び以後言及される他の例外をもって装置10と実質的に同一である。装置10aは容器200外側に配置される電源から電力を装置10aに送るために使用されることができるケーブル29を含み、それによって電池必要性を排除する。
【0044】
車輪30aは容器200に貯蔵されるべきUHPアンモニア(または他特別品物質)を汚染しないであろう物質から形成されることができる、すなわち、車輪30aが形成される物質は、UHPアンモニアが物質に接触するとすればUHPアンモニア純度予備決定最小限未満に低下しないものである。この特徴は装置が内容積202にあって内容積202にその後に残存する間に物質粒子が車輪30aから遊離されるとすれば容器200においてのガス汚染を防止することを助長することができる。さらに車輪30aがそれで形成される物質の硬度は容器200がそれで形成される物質のもの未満であることができる。この特徴は車輪30aと容器200の接触により遊離される任意物質が容器200よりも車輪30aからの物質からなることを確保助長することができる。
【0045】
例えば、車輪30aは、PTFE及び白シリカ物質がこのUHPアンモニアを汚染しないものであるのでポリテトラフルオロエチレン(PTFE)または白シリカ物質から形成されることができる。さらにPTFEと白シリカ物質はそれぞれ容器200のような容器を形成するために普通に使用される金属材料のもの未満である硬度を有する。
【0046】
駆動車軸28のそれぞれは図3において示されるように駆動車軸28と結合車輪30aを胴体20に関して回転することを許す各ブッシュ38によって胴体20に連結されることができる。軸受はブッシュ38の代わりに代替実施形態において使用可能である。
【0047】
装置10はまた車軸40、及びそれぞれ車軸40の各端に取付けられる二つの車輪30bを含むこともできる。車輪30bは実質的に駆動車輪30aと同一であることができる。二つの追加ブッシュ38は車軸40が胴体20に関して回転できるように車軸40を胴体20に連結するために使用されることができる。
【0048】
装置10はまた図3において示されるように処理装置48を含むことができる。処理装置48は、例えば、マイクロプロセッサーであることができ;他型式の処理装置は代替において使用可能である。
【0049】
装置10はまた装置10と容器14外側に配置される作業者モジュール54で情報を伝送する遠隔測定システム50を含むことができる。作業者モジュールは図7において描かれる。遠隔測定システム50は図3において示されるように胴体に装備され、処理装置48に通信で連結される第一送受信機を含むことができる。遠隔測定システム50はまた作業者モジュール54の一部を構成する第二送受信機を含むことができる。第一及び第二送受信機は、例えば、無線周波数(RF)伝達により通信することができ;他種類の通信プロトコルは代替において使用可能である。
【0050】
情報は装置10と作業者コンソール54で代替装置10aにおいてケーブル29を通って伝送されることができ、それによって遠隔測定システムの必要性を排除する。
【0051】
処理装置48はモーター24の動作を制御して所望方向についての装置10の運動を実現する。より詳細にはモーター24のそれぞれは処理装置48を通って蓄電池34に電気的に接続されることができ、結果的に処理装置48が遠隔測定システム52によって作業者から受信される入力に応じて選択的に各モーター24を作動し、作動を止め、及び逆転することができる。作業者入力は手動式操作装置制御器または作業者モジュール54の一部を構成する他の適当装置を用いて発生されることができる。
【0052】
モーター24は作業者からの入力に応じて同時に同方向に作動されて前進方向及び後部方向について装置10の直線動作を促進することができる。
【0053】
装置10は車輪30aの差異運動を用いて操縦されることができる。より詳細には、装置はモーター24一方を作動する一方で他モーター24が作動を止められることにより;モーター24を反対方向に作動することにより;またはモーター24を同方向に異速度で動作することにより操縦されることができる。
【0054】
代替実施形態は車輪30bを変向する操舵機構を備え付けられることができる。代替実施形態はまたは車輪30bを駆動する追加の二モーター24を備え付けられることができる。
【0055】
装置10は胴体20に装備され、マイクロプロセッサー48に通信で連結される一以上のセンサーを含むことができる。センサーは特別用途において必要とされる特殊検査作業を実行することに適当な任意装置であることができる。例えば、装置10は図1及び図2において示されるようにビデオカメラ70を備え付けられることができる。ビデオカメラ70は適性表示装置と共に使用されるときに三次元像を発生しうる。装置10はしたがって配管及び他部品の破壊物破片、割れ、穴、不適当組立、及び、他の潜在的問題について容器200内部を目視検査するために使用されることができる。カメラ70は図1及び図2において示される粒子214のような容器200内有機堆積物の存在を確認するためにも使用されることができる。
【0056】
装置10は欠点または他問題が確認される容器200内の特定位置を地図作成するように構成されることができる。例えば、装置は赤外線距離測定計測器(示されない)を備え付けられ、処理装置48は装置が容器200内前定義表面または他の特徴に関して欠点または他問題座標を描くことを許す地図作成ソフトウェアでプログラムされることができる。
【0057】
他型式センサーは特別用途においての必要情報を得るためにカメラ70に加えてまたはその代わりに使用されることができる。例えば、代替実施形態装置10は音響、赤外線、X線、紫外線、または他型式センサーを備付け可能である。
【0058】
ビデオカメラ70は図1及び図2において示されるように電動取付台72と入れ子式アーム73を用いて胴体20に装備されることができる。取付台72はカメラ70が作業者コンソール54から遠隔測定システム50によって中継される作業者入力に応じて回しながら撮影され、胴体20に関して傾けられることを許す。入れ子式アーム73は遠隔測定システム50による追加の中継作業者入力に応じてカメラ70が取付台72に近くにまたはそれから遠くに動かされることを許す。代替実施形態はカメラ70について固定取付台及び/又は入れ子式でないアームで構成可能である。
【0059】
録画カメラ70は第一送受信機50aに通信を連結可能であり、結果的にカメラ70出力は作業者モジュール54に送信され、映像監視器74または他適当装置を用いて同時基準で表示されることができる。作業者モジュール54はまた映像カメラ70及び装置10任意他センサー出力を記録する記憶・蓄積装置75を含むこともできる。
【0060】
装置10の代替実施形態はカメラ70と装置10他センサーに通信を連結される回路基板上記憶・蓄積装置を含むことができ、装置が容器200から回収された後にカメラ70または他センサー出力が蓄積され、続いてダウンロードされることを許す。
【0061】
装置10は容器200内部から物質を集める手段を装備されることができる。この特徴は検査作業中に容器200内で発見される粒状物質のあるものまたはすべてを除去することが所望される用途において使用されることができる。物質試料は物質が容器200において貯蔵されるべきUHPアンモニアまたは他特別品物質に関しては汚染物であるかどうかを測定するために続いて分析されることができる。
【0062】
採集手段は、図1において示されるように、例えば、真空源76、真空源76に流体連絡する集合室78、及び、真空ライン79を通して集合室78と流体連絡する真空収集80を含むことができる。
【0063】
真空収集80は電動取付台81と入れ子式アーム82を用いて胴体20に装備されることができる。取付台82は作業者コンソール54から遠隔測定システム50によって中継される作業者入力に応じて真空収集80が掃引され、胴体20に関して傾けられることを許す。入れ子式アーム82は遠隔測定システム50による追加の中継作業者入力に応じて真空収集80を取付台81に向けてまたはそれから離れて動かされることを許す。代替実施形態は真空収集80について固定取付台及び/又は入れ子式でないアームで構成されることができる。
【0064】
容器200内に位置し、カメラ70または他検出器を用いて確認される粒子214は装置10を収集80端が図1において示されるように粒子214最近に配置されるように位置決定することにより採集されることができる。真空源76は次に作動されることができ結果的に、生ずる真空は粒子214を収集80に吸込み、集合室78に沈積させる。粒子214は装置が容器200から回収された後に検査及び分析のために集合室から検索されることができる。
【0065】
真空源76及び真空収集80はカメラ70または他センサーにより識別される擬似粒状物質が全く粒状物質であり、容器200の割れ、穴、又は他の欠陥ではないことを検証するためにも使用されることができる。より詳細には装置10は真空収集80が擬似粒状物質近傍に配置されるように機動されることができる。真空源76は作動され、作業者はカメラ70を介して擬似粒状物質が真空に応じて動くかどうかを監視することができる。真空に応じて動きの欠如は擬似粒状物質が実際には粒状物質よりむしろ容器200欠陥であるという指示である。
【0066】
装置10は固定または可動アーム(示されない)または擬似粒状物質を動かす他の適当装置を備え付けられることができる。この技術は真空源76及び真空収集80を用いて擬似粒状物質を動かすことを試みる代わりに使用されることができる。
【0067】
代替装置10aのケーブル29は装置10a上で容器200外側に配置される真空源と流体連絡する真空収集80に置かれる真空ラインを含むことができる。この特徴は装置10aに配置される真空源及び集合室の必要性を排除する。
【0068】
装置10はまた容器200内補修を実行するように構成されることができる。例えば、一定用途において容器200はその内面に容器200に収容される物質によりもたらされる腐蝕または他の損傷効果から表面を保護する塗膜を有することができる。装置10は、例えば、塗膜が引掻かれ、欠けており、さもなければ傷つけられているとわかった面を塗り重ねるために使用されることができる。特に、装置10は塗料加圧貯蔵器90を備え付けられることができる。貯蔵器90は図8において示されるように真空源76及び集合室78の変わりに胴体20に装備されることができる。噴霧ノズル94は真空収集80の代わりに入れ子式アーム82に取り付けられることができる。
【0069】
アーム82と取付台81は噴霧ノズル94が塗膜が傷つけられた面近傍に配置されるように操作されることができる。塗料は貯蔵器90から管路79とアーム82を通って噴霧ノズル94に供給され、傷つけ面の上に噴霧されて面を塗り重ねる。
【0070】
上述塗り重ね作業は例示目的だけのために開示され;装置10は他種類の補修作業を実行するように構成されることができる。
【0071】
装置10はまた外殻98を含むことができる。外殻98は外殻98が図1〜図3において示されるように胴体20と容器200下面の間で位置決定されるように胴体20に装備される。外殻98は油、潤滑油、及び作業中に装置10により放出される可能性がある他の潜在汚染物を受けることができる。外殻98により捕捉される潜在汚染物は図2において擬似模型に描かれ、参照符号99により示される。汚染物99は、例えば、多様な装置10可動及び非可動部の摩擦、装置10が経験することが可能である振動または機械衝撃、装置10内で使用される潤滑剤等に由来することができる。外殻98により捕捉された汚染物は装置10が回収されるにつれて容器200の内容積202から除去される。
【0072】
外殻98は容器200内に貯蔵されることになるUHPアンモニア(または他特別品)に適合した物質から造られることができる、すなわち、外殻98はUHPアンモニアが物質に接触するとすればUHPアンモニア純度を前決定最小限未満に低下しないものである物質から形成されることができる。この特徴は、外殻98部分は装置10が内容積202内で運転されながら遊離されるとすればUHPアンモニアについて汚染可能性を減少することができる。
【0073】
さらにそれで外殻98が形成される物質の硬度はそれで容器200が形成される物質のもの未満であることができる。この特徴は外殻98と容器200の偶然接触により遊離される任意物質は実質的に容器200よりも外殻98からの物質からなることを確保助長することができる。
【0074】
また、それで外殻98が形成される物質の硬度はそれで装置10の車軸28、40が形成される物質のもの未満であることができる。この特徴は外殻98と車軸28、40のこすれまたは他接触により遊離される任意物質が実質的に車軸28、40よりも外殻98からの物質からなることを確保助長することができる。
【0075】
代替実施形態は完全に胴体20を囲む外殻98を備え付けられることができる。外殻98は部分的に図2において描かれる。さらに外殻98、98aは例示目的だけのために実質的に曲線形状で描かれ;代替実施形態は他形状の外殻を有することができる。
【0076】
装置10は装置10が故障するかまたはさもなければその正常駆動及び操縦能力を使用して内容積202から出ることができなければ装置10を容器200の内容積202から回収する設備を備え付けられる。例えば、装置10はつなぎ鎖60を備え付けられることができる。つなぎ鎖60は装置10が容器200に入る前に胴体20または装置10他部品に結合されることができる。つなぎ鎖60はハウジング62内に保管されることができ、ハウジング62内に取付けられた巻枠またはスプール64に巻かれることができる。ハウジング62半分は図9において除去され、スプール64を現わす。
【0077】
ハウジング62と巻心64は容器200外側にある。つなぎ鎖60は装置10が容器200内及びそれを通って移動するにつれて巻心64から巻出される。ハウジング62及び巻心64から離れる装置10移動はつなぎ鎖を巻心64から巻出す。
【0078】
スプール64はつなぎ鎖60を巻心64に巻き返す設備を備え付けられることができる。この特徴は装置10が容器200内で実行できなくなれば装置10を検索するかまたは装置が容器200から通常に出るときにつなぎ鎖60を蓄積するために使用されることができる。例えば、ハンドル65は巻心64に装着されることができ、巻心64を回転する。巻心64はまたハウジング62に取付けられたモーター(示されない)により回転されることができる。モーターはハンドル65の代わりにまたはそれに加えて使用されることができる。さらに、ばね(示されない)はハウジング62と巻心64に接続され、装置10が容器200から通常にすなわちそれ自体動力及び操舵の下に出るにつれてつなぎ鎖60は自動的に巻き返されるように巻心64を巻方向に偏らせることができる。
【0079】
ハウジング62内部はつなぎ鎖が汚染物を容器200に導入する可能性を減少するためにヘリウムまたは窒素のような適性不活性ガスでパージされることができる。パージガス源はハウジング62内側または外側に配置されることができる。必要であればつなぎ鎖60表面は油残留物及び表面からの他潜在汚染物を除去するために、つなぎ鎖60が初期に巻心64に巻かれる前に溶媒または他適当手段により洗浄されることができる。さらに、つなぎ鎖60は容器200内に貯蔵されるべきUHPアンモニア(または他特別品物質)に適合した物質に包まれるかさもなければ外装されることができる。
【0080】
代替装置10aのケーブル29は装置10が容器200内で実行できなくなれば装置10aを検索するつなぎ鎖として使用されることができる。ケーブル29はハウジング62、巻心64、ハンドル65、及び選択によるモーター及びばねに実質的に同じである集成装置を用いて収納または格納されることができる。
【0081】
無力装置10はまた図10において描かれる救助装置100を用いて容器200内容積202から回収されることができる。救助装置100は別装置10または別種類の容器内使用に適当装置であることができる、すなわち、救助装置100は貯蔵されるべきUHPアンモニアまたは他特別品物質を汚染することなく容器200内で運転することができるであろう。
【0082】
装置10と救助装置100は装置10と救助装置100がかけ合わされることを許す特徴を含むことができる。救助装置100は、無力装置10とかけ合わされると図10において示されるように容器200外に装置10を牽引または押すことができる。
【0083】
例えば、装置10は図1〜図3及び図10において示されるように一以上の磁石102を含むことができる。磁石102は外殻98にまたは装置10についての他適当位置において取付けられることができる。救助装置100はまた磁石102の一以上を含むことができる。救助装置100は一のその磁石102を装置10一の磁石102最近に据えるように機動されることができ、結果的に磁石102の相互引力は磁石012を互いに固定し、救助装置100が図10において示されるように無力装置10を容器200内容積202外に牽引するかまたは押すときに装置10を救助装置100に結合維持する。
【0084】
装置10は図1〜図3及び図10において示されるようにフックまたはラッチのような一以上の機械結合具を含むことができる。結合具106は磁石102の代わりに使用されることができる。装置10は図解目的のために結合具106と磁石102の両方について描かれる。
【0085】
結合具106は外殻98にまたは装置10についての他適当位置において取付けられることができる。救助装置100はまた装置10においての結合具106とかけ合う一以上の結合具106を含むことができる。救助装置100はその一の結合具106が装置10においての一の結合具106にかけ合うように機動されることができる。かけ合わされた結合具106は救助装置106が図10において示されるように容器200内容積外に無力装置10を牽引するかまたは押すときに装置10を救助装置100に結合維持する。
【0086】
無力装置10は救助装置100の代わりに、誘導能力ケーブルを用いて容器200の内容積202から取り出されることができる。操縦ケーブルはケーブル端近傍に取付けられる磁石の一つ102または結合具106の一つを備え付けられることができる。ケーブル端は内容積202に挿入され、ケーブルの磁石102が無力装置10一の磁石102に関係するかまたはケーブルの結合具が装置10一の結合具106に関係するように操縦されることができる。ケーブルは次に容器200から取り出されて無力装置10を容器200から引くことができる。
【0087】
代替装置10aのケーブル29は装置10が容器200内で無力になれば容器200の内容積202から装置10aを引くのに使用されることができ、そのために救助装置100または操作ケーブル必要性を排除する。
【0088】
装置10代替実施形態は非自走式、すなわち非電動であることができる。非電動装置は前論された操作綱のようなケーブルを用いて容器200の内容積202を通して引かれることができる。より詳細にはケーブル第一端は到達口206によって容器200の中に経路設定されることができる。第一端は前論された磁石102または結合具106、または他適当手段を用いて装置に固定されることができる。末端部ケーブルは、すなわち、第一端から容器200の反対側に配置されるケーブル112部分は引き寄せられて装置を容器200を通って引出すことができる。
【0089】
他代替実施形態においてカメラ70のような適センサーは図11において示されるように操作ケーブル112のようなケーブル端に装備されることができる。容器200内部検査はケーブル112端と装備カメラ70を到達口206によって挿入し、その後ケーブル112を用いてカメラ70の位置を調整することにより行なわれることができる。
【0090】
被覆または包装113は必要であればケーブル112により発生される破片及び他潜在汚染物が容器200の内容積202に残されることを妨げるためにケーブル112の上に配置されることができる。被覆または包装は容器200に貯蔵されるべきUHPアンモニアまたは他特別品製品を汚染しないものである物質のために形成されることができる。
【0091】
装置10と作業者モジュール54の比較的小型寸法は装置10と作業者モジュール54の比較的容易輸送を促進する。装置10はしたがって容器200のような容器を現場で、すなわち容器が充填され、保守され、解体修理等される集積所または他施設から離れた使用または他場所の容器点において検査または修理するために使用されることができる。装置10は非汚染ガスのガスシールを装置10周囲に保持する箱またはコンテナで輸送されることができる。
【0092】
装置10は前に言及されるように容器200の圧力逃がし弁209に合う開口部206内に収まる大きさに作られることができる。したがって容器200は追加到達口を提供され、装置10を収める必要がある。到達口は容器200の漏れ可能源を示すので、装置10の使用は容器200への追加漏れ可能源導入を必要としない。
【0093】
装置10はその機動能力のために容器200全内容積202に実質的に達することができるので、装置10は開口部206のような単到達口により収められることができる。
【0094】
しかし二つの開口部206は作業者により所望されれば装置10を収めるのに使用されることができる。例えば、装置10は容器200第一端最近に配置される第一の口206を通って内容積202に投入され、容器200第二端最近に配置される第二口206を通って内容積202から除去される。
【0095】
代替的に、二開口部206は装置10についての入口及び出口点の両方としてそれぞれ使用されることができる、すなわち、容器200内容積202の一部は第一の口206を通って装置10により出入りされることができ、内容積202残部は他の口206を通って出入りされることができる。手順は、例えば、障害物が二開口部206間のいくらかの点において内容積202内に存在するとすれば使用されることができる。
【0096】
内容積200は内容積202への周囲空気侵入を妨げるために、安全逃がし弁209が容器200から装置10を収めるために取外される間に非汚染ガスまたは配合物ガスでパージされることができる。例えば、容器200がUHPアンモニアを収容するのに使用されるべき用途において、窒素パージは窒素が一般的にUHPアンモニアに関して非汚染と考えられるために内容積200において保持されることができる。
【0097】
窒素パージまたは任意他種酸素不足雰囲気の使用は、パージ容積への人立入りが必要とされるときには窒息危険を与える。さらに酸素不足環境においての使用に必要とされる呼吸装備は一般にHPまたはUHP物質を入れる容積においての使用に不適当である。装置10の使用は内容積202への人立入り必要性を排除することができ、したがってそのような立入りに関連する安全及び汚染問題を排除することができる。
【0098】
さらに、危険物を収容するために使用される容器は通常は人が検査または他目的のために容器に立入る前に汚染除去工程にさらされなければならない。装置10は、そのような容器への人立入りに対する必要を排除することによりそのような汚染除去の必要を排除することができる。
【0099】
人を容器200へ送る必要を排除することは容器200において人進路の必要を排除することができる。(容器200は図解の明瞭のために人進路なく描かれる。)典型人進路はそれを通した人通過を助けるために比較的大きく、例えば、直径について2.5-フィートであり、該当人進路覆いは同様に大きい。比較的大型人進路覆いは従って容器200の重量について有効減少になることができる。例えば、人案内カバーはおよそ2.0 インチ厚さ“S1”と概略2.5 フィート直径“D1”を有することができる;容器200外殻はおよそ0.5 インチの厚さを有することができる。それで人進路覆いが形成される材料密度はおよそ500 lb/cu. ft.の密度を有することができる。人進路カバーの重量は、π × ((D12)/4) × S1 × 密度=約409 ポンドと計算される。
【0100】
人進路覆いを削除することは結果において2.0-インチ厚さ人進路覆いを0.5-インチ厚さ外殻区分で置換する。外殻区分重量は上式を用いて、2.0-インチ厚さ人進路に0.5-インチ厚さ外殻を代入して計算されることができる。外殻区分結果重量は人進路よりもおよそ307 ポンド、またはおよそ102 ポンド軽い。追加軽量化は締結具、フランジ、及び、人通路カバーを締結、封止するために使用される硬質製品の削除により達成されることが可能である。さらに、容器200の内容積202は潜在的には人進路及び関連する硬質製品を排除することにより増加されることができる。
【0101】
容器200の重量を減少し、その内容積202を増加することは容器200において運搬されることができる物質全量を増加することができ、次には物質提供者の増加収入をもたらすことができる。組立費はまた潜在的には人進路を削除することにより減少されることができる。
【0102】
なお、一般に容器200のような容器において小口より比較的大口を封止することはより難しい。さらに密封困難は運送工程に関連する振動、衝撃、及び温度振れのために可搬容器について悪化されうる。したがって、比較的大の人進路及びその結合蓋を削除することは実質的に容器200について漏れ可能性を減少することができる。
【0103】
内容積202への人接近の必要を排除することは容器200の他特徴の削除または改良につながることができる。例えば、容器200の弁箱(必要されるところで)上救急応答蓋の寸法と厚さは縮小されることが可能であり、弁箱構造保全性は内容積202への人接近が必要とされなければ緩和されることが可能であり、容器200についてさらなる全重量軽減をもたらす。
【0104】
重量を減少し、容器内容積202を増加することは容器200において運搬されることができる物質全量を増加することができ、次には物質売り主及び/又は荷送人の増加収入をもたらすことができる。
【0105】
装置10は容器200の内容積202内に導入され、作動される一方で内容積200は容器200に入れられた UHPアンモニア及び他物質についての静蒸気圧に維持される。この作業方法は内容積202を窒素及び他非汚染物質でパージすることに関連する費用と整備時間を削減することができる。
【0106】
例えば、図12は装置10が容器200aの内容積に導入され、それから除去されることを許しながらHP、UHP、または他物質をよどみ蒸気圧に容器内で維持する弁システム180を描く。容器200aは設備180を除いて実質的に容器200と同じであることができる。
【0107】
設備180は第一弁182と第二弁184を含む。設備180はまた第一弁及び第二弁182、184を連結する第一導管186;及び、第一弁182と容器200aを接続する第二導管188を含む。設備180はまた第二弁184に連結される第三導管190を含む。設備180はさらに第一導管186に連結する清浄装置192を含む。
【0108】
装置10は図13において示されるように、第二弁184を開く一方で第一弁182はその閉鎖位置にあることにより、そして第三導管190と第二弁184によって装置10を第一導管186に挿入することで容器200a内容積に導入されることができる。
【0109】
第二弁184は次に閉じられることができ、清浄装置192は作動され、装置10が導入されたときに第一導管186に侵入する可能性がある任意周囲空気を第一導管186内の容積から取り除くことができる。パージ装置190は、例えば、真空を使用して第二導管186内の容積を排気し、その後に容積を容器200a内容積内部UHPアンモニアまたは他特別品物質を汚染しないものであるガスで充填することによりパージを実施することができる。
【0110】
第一弁182はパージが完了すると開けられることができ、装置10はそれ自体動力下に第一弁182と第二導管188によって容器200a内容積内に機動されることができる。第一弁182は続いて閉鎖され、内容積内へのまたはそれからの漏れ可能性を減少することができる。
【0111】
装置10は第一弁182を開け、第二導管188と第一弁182によって装置10を第一導管186へ機動することで容器200a内容積から除去されることができる。第一弁182は次に閉じられることができる。所望されれば第一導管186内の容積は清浄装置192を用いて容器200a内部からの物質を取り除かれ、周囲空気で充填されることができる。この段階は容器200a内物質が危険物であるとすれば必要とされる可能性がある。
【0112】
第二弁184は続いて開けられることができ、装置10は第二弁184と第三導管190によって弁設備180の外に機動されることができる。
【0113】
前述の記載は説明目的のために提供され、発明を限定すると解釈されないものである。本発明は望ましい実施形態または望ましい方法に関して記載されるけれども、ここで使用された言語は限定言語よりも記述及び例証言語であることがわかる。さらに、本発明は特定構造、方法、及び実施形態に関してここに記載されたけれども、この発明は添付特許請求の範囲内であるすべての構造、方法及び使用に展開するようにここで開示される特定のものに限定されることを意味しない。関連分野の熟達者はこの明細書の教授利益を有しここに記載されたようにこの発明に多数の改良をすることができ、変更は添付の請求項により定義されるこの発明範囲及び真意から逸れることなくなされることが可能である。
【技術分野】
【0001】
本発明は、高純度(HP)及び超高純度(UHP)液のような特殊及び他物質を入れて輸送するのに使用される容器または中空容器に関する。より詳しくはこの発明は容器へ人の立入る必要なくそのような容器内面を検査及び/又は修繕するのに使用されることができる装置と方法に関する。
【0002】
エレクトロニクス産業で利用される新規技術展開及び拡張は製造工程において使用されるHP及びUHP 液のような特殊物質の増量要求につながる。特殊物質は、電子部品製造のような製造工程において使用され、高純度または超高純度のようなある性質を示す化学物質である。特殊物質は、例えば、粉、エマルション、懸濁液、及び、蒸気でありうる。専門語「液体」はここで使用されるように、ガス、液、昇華固体、及びそれらの組合せを包含するものと解釈される。
【0003】
関連生産装置異作業及び処理用に使用される特殊物質はppb水準において測定される不純物で製品配送を必要とするものとする。特殊ガス及び化学物質は生産費のおよそ0.01 パーセント〜およそ0.1 パーセントだけを説明できるが、これらの物質欠乏は、例えば、電子装置製造設備において、所望または必要生産量を維持する能力を危うくするかもしれない。ある事情において製造プロセスで汚染製品を使用することは、製造工程の非常に最後の段階、例えばウェーハー生産の場合に製品品質保証において決定されるだろう最終製品仕様を危うくするかもしれない。生産されたウェーハーは「規格外」とみなされることがあり、処分されることがあり、何百万ドルの損失を説明する。それゆえに特殊物質純度を配送中に保つことは実質的に意義がある。
【0004】
HPもしくUHP 液または他の特別品物質を保管するのに使用される容器の汚染は、特別品物質の容器への投入で特別品物質の予備定義純度レベルを危うくすることができる物質存在、または、運搬及び/又は容器で高純度製品の貯蔵中に不純物の侵入として識別されることができる。
【0005】
汚染物は固体、液体、及びガスの形をとることができる。汚染物は、例えば、以前に容器に貯蔵された別種類の物質からの残留物により形成されうる。汚染物は、例えば、容器の漏れによる周囲空気の容器内容積への浸透によっても導入されうる。より詳しくは周囲空気浸透により導入された酸素は、電子装置製造において使用されるHP及びUHP流体に関して汚染物と通常みなされる。酸素は容器の内面で汚酸化物を形成することができる。さらに酸素分子は、容器の内面で捕捉されることができ、HPもしくはUHP流体、またはその後容器に配置される他の特殊物質へ拡散することができる。HPまたはUHP流体が容器内に存するので、酸素分子はHPまたはUHP流体の濃度勾配により容器内面から抜き出されることができ、生産設備に運搬され、逆に最終製品仕様に影響することができる。
【0006】
特殊物質の汚染物として識別される物質は、用途に依存し、特殊物質の特定種類、特殊物質の製品仕様、及び、特殊物質の予定された使用のような要因で変化することができる。したがって、1つの用途において汚染物とみなされる物質は、他の用途において汚染物とみなされないことがある。例えば、酸素、炭化水素、金属粒子、水、及び窒素は、超臨界二酸化炭素の汚染物とみなされる。窒素は汚染物とみなされないが、NH3,NF3,及びCl2のような電子装置グレードガスの汚染物である。
【0007】
ある事情において、少量のHP及UHP物質を配送するより以前の配送方法は、もはや適用できないことがある。例えば、円筒ボトルまたは他の小形パッケージを用いる配送は、比較的多量のそのような物質の必要性により、ある製造工程においてはもはや許容されないことがある。例えば、超高純度「白アンモニア」(NH3)と三弗化窒素(NF3)の需要は、近年はかなり生長し、大量のこれらの物質は、今では多数の異なる製造工程において必要とされる。
【0008】
HP及びUHP物質を送出す大量送出し容器及びシステムは、近い過去において知られていないかまたは使用されていない。新規技術、例えば、種々の電子装置の生産に使用される最近の技術展開だけがNF3,NH3,CL2,HCl,及び、他の特殊物質並びに化学物質のような多量のHP及びUHP製品の要求量をもたらした。ボトルボンベのような小形容器は従来比較的少量のHP及びUHP製品の送出しに使用された。小形容器の作製についての要求条件は、厳密である一方で比較的容易に満たされることができる。それどころかHP及びUHP製品を運搬するのに使用される比較的小形容器及び器についての容器調製手順はよく知られている。例えば、「ベーク」として知られるオーブンでの単純容器加熱法は容器内面要求純度を達成することを助長する。調製されるかまたは「清浄処理された」といわれる容器は、UHP製品を汚染するおそれなくUHP製品を受けることが可能である。容器加熱のために使用される「ベーク」オーブンは、大きさと形状について変更することが可能であり、しかし、一般的にはボンベのような比較的小形容器の調製に限定される。
【0009】
大量に工業用ガスの送出しに必要なもののような大寸法容器または器は比較的小形容器の作製方法を利用することができない。大量HP及びUHP製品用新規容器調製方法は開発され、容器工業に導入された。例えば、およそ6,000-ポンドISO容器の調製は、「超高純度大量容器を状態調節する設備及び方法」という題の米国特許第6,616,769号明細書(特許文献1)及び米国特許第6,814,092号明細書(特許文献2)に記載される。これらの容器の調製は、より大容器は大きくて現存する「ベーク」オーブンには収まらないために、並びに、容器最高表面温度が、例えば、米国運輸省(DOT)、国際連合(UN)、国際海事危険物資(IMDG)、道路による危険物資の国際運賃に関するヨーロッパ協定(ADR)、安全コンテナ協約(CSC)等のような国運搬団体により規制されるために、より小形容器の作製よりもずっと複雑である。換言すれば、運搬容器として使用される大容器は、世界の運搬組織により規制される。例えば、DOT勧告によれば、ポータブルISOタンクT50型の最高外部温度は、タンクの熱応力及び疲れを導入することを防止するために、125°Fを越えるべきではない。明らかに、「ベーク」プロセスは、ベークが妥当な容器表面調製を達成するためには有意により高温を必要とするので、行われることができない。
【0010】
HP及びUHP製品の送出し用大寸法容器を清浄し、調製する方法は知られ、産業において実施中である。これらの方法は、かなり処理が難しく、相当の力と費用を必要とする。それゆえに容器純度の保存は、必須であり、送出HPまたはUHP製品収入と送出HPまたはUHP物質を用いて生産される装置品質に有効に影響を及ぼすことが可能である。例えば、半導体ウェーハーの製造プロセスの種々の段階は、NF3,NH3,CO2等のような送出HP及びUHP物質の使用に依存することが可能である。
【0011】
有効な努力は正味量のHP及びUHP物質についての送出し設備と手段を開発し、実行することを約束した。これらの送出しに関連する重要な挑戦の1つは、これらの容器がこれらの容器を危険にさらすことなく要求製品純度を運搬し、送出すために使用されることが可能である方法においてのバルクコンテナの設計及び調製であった。いくらかの特有の容器設計と調製手順は現在では知られている。高純度物質の取扱を満たす容器設計及び調製作業は、固定容器の場合は多少複雑ではない。しかし、ポータブルコンテナについては、製品純度達成及び保存作業はさらに難しい。ポータブルコンテナは、容器物質、設計、及び機械的性質を規制する標準によるばかりでなく、例えば、DOT、UN、IMDG、ADR、CSC、等を含む世界ここかしこの異なる国運搬団体によっても課される種々の規制に従うことを必要とする。これらの団体とその規制の役目は、大量の異なる物質を運送するポータブルコンテナが輸送工程中に周囲世界に対する危険を負わせない手段を講じるためである。容器設計、検査、運搬、及び、他の取扱手順は厳しく規制され、現存規制に従わない容器はどれも危険物資を運搬することに使用されることを許可されない。けれどもやはり若干数の容器設計、調製、及び検査手順は高純度製品要求条件に矛盾する。
【0012】
だれでも輸送適性容器に課される要求条件をわかり、標準容器設計、規制容器調製工程、検査手順、等になされるかまたはなされないかもしれないところをわからなければならないであろう。新規または改良容器設計および新規または改良調製並びに検査手順は国運搬団体により使用について承認されなければならないことがある。容器に課されるいくらかの検査関連要求条件例はITCO ACC MANUAL第3号:2003年1月の節「ISO 検査要求品質(“ISO Inspection Requirements”)」において示され、「人立入りについてタンクが立入りに安全であることを確保するのが貯蔵所管理者の責務である、これは低酸素のガス汚れについて検査を必要とすることがある。」と述べる。容器検査マニュアルから抜粋されるこの陳述は、タンク(容器)への人立入りの場合は適正条件は危険ガス残留物が容器内に取り残されず、酸素欠乏雰囲気が除去されるということである。後のものは容器が主容器汚染形成、例えば、金属酸化物及び他の望ましくない残留物源であるとすればエアパージを必要とする可能性がある。さらに、完全容器調製(汚染除去)手順は、容器が不活性ガスでパージされた後でも残留酸素を除去することを必要になる。容器面はその後に容器に導入されるUHP製品を汚すに十分であろう酸素有効量を捕捉することが可能である。全く必要とされる容器調製方法例は、例えば、US patent no. 6,616,769において記載される。相当量の時間、エネルギー、及び、金銭は、いつでもできるときに容器調製についての必要性を避けることにより省かれることができる。
【0013】
規制容器検査要求品質別例は、ITCO ACC MANUAL 第3号:2003年1月の章「圧力容器の受入れられない条件(“Pressure Vessel Not Acceptable Conditions”)」において見られることが可能である。例えば、以下の検査中にわかる容器条件は継続使用には不合格として検査容器を限定する可能性がある:
・ 溶接または母材についての欠点
・ 0.1 mm(0.004 inch)よりも深く研削を果たされる本体
・ 外殻厚を最小未満に減少する過剰研削または他金属減耗
・ 必要最小未満外殻厚を結果として生ずるかまたは汚れトラップ をもたらす腐食または点蝕
・ 応力腐食
・ 鋭角押込、折りじわ、または圧痕…
・ タンク外殻の上部3分の1についてそこで6 mm(0.25 inch) 大の圧痕
・ タンク外殻の底3分の2についてそこで10 mm(0.4 inch)大 の圧痕
【0014】
上に列挙された条件に従うために、厳密な内容器検査が必要とされる。検査は容器内面の目視定性分析ばかりでなく内部構造についてできるかぎりの表面不連続、粒度、形状実測も含むことが可能である。現在の実施基準の下では検査容器の人的立入りは必要検査品質を達するためには事実上避けられない。それで工業受入確立基準は内容器検査に関する人通路を通じて検査官による容器立入りを必要とするのである。したがって、人通路の大きさ、並びに大抵その位置も検査官による限界空間の安全立入り及び退去を保証することを規制される。
【0015】
世界周り輸送容器必要条件を制定する別文献はUNにより展開された。例えば、UN型式T50ポータブルISO タンクは無水アンモニアUN1005の運送と使用のための国際運搬において使用した。これらは修正安全コンテナ国際協約(CSC)、1972のコンテナ規定を満たすポータブルタンクであり、UN型規則6.7.3.15その他及びCSCに従って検査試験を受けなければならない。文献は、容器検査を実施することおよびこれらの検査を実施する厳密期間必要条件を規定することにも厳しい要求を課する。例えば、文献は、「・・・ポータブルタンクは最後の2.5または5年試験期日の満了後に充填されないものとする。試験期日内に充填されたタンクは最終定期試験期日の有効期限を越えて3月まで運搬されることが可能である・・・」と述べる。明らかに、遅れずに検査を完了されていなかったかまたは検査に合格しなかった容器は国際的物資送出しに使用されないことになっている。米国では、同種規則はDOTにより展開した。容器検査及び保守についてのCSC規則はCSC規則#2において扱われている。例えば:「・・・初検査は5年までに発生しなければならず、そしてその後少なくとも2.5年ごとに・・・」。CSC同様検査規則は検査を行なうことが可能である人を規定する。認定及び認可代理人の存在は本質的であり、これらの代理人だけが検査を行ない、継続使用について結局は容器を合格するかまたは合格しないことが可能である。下記のものはCSC文献別節においても述べられている:「・・・ここに記載された検査試験は有資格権者またはその授権法人により認定及び承認された検査官/代理権者により実行されるかまたは立会われなければならない。CSC及びUNタンク試験及び検査はそうすることを適性に認定されれば同じ検査官により実施されることが可能である。この仕事を実施することを認定された代表的代理権者は、米国船級協会(ABS)、フランス船級協会(Bureau Veritas)、ロイズ船級協会(Lloyds Register)等・・・・である。」。実際には、最後の例においての要求条件は認定検査官が容器に立入り、検査を行なうべきと要求する。容器が使用されて用いられることを続けることが可能であるかどうかについての最終意見は検査の完了でのみ発行されることが可能である。認定検査代理権者はHP及びUHP製品を運搬、供給する容器及び設備についての必要条件を詳細には熟知していない。それゆえに検査官は容器検査を実施することを認定されることが可能であるがHPまたはUHP商品を運搬する容器に立入ることを認定されることは可能でない。
【0016】
それゆえに、継続している必要性は容器への人立入りなくHP及びUHP液を保管するために使用される容器の内部検査及び修理を実施する装置及び方法について存在する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0017】
【特許文献1】米国特許第6,616,769号明細書
【特許文献2】米国特許第6,814,092号明細書
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【0018】
装置及び方法は、容器へ人立入りなく、及び容器に保管される物質の純度を予備定量最小水準未満に減少することができるであろう汚染物を導入することなく容器内で検査、修理、及び他作業を容易にする。
【0019】
装置の実施形態は予備定量最小純度を有する第一物質を保管するために使用される容器内で作業を実施することに提供される。装置は、本体;本体に可動連結され、装置が容器内で作業を実施しているときに容器面に装置を支持する車輪及び/又は軌道;及び、本体に取付けられ、装置が容器内で作業を実施しているときに少なくとも一部分が本体と容器面の間に配置された、外殻を含む。外殻と車輪及び/又は軌道は、第一物質が一以上の物質に暴露されるときに初物質純度を予備決定最小限未満に低下させない一以上の物質から形成される。
【0020】
システムの実施形態は容器内部に関する情報を獲得することに提供される。システムは容器内部に入ることができる装置を含む。装置は、本体;本体に取付けられたセンサー;装置から情報を伝達する少なくとも1つの送信機及び情報を蓄積する記憶−蓄積装置;及び、少なくとも部分的に本体を囲み、分解物破片及び粒状物質を装置の他部分から受けることができる外殻を含む。
【0021】
方法は予備定量最小純度を有する第一物質の存在において第一物質純度を予備決定最小限未満に低下させることなく作業するように形成された装置を提供すること;第一物質を収容するように形成された容器内容積に装置を挿入すること;及び装置を用いて容器検査及び/又は修繕することを含む。
【0022】
内容積を有する容器を検査する方法はセンサーを有する装置を提供すること;容器の外殻において形成された口から弁を取外すこと;装置を口を通って内容積へ導入すること;容器に関して情報をセンサーから獲得することを含む。
【図面の簡単な説明】
【0023】
前述の要約、および望ましい実施形態の以下の詳細な説明は添付図面と共に読まれるときによく理解される。図面は図解目的にのみ示され、添付の特許請求の範囲は図面において示される特定の実施形態に限定されない。図面において:
【0024】
【図1】検査、補修、及び/又は容器内他作業を実行する装置の実施形態側面図である。
【0025】
【図2】図1において示される装置正面図である。
【0026】
【図3】図1の線“A-A”によりとられる図1において示される装置上部横断面図である。
【0027】
【図4】容器内容積内の装置を描き、縦断面の容器を描く図1〜図4において示される装置側面図である。
【0028】
【図5】図4の視点から概略90度回転された視点からの表示“B”区域拡大図である。
【0029】
【図6】図1〜図4において示される装置の代替実施形態側面図である。
【0030】
【図7】図1〜図4において示される装置に関連して使用されることができる作業者コンソール透視図である。
【0031】
【図8】図4において示される容器内補修作業を実行するように構成され、図1〜図4において示される装置側面図である。
【0032】
【図9】図1〜図4及び図8において示される装置を図4において示される容器から回収するために使用されることができるつなぎ鎖と、つなぎ鎖を蓄積するために使用されることができるスプール及びハウジングのハウジング部分が取外された側面図である。
【0033】
【図10】図1〜図4及び図8において示され、救出装置と結び合わされて救出装置により図4において示される容器から回収される装置側面図である。
【0034】
【図11】その端に取付けられるカメラを有し、図4において描かれる容器内検査及び他作業を実行するケーブル側面図である。
【0035】
【図12】図1〜図4及び図8において示される装置が内容積に挿入され、それから回収されるときに容器内容積を周囲環境から分離する弁系を有する、図4において描かれる容器の代替実施形態側面図である。
【0036】
【図13】横断面弁系導管を描き、導管内に図1〜図4及び図8において示される装置を現わす図12においての表示“C”区域拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【0037】
図1〜図4、図8、及び図10は装置10実施形態を示す。装置10はコンテナまたは容器200内部を検査及び/又は補修するのに使用されることができる。容器200は、99.999パーセント以上の純度でアンモニア(NH3)のようなUHP液体を入れるために使用されることができる内容積202を規定する。装置10は以下に論じられるように容器200をUHPアンモニア貯蔵に不適当にする汚染物を導入することなく作動するように構成される。
【0038】
UHPアンモニアを収容するために使用される容器200に関する装置10の使用は例示目的だけのために記載される。装置10はまた超高純度ガス他物質を収容するのに使用される容器内部を検査するためにも使用可能である。
【0039】
装置10は内側及び容器200内機動に収まる大きさに作られる。例えば、容器200はその外殻208に開口部206を有する。各開口部206は圧力解放弁209(図4において擬似模型に示される)に適応する。容器200はまた内容積202を区画に分ける内じゃま板210を含む。じゃま板210はそれぞれ、例えば、図5において示されるV形開口部212を含む。装置10は内容積202内全区画に到達可能であるほど到達口206の少なくとも1つ及びV形開口部212に収まるだけ小さいことが必要である(関連圧力逃がし弁209が取外されるときに)。
【0040】
装置10は図3に示される本体20とそれぞれ本体20に装備される二つのモーター24を含む。装置10はまた二つの駆動車軸と、それぞれ駆動車軸28各自一つに取付けられる二つの車輪30aを含む。本明細書及び特許請求の範囲を通じて使用される術語「車輪」はローラー、円板、ドラム、円形フレーム等を包含することを意味する。
【0041】
各駆動車軸28は各モーター24が一つの車輪30aを駆動または回転するようにモーター24各自一つに接続される。代替実施形態は両方の車輪30aを駆動する一モーターを備え付け可能である。他の代替実施形態は二以上の駆動車軸28、二モーター24、二車輪30aを含むことが可能である。さらに代替実施形態は車輪30aの代わりにまたはそれに加えて軌道を備え付け可能である。装置10代替実施形態において使用可能である軌道は図1において擬似模型に描かれ、参照符号31で示される。
【0042】
モーター24は、炭化水素、水蒸気、粒状物質等のような排気関係汚染物を容積202に導入することを避けるために電動機であることができる。装置10はモーター24及び装置10の他電気部品に動力を供給する電池を含むことができる。
【0043】
装置10a形態について代替実施形態は図6において描かれる。装置10aは以下の例外及び以後言及される他の例外をもって装置10と実質的に同一である。装置10aは容器200外側に配置される電源から電力を装置10aに送るために使用されることができるケーブル29を含み、それによって電池必要性を排除する。
【0044】
車輪30aは容器200に貯蔵されるべきUHPアンモニア(または他特別品物質)を汚染しないであろう物質から形成されることができる、すなわち、車輪30aが形成される物質は、UHPアンモニアが物質に接触するとすればUHPアンモニア純度予備決定最小限未満に低下しないものである。この特徴は装置が内容積202にあって内容積202にその後に残存する間に物質粒子が車輪30aから遊離されるとすれば容器200においてのガス汚染を防止することを助長することができる。さらに車輪30aがそれで形成される物質の硬度は容器200がそれで形成される物質のもの未満であることができる。この特徴は車輪30aと容器200の接触により遊離される任意物質が容器200よりも車輪30aからの物質からなることを確保助長することができる。
【0045】
例えば、車輪30aは、PTFE及び白シリカ物質がこのUHPアンモニアを汚染しないものであるのでポリテトラフルオロエチレン(PTFE)または白シリカ物質から形成されることができる。さらにPTFEと白シリカ物質はそれぞれ容器200のような容器を形成するために普通に使用される金属材料のもの未満である硬度を有する。
【0046】
駆動車軸28のそれぞれは図3において示されるように駆動車軸28と結合車輪30aを胴体20に関して回転することを許す各ブッシュ38によって胴体20に連結されることができる。軸受はブッシュ38の代わりに代替実施形態において使用可能である。
【0047】
装置10はまた車軸40、及びそれぞれ車軸40の各端に取付けられる二つの車輪30bを含むこともできる。車輪30bは実質的に駆動車輪30aと同一であることができる。二つの追加ブッシュ38は車軸40が胴体20に関して回転できるように車軸40を胴体20に連結するために使用されることができる。
【0048】
装置10はまた図3において示されるように処理装置48を含むことができる。処理装置48は、例えば、マイクロプロセッサーであることができ;他型式の処理装置は代替において使用可能である。
【0049】
装置10はまた装置10と容器14外側に配置される作業者モジュール54で情報を伝送する遠隔測定システム50を含むことができる。作業者モジュールは図7において描かれる。遠隔測定システム50は図3において示されるように胴体に装備され、処理装置48に通信で連結される第一送受信機を含むことができる。遠隔測定システム50はまた作業者モジュール54の一部を構成する第二送受信機を含むことができる。第一及び第二送受信機は、例えば、無線周波数(RF)伝達により通信することができ;他種類の通信プロトコルは代替において使用可能である。
【0050】
情報は装置10と作業者コンソール54で代替装置10aにおいてケーブル29を通って伝送されることができ、それによって遠隔測定システムの必要性を排除する。
【0051】
処理装置48はモーター24の動作を制御して所望方向についての装置10の運動を実現する。より詳細にはモーター24のそれぞれは処理装置48を通って蓄電池34に電気的に接続されることができ、結果的に処理装置48が遠隔測定システム52によって作業者から受信される入力に応じて選択的に各モーター24を作動し、作動を止め、及び逆転することができる。作業者入力は手動式操作装置制御器または作業者モジュール54の一部を構成する他の適当装置を用いて発生されることができる。
【0052】
モーター24は作業者からの入力に応じて同時に同方向に作動されて前進方向及び後部方向について装置10の直線動作を促進することができる。
【0053】
装置10は車輪30aの差異運動を用いて操縦されることができる。より詳細には、装置はモーター24一方を作動する一方で他モーター24が作動を止められることにより;モーター24を反対方向に作動することにより;またはモーター24を同方向に異速度で動作することにより操縦されることができる。
【0054】
代替実施形態は車輪30bを変向する操舵機構を備え付けられることができる。代替実施形態はまたは車輪30bを駆動する追加の二モーター24を備え付けられることができる。
【0055】
装置10は胴体20に装備され、マイクロプロセッサー48に通信で連結される一以上のセンサーを含むことができる。センサーは特別用途において必要とされる特殊検査作業を実行することに適当な任意装置であることができる。例えば、装置10は図1及び図2において示されるようにビデオカメラ70を備え付けられることができる。ビデオカメラ70は適性表示装置と共に使用されるときに三次元像を発生しうる。装置10はしたがって配管及び他部品の破壊物破片、割れ、穴、不適当組立、及び、他の潜在的問題について容器200内部を目視検査するために使用されることができる。カメラ70は図1及び図2において示される粒子214のような容器200内有機堆積物の存在を確認するためにも使用されることができる。
【0056】
装置10は欠点または他問題が確認される容器200内の特定位置を地図作成するように構成されることができる。例えば、装置は赤外線距離測定計測器(示されない)を備え付けられ、処理装置48は装置が容器200内前定義表面または他の特徴に関して欠点または他問題座標を描くことを許す地図作成ソフトウェアでプログラムされることができる。
【0057】
他型式センサーは特別用途においての必要情報を得るためにカメラ70に加えてまたはその代わりに使用されることができる。例えば、代替実施形態装置10は音響、赤外線、X線、紫外線、または他型式センサーを備付け可能である。
【0058】
ビデオカメラ70は図1及び図2において示されるように電動取付台72と入れ子式アーム73を用いて胴体20に装備されることができる。取付台72はカメラ70が作業者コンソール54から遠隔測定システム50によって中継される作業者入力に応じて回しながら撮影され、胴体20に関して傾けられることを許す。入れ子式アーム73は遠隔測定システム50による追加の中継作業者入力に応じてカメラ70が取付台72に近くにまたはそれから遠くに動かされることを許す。代替実施形態はカメラ70について固定取付台及び/又は入れ子式でないアームで構成可能である。
【0059】
録画カメラ70は第一送受信機50aに通信を連結可能であり、結果的にカメラ70出力は作業者モジュール54に送信され、映像監視器74または他適当装置を用いて同時基準で表示されることができる。作業者モジュール54はまた映像カメラ70及び装置10任意他センサー出力を記録する記憶・蓄積装置75を含むこともできる。
【0060】
装置10の代替実施形態はカメラ70と装置10他センサーに通信を連結される回路基板上記憶・蓄積装置を含むことができ、装置が容器200から回収された後にカメラ70または他センサー出力が蓄積され、続いてダウンロードされることを許す。
【0061】
装置10は容器200内部から物質を集める手段を装備されることができる。この特徴は検査作業中に容器200内で発見される粒状物質のあるものまたはすべてを除去することが所望される用途において使用されることができる。物質試料は物質が容器200において貯蔵されるべきUHPアンモニアまたは他特別品物質に関しては汚染物であるかどうかを測定するために続いて分析されることができる。
【0062】
採集手段は、図1において示されるように、例えば、真空源76、真空源76に流体連絡する集合室78、及び、真空ライン79を通して集合室78と流体連絡する真空収集80を含むことができる。
【0063】
真空収集80は電動取付台81と入れ子式アーム82を用いて胴体20に装備されることができる。取付台82は作業者コンソール54から遠隔測定システム50によって中継される作業者入力に応じて真空収集80が掃引され、胴体20に関して傾けられることを許す。入れ子式アーム82は遠隔測定システム50による追加の中継作業者入力に応じて真空収集80を取付台81に向けてまたはそれから離れて動かされることを許す。代替実施形態は真空収集80について固定取付台及び/又は入れ子式でないアームで構成されることができる。
【0064】
容器200内に位置し、カメラ70または他検出器を用いて確認される粒子214は装置10を収集80端が図1において示されるように粒子214最近に配置されるように位置決定することにより採集されることができる。真空源76は次に作動されることができ結果的に、生ずる真空は粒子214を収集80に吸込み、集合室78に沈積させる。粒子214は装置が容器200から回収された後に検査及び分析のために集合室から検索されることができる。
【0065】
真空源76及び真空収集80はカメラ70または他センサーにより識別される擬似粒状物質が全く粒状物質であり、容器200の割れ、穴、又は他の欠陥ではないことを検証するためにも使用されることができる。より詳細には装置10は真空収集80が擬似粒状物質近傍に配置されるように機動されることができる。真空源76は作動され、作業者はカメラ70を介して擬似粒状物質が真空に応じて動くかどうかを監視することができる。真空に応じて動きの欠如は擬似粒状物質が実際には粒状物質よりむしろ容器200欠陥であるという指示である。
【0066】
装置10は固定または可動アーム(示されない)または擬似粒状物質を動かす他の適当装置を備え付けられることができる。この技術は真空源76及び真空収集80を用いて擬似粒状物質を動かすことを試みる代わりに使用されることができる。
【0067】
代替装置10aのケーブル29は装置10a上で容器200外側に配置される真空源と流体連絡する真空収集80に置かれる真空ラインを含むことができる。この特徴は装置10aに配置される真空源及び集合室の必要性を排除する。
【0068】
装置10はまた容器200内補修を実行するように構成されることができる。例えば、一定用途において容器200はその内面に容器200に収容される物質によりもたらされる腐蝕または他の損傷効果から表面を保護する塗膜を有することができる。装置10は、例えば、塗膜が引掻かれ、欠けており、さもなければ傷つけられているとわかった面を塗り重ねるために使用されることができる。特に、装置10は塗料加圧貯蔵器90を備え付けられることができる。貯蔵器90は図8において示されるように真空源76及び集合室78の変わりに胴体20に装備されることができる。噴霧ノズル94は真空収集80の代わりに入れ子式アーム82に取り付けられることができる。
【0069】
アーム82と取付台81は噴霧ノズル94が塗膜が傷つけられた面近傍に配置されるように操作されることができる。塗料は貯蔵器90から管路79とアーム82を通って噴霧ノズル94に供給され、傷つけ面の上に噴霧されて面を塗り重ねる。
【0070】
上述塗り重ね作業は例示目的だけのために開示され;装置10は他種類の補修作業を実行するように構成されることができる。
【0071】
装置10はまた外殻98を含むことができる。外殻98は外殻98が図1〜図3において示されるように胴体20と容器200下面の間で位置決定されるように胴体20に装備される。外殻98は油、潤滑油、及び作業中に装置10により放出される可能性がある他の潜在汚染物を受けることができる。外殻98により捕捉される潜在汚染物は図2において擬似模型に描かれ、参照符号99により示される。汚染物99は、例えば、多様な装置10可動及び非可動部の摩擦、装置10が経験することが可能である振動または機械衝撃、装置10内で使用される潤滑剤等に由来することができる。外殻98により捕捉された汚染物は装置10が回収されるにつれて容器200の内容積202から除去される。
【0072】
外殻98は容器200内に貯蔵されることになるUHPアンモニア(または他特別品)に適合した物質から造られることができる、すなわち、外殻98はUHPアンモニアが物質に接触するとすればUHPアンモニア純度を前決定最小限未満に低下しないものである物質から形成されることができる。この特徴は、外殻98部分は装置10が内容積202内で運転されながら遊離されるとすればUHPアンモニアについて汚染可能性を減少することができる。
【0073】
さらにそれで外殻98が形成される物質の硬度はそれで容器200が形成される物質のもの未満であることができる。この特徴は外殻98と容器200の偶然接触により遊離される任意物質は実質的に容器200よりも外殻98からの物質からなることを確保助長することができる。
【0074】
また、それで外殻98が形成される物質の硬度はそれで装置10の車軸28、40が形成される物質のもの未満であることができる。この特徴は外殻98と車軸28、40のこすれまたは他接触により遊離される任意物質が実質的に車軸28、40よりも外殻98からの物質からなることを確保助長することができる。
【0075】
代替実施形態は完全に胴体20を囲む外殻98を備え付けられることができる。外殻98は部分的に図2において描かれる。さらに外殻98、98aは例示目的だけのために実質的に曲線形状で描かれ;代替実施形態は他形状の外殻を有することができる。
【0076】
装置10は装置10が故障するかまたはさもなければその正常駆動及び操縦能力を使用して内容積202から出ることができなければ装置10を容器200の内容積202から回収する設備を備え付けられる。例えば、装置10はつなぎ鎖60を備え付けられることができる。つなぎ鎖60は装置10が容器200に入る前に胴体20または装置10他部品に結合されることができる。つなぎ鎖60はハウジング62内に保管されることができ、ハウジング62内に取付けられた巻枠またはスプール64に巻かれることができる。ハウジング62半分は図9において除去され、スプール64を現わす。
【0077】
ハウジング62と巻心64は容器200外側にある。つなぎ鎖60は装置10が容器200内及びそれを通って移動するにつれて巻心64から巻出される。ハウジング62及び巻心64から離れる装置10移動はつなぎ鎖を巻心64から巻出す。
【0078】
スプール64はつなぎ鎖60を巻心64に巻き返す設備を備え付けられることができる。この特徴は装置10が容器200内で実行できなくなれば装置10を検索するかまたは装置が容器200から通常に出るときにつなぎ鎖60を蓄積するために使用されることができる。例えば、ハンドル65は巻心64に装着されることができ、巻心64を回転する。巻心64はまたハウジング62に取付けられたモーター(示されない)により回転されることができる。モーターはハンドル65の代わりにまたはそれに加えて使用されることができる。さらに、ばね(示されない)はハウジング62と巻心64に接続され、装置10が容器200から通常にすなわちそれ自体動力及び操舵の下に出るにつれてつなぎ鎖60は自動的に巻き返されるように巻心64を巻方向に偏らせることができる。
【0079】
ハウジング62内部はつなぎ鎖が汚染物を容器200に導入する可能性を減少するためにヘリウムまたは窒素のような適性不活性ガスでパージされることができる。パージガス源はハウジング62内側または外側に配置されることができる。必要であればつなぎ鎖60表面は油残留物及び表面からの他潜在汚染物を除去するために、つなぎ鎖60が初期に巻心64に巻かれる前に溶媒または他適当手段により洗浄されることができる。さらに、つなぎ鎖60は容器200内に貯蔵されるべきUHPアンモニア(または他特別品物質)に適合した物質に包まれるかさもなければ外装されることができる。
【0080】
代替装置10aのケーブル29は装置10が容器200内で実行できなくなれば装置10aを検索するつなぎ鎖として使用されることができる。ケーブル29はハウジング62、巻心64、ハンドル65、及び選択によるモーター及びばねに実質的に同じである集成装置を用いて収納または格納されることができる。
【0081】
無力装置10はまた図10において描かれる救助装置100を用いて容器200内容積202から回収されることができる。救助装置100は別装置10または別種類の容器内使用に適当装置であることができる、すなわち、救助装置100は貯蔵されるべきUHPアンモニアまたは他特別品物質を汚染することなく容器200内で運転することができるであろう。
【0082】
装置10と救助装置100は装置10と救助装置100がかけ合わされることを許す特徴を含むことができる。救助装置100は、無力装置10とかけ合わされると図10において示されるように容器200外に装置10を牽引または押すことができる。
【0083】
例えば、装置10は図1〜図3及び図10において示されるように一以上の磁石102を含むことができる。磁石102は外殻98にまたは装置10についての他適当位置において取付けられることができる。救助装置100はまた磁石102の一以上を含むことができる。救助装置100は一のその磁石102を装置10一の磁石102最近に据えるように機動されることができ、結果的に磁石102の相互引力は磁石012を互いに固定し、救助装置100が図10において示されるように無力装置10を容器200内容積202外に牽引するかまたは押すときに装置10を救助装置100に結合維持する。
【0084】
装置10は図1〜図3及び図10において示されるようにフックまたはラッチのような一以上の機械結合具を含むことができる。結合具106は磁石102の代わりに使用されることができる。装置10は図解目的のために結合具106と磁石102の両方について描かれる。
【0085】
結合具106は外殻98にまたは装置10についての他適当位置において取付けられることができる。救助装置100はまた装置10においての結合具106とかけ合う一以上の結合具106を含むことができる。救助装置100はその一の結合具106が装置10においての一の結合具106にかけ合うように機動されることができる。かけ合わされた結合具106は救助装置106が図10において示されるように容器200内容積外に無力装置10を牽引するかまたは押すときに装置10を救助装置100に結合維持する。
【0086】
無力装置10は救助装置100の代わりに、誘導能力ケーブルを用いて容器200の内容積202から取り出されることができる。操縦ケーブルはケーブル端近傍に取付けられる磁石の一つ102または結合具106の一つを備え付けられることができる。ケーブル端は内容積202に挿入され、ケーブルの磁石102が無力装置10一の磁石102に関係するかまたはケーブルの結合具が装置10一の結合具106に関係するように操縦されることができる。ケーブルは次に容器200から取り出されて無力装置10を容器200から引くことができる。
【0087】
代替装置10aのケーブル29は装置10が容器200内で無力になれば容器200の内容積202から装置10aを引くのに使用されることができ、そのために救助装置100または操作ケーブル必要性を排除する。
【0088】
装置10代替実施形態は非自走式、すなわち非電動であることができる。非電動装置は前論された操作綱のようなケーブルを用いて容器200の内容積202を通して引かれることができる。より詳細にはケーブル第一端は到達口206によって容器200の中に経路設定されることができる。第一端は前論された磁石102または結合具106、または他適当手段を用いて装置に固定されることができる。末端部ケーブルは、すなわち、第一端から容器200の反対側に配置されるケーブル112部分は引き寄せられて装置を容器200を通って引出すことができる。
【0089】
他代替実施形態においてカメラ70のような適センサーは図11において示されるように操作ケーブル112のようなケーブル端に装備されることができる。容器200内部検査はケーブル112端と装備カメラ70を到達口206によって挿入し、その後ケーブル112を用いてカメラ70の位置を調整することにより行なわれることができる。
【0090】
被覆または包装113は必要であればケーブル112により発生される破片及び他潜在汚染物が容器200の内容積202に残されることを妨げるためにケーブル112の上に配置されることができる。被覆または包装は容器200に貯蔵されるべきUHPアンモニアまたは他特別品製品を汚染しないものである物質のために形成されることができる。
【0091】
装置10と作業者モジュール54の比較的小型寸法は装置10と作業者モジュール54の比較的容易輸送を促進する。装置10はしたがって容器200のような容器を現場で、すなわち容器が充填され、保守され、解体修理等される集積所または他施設から離れた使用または他場所の容器点において検査または修理するために使用されることができる。装置10は非汚染ガスのガスシールを装置10周囲に保持する箱またはコンテナで輸送されることができる。
【0092】
装置10は前に言及されるように容器200の圧力逃がし弁209に合う開口部206内に収まる大きさに作られることができる。したがって容器200は追加到達口を提供され、装置10を収める必要がある。到達口は容器200の漏れ可能源を示すので、装置10の使用は容器200への追加漏れ可能源導入を必要としない。
【0093】
装置10はその機動能力のために容器200全内容積202に実質的に達することができるので、装置10は開口部206のような単到達口により収められることができる。
【0094】
しかし二つの開口部206は作業者により所望されれば装置10を収めるのに使用されることができる。例えば、装置10は容器200第一端最近に配置される第一の口206を通って内容積202に投入され、容器200第二端最近に配置される第二口206を通って内容積202から除去される。
【0095】
代替的に、二開口部206は装置10についての入口及び出口点の両方としてそれぞれ使用されることができる、すなわち、容器200内容積202の一部は第一の口206を通って装置10により出入りされることができ、内容積202残部は他の口206を通って出入りされることができる。手順は、例えば、障害物が二開口部206間のいくらかの点において内容積202内に存在するとすれば使用されることができる。
【0096】
内容積200は内容積202への周囲空気侵入を妨げるために、安全逃がし弁209が容器200から装置10を収めるために取外される間に非汚染ガスまたは配合物ガスでパージされることができる。例えば、容器200がUHPアンモニアを収容するのに使用されるべき用途において、窒素パージは窒素が一般的にUHPアンモニアに関して非汚染と考えられるために内容積200において保持されることができる。
【0097】
窒素パージまたは任意他種酸素不足雰囲気の使用は、パージ容積への人立入りが必要とされるときには窒息危険を与える。さらに酸素不足環境においての使用に必要とされる呼吸装備は一般にHPまたはUHP物質を入れる容積においての使用に不適当である。装置10の使用は内容積202への人立入り必要性を排除することができ、したがってそのような立入りに関連する安全及び汚染問題を排除することができる。
【0098】
さらに、危険物を収容するために使用される容器は通常は人が検査または他目的のために容器に立入る前に汚染除去工程にさらされなければならない。装置10は、そのような容器への人立入りに対する必要を排除することによりそのような汚染除去の必要を排除することができる。
【0099】
人を容器200へ送る必要を排除することは容器200において人進路の必要を排除することができる。(容器200は図解の明瞭のために人進路なく描かれる。)典型人進路はそれを通した人通過を助けるために比較的大きく、例えば、直径について2.5-フィートであり、該当人進路覆いは同様に大きい。比較的大型人進路覆いは従って容器200の重量について有効減少になることができる。例えば、人案内カバーはおよそ2.0 インチ厚さ“S1”と概略2.5 フィート直径“D1”を有することができる;容器200外殻はおよそ0.5 インチの厚さを有することができる。それで人進路覆いが形成される材料密度はおよそ500 lb/cu. ft.の密度を有することができる。人進路カバーの重量は、π × ((D12)/4) × S1 × 密度=約409 ポンドと計算される。
【0100】
人進路覆いを削除することは結果において2.0-インチ厚さ人進路覆いを0.5-インチ厚さ外殻区分で置換する。外殻区分重量は上式を用いて、2.0-インチ厚さ人進路に0.5-インチ厚さ外殻を代入して計算されることができる。外殻区分結果重量は人進路よりもおよそ307 ポンド、またはおよそ102 ポンド軽い。追加軽量化は締結具、フランジ、及び、人通路カバーを締結、封止するために使用される硬質製品の削除により達成されることが可能である。さらに、容器200の内容積202は潜在的には人進路及び関連する硬質製品を排除することにより増加されることができる。
【0101】
容器200の重量を減少し、その内容積202を増加することは容器200において運搬されることができる物質全量を増加することができ、次には物質提供者の増加収入をもたらすことができる。組立費はまた潜在的には人進路を削除することにより減少されることができる。
【0102】
なお、一般に容器200のような容器において小口より比較的大口を封止することはより難しい。さらに密封困難は運送工程に関連する振動、衝撃、及び温度振れのために可搬容器について悪化されうる。したがって、比較的大の人進路及びその結合蓋を削除することは実質的に容器200について漏れ可能性を減少することができる。
【0103】
内容積202への人接近の必要を排除することは容器200の他特徴の削除または改良につながることができる。例えば、容器200の弁箱(必要されるところで)上救急応答蓋の寸法と厚さは縮小されることが可能であり、弁箱構造保全性は内容積202への人接近が必要とされなければ緩和されることが可能であり、容器200についてさらなる全重量軽減をもたらす。
【0104】
重量を減少し、容器内容積202を増加することは容器200において運搬されることができる物質全量を増加することができ、次には物質売り主及び/又は荷送人の増加収入をもたらすことができる。
【0105】
装置10は容器200の内容積202内に導入され、作動される一方で内容積200は容器200に入れられた UHPアンモニア及び他物質についての静蒸気圧に維持される。この作業方法は内容積202を窒素及び他非汚染物質でパージすることに関連する費用と整備時間を削減することができる。
【0106】
例えば、図12は装置10が容器200aの内容積に導入され、それから除去されることを許しながらHP、UHP、または他物質をよどみ蒸気圧に容器内で維持する弁システム180を描く。容器200aは設備180を除いて実質的に容器200と同じであることができる。
【0107】
設備180は第一弁182と第二弁184を含む。設備180はまた第一弁及び第二弁182、184を連結する第一導管186;及び、第一弁182と容器200aを接続する第二導管188を含む。設備180はまた第二弁184に連結される第三導管190を含む。設備180はさらに第一導管186に連結する清浄装置192を含む。
【0108】
装置10は図13において示されるように、第二弁184を開く一方で第一弁182はその閉鎖位置にあることにより、そして第三導管190と第二弁184によって装置10を第一導管186に挿入することで容器200a内容積に導入されることができる。
【0109】
第二弁184は次に閉じられることができ、清浄装置192は作動され、装置10が導入されたときに第一導管186に侵入する可能性がある任意周囲空気を第一導管186内の容積から取り除くことができる。パージ装置190は、例えば、真空を使用して第二導管186内の容積を排気し、その後に容積を容器200a内容積内部UHPアンモニアまたは他特別品物質を汚染しないものであるガスで充填することによりパージを実施することができる。
【0110】
第一弁182はパージが完了すると開けられることができ、装置10はそれ自体動力下に第一弁182と第二導管188によって容器200a内容積内に機動されることができる。第一弁182は続いて閉鎖され、内容積内へのまたはそれからの漏れ可能性を減少することができる。
【0111】
装置10は第一弁182を開け、第二導管188と第一弁182によって装置10を第一導管186へ機動することで容器200a内容積から除去されることができる。第一弁182は次に閉じられることができる。所望されれば第一導管186内の容積は清浄装置192を用いて容器200a内部からの物質を取り除かれ、周囲空気で充填されることができる。この段階は容器200a内物質が危険物であるとすれば必要とされる可能性がある。
【0112】
第二弁184は続いて開けられることができ、装置10は第二弁184と第三導管190によって弁設備180の外に機動されることができる。
【0113】
前述の記載は説明目的のために提供され、発明を限定すると解釈されないものである。本発明は望ましい実施形態または望ましい方法に関して記載されるけれども、ここで使用された言語は限定言語よりも記述及び例証言語であることがわかる。さらに、本発明は特定構造、方法、及び実施形態に関してここに記載されたけれども、この発明は添付特許請求の範囲内であるすべての構造、方法及び使用に展開するようにここで開示される特定のものに限定されることを意味しない。関連分野の熟達者はこの明細書の教授利益を有しここに記載されたようにこの発明に多数の改良をすることができ、変更は添付の請求項により定義されるこの発明範囲及び真意から逸れることなくなされることが可能である。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
予備決定最小純度を有する第一物質を保管するために使用される容器内で作業を実行する装置であって、該装置は、
本体;
該本体に可動連結され、該装置が該容器内で作業を実行しているときに該容器面に該装置を支持する車輪及び/又は軌道;及び
該本体に取付けられ、該装置が該容器内で作業を実行しているときに少なくとも一部が該本体と該容器面の間に配置された、外殻を含み、該外殻と該車輪及び/又は軌道は該第一物質が一以上の物質にさらされるときには該第一物質純度を予備決定最小限未満に低下させない一以上の物質から形成されている、装置。
【請求項2】
該外殻と該車輪及び/又は軌道を形成している該一以上の物質は各々、該容器を形成している物質の硬度以下の硬度を有する、請求項1に記載の装置。
【請求項3】
該外殻と該車輪及び/又は軌道を形成している物質はポリテトラフルオロエチレンである、請求項1に記載の装置。
【請求項4】
さらに該車輪及び/又は軌道を駆動するモーターを含む、請求項1に記載の装置。
【請求項5】
さらに該本体に装備された検出器を含む、請求項1に記載の装置。
【請求項6】
該検出器は録画カメラである、請求項5に記載の装置。
【請求項7】
さらに該本体に取付けられたつなぎ鎖を含む、請求項1に記載の装置。
【請求項8】
該装置は、さらにハウジングと、該ハウジングに関して回転することができるように該ハウジングに取付けられる巻心を含み、該つなぎ鎖は該巻心に巻かれることができるように該巻心に結合されている、請求項7に記載の装置。
【請求項9】
該ハウジングは該第一物質がガスにさらされるときに該第一物質純度を該予備決定最小限未満に低下させないガスでパージされる、請求項8に記載の装置。
【請求項10】
該装置は安全逃がし弁をもつ容器口に収まる大きさに作られる、請求項1に記載の装置。
【請求項11】
さらに該本体に可動連結された真空収集と、該真空収集に流体連絡する真空源を含む請求項1に記載の装置。
【請求項12】
さらに該本体に可動連結された噴出口と、該噴出口と流体連絡する充填物貯蔵器を含む請求項1に記載の装置。
【請求項13】
容器の内部に関して情報を得るシステムであって、容器内部に入ることができる装置を含み、該装置は、本体;該本体に装備されたセンサー;該装置から情報を伝達する送信機と該情報を蓄える記憶−収納装置の少なくとも1つ;及び、該本体を少なくとも部分的に囲み、該装置他部分から破壊物破片及び粒状物質を受けることができる外殻を含む、システム。
【請求項14】
該容器は予備決定最小純度を有する第一物質を保管するために使用され、該外殻は該外殻を形成している物質に該第一物質がさらされるときには該第一物質純度を該予備決定最小限未満に低下させない物質から形成される、請求項13に記載のシステム。
【請求項15】
さらに該装置に通信で連結された作業者コンソールを含み、該装置についての指向入力を発生する制御器を含む請求項13に記載のシステム。
【請求項16】
予決定最小純度を有する第一物質の存在において該第一物質純度を該予決定最小限未満に低下させることなく作業するように構成された装置を用意すること、
該第一物質を保管するように構成された容器の内容積に該装置を挿入すること、及び
該装置を使用して該容器を検査及び/又は補修することを含む方法。
【請求項17】
該装置を使用して該容器を検査及び/又は補修することは該装置検出器を用いて該容器に関する情報を得ることを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項18】
該装置を使用して該容器を検査及び/又は補修することは該内容積から破壊屑及び/又は粒状物質を収集することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項19】
さらに該破片及び/又は粒状物質を分析し、該破壊屑及び/又は粒状物質識別点及び/又は源を決定することを含む、請求項18に記載の方法。
【請求項20】
該装置を使用して該容器を検査及び/又は補修することは該容器面を上塗布することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項21】
該装置センサーを用いて該容器に関する情報を得ることはタンクについての割れ;圧痕;溶接欠陥;母材欠陥;腐蝕;へこみ、及び/又はあるいは折りじわを検出及び/又は測定することを含む、請求項17に記載の方法。
【請求項22】
該容器に関する情報を該装置センサーを用いて得ることは容器内配管構成に関する情報を得ることを含む、請求項17に記載の方法。
【請求項23】
該第一物質を保管するように構成された容器内容積へ該装置を挿入することは
該容器弁システムの第一弁を開き;
該第一弁によって該第一弁と該弁システムの第二弁間に配置される第一導管に該装置を機動し;
該第一弁を閉じ;
該第二弁を開き;及び
該第二弁と該第二弁ならびに該容器とに連結される第二導管によって該内容積に該装置を機動することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項24】
該第一物質を保管するように構成された容器内容積へ該装置を挿入することは該第一弁を閉じる前及び該第二弁を開いた後に該第一導管内部の容積を浄化することを含む、請求項23に記載の方法。
【請求項25】
予備決定最小純度を有する第一物質の存在において該予備決定最小限未満に該第一物質純度を低下させることなく作業するように構成された装置を用意することは(i) 該装置により発生される破壊屑及び粒状物質を受けるように構成され、及び(ii) 物質が該第一物質と接触するときには該第一物質純度を該予備定量最小限未満に低下しない物質から形成された外板を有する装置を提供することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項26】
予備決定最小純度を有する第一物質の存在において該予備決定最小限未満に該第一物質純度を低下させることなく作業するように構成された装置を提供することは該物質が該第一物質と接触するときには該第一物質純度を該予備定量最小限未満に低下させない物質から形成される車輪及び/又は転動体を有する装置を提供することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項27】
さらにガスが該第一物質と接触するときには該第一物質純度を該予備決定最小限未満に低下させないガスで該内容積を浄化することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項28】
さらに該第一物質の存在において該第一物質純度を該予備決定最小限未満に低下させることなく作動するように構成された第二の装置を使用して該装置を牽引及び/又は押すことにより該装置を該内容積から除去することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項29】
内容積を有する容器を検査する方法であって、
センサーを含む装置を用意すること;
該容器外殻に形成された口から弁を取外すこと;
該口によって該装置を該内容積へ導入すること;及び
該センサーから該容器に関する情報を得ることを含む方法。
【請求項30】
該容器外殻に形成された口から弁を取外すことは該口から安全逃がし弁を除去することを含む、請求項29に記載の方法。
【請求項31】
センサーを含む装置を用意することは予備決定最小純度を有する物質の存在において該物質純度を該予備定量最小限以下に低下させることなく該容器内で操作するように構成された装置を提供することを含む、請求項29に記載の方法。
【請求項1】
予備決定最小純度を有する第一物質を保管するために使用される容器内で作業を実行する装置であって、該装置は、
本体;
該本体に可動連結され、該装置が該容器内で作業を実行しているときに該容器面に該装置を支持する車輪及び/又は軌道;及び
該本体に取付けられ、該装置が該容器内で作業を実行しているときに少なくとも一部が該本体と該容器面の間に配置された、外殻を含み、該外殻と該車輪及び/又は軌道は該第一物質が一以上の物質にさらされるときには該第一物質純度を予備決定最小限未満に低下させない一以上の物質から形成されている、装置。
【請求項2】
該外殻と該車輪及び/又は軌道を形成している該一以上の物質は各々、該容器を形成している物質の硬度以下の硬度を有する、請求項1に記載の装置。
【請求項3】
該外殻と該車輪及び/又は軌道を形成している物質はポリテトラフルオロエチレンである、請求項1に記載の装置。
【請求項4】
さらに該車輪及び/又は軌道を駆動するモーターを含む、請求項1に記載の装置。
【請求項5】
さらに該本体に装備された検出器を含む、請求項1に記載の装置。
【請求項6】
該検出器は録画カメラである、請求項5に記載の装置。
【請求項7】
さらに該本体に取付けられたつなぎ鎖を含む、請求項1に記載の装置。
【請求項8】
該装置は、さらにハウジングと、該ハウジングに関して回転することができるように該ハウジングに取付けられる巻心を含み、該つなぎ鎖は該巻心に巻かれることができるように該巻心に結合されている、請求項7に記載の装置。
【請求項9】
該ハウジングは該第一物質がガスにさらされるときに該第一物質純度を該予備決定最小限未満に低下させないガスでパージされる、請求項8に記載の装置。
【請求項10】
該装置は安全逃がし弁をもつ容器口に収まる大きさに作られる、請求項1に記載の装置。
【請求項11】
さらに該本体に可動連結された真空収集と、該真空収集に流体連絡する真空源を含む請求項1に記載の装置。
【請求項12】
さらに該本体に可動連結された噴出口と、該噴出口と流体連絡する充填物貯蔵器を含む請求項1に記載の装置。
【請求項13】
容器の内部に関して情報を得るシステムであって、容器内部に入ることができる装置を含み、該装置は、本体;該本体に装備されたセンサー;該装置から情報を伝達する送信機と該情報を蓄える記憶−収納装置の少なくとも1つ;及び、該本体を少なくとも部分的に囲み、該装置他部分から破壊物破片及び粒状物質を受けることができる外殻を含む、システム。
【請求項14】
該容器は予備決定最小純度を有する第一物質を保管するために使用され、該外殻は該外殻を形成している物質に該第一物質がさらされるときには該第一物質純度を該予備決定最小限未満に低下させない物質から形成される、請求項13に記載のシステム。
【請求項15】
さらに該装置に通信で連結された作業者コンソールを含み、該装置についての指向入力を発生する制御器を含む請求項13に記載のシステム。
【請求項16】
予決定最小純度を有する第一物質の存在において該第一物質純度を該予決定最小限未満に低下させることなく作業するように構成された装置を用意すること、
該第一物質を保管するように構成された容器の内容積に該装置を挿入すること、及び
該装置を使用して該容器を検査及び/又は補修することを含む方法。
【請求項17】
該装置を使用して該容器を検査及び/又は補修することは該装置検出器を用いて該容器に関する情報を得ることを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項18】
該装置を使用して該容器を検査及び/又は補修することは該内容積から破壊屑及び/又は粒状物質を収集することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項19】
さらに該破片及び/又は粒状物質を分析し、該破壊屑及び/又は粒状物質識別点及び/又は源を決定することを含む、請求項18に記載の方法。
【請求項20】
該装置を使用して該容器を検査及び/又は補修することは該容器面を上塗布することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項21】
該装置センサーを用いて該容器に関する情報を得ることはタンクについての割れ;圧痕;溶接欠陥;母材欠陥;腐蝕;へこみ、及び/又はあるいは折りじわを検出及び/又は測定することを含む、請求項17に記載の方法。
【請求項22】
該容器に関する情報を該装置センサーを用いて得ることは容器内配管構成に関する情報を得ることを含む、請求項17に記載の方法。
【請求項23】
該第一物質を保管するように構成された容器内容積へ該装置を挿入することは
該容器弁システムの第一弁を開き;
該第一弁によって該第一弁と該弁システムの第二弁間に配置される第一導管に該装置を機動し;
該第一弁を閉じ;
該第二弁を開き;及び
該第二弁と該第二弁ならびに該容器とに連結される第二導管によって該内容積に該装置を機動することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項24】
該第一物質を保管するように構成された容器内容積へ該装置を挿入することは該第一弁を閉じる前及び該第二弁を開いた後に該第一導管内部の容積を浄化することを含む、請求項23に記載の方法。
【請求項25】
予備決定最小純度を有する第一物質の存在において該予備決定最小限未満に該第一物質純度を低下させることなく作業するように構成された装置を用意することは(i) 該装置により発生される破壊屑及び粒状物質を受けるように構成され、及び(ii) 物質が該第一物質と接触するときには該第一物質純度を該予備定量最小限未満に低下しない物質から形成された外板を有する装置を提供することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項26】
予備決定最小純度を有する第一物質の存在において該予備決定最小限未満に該第一物質純度を低下させることなく作業するように構成された装置を提供することは該物質が該第一物質と接触するときには該第一物質純度を該予備定量最小限未満に低下させない物質から形成される車輪及び/又は転動体を有する装置を提供することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項27】
さらにガスが該第一物質と接触するときには該第一物質純度を該予備決定最小限未満に低下させないガスで該内容積を浄化することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項28】
さらに該第一物質の存在において該第一物質純度を該予備決定最小限未満に低下させることなく作動するように構成された第二の装置を使用して該装置を牽引及び/又は押すことにより該装置を該内容積から除去することを含む、請求項16に記載の方法。
【請求項29】
内容積を有する容器を検査する方法であって、
センサーを含む装置を用意すること;
該容器外殻に形成された口から弁を取外すこと;
該口によって該装置を該内容積へ導入すること;及び
該センサーから該容器に関する情報を得ることを含む方法。
【請求項30】
該容器外殻に形成された口から弁を取外すことは該口から安全逃がし弁を除去することを含む、請求項29に記載の方法。
【請求項31】
センサーを含む装置を用意することは予備決定最小純度を有する物質の存在において該物質純度を該予備定量最小限以下に低下させることなく該容器内で操作するように構成された装置を提供することを含む、請求項29に記載の方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【公開番号】特開2009−126585(P2009−126585A)
【公開日】平成21年6月11日(2009.6.11)
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願2008−300711(P2008−300711)
【出願日】平成20年11月26日(2008.11.26)
【出願人】(591035368)エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド (452)
【氏名又は名称原語表記】AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INCORPORATED
【住所又は居所原語表記】7201 Hamilton Boulevard, Allentown, Pennsylvania 18195−1501, USA
【Fターム(参考)】
【公開日】平成21年6月11日(2009.6.11)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2008−300711(P2008−300711)
【出願日】平成20年11月26日(2008.11.26)
【出願人】(591035368)エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド (452)
【氏名又は名称原語表記】AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INCORPORATED
【住所又は居所原語表記】7201 Hamilton Boulevard, Allentown, Pennsylvania 18195−1501, USA
【Fターム(参考)】
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