拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体

【課題】異なる観察手段を用いた傾斜観察において傾斜角度の換算を不要として、容易に傾斜角度を一致させる。
【解決手段】電子線撮像手段１１又は光学系撮像手段１２のいずれか一方の観察手段で取得した静止画を記憶するための静止画記憶手段２６６と、静止画が取得されたときの、回動手段３０の回動位置に基づく位置情報を、第一回動位置情報として記憶するための回動位置記憶手段２６７と、静止画記憶手段２６６で記憶された静止画と、該静止画を取得した観察手段とは異なる他方の観察手段で観察中の観察像を、表示内容を逐次更新して表示するライブ画像とを、表示手段２に表示させると共に、静止画記憶手段２６６で記憶された該静止画の傾斜角度を示す第一回動位置情報と、表示手段２上で表示中のライブ画像における、回動手段３０の回動位置に基づく位置情報を第二回動位置情報として、表示手段２に表示させるための傾斜角度換算手段２６１とを備える。

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察手段として、
試料の電子顕微鏡画像を静止画として取得可能な電子線撮像手段と、
試料の光学画像を静止画として取得可能な光学系撮像手段と、
前記電子線撮像手段および光学系撮像手段が一定のオフセット角度にて配置されている胴部と、
前記胴部の内部空間において試料を載置するための試料台と、
前記電子線撮像手段と前記光学系撮像手段とがオフセットする方向に、少なくとも前記一定のオフセット角度以上の範囲にて、前記胴部又は試料台の少なくともいずれか一方を回動させことにより、前記電子線撮像手段又は光学系撮像手段のいずれかの観察手段で取得した電子顕微鏡画像又は光学画像と略同一の傾斜角度で、光学画像又は電子顕微鏡画像を取得可能としてなる回動手段と、
前記回動手段の回動位置を検出するための回動位置検出手段と、
前記電子線撮像手段又は光学系撮像手段のいずれか一方の観察手段で取得した静止画と、該静止画を取得した観察手段とは異なる他方の観察手段で観察中の観察像を、表示内容を逐次更新して表示するライブ画像として、それぞれ表示可能な表示手段と、
前記回動位置検出手段で検出された、
該いずれか一方の観察手段で前記静止画を取得した際の、前記回動手段の回動位置を、第一回動位置情報として固定値で、
前記表示手段上で表示中のライブ画像の撮像時における前記回動手段の回動位置を、第二回動位置情報として、逐次更新する変動値として、
それぞれ前記表示手段に表示させるための傾斜角度換算手段と、
を備えることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項２】
請求項１に記載の拡大観察装置であって、
前記電子線撮像手段又は光学系撮像手段のいずれか一方の観察手段で取得した静止画を記憶するための静止画記憶手段と、
前記静止画が取得されたときの、前記回動手段の回動位置に基づく回動位置情報を、第一回動位置情報として記憶するための回動位置記憶手段と、
を備えることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項３】
請求項２に記載の拡大観察装置であって、
前記静止画記憶手段と、前記回動位置記憶手段とが、共通の記憶手段で構成されてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記傾斜角度換算手段が、前記回動位置検出手段で検出された回動手段の回動位置に基づいて、第一回動位置情報及び第二回動位置情報を、各観察手段の、前記試料台に対する傾斜角度として、それぞれ換算してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記回動位置情報が、試料の観察面に対する垂直線を基準とする前記観察手段の光軸の入射角度であることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記回動位置検出手段が、前記電子線撮像手段又は光学系撮像手段のいずれかの傾斜角度を第一回動位置情報として検出し、
前記傾斜角度換算手段が、第二回動位置情報を、前記第一回動位置情報から前記オフセット角度を減算した値として換算してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記回動手段は、前記胴部を回動させることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項８】
請求項１から６のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記回動手段は、前記試料台を回動させることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記傾斜角度換算手段が、前記第二回動位置情報を、前記第一回動位置情報を目標値とする差分にて表示させてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記電子線撮像手段及び前記光学系撮像手段はそれぞれ、拡大倍率を調整可能であり、
前記表示手段上に表示される静止画及びライブ画像に、撮像時の拡大倍率を表示可能に構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、さらに、
電子顕微鏡画像及び光学画像画像を、前記表示手段の上下又は左右に並べて表示させるための表示方法選択手段を備えてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、さらに、
操作対象の観察手段を、一方の観察手段から他方の観察手段に切り替えるための表示切替手段を備えており、
前記表示切替手段で一方の観察手段から他方の観察手段に切り替えるタイミングで、該タイミングにおいて一方の観察手段で取得された観察像を静止画として前記表示手段上に表示させると共に、
他方の観察手段で取得される観察像をライブ画像として、前記表示手段上に表示させてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１３】
試料の電子顕微鏡画像を取得可能な電子線撮像手段と、試料の光学画像を取得可能な光学系撮像手段を、胴部において一定のオフセット角度差にて固定した拡大観察装置を用いて、前記胴部の内部空間において試料台に載置された試料を、前記胴部又は試料台の少なくともいずれか一方を回動手段を前記電子線撮像手段と前記光学系撮像手段とがオフセットする方向に回動させた状態で拡大観察する拡大観察方法であって、
前記電子線撮像手段又は光学系撮像手段のいずれかの観察手段で電子顕微鏡画像又は光学画像を取得し、静止画として表示手段上に表示させると共に、前記静止画が取得されたときの、前記回動手段の回動位置に基づく位置情報を回動位置検出手段で検出し、第一回動位置情報として前記表示手段に表示させる工程と、
前記静止画と、該静止画を取得した観察手段とは異なる他方の観察手段で観察中の観察像を、表示内容を逐次更新して表示するライブ画像として、前記表示手段に表示させると共に、該表示中のライブ画像を取得した際の回動手段における位置情報を回動位置検出手段で逐次検出し、第二回動位置情報として前記表示手段に逐次表示させ、該第二回動位置情報が前記第一回動位置情報と一致するように前記回動手段の回転角度の調整を促す工程と、
を含むことを特徴とする拡大観察方法。
【請求項１４】
試料の電子顕微鏡画像を取得可能な電子線撮像手段と、試料の光学画像を取得可能な光学系撮像手段を、胴部において一定のオフセット角度差にて固定した拡大観察装置を用いて、前記胴部の内部空間において試料台に載置された試料を、前記胴部又は試料台の少なくともいずれか一方を回動手段を前記電子線撮像手段と前記光学系撮像手段とがオフセットする方向に回動させた状態で拡大観察する拡大観察用プログラムであって、
前記胴部又は試料台の少なくともいずれか一方を回動手段で回動させことにより、前記電子線撮像手段又は光学系撮像手段のいずれかの観察手段で電子顕微鏡画像又は光学画像を取得し、静止画として表示手段上に表示させる静止画表示機能と、
前記静止画が取得されたときの、前記回動手段の回動位置に基づく位置情報を回動位置検出手段で検出し、第一回動位置情報として前記表示手段に表示させる傾斜角度表示機能と、
前記静止画と、該静止画を取得した観察手段とは異なる他方の観察手段で観察中の観察像を、表示内容を逐次更新して表示するライブ画像として、前記表示手段に表示させるライブ画像表示機能と、
該表示中のライブ画像を取得した際の回動手段における位置情報を回動位置検出手段で逐次検出し、第二回動位置情報として前記表示手段に逐次表示させる傾斜角度換算機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする拡大観察用プログラム。
【請求項１５】
請求項１４に記載されるプログラムを格納したコンピュータで読み取り可能な記録媒体。

【図２Ａ】