拡大観察装置及び拡大観察方法

【課題】回転による視野の変化を試料台の位置に依らず一定にして変化の把握を容易にする。
【解決手段】内部空間を中空状として減圧可能な試料室を構成する胴部と、胴部の開口端を開閉自在に閉塞し、試料室を気密状態に維持可能な蓋部と、試料室内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段と、胴部を回転させるための回動手段と、試料室内に設置され、観察対象の試料を載置するための試料載置面を有する試料台３３と、試料台３３をＸＹ方向に線状移動させるためのＸＹ移動機構７５と、試料台３３をＸＹ面と直行するＲ軸を中心として回転移動させるためのＲ軸回転機構７６とを備え、Ｒ軸回転機構７６は、ＸＹ移動機構７５による試料台３３の位置に依らず、回転中心であるＲ軸を電子線撮像手段による観察視野中の所定位置とするＲ軸維持機構７７を備える。

Notice: Undefined index: DEJ in /mnt/www/gzt_disp.php on line 298

【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の観察手段を備える拡大観察装置であって、
内部空間を中空状として減圧可能な試料室を構成する胴部と、
前記胴部の開口端を開閉自在に閉塞し、試料室を気密状態に維持可能な蓋部と、
前記試料室内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段と、
前記胴部を回転させるための回動手段と、
前記試料室内に設置され、観察対象の試料を載置するための試料載置面を有する試料台と、
前記試料台をＸＹ方向に線状移動させるためのＸＹ移動機構と、
前記試料台をＸＹ面と直行するＲ軸を中心として回転移動させるためのＲ軸回転機構と、
を備え、
前記Ｒ軸回転機構は、前記ＸＹ移動機構による前記試料台の位置に依らず、回転中心であるＲ軸を前記電子線撮像手段による観察視野中の所定位置とするＲ軸維持機構を備えてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項２】
請求項１に記載の拡大観察装置であって、
前記Ｒ軸維持機構は、前記試料台が前記ＸＹ移動機構で線状移動される間は、前記試料台との連結を解除した非連結状態であり、
前記Ｒ軸維持機構で前記試料台を回転移動させる際に、前記試料台と連結する連結状態となるよう構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項３】
請求項２に記載の拡大観察装置であって、
前記ＸＹ移動機構は、前記試料台を線状移動する間は前記試料台と連結状態であり、
前記試料台を回転移動する間は前記試料台と非連結状態としてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の拡大観察装置であって、
前記Ｒ軸回転機構は、回転中心となる回転伝達軸を備えており、
前記Ｒ軸維持機構は、前記試料台との連結を、前記回転伝達軸で行うことを特徴とする拡大観察装置。
【請求項５】
請求項４に記載の拡大観察装置であって、
前記回転伝達軸は、
前記試料台の試料載置面の反対面である裏面側に向かって伸縮可能であり、
連結状態においては前記試料台の裏面側に向かって突出してこれを支持し、前記試料台を回転自在にすると共に、
非連結状態においては前記試料台の裏面側から離れるように降下する昇降軸であることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記試料台の裏面側に、
前記試料台の略中心に開口された、前記昇降軸の上端を挿入するための昇降穴と、
前記昇降穴の周囲で、前記ＸＹ移動機構の上面に載置するためのＸＹ載置面と、
を形成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記Ｒ軸回転機構は、
前記試料台をＲ軸方向に回転させるための試料台回転動機構と、
前記試料台と試料台回転動機構とを連結する連結状態と、連結を解除した非連結状態とに切り換え可能な回転機構連結手段と、
を備え、
前記ＸＹ移動機構で前記試料台をＸＹ方向に移動させる際は、前記回転機構連結手段により前記試料台と試料台回転動機構との連結を非連結状態とすることで、前記試料台の回転動を禁止し、
一方前記試料台回転動機構で前記試料台をＲ軸方向に回転させる際は、前記回転機構連結手段により前記試料台と試料台回転動機構とを連結状態とすることで、前記試料台のＸＹ方向への移動を禁止するよう構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項８】
請求項７に記載の拡大観察装置であって、
前記回転機構連結手段は、前記試料台の、試料載置面の背面側に位置された昇降板を上下に移動させるための上下動機構を含み、
前記試料台回転動機構は、前記試料台の背面を、前記昇降板で前記上下動機構により押し上げた状態で、前記昇降板をＲ軸方向に回転させるための回転動機構を含むことを特徴とする拡大観察装置。
【請求項９】
請求項８に記載の拡大観察装置であって、さらに、
前記上下動機構と、前記回転動機構とを操作する共通の操作手段を設けており、
前記共通操作手段の操作によって、前記昇降板の上下動と回転動とを連動させ、前記試料台のＲ軸回転を操作可能に構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の拡大観察装置であって、さらに、
前記回転動機構を操作するＲ軸操作手段と、
前記Ｒ軸操作手段と個別に設けられた、前記上下動機構を操作する上下動操作部と、
を設けてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の拡大観察装置であって、
前記上下動操作部の操作によって、
前記上下動機構で前記昇降板を降下させた非連結位置においては、前記昇降板と前記試料台との連結状態が解除され、前記Ｒ軸操作手段を操作しても前記回転動機構による前記試料台の回転動がなされず、一方前記ＸＹ移動機構による前記試料台をＸＹ方向移動が許容され、
前記上下動機構で前記昇降板を上昇させた連結位置においては、前記昇降板で前記試料台を押し上げて連結状態とされ、前記Ｒ軸操作手段を操作して前記回転動機構によって前記試料台の回転が許容される一方、前記ＸＹ移動機構による前記試料台のＸＹ方向移動が解除されるよう構成されてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、さらに、
前記Ｒ軸維持機構は、Ｒ軸を観察視野の略中心に位置させてなることを特徴とする拡大観察装置。

【図２Ａ】