新規イミダゾールシラン化合物及びその製造方法並びにそれを用いる金属表面処理剤
【目的】 耐熱性に優れ、金属表面に対する防錆作用が高く、しかも金属と樹脂基板との接着性を著しく向上させることができるイミダゾールシラン化合物、その製造方法、及びそれを用いた金属表面処理剤を提供する。
【構成】 下記一般式（１）、（２）又は（３）で表されるイミダゾールシラン化合物。
（Ｒ1はＨ、Ｃ１〜２０のアルキル基、Ｒ2はＨ、ビニル基、Ｃ１〜５のアルキル基、Ｒ3，Ｒ4はＣ１〜３のアルキル基、ｎは１〜３）
【構成】 下記一般式（１）、（２）又は（３）で表されるイミダゾールシラン化合物。
（Ｒ1はＨ、Ｃ１〜２０のアルキル基、Ｒ2はＨ、ビニル基、Ｃ１〜５のアルキル基、Ｒ3，Ｒ4はＣ１〜３のアルキル基、ｎは１〜３）
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属表面の防錆或いは接着性の改善等を行うための表面処理剤、特にはプリント回路用銅張積層板等に用いられる銅箔用表面処理剤として有用な新規なイミダゾールシラン化合物及びその製造方法、並びにその用途に関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント回路用の銅張積層板は銅箔を紙−フェノール樹脂含浸基材やガラス−エポキシ樹脂含浸基材等に加熱、加圧して積層して形成され、これをエッチングして回路網を形成し、これに半導体装置等の素子を搭載することにより電子機器用のボードが作られる。これらの過程では、基材との接着、加熱、酸やアルカリ液への浸漬、レジストインクの塗布、ハンダ付け等が行われるため、銅箔には各種の性能が要求される。たとえば、通常Ｍ面（粗化面、以下同様）と呼称されている基材と接着される側には主として基材との接着性、耐薬品性等が要求され、又Ｍ面の反対側の通常Ｓ面（光沢面、以下同様）と呼称されている側には主として耐熱性、耐湿性等が要求されている。又これらの両面には保管時に銅箔の酸化変色のないことも要求されている。これらの要求を満たすために、銅箔のＭ面には黄銅層形成処理（特公昭５１−３５７１１号公報、同５４−６７０１号公報）、Ｍ、Ｓ双方の面にはクロメート処理、亜鉛または酸化亜鉛とクロム酸化物とからなる亜鉛−クロム基混合物被覆処理等（特公昭５８−７０７７号公報）が行われている。ところで、最近銅箔のＳ面の耐熱性に関しては、高耐熱樹脂等の出現により、従来の２００℃×３０分からより高温の例えば２２０℃又は２４０℃×３０分の高温条件下でも酸化変色が起こらないこと等が要求されるようになってきている。加えて、近年プリント配線板の微細化への要請がますます増大化しているが、これに伴うエッチング精度の向上に対応するためＭ面にはさらに低い表面粗さ（ロープロファイル）も求められている。しかし、Ｍ面の表面粗さは一方では基材との接着にあたって、アンカー効果をもたらしているので、Ｍ面に対するこのロープロファイルの要求と接着力の向上とは二律背反の関係にあり、ロープロファイル化によるアンカー効果の低減分は別の手段による接着力の向上で補償することが必要である。
【０００３】また接着力の増強手段としてあるいは前記したロープロファイル化に伴う接着力の増強手段としてＭ面にシランカップリング剤を塗布する方法も提案されている（特公平２−１９９９４号公報、特開昭６３−１８３１７８号公報、特開平２−２６０９７号公報）。
【０００４】この種のシランカップリング剤としては、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン等が知られている［「高分子添加剤の最新技術」１２０〜１３４頁、シーエムシー、１９８８年１月６日発行］。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記したように最近プリント回路が緻密化しているので、使用されるプリント回路用銅箔に要求される特性はますます厳しくなっている。本発明は、こうした要請に対応できる、すなわち耐熱性に優れ、金属表面に対する防錆作用が高く、しかも金属と樹脂基板との接着性を著しく向上させることができる新規なシラン化合物、その製造方法、及びそれを用いた新規な金属表面処理剤、特に銅箔用表面処理剤を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、鋭意研究を進めた結果、特定のイミダゾール環を有するシラン化合物が金属表面に対し優れた防錆作用を有するとともに、金属と樹脂基板との接着性を著しく向上させることを見出した。
【０００７】本発明は、かかる知見に基づきなされたものであり、その要旨は、（１）下記一般式（１）、（２）又は（３）で表される新規イミダゾールシラン化合物。
【０００８】
【化３】
【０００９】（ただし、一般式（１），（２）又は（３）において、Ｒ1は水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数が１〜５のアルキル基、Ｒ3，Ｒ4は炭素数が１〜３のアルキル基、ｎは１〜３）
（２）下記一般式（４）で表されるイミダゾール化合物と下記一般式（５）で表される３−グリシドキシプロピルシラン化合物とを、８０〜２００℃で反応されることを特徴とする請求項１記載のイミダゾールシラン化合物の製造方法。
【００１０】
【化４】
【００１１】（ただし、一般式（４），（５）において、Ｒ1は水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数が１〜５のアルキル基、Ｒ3，Ｒ4は炭素数が１〜３のアルキル基、ｎは１〜３）及び（３）前記１記載の一般式（１）、（２）又は（３）で表されるイミダゾールシラン化合物の少なくとも１種を有効成分とする金属表面処理剤。
【００１２】（４）前記１記載の一般式（１）、（２）又は（３）で表されるイミダゾールシラン化合物の少なくとも１種を有効成分とする銅箔用表面処理剤にある。
【００１３】以下に本発明をさらに詳細に説明する。
【００１４】上記一般式（１）、（２）又は（３）におけるＲ1は、水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基であるが、特には合成の容易性から水素、メチル基、エチル基、ウンデシル基、ヘプタデシル基等が好適である。Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数が１〜５のアルキル基であるが、特には合成の容易性から水素、メチル基、ビニル基等が好適である。Ｒ3又はＲ4は炭素数が１〜３のアルキル基であるが、特には合成の容易性からメチル基、エチル基が好適である。またｎは１〜３である。
【００１５】本発明の上記イミダゾールシラン化合物（１）、（２）又は（３）は、一般式（４）で表されるイミダゾール化合物と一般式（５）で表される３−グリシドキシプロピルシラン化合物とを、８０〜２００℃で反応させることにより製造することができる。その反応を式で示すと次のようになる。
【００１６】
【化５】
【００１７】（上記式中、Ｒ1は水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数１〜５のアルキル基、Ｒ3及びＲ4は炭素数１〜３のアルキル基、ｎは１〜３を表す）上記一般式（４）で表されるイミダゾール化合物として好ましいのは、イミダゾール、２−アルキルイミダゾール、２，４−ジアルキルイミダゾール、４−ビニルイミダゾール等である。これらのうちとくに好ましいのは、イミダゾール；２−アルキルイミダゾールとしては、２−メチルイミダゾール、２−エチルイミダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾール；また、２，４−ジアルキルイミダゾールとしては、２−エチル−４−メチルイミダゾール等を挙げることができる。又上記一般式（５）で表される３−グリシドキシプロピルシラン化合物は、３−グリシドキシプロピルトリアルコキシシラン、３−グリシドキシプロピルジアルコキシアルキルシラン、３−グリシドキシプロピルアルコキシジアルキルシランであり、これらのうちとくに好ましいものを挙げれば、３−グリシドキシプロピルトリアルコキシシランとしては、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、また３−グリシドキシプロピルジアルコキシアルキルシランとしては、３−グリシドキシプロピルジメトキシメチルシラン、３−グリシドキシプロピルアルコキシジアルキルシランとしては、３−グリシドキシプロピルエトキシジメチルシラン等である。
【００１８】上記イミダゾール化合物と３−グリシドキシプロピルシラン化合物との反応は、８０〜２００℃の温度に加熱したイミダゾール化合物に０．１〜１０モル倍量の３−グリシドキシプロピルシラン化合物を滴下させながら行うと良く、反応時間は５分〜２時間程度で十分である。この反応は特には溶媒を必要とはしないが、クロロホルム、ジオキサン、メタノール、エタノール等の有機溶剤を反応溶媒として用いてもよい。尚、この反応は、水分を嫌うので、水分が混入しないように、乾燥した窒素、アルゴン等の水分を含まない気体の雰囲気下で行うことが好ましい。
【００１９】この反応において、上記一般式（１）、（２）及び（３）で示したイミダゾールシラン化合物は混合物の状態で得られるが、これらの化合物は、溶解度の差を利用する方法、カラムクロマトグラフィー等の既知の手段により精製され、単離されうる。尚、金属表面処理剤として用いる場合は、これらのイミダゾールシラン化合物は必ずしも単離する必要はなく、混合物のまま用いることが簡便で好ましい。なお、生成物中の各成分組成は、一般に一般式（１）：同（２）：同（３）＝（４０〜８０）：（１０〜３０）：（５〜４０）（液体クロマトグラフィーで分析したときの面積比）である。
【００２０】上記イミダゾールシラン化合物を金属表面処理剤として用いる場合、その対象金属には特に制限はない。たとえば銅、亜鉛及びこれらの合金等の表面処理剤として有用である。しかし、銅の表面処理剤として用いることが好適であり、特にはプリント回路用銅張積層板等に用いられる銅箔の表面処理剤として用いると本発明の効果を十分に発揮することができる。この銅箔には銅箔の表面を粗面化処理したもの、銅箔に黄銅層形成処理したもの、クロメート処理したもの、亜鉛−クロム基混合物被覆処理したもの等も包含される。
【００２１】上記イミダゾールシラン化合物は、少なくともその一種をそのまま直接金属表面に塗布してもよいが、水、メタノール、エタノール等のアルコール類、更には、アセトン、酢酸エチル、トルエン等の溶剤で０．００１〜２０重量％になるように希釈し、この液に金属を浸漬させる方法で塗布することが簡便で好ましい。尚、このイミダゾールシラン化合物は単独で用いてもよいが、複数のイミダゾールシラン化合物を混合して用いてもよく、また他の防錆剤、或いは、カップリング剤等と混合して用いてもよい。
【００２２】
【実施例】
イミダゾールシラン化合物の合成１（イミダゾール化合物と３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランとの反応）
実施例１イミダゾール３．４ｇ（０．０５ｍｏｌ）を９５℃で融解し、アルゴン雰囲気下で撹拌しながら、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン１１．８ｇ（０．０５ｍｏｌ）を３０分間かけて滴下した。滴下終了後、さらに９５℃の温度で１時間反応させた。
【００２３】反応生成物は透明な橙色の粘稠な液体（以下「混合成分１」という）として得られた。
【００２４】この生成物は透明な橙色の粘性液体で数週間以上ゲル化せず安定であった。また水、アルコール、クロロホルム等に可溶であり、液体クロマトグラフィー及びゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより３成分の混合物であることを確認した。
【００２５】又、この一部を採取して、1Ｈ−ＮＭＲで分析した結果、＞ＮＨピークは完全に消失しており、反応は完全に進行していた。又ＩＲよりＯＨ基の伸縮振動のピークも確認され、これからも上記した反応が進行したことがわかった（図１、２）。
【００２６】上記反応生成物７．５ｇにクロロホルム４ｍｌを添加して当該生成物を溶解し、次いで、これをテトラヒドロフラン１５０ｍｌ中に注いだ。析出物をろ過して除去した後、溶媒を留去し粘性液体４．３ｇを得た。これを液体クロマトグラフィー及びゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定した結果、単成分（以下「化合物１」という）であることが確認された。
【００２７】化合物１及び混合成分１について1Ｈ−ＮＭＲ、ＩＲ、ＭＳスペクトル分析を行った。（混合成分１の1Ｈ−ＮＭＲスペクトルを図１に同ＩＲスペクトルを図２、又化合物１の1Ｈ−ＮＭＲスペクトルを図３に、同ＩＲスペクトルを図４に示す。）この結果を次に示した。
【００２８】（化合物１）
1Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ3，δｐｐｍ）；０．４〜０．７（ｍ，２Ｈ）、１．５〜１．８（ｍ，２Ｈ）、２．９〜４．３（ｍ，１３Ｈ）、６．９３（ｓ，１Ｈ）、６．９５（ｓ，１Ｈ）、７．４４（ｓ，１Ｈ）
ＩＲ（ｎｅａｔ，ｃｍ‐1）；２９４０〜２８４０（νCH）、１０９０、８１０（νSiOMe）
ＭＳ；２７２（Ｍ+）
（混合成分）
1Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ3，δｐｐｍ）；０．４〜０．７（ｍ，２Ｈ）、１．４〜１．７（ｍ，２Ｈ）、３．０〜４．３（ｍ，１４．８Ｈ）、６．８〜７．０（ｍ，２Ｈ）、７．３（ｓ，１Ｈ）、７．２〜７．５（ｍ，１Ｈ）
ＩＲ（ｎｅａｔ，ｃｍ‐1）；３５００〜３０００（νOH）、２９４０〜２８４０(νCH）、１０９０、８２０（νSiOMe）
これらの結果から、上記化合物１は上記一般式（２）においてＲ1，Ｒ2が水素、Ｒ3がメチル、ｎが３である下記式（２−１）の構造を有し、混合成分１には式（２−１）の化合物の他、下記式（１−１）及び（３−１）の構造を有する化合物が混合していることが分かった。そして、この３成分の混合組成比はエタノール／ヘキサン溶媒、液体クロマトグラフィーで分析したときの面積比でおよそ式（１−１）：（２−１）：（３−１）＝４５：２２：３３であった。
【００２９】
【化６】
【００３０】実施例２〜７実施例１のイミダゾールに代えて、表１に示したイミダゾール化合物を使用し、又、反応温度を表１に示した反応温度とした以外は実施例１と同様に反応を行った。
【００３１】
【表１】
【００３２】反応生成物は、いずれも透明な橙色の粘稠な液体として得られた。生成物は実施例１と同様、1Ｈ−ＮＭＲとＩＲにより同定し、それぞれ前記一般式（１），（２）及び（３）に対応する構造を有する混合物であることを確認した。
【００３３】次に、以上生成したイミダゾールシラン（混合成分１〜７および化合物１）を銅箔の表面処理剤として評価した。評価方法は以下の通りである。
【００３４】耐熱性試験電解銅箔（厚さ７５μｍ、４．５×４．５ｃｍ）をアセトンで脱脂し、３％の硫酸水溶液で洗浄した。この銅箔の光沢面に、前記で得られた化合物１及び混合成分１〜７のイミダゾールシラン化合物をそれぞれ６重量％の濃度になるようにメタノールに溶解し、この溶液をスピンコーターで塗布し、０．３μｍのイミダゾールシラン化合物の薄膜を作成し、これを試験片とした。
【００３５】この試験片をそれぞれ、１８０℃、２００℃、２２０℃、２４０℃の温度の恒温槽に３０分間入れて、加熱処理した。比較のため、上記イミダゾールシラン化合物に代えて、シランカップリング剤として市販されている３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（以下単に「エポキシシラン」と言う）の１０重量％メタノール溶液を同様に０．３μｍ塗布した銅箔及び何も塗布しない銅箔（以下「ブランク」とする）について同様に加熱処理した。加熱後の変色の程度で耐熱性を評価し、結果を表２に示した。
【００３６】耐湿性試験上記耐熱性試験と同様にしてイミダゾールシラン、エポキシシランを塗布した試験片及ブランクを温度８０℃、湿度９５％の恒温槽に２４時間入れ、変色の程度で耐湿性を評価した。この結果も表２に併せて示した。
【００３７】接着性試験電解銅箔（３３μｍ）の粗化面に黄銅層を形成後、亜鉛又は酸化亜鉛とクロム酸化物との亜鉛−クロム基混合物をめっき被覆した銅箔（２５×２５ｃｍ）を、イミダゾールシランの０．４重量％メタノール溶液に浸漬した。これをクリップで吊り下げ、余分な液を落とした後、１００℃の乾燥器中で、５分間乾燥した。そして前記銅箔の粗化面をガラス繊維クロスにエポキシ樹脂を含浸させた基材に接着し、ＪＩＳ Ｃ ６４８１に規定する方法により常態ピール強度を測定した。比較のため、イミダゾールシランの代わりにエポキシシランを用いて同様の処理を行ったもの及び浸漬処理を行わないものについても同様の方法で接着性を試験した。この結果も表２に併せて示した。
【００３８】
【表２】
【００３９】(注）耐熱性、耐湿性試験；５：変色なし、４：わずかに変色３：少し変色、２：橙色または黄色に変色、１：黒褐色に変色実施例８〜１０イミダゾールシラン化合物の合成２（イミダゾール化合物と３−グリシドキシプロピルトリエトキシシランとの反応）表３に示したイミダゾール化合物を使用し、３−グリシドキシプロピルシラン化合物を３−グリシドキシプロピルトリエトキシシランとし、表３に示した反応温度で実施例１と同様の反応をした。
【００４０】
【表３】
【００４１】反応生成物は、いずれも透明な橙色の粘稠な液体として得られた。生成物は実施例１と同様、1Ｈ−ＮＭＲとＩＲにより同定し、それぞれ前記一般式（１）、（２）及び（３）に対応する構造を有する混合物であることを確認した。
【００４２】以上生成したイミダゾールシラン（混合成分８〜１０）を銅箔の表面処理剤として実施例１〜７の方法と同様の方法で光沢面について耐熱性、耐湿性、粗化面について接着性を評価した。結果を表４に示した。
【００４３】
【表４】
【００４４】耐熱性、耐湿性試験;５：変色なし、４：わずかに変色、３：少し変色、２：橙色または黄色に変色、１：黒褐色に変色実施例１１〜１４イミダゾールシラン化合物の合成３（イミダゾール化合物と３−グリシドキシプロピルジメトキシメチルシランとの反応）表５に示したイミダゾール化合物を使用し、３−グリシドキシプロピルシラン化合物を３−グリシドキシプロピルジメトキシメチルシランとし、表５に示した反応温度で実施例１と同様の反応をした。
【００４５】
【表５】
【００４６】反応生成物は、いずれも透明な橙色の粘稠な液体として得られた。生成物は実施例１と同様1Ｈ−ＮＭＲとＩＲにより同定し、それぞれ前記一般式（１）、（２）及び（３）に対応する構造を有する混合物であることを確認した。
【００４７】図５は生成物混合成分１１の1Ｈ−ＮＭＲスペクトル、図６は同ＩＲスペクトルである。
【００４８】これらの分析の結果を示すと、1Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ3 δｐｐｍ）
−０．２（ｓ，３Ｈ）、０．１〜０．４（ｍ，２Ｈ）、１．１〜１．４（ｍ，２Ｈ）、２．９〜３．３（ｍ，８Ｈ）、３．６〜３．９（ｍ，３Ｈ）、６．６（ｓ，１Ｈ）、６．７（ｓ，１Ｈ）
７．１（ｓ，１Ｈ）、７．２（ｓ，１Ｈ）
ＩＲ（ｎｅａｔ，ｃｍ-1）
３６００〜３０００（νOH）、２９４０〜２８３０（νCH）、１２６０（δCH（ＳｉＭｅ））、１０９０，８１５（νSiOMe）、７８０（（νSiC（ＳｉＭｅ））
以上生成したイミダゾールシラン（混合成分１１〜１４）を銅箔の表面処理剤として実施例１〜７の方法と同様の方法で光沢面について耐熱性、粗化面について接着性を評価した。結果を表６に示した。
【００４９】
【表６】
【００５０】耐熱性、耐湿性試験;５：変色なし、４：わずかに変色、３：少し変色、２：橙色または黄色に変色、１：黒褐色に変色実施例１５〜１７イミダゾールシラン化合物の合成４（イミダゾール化合物と３−グリシドキシプロピルエトキシジメチルシランとの反応）表７に示したイミダゾール化合物を使用し、３−グリシドキシプロピルシラン化合物を３−グリシドキシプロピルエトキシジメチルシランとし、表７に示した反応温度で実施例１と同様の反応を行った。
【００５１】
【表７】
【００５２】反応生成物は、いずれも透明な橙色の粘稠な液体として得られた。生成物は実施例１と同様1Ｈ−ＮＭＲとＩＲにより同定し、それぞれ前記一般式（１）、（２）及び（３）に対応する構造を有する混合物であることを確認した。
【００５３】又、実施例１５で得られた生成物の組成比は式（１）：式（２）：式（３）＝７３：１９：８（ＴＨＦ溶媒ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で分析したときの面積比）であった。
【００５４】図７は生成物混合成分１５の1Ｈ−ＮＭＲスペクトル、図８は同ＩＲのスペクトルである。これらの分析結果を示すと、1Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ3 δｐｐｍ）
０〜０．１（ｍ，６Ｈ）、０．４〜０．７（ｍ，２Ｈ）、１．１〜１．３（ｍ，３Ｈ）、１．４〜１．７（ｍ，２Ｈ）、３．２〜３．５（ｍ，４Ｈ）、３．６〜３．７（ｑ，２Ｈ）、３．９〜４．２（ｍ，３Ｈ）、６．９（ｓ，１Ｈ）、７．０（ｓ，１Ｈ）
７．３（ｓ，１Ｈ）、７．５（ｓ，１Ｈ）
ＩＲ（ｎｅａｔ，ｃｍ-1）
３５００〜３０００（νOH）、２９５０〜２８５０（νCH）、１２５５［δCH（ＳｉＭｅ）］、１１１０，１０９０（νSiOEt）、８０５，７８０［νSiC（ＳｉＭｅ）］
以上生成したイミダゾールシラン（混合成分１５〜１７）を銅箔の表面処理剤として実施例１〜７の方法と同様の方法で光沢面の耐熱性を評価した。結果を表８に示した。
【００５５】
【表８】
【００５６】耐熱性、耐湿性試験;５：変色なし、４：わずかに変色、３：少し変色、２：橙色または黄色に変色、１：黒褐色に変色以上の結果から本発明の化合物が、金属の表面処理剤として耐熱性、耐湿性（防錆作用）、接着向上作用等に優れていることがわかる。
【００５７】
【発明の効果】本発明の新規なイミダゾールシラン化合物は金属表面処理剤、特に銅箔用表面処理剤として有用なもので、耐熱性及び防錆作用に優れ、しかも金属と樹脂基板との接着性を著しく向上させることができるという効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】混合成分１の1Ｈ−ＮＭＲスペクトル
【図２】同ＩＲスペクトル
【図３】化合物１（式（２−１））の1Ｈ−ＮＭＲスペクトル
【図４】同ＩＲスペクトル
【図５】混合成分１１の1Ｈ−ＮＭＲスペクトル
【図６】同ＩＲスペクトル
【図７】混合成分１５の1Ｈ−ＮＭＲスペクトル
【図８】同ＩＲスペクトル
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属表面の防錆或いは接着性の改善等を行うための表面処理剤、特にはプリント回路用銅張積層板等に用いられる銅箔用表面処理剤として有用な新規なイミダゾールシラン化合物及びその製造方法、並びにその用途に関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント回路用の銅張積層板は銅箔を紙−フェノール樹脂含浸基材やガラス−エポキシ樹脂含浸基材等に加熱、加圧して積層して形成され、これをエッチングして回路網を形成し、これに半導体装置等の素子を搭載することにより電子機器用のボードが作られる。これらの過程では、基材との接着、加熱、酸やアルカリ液への浸漬、レジストインクの塗布、ハンダ付け等が行われるため、銅箔には各種の性能が要求される。たとえば、通常Ｍ面（粗化面、以下同様）と呼称されている基材と接着される側には主として基材との接着性、耐薬品性等が要求され、又Ｍ面の反対側の通常Ｓ面（光沢面、以下同様）と呼称されている側には主として耐熱性、耐湿性等が要求されている。又これらの両面には保管時に銅箔の酸化変色のないことも要求されている。これらの要求を満たすために、銅箔のＭ面には黄銅層形成処理（特公昭５１−３５７１１号公報、同５４−６７０１号公報）、Ｍ、Ｓ双方の面にはクロメート処理、亜鉛または酸化亜鉛とクロム酸化物とからなる亜鉛−クロム基混合物被覆処理等（特公昭５８−７０７７号公報）が行われている。ところで、最近銅箔のＳ面の耐熱性に関しては、高耐熱樹脂等の出現により、従来の２００℃×３０分からより高温の例えば２２０℃又は２４０℃×３０分の高温条件下でも酸化変色が起こらないこと等が要求されるようになってきている。加えて、近年プリント配線板の微細化への要請がますます増大化しているが、これに伴うエッチング精度の向上に対応するためＭ面にはさらに低い表面粗さ（ロープロファイル）も求められている。しかし、Ｍ面の表面粗さは一方では基材との接着にあたって、アンカー効果をもたらしているので、Ｍ面に対するこのロープロファイルの要求と接着力の向上とは二律背反の関係にあり、ロープロファイル化によるアンカー効果の低減分は別の手段による接着力の向上で補償することが必要である。
【０００３】また接着力の増強手段としてあるいは前記したロープロファイル化に伴う接着力の増強手段としてＭ面にシランカップリング剤を塗布する方法も提案されている（特公平２−１９９９４号公報、特開昭６３−１８３１７８号公報、特開平２−２６０９７号公報）。
【０００４】この種のシランカップリング剤としては、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン等が知られている［「高分子添加剤の最新技術」１２０〜１３４頁、シーエムシー、１９８８年１月６日発行］。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記したように最近プリント回路が緻密化しているので、使用されるプリント回路用銅箔に要求される特性はますます厳しくなっている。本発明は、こうした要請に対応できる、すなわち耐熱性に優れ、金属表面に対する防錆作用が高く、しかも金属と樹脂基板との接着性を著しく向上させることができる新規なシラン化合物、その製造方法、及びそれを用いた新規な金属表面処理剤、特に銅箔用表面処理剤を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、鋭意研究を進めた結果、特定のイミダゾール環を有するシラン化合物が金属表面に対し優れた防錆作用を有するとともに、金属と樹脂基板との接着性を著しく向上させることを見出した。
【０００７】本発明は、かかる知見に基づきなされたものであり、その要旨は、（１）下記一般式（１）、（２）又は（３）で表される新規イミダゾールシラン化合物。
【０００８】
【化３】
【０００９】（ただし、一般式（１），（２）又は（３）において、Ｒ1は水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数が１〜５のアルキル基、Ｒ3，Ｒ4は炭素数が１〜３のアルキル基、ｎは１〜３）
（２）下記一般式（４）で表されるイミダゾール化合物と下記一般式（５）で表される３−グリシドキシプロピルシラン化合物とを、８０〜２００℃で反応されることを特徴とする請求項１記載のイミダゾールシラン化合物の製造方法。
【００１０】
【化４】
【００１１】（ただし、一般式（４），（５）において、Ｒ1は水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数が１〜５のアルキル基、Ｒ3，Ｒ4は炭素数が１〜３のアルキル基、ｎは１〜３）及び（３）前記１記載の一般式（１）、（２）又は（３）で表されるイミダゾールシラン化合物の少なくとも１種を有効成分とする金属表面処理剤。
【００１２】（４）前記１記載の一般式（１）、（２）又は（３）で表されるイミダゾールシラン化合物の少なくとも１種を有効成分とする銅箔用表面処理剤にある。
【００１３】以下に本発明をさらに詳細に説明する。
【００１４】上記一般式（１）、（２）又は（３）におけるＲ1は、水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基であるが、特には合成の容易性から水素、メチル基、エチル基、ウンデシル基、ヘプタデシル基等が好適である。Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数が１〜５のアルキル基であるが、特には合成の容易性から水素、メチル基、ビニル基等が好適である。Ｒ3又はＲ4は炭素数が１〜３のアルキル基であるが、特には合成の容易性からメチル基、エチル基が好適である。またｎは１〜３である。
【００１５】本発明の上記イミダゾールシラン化合物（１）、（２）又は（３）は、一般式（４）で表されるイミダゾール化合物と一般式（５）で表される３−グリシドキシプロピルシラン化合物とを、８０〜２００℃で反応させることにより製造することができる。その反応を式で示すと次のようになる。
【００１６】
【化５】
【００１７】（上記式中、Ｒ1は水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数１〜５のアルキル基、Ｒ3及びＲ4は炭素数１〜３のアルキル基、ｎは１〜３を表す）上記一般式（４）で表されるイミダゾール化合物として好ましいのは、イミダゾール、２−アルキルイミダゾール、２，４−ジアルキルイミダゾール、４−ビニルイミダゾール等である。これらのうちとくに好ましいのは、イミダゾール；２−アルキルイミダゾールとしては、２−メチルイミダゾール、２−エチルイミダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾール；また、２，４−ジアルキルイミダゾールとしては、２−エチル−４−メチルイミダゾール等を挙げることができる。又上記一般式（５）で表される３−グリシドキシプロピルシラン化合物は、３−グリシドキシプロピルトリアルコキシシラン、３−グリシドキシプロピルジアルコキシアルキルシラン、３−グリシドキシプロピルアルコキシジアルキルシランであり、これらのうちとくに好ましいものを挙げれば、３−グリシドキシプロピルトリアルコキシシランとしては、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、また３−グリシドキシプロピルジアルコキシアルキルシランとしては、３−グリシドキシプロピルジメトキシメチルシラン、３−グリシドキシプロピルアルコキシジアルキルシランとしては、３−グリシドキシプロピルエトキシジメチルシラン等である。
【００１８】上記イミダゾール化合物と３−グリシドキシプロピルシラン化合物との反応は、８０〜２００℃の温度に加熱したイミダゾール化合物に０．１〜１０モル倍量の３−グリシドキシプロピルシラン化合物を滴下させながら行うと良く、反応時間は５分〜２時間程度で十分である。この反応は特には溶媒を必要とはしないが、クロロホルム、ジオキサン、メタノール、エタノール等の有機溶剤を反応溶媒として用いてもよい。尚、この反応は、水分を嫌うので、水分が混入しないように、乾燥した窒素、アルゴン等の水分を含まない気体の雰囲気下で行うことが好ましい。
【００１９】この反応において、上記一般式（１）、（２）及び（３）で示したイミダゾールシラン化合物は混合物の状態で得られるが、これらの化合物は、溶解度の差を利用する方法、カラムクロマトグラフィー等の既知の手段により精製され、単離されうる。尚、金属表面処理剤として用いる場合は、これらのイミダゾールシラン化合物は必ずしも単離する必要はなく、混合物のまま用いることが簡便で好ましい。なお、生成物中の各成分組成は、一般に一般式（１）：同（２）：同（３）＝（４０〜８０）：（１０〜３０）：（５〜４０）（液体クロマトグラフィーで分析したときの面積比）である。
【００２０】上記イミダゾールシラン化合物を金属表面処理剤として用いる場合、その対象金属には特に制限はない。たとえば銅、亜鉛及びこれらの合金等の表面処理剤として有用である。しかし、銅の表面処理剤として用いることが好適であり、特にはプリント回路用銅張積層板等に用いられる銅箔の表面処理剤として用いると本発明の効果を十分に発揮することができる。この銅箔には銅箔の表面を粗面化処理したもの、銅箔に黄銅層形成処理したもの、クロメート処理したもの、亜鉛−クロム基混合物被覆処理したもの等も包含される。
【００２１】上記イミダゾールシラン化合物は、少なくともその一種をそのまま直接金属表面に塗布してもよいが、水、メタノール、エタノール等のアルコール類、更には、アセトン、酢酸エチル、トルエン等の溶剤で０．００１〜２０重量％になるように希釈し、この液に金属を浸漬させる方法で塗布することが簡便で好ましい。尚、このイミダゾールシラン化合物は単独で用いてもよいが、複数のイミダゾールシラン化合物を混合して用いてもよく、また他の防錆剤、或いは、カップリング剤等と混合して用いてもよい。
【００２２】
【実施例】
イミダゾールシラン化合物の合成１（イミダゾール化合物と３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランとの反応）
実施例１イミダゾール３．４ｇ（０．０５ｍｏｌ）を９５℃で融解し、アルゴン雰囲気下で撹拌しながら、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン１１．８ｇ（０．０５ｍｏｌ）を３０分間かけて滴下した。滴下終了後、さらに９５℃の温度で１時間反応させた。
【００２３】反応生成物は透明な橙色の粘稠な液体（以下「混合成分１」という）として得られた。
【００２４】この生成物は透明な橙色の粘性液体で数週間以上ゲル化せず安定であった。また水、アルコール、クロロホルム等に可溶であり、液体クロマトグラフィー及びゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより３成分の混合物であることを確認した。
【００２５】又、この一部を採取して、1Ｈ−ＮＭＲで分析した結果、＞ＮＨピークは完全に消失しており、反応は完全に進行していた。又ＩＲよりＯＨ基の伸縮振動のピークも確認され、これからも上記した反応が進行したことがわかった（図１、２）。
【００２６】上記反応生成物７．５ｇにクロロホルム４ｍｌを添加して当該生成物を溶解し、次いで、これをテトラヒドロフラン１５０ｍｌ中に注いだ。析出物をろ過して除去した後、溶媒を留去し粘性液体４．３ｇを得た。これを液体クロマトグラフィー及びゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定した結果、単成分（以下「化合物１」という）であることが確認された。
【００２７】化合物１及び混合成分１について1Ｈ−ＮＭＲ、ＩＲ、ＭＳスペクトル分析を行った。（混合成分１の1Ｈ−ＮＭＲスペクトルを図１に同ＩＲスペクトルを図２、又化合物１の1Ｈ−ＮＭＲスペクトルを図３に、同ＩＲスペクトルを図４に示す。）この結果を次に示した。
【００２８】（化合物１）
1Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ3，δｐｐｍ）；０．４〜０．７（ｍ，２Ｈ）、１．５〜１．８（ｍ，２Ｈ）、２．９〜４．３（ｍ，１３Ｈ）、６．９３（ｓ，１Ｈ）、６．９５（ｓ，１Ｈ）、７．４４（ｓ，１Ｈ）
ＩＲ（ｎｅａｔ，ｃｍ‐1）；２９４０〜２８４０（νCH）、１０９０、８１０（νSiOMe）
ＭＳ；２７２（Ｍ+）
（混合成分）
1Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ3，δｐｐｍ）；０．４〜０．７（ｍ，２Ｈ）、１．４〜１．７（ｍ，２Ｈ）、３．０〜４．３（ｍ，１４．８Ｈ）、６．８〜７．０（ｍ，２Ｈ）、７．３（ｓ，１Ｈ）、７．２〜７．５（ｍ，１Ｈ）
ＩＲ（ｎｅａｔ，ｃｍ‐1）；３５００〜３０００（νOH）、２９４０〜２８４０(νCH）、１０９０、８２０（νSiOMe）
これらの結果から、上記化合物１は上記一般式（２）においてＲ1，Ｒ2が水素、Ｒ3がメチル、ｎが３である下記式（２−１）の構造を有し、混合成分１には式（２−１）の化合物の他、下記式（１−１）及び（３−１）の構造を有する化合物が混合していることが分かった。そして、この３成分の混合組成比はエタノール／ヘキサン溶媒、液体クロマトグラフィーで分析したときの面積比でおよそ式（１−１）：（２−１）：（３−１）＝４５：２２：３３であった。
【００２９】
【化６】
【００３０】実施例２〜７実施例１のイミダゾールに代えて、表１に示したイミダゾール化合物を使用し、又、反応温度を表１に示した反応温度とした以外は実施例１と同様に反応を行った。
【００３１】
【表１】
【００３２】反応生成物は、いずれも透明な橙色の粘稠な液体として得られた。生成物は実施例１と同様、1Ｈ−ＮＭＲとＩＲにより同定し、それぞれ前記一般式（１），（２）及び（３）に対応する構造を有する混合物であることを確認した。
【００３３】次に、以上生成したイミダゾールシラン（混合成分１〜７および化合物１）を銅箔の表面処理剤として評価した。評価方法は以下の通りである。
【００３４】耐熱性試験電解銅箔（厚さ７５μｍ、４．５×４．５ｃｍ）をアセトンで脱脂し、３％の硫酸水溶液で洗浄した。この銅箔の光沢面に、前記で得られた化合物１及び混合成分１〜７のイミダゾールシラン化合物をそれぞれ６重量％の濃度になるようにメタノールに溶解し、この溶液をスピンコーターで塗布し、０．３μｍのイミダゾールシラン化合物の薄膜を作成し、これを試験片とした。
【００３５】この試験片をそれぞれ、１８０℃、２００℃、２２０℃、２４０℃の温度の恒温槽に３０分間入れて、加熱処理した。比較のため、上記イミダゾールシラン化合物に代えて、シランカップリング剤として市販されている３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（以下単に「エポキシシラン」と言う）の１０重量％メタノール溶液を同様に０．３μｍ塗布した銅箔及び何も塗布しない銅箔（以下「ブランク」とする）について同様に加熱処理した。加熱後の変色の程度で耐熱性を評価し、結果を表２に示した。
【００３６】耐湿性試験上記耐熱性試験と同様にしてイミダゾールシラン、エポキシシランを塗布した試験片及ブランクを温度８０℃、湿度９５％の恒温槽に２４時間入れ、変色の程度で耐湿性を評価した。この結果も表２に併せて示した。
【００３７】接着性試験電解銅箔（３３μｍ）の粗化面に黄銅層を形成後、亜鉛又は酸化亜鉛とクロム酸化物との亜鉛−クロム基混合物をめっき被覆した銅箔（２５×２５ｃｍ）を、イミダゾールシランの０．４重量％メタノール溶液に浸漬した。これをクリップで吊り下げ、余分な液を落とした後、１００℃の乾燥器中で、５分間乾燥した。そして前記銅箔の粗化面をガラス繊維クロスにエポキシ樹脂を含浸させた基材に接着し、ＪＩＳ Ｃ ６４８１に規定する方法により常態ピール強度を測定した。比較のため、イミダゾールシランの代わりにエポキシシランを用いて同様の処理を行ったもの及び浸漬処理を行わないものについても同様の方法で接着性を試験した。この結果も表２に併せて示した。
【００３８】
【表２】
【００３９】(注）耐熱性、耐湿性試験；５：変色なし、４：わずかに変色３：少し変色、２：橙色または黄色に変色、１：黒褐色に変色実施例８〜１０イミダゾールシラン化合物の合成２（イミダゾール化合物と３−グリシドキシプロピルトリエトキシシランとの反応）表３に示したイミダゾール化合物を使用し、３−グリシドキシプロピルシラン化合物を３−グリシドキシプロピルトリエトキシシランとし、表３に示した反応温度で実施例１と同様の反応をした。
【００４０】
【表３】
【００４１】反応生成物は、いずれも透明な橙色の粘稠な液体として得られた。生成物は実施例１と同様、1Ｈ−ＮＭＲとＩＲにより同定し、それぞれ前記一般式（１）、（２）及び（３）に対応する構造を有する混合物であることを確認した。
【００４２】以上生成したイミダゾールシラン（混合成分８〜１０）を銅箔の表面処理剤として実施例１〜７の方法と同様の方法で光沢面について耐熱性、耐湿性、粗化面について接着性を評価した。結果を表４に示した。
【００４３】
【表４】
【００４４】耐熱性、耐湿性試験;５：変色なし、４：わずかに変色、３：少し変色、２：橙色または黄色に変色、１：黒褐色に変色実施例１１〜１４イミダゾールシラン化合物の合成３（イミダゾール化合物と３−グリシドキシプロピルジメトキシメチルシランとの反応）表５に示したイミダゾール化合物を使用し、３−グリシドキシプロピルシラン化合物を３−グリシドキシプロピルジメトキシメチルシランとし、表５に示した反応温度で実施例１と同様の反応をした。
【００４５】
【表５】
【００４６】反応生成物は、いずれも透明な橙色の粘稠な液体として得られた。生成物は実施例１と同様1Ｈ−ＮＭＲとＩＲにより同定し、それぞれ前記一般式（１）、（２）及び（３）に対応する構造を有する混合物であることを確認した。
【００４７】図５は生成物混合成分１１の1Ｈ−ＮＭＲスペクトル、図６は同ＩＲスペクトルである。
【００４８】これらの分析の結果を示すと、1Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ3 δｐｐｍ）
−０．２（ｓ，３Ｈ）、０．１〜０．４（ｍ，２Ｈ）、１．１〜１．４（ｍ，２Ｈ）、２．９〜３．３（ｍ，８Ｈ）、３．６〜３．９（ｍ，３Ｈ）、６．６（ｓ，１Ｈ）、６．７（ｓ，１Ｈ）
７．１（ｓ，１Ｈ）、７．２（ｓ，１Ｈ）
ＩＲ（ｎｅａｔ，ｃｍ-1）
３６００〜３０００（νOH）、２９４０〜２８３０（νCH）、１２６０（δCH（ＳｉＭｅ））、１０９０，８１５（νSiOMe）、７８０（（νSiC（ＳｉＭｅ））
以上生成したイミダゾールシラン（混合成分１１〜１４）を銅箔の表面処理剤として実施例１〜７の方法と同様の方法で光沢面について耐熱性、粗化面について接着性を評価した。結果を表６に示した。
【００４９】
【表６】
【００５０】耐熱性、耐湿性試験;５：変色なし、４：わずかに変色、３：少し変色、２：橙色または黄色に変色、１：黒褐色に変色実施例１５〜１７イミダゾールシラン化合物の合成４（イミダゾール化合物と３−グリシドキシプロピルエトキシジメチルシランとの反応）表７に示したイミダゾール化合物を使用し、３−グリシドキシプロピルシラン化合物を３−グリシドキシプロピルエトキシジメチルシランとし、表７に示した反応温度で実施例１と同様の反応を行った。
【００５１】
【表７】
【００５２】反応生成物は、いずれも透明な橙色の粘稠な液体として得られた。生成物は実施例１と同様1Ｈ−ＮＭＲとＩＲにより同定し、それぞれ前記一般式（１）、（２）及び（３）に対応する構造を有する混合物であることを確認した。
【００５３】又、実施例１５で得られた生成物の組成比は式（１）：式（２）：式（３）＝７３：１９：８（ＴＨＦ溶媒ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で分析したときの面積比）であった。
【００５４】図７は生成物混合成分１５の1Ｈ−ＮＭＲスペクトル、図８は同ＩＲのスペクトルである。これらの分析結果を示すと、1Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ3 δｐｐｍ）
０〜０．１（ｍ，６Ｈ）、０．４〜０．７（ｍ，２Ｈ）、１．１〜１．３（ｍ，３Ｈ）、１．４〜１．７（ｍ，２Ｈ）、３．２〜３．５（ｍ，４Ｈ）、３．６〜３．７（ｑ，２Ｈ）、３．９〜４．２（ｍ，３Ｈ）、６．９（ｓ，１Ｈ）、７．０（ｓ，１Ｈ）
７．３（ｓ，１Ｈ）、７．５（ｓ，１Ｈ）
ＩＲ（ｎｅａｔ，ｃｍ-1）
３５００〜３０００（νOH）、２９５０〜２８５０（νCH）、１２５５［δCH（ＳｉＭｅ）］、１１１０，１０９０（νSiOEt）、８０５，７８０［νSiC（ＳｉＭｅ）］
以上生成したイミダゾールシラン（混合成分１５〜１７）を銅箔の表面処理剤として実施例１〜７の方法と同様の方法で光沢面の耐熱性を評価した。結果を表８に示した。
【００５５】
【表８】
【００５６】耐熱性、耐湿性試験;５：変色なし、４：わずかに変色、３：少し変色、２：橙色または黄色に変色、１：黒褐色に変色以上の結果から本発明の化合物が、金属の表面処理剤として耐熱性、耐湿性（防錆作用）、接着向上作用等に優れていることがわかる。
【００５７】
【発明の効果】本発明の新規なイミダゾールシラン化合物は金属表面処理剤、特に銅箔用表面処理剤として有用なもので、耐熱性及び防錆作用に優れ、しかも金属と樹脂基板との接着性を著しく向上させることができるという効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】混合成分１の1Ｈ−ＮＭＲスペクトル
【図２】同ＩＲスペクトル
【図３】化合物１（式（２−１））の1Ｈ−ＮＭＲスペクトル
【図４】同ＩＲスペクトル
【図５】混合成分１１の1Ｈ−ＮＭＲスペクトル
【図６】同ＩＲスペクトル
【図７】混合成分１５の1Ｈ−ＮＭＲスペクトル
【図８】同ＩＲスペクトル
【特許請求の範囲】
【請求項１】 下記一般式（１）、（２）又は（３）で表される新規イミダゾールシラン化合物。
【化１】
（ただし、一般式（１），（２）又は（３）において、Ｒ1は水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数が１〜５のアルキル基、Ｒ3，Ｒ4は炭素数が１〜３のアルキル基、ｎは１〜３）
【請求項２】 下記一般式（４）で表されるイミダゾール化合物と下記一般式（５）で表される３−グリシドキシプロピルシラン化合物とを、８０〜２００℃で反応されることを特徴とする請求項１記載のイミダゾールシラン化合物の製造方法。
【化２】
（ただし、一般式（４），（５）において、Ｒ1は水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数が１〜５のアルキル基、Ｒ3，Ｒ4は炭素数が１〜３のアルキル基、ｎは１〜３）
【請求項３】 請求項１記載の一般式（１）、（２）又は（３）で表されるイミダゾールシラン化合物の少なくとも１種を有効成分とする金属表面処理剤。
【請求項４】 請求項１記載の一般式（１）、（２）又は（３）で表されるイミダゾールシラン化合物の少なくとも１種を有効成分とする銅箔用表面処理剤。
【請求項１】 下記一般式（１）、（２）又は（３）で表される新規イミダゾールシラン化合物。
【化１】
（ただし、一般式（１），（２）又は（３）において、Ｒ1は水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数が１〜５のアルキル基、Ｒ3，Ｒ4は炭素数が１〜３のアルキル基、ｎは１〜３）
【請求項２】 下記一般式（４）で表されるイミダゾール化合物と下記一般式（５）で表される３−グリシドキシプロピルシラン化合物とを、８０〜２００℃で反応されることを特徴とする請求項１記載のイミダゾールシラン化合物の製造方法。
【化２】
（ただし、一般式（４），（５）において、Ｒ1は水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数が１〜５のアルキル基、Ｒ3，Ｒ4は炭素数が１〜３のアルキル基、ｎは１〜３）
【請求項３】 請求項１記載の一般式（１）、（２）又は（３）で表されるイミダゾールシラン化合物の少なくとも１種を有効成分とする金属表面処理剤。
【請求項４】 請求項１記載の一般式（１）、（２）又は（３）で表されるイミダゾールシラン化合物の少なくとも１種を有効成分とする銅箔用表面処理剤。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開平５−１８６４７９
【公開日】平成５年（１９９３）７月２７日
【国際特許分類】
【出願番号】特願平４−１８３７８３
【出願日】平成４年（１９９２）７月１０日
【出願人】（０００２３１１０９）株式会社日鉱共石 (18)
【公開日】平成５年（１９９３）７月２７日
【国際特許分類】
【出願日】平成４年（１９９２）７月１０日
【出願人】（０００２３１１０９）株式会社日鉱共石 (18)
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