有機薄膜の膜厚測定方法
【課題】無機元素を含む膜厚を精度よく測定できる有機薄膜の膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】基材の表面に形成され、無機元素を含み、密度が２ｇ／ｃｍ３以下の有機薄膜４０中の無機元素の濃度ＣＡと、標準試料による無機元素の特性Ｘ線強度ＫＳとに基づき、有機薄膜に電子線を照射したときの特性Ｘ線強度Ｋ１を検出し、式１
（ρは有機薄膜の乾燥密度（g／cm３）；Ｅ０は入射電子１個のエネルギー；Ｅｊ(Ａ)は無機元素のＫ殻の励起エネルギー；ＲＡは無機元素の原子番号補正定数；Ｓ’Ａは標準試料の阻止能；Ｕ０＝Ｅ０/Ｅｊ(Ａ)；ＫＡ＝（Ｋ１/Ｒ０）/（ＫＳ/ｆ（ｘ））、但し、Ｒ０は薄膜表面の特性Ｘ線の発生関数、ｆ（ｘ）は標準試料の吸収補正係数）によって有機薄膜の膜厚ΔＺを測定する。
【解決手段】基材の表面に形成され、無機元素を含み、密度が２ｇ／ｃｍ３以下の有機薄膜４０中の無機元素の濃度ＣＡと、標準試料による無機元素の特性Ｘ線強度ＫＳとに基づき、有機薄膜に電子線を照射したときの特性Ｘ線強度Ｋ１を検出し、式１
（ρは有機薄膜の乾燥密度（g／cm３）；Ｅ０は入射電子１個のエネルギー；Ｅｊ(Ａ)は無機元素のＫ殻の励起エネルギー；ＲＡは無機元素の原子番号補正定数；Ｓ’Ａは標準試料の阻止能；Ｕ０＝Ｅ０/Ｅｊ(Ａ)；ＫＡ＝（Ｋ１/Ｒ０）/（ＫＳ/ｆ（ｘ））、但し、Ｒ０は薄膜表面の特性Ｘ線の発生関数、ｆ（ｘ）は標準試料の吸収補正係数）によって有機薄膜の膜厚ΔＺを測定する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコーン樹脂等を含む有機薄膜の膜厚測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、牛乳カートン等の飲料用の紙容器として、四角の筒状胴部をヒートシールで密封した、いわゆる切妻屋根型の紙容器（ゲーブルトップ型）が広く使用されている（特許文献１参照）。これらの紙容器において、消費者はヒートシール部を剥して容器を開口し、内容物の注ぎ口として使用する。
ところで、ヒートシールで貼り合わせて密封された紙片同士を剥す際、ヒートシールの接着力が強すぎると、開口が容易ではなく、また開口部がきれいに剥がれず破損したり、ささくれ、更に注ぎ口がきれいに形成されずに内容物がこぼれて不衛生になる等の問題がある。
【０００３】
そこで、ヒートシール部となる紙片の貼り合わせ面に、抗接着剤（アブヒーシブ剤）を塗布する技術が開発されている（特許文献２参照）。例えば、このような抗接着剤は、シリコーン樹脂、ポリエチレンワックス、大豆レシチン、高級脂肪酸アマイド等の離型剤と；エチルセルロース、環化ゴム等の基ポリマーと；酢酸エチルやアルコール類等の溶剤と；を組み合わせて調製される。
又、抗接着剤の抗接着度（接着強度）の調整は、離型剤の種類や抗接着剤の塗工量により行われている。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１６２７４８号公報
【特許文献２】特開平３−２１７４８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、一般に抗接着剤は無色透明であるため目視で塗工量を判定することは難しい。従って、通常はヨウ素液を抗接着剤の塗布部に塗布し、発色の度合で塗工量を判定しているが、発色状態から抗接着剤の塗工量や膜厚を定量化するのは困難であった。
塗工層の膜厚を測定する一般的な方法として、断面を光学顕微鏡や電子顕微鏡で観察する方法があるが、抗接着剤の塗工層は厚みが非常に薄く、さらに抗接着剤は有機薄膜であるために顕微鏡で鮮明に映し出されず、膜厚を測定することは難しい。
従って、本発明は、無機元素を含む膜厚を精度よく測定できる有機薄膜の膜厚測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の有機薄膜の膜厚測定方法は、特定の無機元素を含まない基材の表面に形成され、前記無機元素を含み、密度が２ｇ／ｃｍ３以下の有機薄膜の膜厚ΔＺを測定する方法であって、
質量割合で表した前記有機薄膜中の前記無機元素の濃度ＣＡと、前記無機元素の単体からなる標準試料による前記無機元素の特性Ｘ線強度ＫＳとに基づき、前記有機薄膜に電子線を照射したときの特性Ｘ線強度Ｋ１を検出し、式１
【数１】
（ρは前記有機薄膜の乾燥密度（g／cm３）；Ｅ０は入射電子１個のエネルギー；Ｅｊ(Ａ)は前記無機元素のＫ殻の励起エネルギー；ＲＡは前記無機元素の原子番号補正定数；Ｓ’Ａは前記標準試料の阻止能；ｅは電荷量；Ｎ０はアボガドロ数；Ｕ０＝Ｅ０/Ｅｊ(Ａ) ；ＫＡ＝（Ｋ１/Ｒ０）/（ＫＳ/ｆ（ｘ））、但し、Ｒ０は薄膜表面の特性Ｘ線の発生関数、ｆ（ｘ）は前記標準試料の吸収補正係数）によって前記膜厚ΔＺを測定する。
【０００７】
前記無機元素はケイ素であり、前記無機元素は前記有機薄膜中に有機ケイ素化合物として含まれていてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、無機元素を含む有機薄膜の膜厚を精度よく測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下本発明の実施形態について説明する。本発明の有機薄膜の膜厚測定方法は、基材の表面に形成された有機薄膜の膜厚を測定するるものである。まず、本発明を好適に適用できる対象の一例として、牛乳カートン等の飲料用の紙容器について説明する。
図１は、紙容器５０を示す斜視図であり、図２は、紙容器５０の組立て加工前のカートンブランク（基材）を示す展開図である。紙容器５０は、公知の切妻屋根型（ゲーブルトップ型）の紙容器であり、表裏面に熱可塑性樹脂を積層した板紙素材を折り畳んでなっている。
【００１０】
紙容器５０は、４つの胴部パネル４，５，６，７からなる概略四角の有底角筒状をなし、基材をそれぞれ胴部縦折線１，２，３で折り返すことで、各胴部パネル４，５，６，７の角部が形成される。又、胴部パネル７の一辺に縦罫線８を介して縦方向シールパネル９が形成され、縦方向シールパネル９を胴部パネル４の縁に重ね合わせてシールすることで、胴部パネル７と胴部パネル４とを連接して筒状とし、全体として四角の筒状胴部１０が形成されている。
【００１１】
胴部１０のうち、対向する胴部パネル４，６の上端には、頂部横折線１１，１２を介して互いに対向する一対の切妻屋根形成パネル１３，１４が連接されている。この一対の切妻屋根形成パネル１３，１４の上部には、シール横折線１５，１６を介して外側トップシールパネル１７，１８が連設されている。また、筒状胴部１０の他の対向する胴部パネル５，７の上端には、頂部横罫線１９，２０を介して互いに対向して一方が注出口になり開封される一対の妻壁形成パネル２１，２２が連接される。この一対の妻壁形成パネル２１，２２の上部には、シール横折線２３，２４を介して内側トップシールパネル２５，２６が連接されている。
そして、一対の妻壁形成パネル２１，２２には、胴部パネル５，７との境界となる頂部横折線１９，２０の両端から、内側トップシールパネル２５，２６との境界となるシール横折線２３，２４の中央に繋がるそれぞれ２本の折込線２７，２８が設けられている。そして、妻壁形成パネル２１が２本の折込線２７で折られて切妻屋根形成パネル１３，１４の間に折り込まれる。同様に、妻壁形成パネル２２が２本の折込線２８で折られて切妻屋根形成パネル１３，１４の間に折り込まれる。このようにして、紙容器５０の胴部１０の上部には、切妻屋根型の頂部２９が形成されている。
【００１２】
さらに、外側トップシールパネル１７，１８および内側トップシールパネル２５，２６同士がシールされてトップシール部３０が形成される。
ここで、トップシール部３０のうち、妻壁形成パネル２１側に位置する部分のシール部が剥されて開口され、内容物の注ぎ口となる。従って、注ぎ口としてシールが剥される、外側トップシールパネル１７、１８及び内側トップシールパネル２５のヒートシール部の所定位置に、ヒートシールの接着強度を調整し、剥離を容易にする抗接着剤（アブヒーシブ剤）層４０が塗布されている。
【００１３】
本発明は、例えば上記した抗接着剤層４０（有機薄膜）の膜厚の測定に用いることができる。
上記板紙素材は、表裏面に熱可塑性樹脂を積層した板紙であり、板紙としては、坪量３０〜４００g／ｍ2程度の液体紙容器用耐酸性原紙を使用できる。又、熱可塑性樹脂は、例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、変性ポリエステル等のヒートシール可能な樹脂を挙げることができる。
なお、詳しくは後述するが、本発明における「基材」とは、有機薄膜に１次電子線を照射して特性Ｘ線強度Ｋ１を測定する際、１次電子線が有機薄膜を突き抜けて下地に入り込んだ場合の下地をいう。従って、上記板紙素材の熱可塑性樹脂層まで１次電子線が入り込む場合、「基材」とは熱可塑性樹脂層を示すことになる。
又、基材（上記例では熱可塑性樹脂）は、後述する有機薄膜に含まれる無機元素を含まないものとする。例えば、基材として、板紙にポリエチレン（２０μｍ厚程度）をラミネートし、１次電子線がポリエチレン層まで入り込む場合、ポリエチレン層に含まれて特性Ｘ線を出す元素はＣ、Ｏ、Ｈであり、無機元素を含まない。
【００１４】
基材の表面に形成される有機薄膜としては、上記した抗接着剤層が例示される。上記実施形態では、抗接着剤層は、離型剤となるシリコーン樹脂と、基ポリマーであるエチルセルロース等のセルロース系樹脂とを含み、効果を損なわない範囲で粘度調整剤や、界面活性剤等助剤等を含んでもよく、シリコーン樹脂中のＳｉが本発明の「無機元素」に該当する。
又、離型剤としてシリコーン樹脂以外のポリエチレンワックス、大豆レシチン、又は高級脂肪酸アマイド等を用いることができる。さらに、基ポリマーとして環化ゴムを用いることができる。
抗接着剤層は、上記した離型剤、基ポリマーの他、溶剤として例えば酢酸エチルやアルコール類等を配合した塗料を塗布後、乾燥して形成することができる。
【００１５】
なお、離型剤としてシリコーン樹脂以外の成分を用いる場合、シリコーン樹脂に起因するＳｉ（無機元素）が抗接着剤層中に存在しない。そこで、このような場合は、抗接着剤層中に無機元素を含む物質（例えば、アルミナ、シリカ）を配合し、無機元素に由来する特性Ｘ線強度を検出できるようにする。
又、有機薄膜中の無機元素は、有機薄膜全体の密度が２ｇ／ｃｍ３以下となるように含有させる。これは、本発明が有機薄膜を突き抜けて下地の基材まで１次電子を照射し、有機薄膜全体の無機元素から発生する特性Ｘ線強度を検出するためであり、有機薄膜の密度が２ｇ／ｃｍ３を超えると、特性Ｘ線が有機薄膜を透過できなくなり、膜厚の測定が精度よく行えないからである。
なお、上記した有機薄膜中の無機元素の濃度は、後述するＣＡを百分率（％）で表したものである。
【００１６】
次に、測定方法の詳細について説明する。
まず、上記した有機薄膜に１次電子を照射し、発生する特性Ｘ線強度を検出する。この方法は、エネルギー分散型Ｘ線分光法といい、ＥＰＭＡ（電子プローブマイクロアナライザー）で測定を行うことが可能である。
ここで、本発明は、有機薄膜を突き抜けて下地の基材まで１次電子を照射し、有機薄膜全体の無機元素から発生する特性Ｘ線強度を検出する。そのため、下地の基材に１次電子が入り込むよう、１次電子の加速電圧を調整する。例えば、上記抗接着剤層の膜厚は約２〜３μｍ程度と考えられ、又、基材（ポリエチレン）の密度が０．９g／cm３であることから、加速電圧を１５ｋＶとすれば１次電子は約１０μｍの深さまで侵入することになる。このようなことから、加速電圧を１５ｋＶとすることが好ましい。
【００１７】
又、本発明においては、予め、質量割合で表した有機薄膜中の無機元素の濃度ＣＡを、既知値として取得しておく。本発明を、例えば有機薄膜の塗工量の工程管理に用いる場合、有機薄膜の塗料の組成等は既知であるので、濃度ＣＡを予め知ることができる。
ここで、ＣＡ＝（有機薄膜中の無機元素の質量）／（有機薄膜の質量）で表される。
さらに、本発明においては、予め上記した無機元素の単体からなる標準試料をエネルギー分散型Ｘ線分光法で測定しておき、標準試料による無機元素の特性Ｘ線強度ＫＳを得ておく。
【００１８】
そして、有機薄膜に電子線を照射したときの特性Ｘ線強度Ｋ１を検出し、式１
【数１】
によって前記膜厚ΔＺを求める。
ここで、ρは有機薄膜の乾燥密度（g／cm３）；Ｅ０は入射電子１個のエネルギー；ＥK(Ａ)は前記無機元素のＫ殻の励起エネルギー；ＲＡは前記無機元素の原子番号補正定数；Ｓ’Ａは前記標準試料の阻止能；ｅは電荷量；Ｎ０はアボガドロ数；Ｕ０＝Ｅ０/Ｅｊ(Ａ) ；ＫＡ＝（Ｋ１/Ｒ０）/（ＫＳ/ｆ（ｘ））、但し、Ｒ０は有機薄膜表面の特性Ｘ線の発生関数、ｆ（ｘ）は前記標準試料の吸収補正係数である。
又、得られたΔＺの単位はcmである。
【００１９】
式１は、公知の式（Philbert-Tixier法）を変形して、ΔＺについて記述したものである。ここで、Philbert-Tixier法は、薄膜のＥＰＭＡ分析において、元素Ａ，Ｂの相対濃度を求める式である。通常、Philbert-Tixier法では、元素Ａ，Ｂについてそれぞれ上記式１を立て、両者の比を取ることで未知のρ及びΔＺを消去し、元素Ａ，Ｂの相対濃度を求めている（日本表面科学会編、「電子プローブ・マイクロアナライザー」丸善、９４頁、平成１０年発行）。
一方、本発明においては、上記したようにρが既知であり、又、濃度ＣＡも既知であることを利用し、ΔＺを逆に求めている。又、本発明を適用する有機薄膜は、特性Ｘ線強度を測定する無機元素を含んだ状態で、薄膜の密度が２ｇ／ｃｍ３以下であるため、１次電子線が有機薄膜を貫通し、有機薄膜全体の無機元素の量を測定できる。そのため、既知の濃度ＣＡと、得られた無機元素の特性Ｘ線強度とから、ΔＺを逆算できる。これに対し、従来ＥＰＭＡで一般に測定されてきた金属材料等は、無機元素が１００％含まれ、密度が２ｇ／ｃｍ３を超えるため（たとえば、無機元素がケイ素の場合は、シリコン板）、表面の特性Ｘ線強度しか得られず、膜厚を精度よく測定することはできない。
有機薄膜の密度は、有機薄膜の材料物質の重量と体積とを測定して計算することができる。また、実質的には、有機薄膜を構成する主成分である物質（例えば上述した基ポリマー）の密度を有機薄膜の密度とみなしてもよく、得られる密度の値にほとんど差は生じない。
【００２０】
又、本発明においては、予め標準試料により特性Ｘ線強度ＫＳを測定しておくことで、式１に含まれる各種の係数を算定できるようにしている。
例えば、Ｓ’Ａは、標準試料の阻止能を示し、式２
【数２】
で表される。ここで、ＺＡは対象とする無機元素の原子番号；ＡＡは対象とする無機元素の原子量；ＷＡｊ＝１．１１６×Ｅｊ(Ａ)／（１１．５×ＺＡ）である。
【００２１】
又、Ｒ０は有機薄膜表面の特性Ｘ線の発生関数（電子線の背面散乱効果の係数）であり、式３
Ｒ０＝1＋2.8（1−0.9／Ｕ０）×η （３）
で表される（Reuterの式）。ここで、η＝−0.0254＋0.016Ｚ−0.000186Ｚ２＋8.3×10-7×Ｚ3であり；Ｚは有機薄膜の直下の基材を構成する物質の原子番号；但し、基材が化合物の場合、η＝ΣCiηiで表され、各化合物のηiをモル分率Ciで加重平均したものとなる。
例えば、上記実施形態のように、有機薄膜の基材がポリエチレンの場合、ポリエチレンはCnH2n+2で表されるから、CとHの重量組成比は約１２：２となる（ｎが大きい場合）。従って、CとHについてηiを求め、モル分率Ciで加重平均してポリエチレンのηが得られる。
Ｒ０により、有機薄膜の直下の基材に含まれる物質に応じて、ＫＡが補正される。
【００２２】
ｆ（χ）は、標準試料の吸収補正係数であり、Philbertの方法やφ（ρｚ）の方法を適用すると、式４
【数３】
で表される。ここで、ｈ＝１．２（定数）×ＡＡ/｛（ＺＡ）２｝；σ＝４．５×１０5／（ＥO1.65−ＥC1.65）；χ＝μ／ρcosecφで表される。なお、μ／ρは質量吸収係数で、物質固有の値である。φはＸ線取り出し角度、σはレナード常数、ＥO は加速電圧、ＥC は最小励起電圧である。
【実施例】
【００２３】
以下に、実施例によって本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。なお、「部」及び「％」は、特に明示しない限り、それぞれ「質量部」及び「質量％」を表す。
【００２４】
<ゲーブルトップ型紙容器の製造>
容器の外側の面から見て、ポリエチレン樹脂層２０μm／晒クラフト紙３３０ｇ／ｍ２／ポリエチレン樹脂層６０μmの構成からなる積層体を板紙素材として使用し、これを打ち抜いて、図２に示す紙容器用ブランクを複数枚作製した。次に、抗接着剤（H１４１ 東洋インキ製造株式会社製、固形分１８質量％；シリコーン樹脂とセルロース系樹脂とを含みこれらの固形分を示す）を用い、ブランクの所定の場所（図１の符号４０の位置）にフレキソ印刷で塗布した。
次に、このブランクを製函機で折り曲げ罫線押し圧加工、及びサイドシール加工し、カートンブランクにした後、外側トップシールパネル１７，１８および内側トップシールパネル２５，２６同士をヒートシールし、トップシール部３０を形成し、図１に示す紙容器５０を製造した。
【００２５】
<開封力の測定>
上記紙容器５０のトップシール部３０のうち、抗接着剤層４０を介してシールを行った部分（妻壁形成パネル２１側）の開封力を、JIS-S-0022（「高齢者／障害者配慮設計指針−包装・容器−開封性試験方法、屋根型紙パック引きはがし試験」に準じて測定した。
【００２６】
<ＥＰＭＡ用測定試料の作製>
上記した紙容器用ブランクの製造の際、フレキソ印刷の印圧を変更することによって抗接着剤層４０の塗布量を調整したブランク１〜３をそれぞれ作製した。これらのブランク１〜３を製函せず、ブランク１〜３につき、それぞれ抗接着剤層４０を形成した部分から約５ｍｍ×５ｍｍの大きさの測定試料を板紙素材とともに切り出し、測定試料１〜３とした。
なお、各ブランク１〜３につき、測定試料１〜３をそれぞれ６点採取した。
【００２７】
<特性X線強度の測定>
まず、ケイ素標準物質（日本電子社製）を電子顕微鏡（走査型電子顕微鏡JSM5610LV、元素分析装置JED2200、共に日本電子株式会社製）の測定室内にセットし、ケイ素の特性X線強度を測定した。入射電圧を１５kevとした。入射電圧を１５kevとすれば、１次電子は約１０μｍの深さまで侵入することになるが、ポリエチレン樹脂層（密度０．９g／cm３）の厚みが２０μｍであるので、１次電子はポリエチレン樹脂層まで侵入する。従って、ポリエチレンを基材とみなした。
X線強度の測定値は、バックグランドを差し引いたネット値とした。なお、ケイ素標準物質は、直径２ｍｍ、長さ１ｃｍのパイプの先端中に標準物質（ケイ素）が埋めこまれているものを用いた。
次に、上記測定試料１〜３を上記電子顕微鏡の測定室内にセットし、同様にして、ケイ素の特性X線強度を測定した。測定試料１〜３のケイ素の特性X線強度は、６点の試料を測定した平均値とした。
【００２８】
そして、式１により、各測定試料１〜３における抗接着剤層４０の膜厚（ΔＺ）を計算した。
なお、式１中、ρ＝1.1g／cm３；Ｅ０＝15×103×1.6022×10-19×107erg；Ｅｊ(Ａ)＝1.838kev＝1.838×103×1.6022×10-19×107erg（ケイ素のＫ殻の励起エネルギー）；ＲＡ＝0.91；Ｓ’Ａ＝0.2074；ｅ＝1.6022×10-19C＝4.8032×10-10esu；Ｎ０＝6.02×1023；Ｕ０＝Ｅ０/Ｅｊ(Ａ) ＝15／1.838＝8.1610とした。
但し、ＲＡ＝は、１／U０＝0.123の値と、ケイ素の原子番号との関係に基づき、所定のグラフ（Values of R as a function of z and 1/U）から求めた。又、Ｓ’Ａは、ＷＡｊ＝１３．２２として式２から計算した。
【００２９】
一方、Ｒ０の計算に当り、基材をポリエチレン（CnH2n+2）とし、CとHの重量組成比を１２：２とした。そして、ηC=−0.0254＋0.016(6)−0.000186(6)２＋8.3×10-7(6)3＝0.061、ηH=−0.0254＋0.016(1)−0.000186(1)２＋8.3×10-7(1)3＝−0.0096とし、ηポリエチレン＝12/14ηC＋2/14ηH=0.0509を得た。この値を式３に代入し、R０＝1＋2.8（1−0.9／U）η＝1＋2.8（1−0.9／8.161）×0.0509＝1.127とした。
又、ｆ（χ）の計算に当り、ｈ＝1.2×28.09/｛14２｝＝0.172；σ＝4.5×10-5×（Ｅ０1.65−Ｅｊ(Ａ) 1.65）＝5.9269×10３；χ＝655.8とした。式４より、ｆ（χ）＝0.8746となった。
【００３０】
得られた結果を表１に示す。なお、ＣＡは、シリコーン樹脂とセルロース系樹脂とを含有する上記抗接着剤（H141）の固形分を元素分析してケイ素相対濃度を測定し、その結果から抗接着剤中のケイ素の含有率を測定して求めた。
又、抗接着剤層の密度ρは、抗接着剤を乾燥固化し、その重量と体積を測定して求めた。
そして、上記したX線強度の測定値から、式１を変形してΔＺ×ρ×ＣＡを示す値（式５）
【数４】
が得られるので、式５の値と、ＣＡ及びρの実測値を式１に入れ、ΔＺを算出した。
【００３１】
【表１】
【００３２】
表１から、本発明の方法によって計算したΔＺが薄いほど開封力が大きく、これは実際に抗接着剤層４０の塗布量が少ないほど開封し難いという事実に適合している。つまり、本発明の方法によって、基材を除去せずに抗接着剤層４０の膜厚を算出できることを示している。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明を適用する対象の一例である紙容器を示す斜視図である。
【図２】紙容器の組立て加工前のカートンブランク（基材）を示す展開図である。
【符号の説明】
【００３４】
３０ トップシール部
４０ 抗接着剤層（有機薄膜）
５０ 紙容器
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコーン樹脂等を含む有機薄膜の膜厚測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、牛乳カートン等の飲料用の紙容器として、四角の筒状胴部をヒートシールで密封した、いわゆる切妻屋根型の紙容器（ゲーブルトップ型）が広く使用されている（特許文献１参照）。これらの紙容器において、消費者はヒートシール部を剥して容器を開口し、内容物の注ぎ口として使用する。
ところで、ヒートシールで貼り合わせて密封された紙片同士を剥す際、ヒートシールの接着力が強すぎると、開口が容易ではなく、また開口部がきれいに剥がれず破損したり、ささくれ、更に注ぎ口がきれいに形成されずに内容物がこぼれて不衛生になる等の問題がある。
【０００３】
そこで、ヒートシール部となる紙片の貼り合わせ面に、抗接着剤（アブヒーシブ剤）を塗布する技術が開発されている（特許文献２参照）。例えば、このような抗接着剤は、シリコーン樹脂、ポリエチレンワックス、大豆レシチン、高級脂肪酸アマイド等の離型剤と；エチルセルロース、環化ゴム等の基ポリマーと；酢酸エチルやアルコール類等の溶剤と；を組み合わせて調製される。
又、抗接着剤の抗接着度（接着強度）の調整は、離型剤の種類や抗接着剤の塗工量により行われている。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１６２７４８号公報
【特許文献２】特開平３−２１７４８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、一般に抗接着剤は無色透明であるため目視で塗工量を判定することは難しい。従って、通常はヨウ素液を抗接着剤の塗布部に塗布し、発色の度合で塗工量を判定しているが、発色状態から抗接着剤の塗工量や膜厚を定量化するのは困難であった。
塗工層の膜厚を測定する一般的な方法として、断面を光学顕微鏡や電子顕微鏡で観察する方法があるが、抗接着剤の塗工層は厚みが非常に薄く、さらに抗接着剤は有機薄膜であるために顕微鏡で鮮明に映し出されず、膜厚を測定することは難しい。
従って、本発明は、無機元素を含む膜厚を精度よく測定できる有機薄膜の膜厚測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の有機薄膜の膜厚測定方法は、特定の無機元素を含まない基材の表面に形成され、前記無機元素を含み、密度が２ｇ／ｃｍ３以下の有機薄膜の膜厚ΔＺを測定する方法であって、
質量割合で表した前記有機薄膜中の前記無機元素の濃度ＣＡと、前記無機元素の単体からなる標準試料による前記無機元素の特性Ｘ線強度ＫＳとに基づき、前記有機薄膜に電子線を照射したときの特性Ｘ線強度Ｋ１を検出し、式１
【数１】
（ρは前記有機薄膜の乾燥密度（g／cm３）；Ｅ０は入射電子１個のエネルギー；Ｅｊ(Ａ)は前記無機元素のＫ殻の励起エネルギー；ＲＡは前記無機元素の原子番号補正定数；Ｓ’Ａは前記標準試料の阻止能；ｅは電荷量；Ｎ０はアボガドロ数；Ｕ０＝Ｅ０/Ｅｊ(Ａ) ；ＫＡ＝（Ｋ１/Ｒ０）/（ＫＳ/ｆ（ｘ））、但し、Ｒ０は薄膜表面の特性Ｘ線の発生関数、ｆ（ｘ）は前記標準試料の吸収補正係数）によって前記膜厚ΔＺを測定する。
【０００７】
前記無機元素はケイ素であり、前記無機元素は前記有機薄膜中に有機ケイ素化合物として含まれていてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、無機元素を含む有機薄膜の膜厚を精度よく測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下本発明の実施形態について説明する。本発明の有機薄膜の膜厚測定方法は、基材の表面に形成された有機薄膜の膜厚を測定するるものである。まず、本発明を好適に適用できる対象の一例として、牛乳カートン等の飲料用の紙容器について説明する。
図１は、紙容器５０を示す斜視図であり、図２は、紙容器５０の組立て加工前のカートンブランク（基材）を示す展開図である。紙容器５０は、公知の切妻屋根型（ゲーブルトップ型）の紙容器であり、表裏面に熱可塑性樹脂を積層した板紙素材を折り畳んでなっている。
【００１０】
紙容器５０は、４つの胴部パネル４，５，６，７からなる概略四角の有底角筒状をなし、基材をそれぞれ胴部縦折線１，２，３で折り返すことで、各胴部パネル４，５，６，７の角部が形成される。又、胴部パネル７の一辺に縦罫線８を介して縦方向シールパネル９が形成され、縦方向シールパネル９を胴部パネル４の縁に重ね合わせてシールすることで、胴部パネル７と胴部パネル４とを連接して筒状とし、全体として四角の筒状胴部１０が形成されている。
【００１１】
胴部１０のうち、対向する胴部パネル４，６の上端には、頂部横折線１１，１２を介して互いに対向する一対の切妻屋根形成パネル１３，１４が連接されている。この一対の切妻屋根形成パネル１３，１４の上部には、シール横折線１５，１６を介して外側トップシールパネル１７，１８が連設されている。また、筒状胴部１０の他の対向する胴部パネル５，７の上端には、頂部横罫線１９，２０を介して互いに対向して一方が注出口になり開封される一対の妻壁形成パネル２１，２２が連接される。この一対の妻壁形成パネル２１，２２の上部には、シール横折線２３，２４を介して内側トップシールパネル２５，２６が連接されている。
そして、一対の妻壁形成パネル２１，２２には、胴部パネル５，７との境界となる頂部横折線１９，２０の両端から、内側トップシールパネル２５，２６との境界となるシール横折線２３，２４の中央に繋がるそれぞれ２本の折込線２７，２８が設けられている。そして、妻壁形成パネル２１が２本の折込線２７で折られて切妻屋根形成パネル１３，１４の間に折り込まれる。同様に、妻壁形成パネル２２が２本の折込線２８で折られて切妻屋根形成パネル１３，１４の間に折り込まれる。このようにして、紙容器５０の胴部１０の上部には、切妻屋根型の頂部２９が形成されている。
【００１２】
さらに、外側トップシールパネル１７，１８および内側トップシールパネル２５，２６同士がシールされてトップシール部３０が形成される。
ここで、トップシール部３０のうち、妻壁形成パネル２１側に位置する部分のシール部が剥されて開口され、内容物の注ぎ口となる。従って、注ぎ口としてシールが剥される、外側トップシールパネル１７、１８及び内側トップシールパネル２５のヒートシール部の所定位置に、ヒートシールの接着強度を調整し、剥離を容易にする抗接着剤（アブヒーシブ剤）層４０が塗布されている。
【００１３】
本発明は、例えば上記した抗接着剤層４０（有機薄膜）の膜厚の測定に用いることができる。
上記板紙素材は、表裏面に熱可塑性樹脂を積層した板紙であり、板紙としては、坪量３０〜４００g／ｍ2程度の液体紙容器用耐酸性原紙を使用できる。又、熱可塑性樹脂は、例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、変性ポリエステル等のヒートシール可能な樹脂を挙げることができる。
なお、詳しくは後述するが、本発明における「基材」とは、有機薄膜に１次電子線を照射して特性Ｘ線強度Ｋ１を測定する際、１次電子線が有機薄膜を突き抜けて下地に入り込んだ場合の下地をいう。従って、上記板紙素材の熱可塑性樹脂層まで１次電子線が入り込む場合、「基材」とは熱可塑性樹脂層を示すことになる。
又、基材（上記例では熱可塑性樹脂）は、後述する有機薄膜に含まれる無機元素を含まないものとする。例えば、基材として、板紙にポリエチレン（２０μｍ厚程度）をラミネートし、１次電子線がポリエチレン層まで入り込む場合、ポリエチレン層に含まれて特性Ｘ線を出す元素はＣ、Ｏ、Ｈであり、無機元素を含まない。
【００１４】
基材の表面に形成される有機薄膜としては、上記した抗接着剤層が例示される。上記実施形態では、抗接着剤層は、離型剤となるシリコーン樹脂と、基ポリマーであるエチルセルロース等のセルロース系樹脂とを含み、効果を損なわない範囲で粘度調整剤や、界面活性剤等助剤等を含んでもよく、シリコーン樹脂中のＳｉが本発明の「無機元素」に該当する。
又、離型剤としてシリコーン樹脂以外のポリエチレンワックス、大豆レシチン、又は高級脂肪酸アマイド等を用いることができる。さらに、基ポリマーとして環化ゴムを用いることができる。
抗接着剤層は、上記した離型剤、基ポリマーの他、溶剤として例えば酢酸エチルやアルコール類等を配合した塗料を塗布後、乾燥して形成することができる。
【００１５】
なお、離型剤としてシリコーン樹脂以外の成分を用いる場合、シリコーン樹脂に起因するＳｉ（無機元素）が抗接着剤層中に存在しない。そこで、このような場合は、抗接着剤層中に無機元素を含む物質（例えば、アルミナ、シリカ）を配合し、無機元素に由来する特性Ｘ線強度を検出できるようにする。
又、有機薄膜中の無機元素は、有機薄膜全体の密度が２ｇ／ｃｍ３以下となるように含有させる。これは、本発明が有機薄膜を突き抜けて下地の基材まで１次電子を照射し、有機薄膜全体の無機元素から発生する特性Ｘ線強度を検出するためであり、有機薄膜の密度が２ｇ／ｃｍ３を超えると、特性Ｘ線が有機薄膜を透過できなくなり、膜厚の測定が精度よく行えないからである。
なお、上記した有機薄膜中の無機元素の濃度は、後述するＣＡを百分率（％）で表したものである。
【００１６】
次に、測定方法の詳細について説明する。
まず、上記した有機薄膜に１次電子を照射し、発生する特性Ｘ線強度を検出する。この方法は、エネルギー分散型Ｘ線分光法といい、ＥＰＭＡ（電子プローブマイクロアナライザー）で測定を行うことが可能である。
ここで、本発明は、有機薄膜を突き抜けて下地の基材まで１次電子を照射し、有機薄膜全体の無機元素から発生する特性Ｘ線強度を検出する。そのため、下地の基材に１次電子が入り込むよう、１次電子の加速電圧を調整する。例えば、上記抗接着剤層の膜厚は約２〜３μｍ程度と考えられ、又、基材（ポリエチレン）の密度が０．９g／cm３であることから、加速電圧を１５ｋＶとすれば１次電子は約１０μｍの深さまで侵入することになる。このようなことから、加速電圧を１５ｋＶとすることが好ましい。
【００１７】
又、本発明においては、予め、質量割合で表した有機薄膜中の無機元素の濃度ＣＡを、既知値として取得しておく。本発明を、例えば有機薄膜の塗工量の工程管理に用いる場合、有機薄膜の塗料の組成等は既知であるので、濃度ＣＡを予め知ることができる。
ここで、ＣＡ＝（有機薄膜中の無機元素の質量）／（有機薄膜の質量）で表される。
さらに、本発明においては、予め上記した無機元素の単体からなる標準試料をエネルギー分散型Ｘ線分光法で測定しておき、標準試料による無機元素の特性Ｘ線強度ＫＳを得ておく。
【００１８】
そして、有機薄膜に電子線を照射したときの特性Ｘ線強度Ｋ１を検出し、式１
【数１】
によって前記膜厚ΔＺを求める。
ここで、ρは有機薄膜の乾燥密度（g／cm３）；Ｅ０は入射電子１個のエネルギー；ＥK(Ａ)は前記無機元素のＫ殻の励起エネルギー；ＲＡは前記無機元素の原子番号補正定数；Ｓ’Ａは前記標準試料の阻止能；ｅは電荷量；Ｎ０はアボガドロ数；Ｕ０＝Ｅ０/Ｅｊ(Ａ) ；ＫＡ＝（Ｋ１/Ｒ０）/（ＫＳ/ｆ（ｘ））、但し、Ｒ０は有機薄膜表面の特性Ｘ線の発生関数、ｆ（ｘ）は前記標準試料の吸収補正係数である。
又、得られたΔＺの単位はcmである。
【００１９】
式１は、公知の式（Philbert-Tixier法）を変形して、ΔＺについて記述したものである。ここで、Philbert-Tixier法は、薄膜のＥＰＭＡ分析において、元素Ａ，Ｂの相対濃度を求める式である。通常、Philbert-Tixier法では、元素Ａ，Ｂについてそれぞれ上記式１を立て、両者の比を取ることで未知のρ及びΔＺを消去し、元素Ａ，Ｂの相対濃度を求めている（日本表面科学会編、「電子プローブ・マイクロアナライザー」丸善、９４頁、平成１０年発行）。
一方、本発明においては、上記したようにρが既知であり、又、濃度ＣＡも既知であることを利用し、ΔＺを逆に求めている。又、本発明を適用する有機薄膜は、特性Ｘ線強度を測定する無機元素を含んだ状態で、薄膜の密度が２ｇ／ｃｍ３以下であるため、１次電子線が有機薄膜を貫通し、有機薄膜全体の無機元素の量を測定できる。そのため、既知の濃度ＣＡと、得られた無機元素の特性Ｘ線強度とから、ΔＺを逆算できる。これに対し、従来ＥＰＭＡで一般に測定されてきた金属材料等は、無機元素が１００％含まれ、密度が２ｇ／ｃｍ３を超えるため（たとえば、無機元素がケイ素の場合は、シリコン板）、表面の特性Ｘ線強度しか得られず、膜厚を精度よく測定することはできない。
有機薄膜の密度は、有機薄膜の材料物質の重量と体積とを測定して計算することができる。また、実質的には、有機薄膜を構成する主成分である物質（例えば上述した基ポリマー）の密度を有機薄膜の密度とみなしてもよく、得られる密度の値にほとんど差は生じない。
【００２０】
又、本発明においては、予め標準試料により特性Ｘ線強度ＫＳを測定しておくことで、式１に含まれる各種の係数を算定できるようにしている。
例えば、Ｓ’Ａは、標準試料の阻止能を示し、式２
【数２】
で表される。ここで、ＺＡは対象とする無機元素の原子番号；ＡＡは対象とする無機元素の原子量；ＷＡｊ＝１．１１６×Ｅｊ(Ａ)／（１１．５×ＺＡ）である。
【００２１】
又、Ｒ０は有機薄膜表面の特性Ｘ線の発生関数（電子線の背面散乱効果の係数）であり、式３
Ｒ０＝1＋2.8（1−0.9／Ｕ０）×η （３）
で表される（Reuterの式）。ここで、η＝−0.0254＋0.016Ｚ−0.000186Ｚ２＋8.3×10-7×Ｚ3であり；Ｚは有機薄膜の直下の基材を構成する物質の原子番号；但し、基材が化合物の場合、η＝ΣCiηiで表され、各化合物のηiをモル分率Ciで加重平均したものとなる。
例えば、上記実施形態のように、有機薄膜の基材がポリエチレンの場合、ポリエチレンはCnH2n+2で表されるから、CとHの重量組成比は約１２：２となる（ｎが大きい場合）。従って、CとHについてηiを求め、モル分率Ciで加重平均してポリエチレンのηが得られる。
Ｒ０により、有機薄膜の直下の基材に含まれる物質に応じて、ＫＡが補正される。
【００２２】
ｆ（χ）は、標準試料の吸収補正係数であり、Philbertの方法やφ（ρｚ）の方法を適用すると、式４
【数３】
で表される。ここで、ｈ＝１．２（定数）×ＡＡ/｛（ＺＡ）２｝；σ＝４．５×１０5／（ＥO1.65−ＥC1.65）；χ＝μ／ρcosecφで表される。なお、μ／ρは質量吸収係数で、物質固有の値である。φはＸ線取り出し角度、σはレナード常数、ＥO は加速電圧、ＥC は最小励起電圧である。
【実施例】
【００２３】
以下に、実施例によって本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。なお、「部」及び「％」は、特に明示しない限り、それぞれ「質量部」及び「質量％」を表す。
【００２４】
<ゲーブルトップ型紙容器の製造>
容器の外側の面から見て、ポリエチレン樹脂層２０μm／晒クラフト紙３３０ｇ／ｍ２／ポリエチレン樹脂層６０μmの構成からなる積層体を板紙素材として使用し、これを打ち抜いて、図２に示す紙容器用ブランクを複数枚作製した。次に、抗接着剤（H１４１ 東洋インキ製造株式会社製、固形分１８質量％；シリコーン樹脂とセルロース系樹脂とを含みこれらの固形分を示す）を用い、ブランクの所定の場所（図１の符号４０の位置）にフレキソ印刷で塗布した。
次に、このブランクを製函機で折り曲げ罫線押し圧加工、及びサイドシール加工し、カートンブランクにした後、外側トップシールパネル１７，１８および内側トップシールパネル２５，２６同士をヒートシールし、トップシール部３０を形成し、図１に示す紙容器５０を製造した。
【００２５】
<開封力の測定>
上記紙容器５０のトップシール部３０のうち、抗接着剤層４０を介してシールを行った部分（妻壁形成パネル２１側）の開封力を、JIS-S-0022（「高齢者／障害者配慮設計指針−包装・容器−開封性試験方法、屋根型紙パック引きはがし試験」に準じて測定した。
【００２６】
<ＥＰＭＡ用測定試料の作製>
上記した紙容器用ブランクの製造の際、フレキソ印刷の印圧を変更することによって抗接着剤層４０の塗布量を調整したブランク１〜３をそれぞれ作製した。これらのブランク１〜３を製函せず、ブランク１〜３につき、それぞれ抗接着剤層４０を形成した部分から約５ｍｍ×５ｍｍの大きさの測定試料を板紙素材とともに切り出し、測定試料１〜３とした。
なお、各ブランク１〜３につき、測定試料１〜３をそれぞれ６点採取した。
【００２７】
<特性X線強度の測定>
まず、ケイ素標準物質（日本電子社製）を電子顕微鏡（走査型電子顕微鏡JSM5610LV、元素分析装置JED2200、共に日本電子株式会社製）の測定室内にセットし、ケイ素の特性X線強度を測定した。入射電圧を１５kevとした。入射電圧を１５kevとすれば、１次電子は約１０μｍの深さまで侵入することになるが、ポリエチレン樹脂層（密度０．９g／cm３）の厚みが２０μｍであるので、１次電子はポリエチレン樹脂層まで侵入する。従って、ポリエチレンを基材とみなした。
X線強度の測定値は、バックグランドを差し引いたネット値とした。なお、ケイ素標準物質は、直径２ｍｍ、長さ１ｃｍのパイプの先端中に標準物質（ケイ素）が埋めこまれているものを用いた。
次に、上記測定試料１〜３を上記電子顕微鏡の測定室内にセットし、同様にして、ケイ素の特性X線強度を測定した。測定試料１〜３のケイ素の特性X線強度は、６点の試料を測定した平均値とした。
【００２８】
そして、式１により、各測定試料１〜３における抗接着剤層４０の膜厚（ΔＺ）を計算した。
なお、式１中、ρ＝1.1g／cm３；Ｅ０＝15×103×1.6022×10-19×107erg；Ｅｊ(Ａ)＝1.838kev＝1.838×103×1.6022×10-19×107erg（ケイ素のＫ殻の励起エネルギー）；ＲＡ＝0.91；Ｓ’Ａ＝0.2074；ｅ＝1.6022×10-19C＝4.8032×10-10esu；Ｎ０＝6.02×1023；Ｕ０＝Ｅ０/Ｅｊ(Ａ) ＝15／1.838＝8.1610とした。
但し、ＲＡ＝は、１／U０＝0.123の値と、ケイ素の原子番号との関係に基づき、所定のグラフ（Values of R as a function of z and 1/U）から求めた。又、Ｓ’Ａは、ＷＡｊ＝１３．２２として式２から計算した。
【００２９】
一方、Ｒ０の計算に当り、基材をポリエチレン（CnH2n+2）とし、CとHの重量組成比を１２：２とした。そして、ηC=−0.0254＋0.016(6)−0.000186(6)２＋8.3×10-7(6)3＝0.061、ηH=−0.0254＋0.016(1)−0.000186(1)２＋8.3×10-7(1)3＝−0.0096とし、ηポリエチレン＝12/14ηC＋2/14ηH=0.0509を得た。この値を式３に代入し、R０＝1＋2.8（1−0.9／U）η＝1＋2.8（1−0.9／8.161）×0.0509＝1.127とした。
又、ｆ（χ）の計算に当り、ｈ＝1.2×28.09/｛14２｝＝0.172；σ＝4.5×10-5×（Ｅ０1.65−Ｅｊ(Ａ) 1.65）＝5.9269×10３；χ＝655.8とした。式４より、ｆ（χ）＝0.8746となった。
【００３０】
得られた結果を表１に示す。なお、ＣＡは、シリコーン樹脂とセルロース系樹脂とを含有する上記抗接着剤（H141）の固形分を元素分析してケイ素相対濃度を測定し、その結果から抗接着剤中のケイ素の含有率を測定して求めた。
又、抗接着剤層の密度ρは、抗接着剤を乾燥固化し、その重量と体積を測定して求めた。
そして、上記したX線強度の測定値から、式１を変形してΔＺ×ρ×ＣＡを示す値（式５）
【数４】
が得られるので、式５の値と、ＣＡ及びρの実測値を式１に入れ、ΔＺを算出した。
【００３１】
【表１】
【００３２】
表１から、本発明の方法によって計算したΔＺが薄いほど開封力が大きく、これは実際に抗接着剤層４０の塗布量が少ないほど開封し難いという事実に適合している。つまり、本発明の方法によって、基材を除去せずに抗接着剤層４０の膜厚を算出できることを示している。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明を適用する対象の一例である紙容器を示す斜視図である。
【図２】紙容器の組立て加工前のカートンブランク（基材）を示す展開図である。
【符号の説明】
【００３４】
３０ トップシール部
４０ 抗接着剤層（有機薄膜）
５０ 紙容器
【特許請求の範囲】
【請求項１】
特定の無機元素を含まない基材の表面に形成され、前記無機元素を含み、密度が２ｇ／ｃｍ３以下の有機薄膜の膜厚ΔＺを測定する方法であって、
質量割合で表した前記有機薄膜中の前記無機元素の濃度ＣＡと、前記無機元素の単体からなる標準試料による前記無機元素の特性Ｘ線強度ＫＳとに基づき、前記有機薄膜に電子線を照射したときの特性Ｘ線強度Ｋ１を検出し、式１
【数１】
（ρは前記有機薄膜の乾燥密度（g／cm３）；Ｅ０は入射電子１個のエネルギー；Ｅｊ(Ａ)は前記無機元素のＫ殻の励起エネルギー；ＲＡは前記無機元素の原子番号補正定数；Ｓ’Ａは前記標準試料の阻止能；ｅは電荷量；Ｎ０はアボガドロ数；Ｕ０＝Ｅ０/Ｅｊ(Ａ) ；ＫＡ＝（Ｋ１/Ｒ０）/（ＫＳ/ｆ（ｘ））、但し、Ｒ０は薄膜表面の特性Ｘ線の発生関数、ｆ（ｘ）は前記標準試料の吸収補正係数）によって前記膜厚ΔＺを測定する有機薄膜の膜厚測定方法。
【請求項２】
前記無機元素はケイ素であり、前記無機元素は前記有機薄膜中に有機ケイ素化合物として含まれている請求項１に記載の有機薄膜の膜厚測定方法。
【請求項１】
特定の無機元素を含まない基材の表面に形成され、前記無機元素を含み、密度が２ｇ／ｃｍ３以下の有機薄膜の膜厚ΔＺを測定する方法であって、
質量割合で表した前記有機薄膜中の前記無機元素の濃度ＣＡと、前記無機元素の単体からなる標準試料による前記無機元素の特性Ｘ線強度ＫＳとに基づき、前記有機薄膜に電子線を照射したときの特性Ｘ線強度Ｋ１を検出し、式１
【数１】
（ρは前記有機薄膜の乾燥密度（g／cm３）；Ｅ０は入射電子１個のエネルギー；Ｅｊ(Ａ)は前記無機元素のＫ殻の励起エネルギー；ＲＡは前記無機元素の原子番号補正定数；Ｓ’Ａは前記標準試料の阻止能；ｅは電荷量；Ｎ０はアボガドロ数；Ｕ０＝Ｅ０/Ｅｊ(Ａ) ；ＫＡ＝（Ｋ１/Ｒ０）/（ＫＳ/ｆ（ｘ））、但し、Ｒ０は薄膜表面の特性Ｘ線の発生関数、ｆ（ｘ）は前記標準試料の吸収補正係数）によって前記膜厚ΔＺを測定する有機薄膜の膜厚測定方法。
【請求項２】
前記無機元素はケイ素であり、前記無機元素は前記有機薄膜中に有機ケイ素化合物として含まれている請求項１に記載の有機薄膜の膜厚測定方法。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２０１０−１０７２７７（Ｐ２０１０−１０７２７７Ａ）
【公開日】平成２２年５月１３日（２０１０．５．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２７７７８６（Ｐ２００８−２７７７８６）
【出願日】平成２０年１０月２９日（２００８．１０．２９）
【出願人】（５０２３９４５２０）日本紙パック株式会社 (33)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年５月１３日（２０１０．５．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１０月２９日（２００８．１０．２９）
【出願人】（５０２３９４５２０）日本紙パック株式会社 (33)
【Ｆターム（参考）】
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