浮上型磁気ヘッド装置の修正方法
【課題】ロードビームと、ロードビームの記録媒体側に位置する弾性変位可能な舌片を有するフレキシャと、舌片の記録媒体側の面に固定されたヘッド本体とを有し、記録媒体の回転駆動状態では、ヘッド本体が記録媒体上に浮上する浮上型磁気ヘッド装置の浮上量及び浮上時荷重のばらつきを抑制する修正方法を提案する。
【解決手段】ロードビーム５の先端部の自由状態でのロール角相当量を検出してロール角相当量がゼロに近づく方向にロードビーム５を曲げる第一の修正ステップと、このロードビーム５による浮上型磁気ヘッド装置の仮実装状態を作り、この仮実装状態におけるフレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量を検出してロール角相当量がゼロに近づく方向に左右のアウトリガー６ｂの少なくとも一方を曲げる第二の修正ステップとを含む浮上型磁気ヘッドの修正方法。
【解決手段】ロードビーム５の先端部の自由状態でのロール角相当量を検出してロール角相当量がゼロに近づく方向にロードビーム５を曲げる第一の修正ステップと、このロードビーム５による浮上型磁気ヘッド装置の仮実装状態を作り、この仮実装状態におけるフレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量を検出してロール角相当量がゼロに近づく方向に左右のアウトリガー６ｂの少なくとも一方を曲げる第二の修正ステップとを含む浮上型磁気ヘッドの修正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置などに装備される浮上型磁気ヘッド装置の修正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
浮上型磁気ヘッド装置は、回転駆動されるハードディスク（記録媒体）上に延び揺動運動するロードビームに、ヘッド本体（スライダ）を固定した弾性変位可能な舌片を有するフレキシャを結合し、このフレキシャの舌片の記録媒体側の面にヘッド本体を固定している。ディスクが停止しているときは、ロードビームの弾性力によりヘッド本体の下面がディスクの記録面に接触し、ディスクが始動すると、ディスクの移動方向に沿ってヘッド本体とディスク表面の間に空気流が導かれ、ヘッド本体の下面が空気流による浮上力を受けて、ヘッド本体がディスク表面から浮上する。
【０００３】
この浮上型磁気ヘッド装置では従来、ヘッド本体の姿勢が正しくディスクに水平になり、また所定の荷重が与えられるように、各種の修正を加える方法が提案されている。例えば、ヘッド本体の姿勢を修正するために、フレキシャの形状（ピッチ角やロール角相当量）を修正し（特許文献２、３、４）、あるいは荷重の大きさを調整するためにロードビームを変形させる技術が提案されている（特許文献１、５、６、７）。
【特許文献１】特開平１-２２７２７９号公報
【特許文献２】特開２０００-３３９８９４号公報
【特許文献３】特開２００１-３５７６４４号公報
【特許文献４】特開２００２-１５４１０号公報
【特許文献５】特開２００２-１７０３５１号公報
【特許文献６】特開２００２-２６０３５８号公報
【特許文献７】特開２００４-８２１６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、これらの修正方法を適用しても、実装状態においてディスクに対するヘッド本体の浮上量あるいは浮上時荷重（グラム荷重）にばらつきが生じるのが避けられなかった。浮上型磁気ヘッド装置の修正の目的は、極言すれば、実装状態におけるヘッド本体の浮上量あるいは浮上時荷重のばらつきを最小に抑えることにあり、従来の修正方法では、十分な修正を行うことは困難であった。
【０００５】
本出願人は、このような問題意識に基づき、ロードビームの実装状態における変形、特にロール角方向の変形に着目し、この変形の大きさを測定してロール角がゼロに近づく方向にロードビームを曲げ修正する方法を提案した（特願２００５-８８９５９号）。この新提案方法は、浮上型磁気ヘッド装置の仮実装状態（記録再生を行わない点以外は実装状態と同じ状態）を作って、ヘッド本体をディスク相当面から浮上させる仮実装ステップと、この仮実装状態において、ロードビーム先端部のロール角相当量を検出するステップと、このロードビームの先端部のロール角相当量に基づき、該先端部のロール角がゼロに近づく方向に該ロードビームを曲げるステップと、を有することを特徴としている。
【０００６】
ところが、この新提案方法でも未だ修正が十分に行われないことがあることが分かった。特に、浮上時荷重の左右のアンバランスを除去することが困難であった。従って、本発明は、本出願人が提案した上記の新提案方法をさらに発展改良し、浮上型磁気ヘッドの浮上量あるいは浮上時荷重（グラム荷重）のばらつきをさらに良好に修正できる修正方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、上記新提案方法でも修正が不十分になる原因を追及したところ、上記新提案方法では、ロードビームの仮実装状態を作る際、該ロードビームに荷重をかけて変形させているため、仮実装状態を作る前の該ロードビームの形状（自由状態における形状）を考慮しておらず、これが、十分な修正を行うことができない原因であるとの結論に達してなされたものである。
【０００８】
本発明方法は、ロール角相当量の修正を、ロードビームの曲げとフレキシャのアウトリガーの曲げの二段階で行うことで、ロードビームの自由状態における形状誤差も考慮した修正方法を提案するものである。
すなわち本発明は、金属材料からなり記録媒体上に延びるロードビーム；このロードビームに対する固定部と、この固定部から上記ロードビームの自由端部側に延びる左右一対のアウトリガーと、この一対のアウトリガーの先端部から該一対のアウトリガー内に延びる舌片とを有する、上記ロードビームの記録媒体側に位置する金属材料からなるフレキシャ；及びフレキシャの舌片の記録媒体側の面に固定されたヘッド本体；を有し、記録媒体の回転駆動状態では、ヘッド本体が該記録媒体上に浮上する浮上型磁気ヘッド装置の修正方法であって、ロードビームの基部を基準面に固定して先端部を自由状態に保持し、該自由状態での該ロードビーム先端部のロール角相当量を検出する第一の検出ステップと、この第一の検出ステップで検出されたロードビームの先端部のロール角相当量に基づき、該先端部のロール角がゼロに近づく方向に該ロードビームを曲げる第一の曲げステップと、この第一の曲げステップを終了した上記浮上型磁気ヘッド装置の仮実装状態を作って、ヘッド本体をディスク相当面から浮上させる仮実装ステップと、この仮実装状態において、上記フレキシャの舌片のロール角相当量を検出する第二の検出ステップと、この第二の検出ステップで検出された上記フレキシャの舌片のロール角相当量に基づき、該舌片のロール角がゼロに近づく方向に上記左右のアウトリガーの少なくとも一方を曲げる第二の曲げステップと、を有することを特徴としている。
【０００９】
ロール角相当量とは、ロール角を角度として検出する必要はなく、ロードビーム先端部のトラック幅方向の高さの差を検出することで、ロール角相当量を検出できることを意味している。
【００１０】
第一、第二の曲げステップにおけるロードビームとアウトリガーの曲げは、一実施態様では、該ロードビームの長手方向と直交する方向に対して傾斜するラインに沿って実行することができる。また、このロードビームとアウトリガーの曲げは、該ロードビームとアウトリガーにレーザ光を照射することで実行するのが実際的である。またロードビームの曲げは、該ロードビームとフレキシャとの最も先端側の結合部分より該ロードビームの揺動支点側において与えるのがよい。
【００１１】
ロードビームおよびアウトリガーに対するレーザ光の照射は、レーザ光の強度を傾斜ライン上で異ならせる、レーザ照射をトラック幅方向とし照射強度を異ならせる、ロードビームのトラック幅方向の半分だけにレーザ光を照射する、あるいは一対のアウトリガーの一方のみにレーザ光を照射することも可能である。
【００１２】
ロードビームには、レーザ光の照射ライン上に位置させて少なくとも一つの貫通穴を形成することが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の浮上型磁気ヘッド装置の修正方法によれば、ヘッド本体の浮上量あるいは浮上時荷重（グラム荷重）のばらつきを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１ないし図３は、本発明方法を適用して修正する浮上型磁気ヘッド装置の一例を示しており、ヘッド本体１とこれを支持する支持部材２とから構成されている。ヘッド本体１は、ハードディスクなどの記録ディスク（記録媒体）Ｄ（図３）に対向するスライダ３を有し、このスライダ３のトレーリング側端面に薄膜素子４が設けられている。スライダ３はセラミック材料などにより形成されている。薄膜素子４は、磁気抵抗効果を利用してディスクＤからの洩れ磁界を検出し磁気信号を読み取るＭＲヘッド（読み出しヘッド）と、コイルなどがパターン形成されたインダクティブヘッド（書き込みヘッド）とを有している。
【００１５】
支持部材２は、周知のように、回転駆動されるディスクＤ外に揺動支点を持ちディスクＤ上に延びるロードビーム５と、このロードビーム５に結合されたフレキシャ６とから構成されている。ロードビーム５とフレキシャ６はともに、板ばね材料（金属材料、一般的にステンレス）により形成される。ロードビーム５は、大略先細の平板状をしており、その先端部付近には、図示下方向（ディスクＤ側）に突出する半球状接触部（半球状突起）７が形成されている。
【００１６】
フレキシャ６は、固定部６ａと、この固定部６ａから前方（ロードビーム５の自由端方向）に延びる左右一対のアウトリガー６ｂと、この一対のアウトリガー６ｂの先端から内方に延びる接続部６ｃと、この一対の接続部６ｃに接続された舌片６ｄとを備えている。舌片６ｄと、アウトリガー６ｂ及び接続部６ｃの間にはコ字形のスリット６ｅが形成されていて、舌片６ｄは接続部６ｃを中心にアウトリガー６ｂに対して弾性変形可能である。図１に示すように、固定部６ａには位置決め孔９が形成されており、この位置決め孔９と、ロードビーム５に形成された位置決め孔８とが位置合せされた後、固定部６ａがロードビーム５の下面（ディスクＤ側の面）にレーザ溶接などの手段などにより固定される。固定点（機械的結合部分）１０は、図１では１箇所示しているが、揺動支点側にさらに図示しない複数の固定点を持っている。舌片６ｄの上面はロードビーム５に下方に向けて突出形成された半球状接触部７に突き当てられ、舌片６ｄの下面に接着固定されたヘッド本体１が、半球状接触部７の頂点を支点として姿勢を自由に変えることができる。ロードビーム５は、ヘッド本体１をディスクＤに接触させる方向の弾性力を有する。ロードビーム５及びフレキシャ６の裏側（ディスクＤ側の面）には、ヘッド本体１（薄膜素子４）に接続される配線パターンが設けられるが図示を省略している。
【００１７】
本実施形態では、以上の浮上型磁気ヘッド装置の修正に当たり、第一の修正ステップとして、図４のように、ロードビーム５の基部５Ｘを、ベースプレート１２の基準面１２ｒに押し当てて固定し自由状態に保持する。基準面１２ｒは、精密な基準平面であり、ロードビーム５の先端部がこの基準面１２ｒと平行であれば、ロール角（相当量）はゼロ（０゜）である。ロール角は、トラック幅方向の基準面１２ｒからの傾きと定義される。先端部とは、半球状接触部７と固定点１０（または位置決め孔８（位置決め孔９））との間であって、半球状接触部７に近い部分を言う。
【００１８】
第一の修正ステップは、このようにロードビーム５を自由状態に保持した状態において、該ロードビーム先端部のロール角相当量を検出する第一の検出ステップと、この第一の検出ステップで検出されたロードビームの先端部のロール角相当量に基づき、該先端部のロール角がゼロに近づく方向に該ロードビームを曲げる第一の曲げステップと、を含んでいる。
【００１９】
具体的には、図５に示すように、ロードビーム５の先端部のこの基準面１２ｒとの高さの差をトラック幅方向に離間させて２点測定することでロール角相当量を検出することができる。図４の符号１５は、ロードビーム５及びフレキシャ６表面の任意の点の高さを測定する高さ測定器であり、ＸＹ方向に自由に移動することができる。図６に示すように、高さ測定器１５は制御部１７に接続されており、制御部１７から入力される制御信号に応じて、ＸＹ方向に移動する。高さ測定器１５は、例えばレーザ変位計、干渉縞による変位測定器を用いることができる。
【００２０】
図５の下方の実線は、ロードビーム５の先端部のロール角相当量５Ｒを示した図である。このロール角相当量５Ｒは、ロードビーム５の表面のトラック幅方向に離間した図２及び図５の２点ＲとＬの基準面１２ｒ（と平行な面１２ｒ’）からの高さ（ベースプレート１２の基準面１２ｒとの高さの差）を測定し、この２点を直線で結んで描いたものである。このロール角相当量５Ｒの測定結果は、ロードビーム５の先端部のＬ点の高さがＲ点より高いことを示している。符号５Ｒ'はロール角（ロール角相当量）ゼロを示している。ロール角は、角度として求める必要はなく、このように、トラック幅方向に離間した２点の高さの差（ロール角相当量）で実質的に検出することができる。
【００２１】
本実施形態は、この第一の検出ステップで検出したロール角相当量に基づき、第一の曲げステップにおいて、該先端部のロール角がゼロに近づく方向に該ロードビーム５を曲げる。この曲げは、例えばロードビーム５の長手方向と直交する方向（図５のトラック幅方向）に対して傾斜角θだけ傾斜するライン（傾斜ライン）に沿って均一に行うことで、先端部のロール角をゼロに近づけることができる。いま、図５の上部に示す傾斜ライン５Ｘに沿って先端部が上昇する方向にロードビーム５を均一に曲げると、ロードビーム５の先端部のロール角相当量は小さくなる。すなわち、傾斜ライン５Ｘは、高さの低いＲ点側において先端部への距離が長く、高さの高いＬ点側において先端部への距離が短くなるように傾斜している。このため、傾斜ライン５Ｘからの距離が長い程、先端部の上昇量は大きくなることとなり、ロール角はゼロに近づく。傾斜ライン５Ｘの方向（傾斜角θ）は、Ｌ点とＲ点の高さの差に基づいて定めることができる。
【００２２】
曲げは、理論的には機械的に行うことも可能であるが、量産レベルでは、レーザ光の照射で行うことが実際的である。本実施形態では、図・に示すように、レーザ光を照射するレーザ光源１８に、レーザ光の強度と方向を制御する光源制御回路１９が接続されおり、この光源制御回路１９は制御部１７に接続されている。レーザ光源１８は、例えば半導体レーザを使用することができる。レーザ光源１８から特定の強度のレーザ光を線状に照射し急冷すると（常温中でレーザ光を短時間だけ照射すると）、レーザ光の照射されたラインが谷になるようにロードビーム５が曲がる。曲がり角（先端部の上昇量）は、照射するレーザ光の強度に依存する。
【００２３】
従って、傾斜ライン５Ｘの方向はロール角相当量の検出結果に基づいて定めることができ、照射レーザ光の強度は、ロードビーム５先端の必要とする持ち上げ量（上昇量）に応じて定めることができる。
【００２４】
すなわち、傾斜ライン５Ｘの方向（傾斜角θ）及びレーザ光の強度の組み合わせとロール角相当量との関係は予め求められていて記憶部２１に記憶されており、制御部１７は、この関係に基づいて演算部２２で演算されたロール角相当量が所定の範囲内に収まるように、傾斜ライン５Ｘの方向とレーザ光の強度とを設定する。傾斜ライン５Ｘの方向とレーザ光の強度を設定すると、制御部１７は、光源制御回路１９に、傾斜ライン５Ｘの方向に対応するレーザ光の出射角度とレーザ光の強度を指定する指示信号を送信する。光源制御回路１９は、制御部１７の指示信号に従ってレーザ光源１８からレーザ光を照射させる。
【００２５】
このように、ロール角相当量に基づいて、傾斜ライン５Ｘの方向とレーザ光の強度を設定し、レーザ光を照射することによって、ロードビーム５を曲げ修正することができる。
【００２６】
レーザ光の強度を傾斜ライン５Ｘ上で異ならせる、レーザ照射をトラック幅方向とし照射強度を異ならせる、ロードビームのトラック幅方向の半分だけにレーザ光を照射する、等によってもロードビーム５先端の曲がり量（浮上量）を変化させることが可能である。
【００２７】
また、この傾斜ライン（曲げライン）５Ｘは、ロードビーム５とフレキシャ６との最も先端側の結合部分１０よりも基部（実装したときの揺動中心）側に設定することが好ましい。結合部分１０よりも先端側に傾斜ラインを設定すると、ロードビーム５の先端のロール角をゼロに近づけたとしても、結合部分１０を介して結合されているフレキシャ６に支持されたヘッド本体１の姿勢を改善する効果が小さい。またロードビーム５には、レーザ光を照射する傾斜ライン５Ｘ上に貫通穴５Ｙを形成する（傾斜ライン５Ｘは貫通穴５Ｙ上に設定する）ことが好ましい。貫通穴５Ｙが存在することで、ロードビーム５を曲げることが容易になる。
【００２８】
本実施形態は、以上の第一の修正ステップに続いて、第二の修正ステップを実行する。第二の修正ステップは、第一の修正ステップを終了した浮上型磁気ヘッド装置の仮実装状態を作って、ヘッド本体をディスク相当面から浮上させる仮実装ステップと、この仮実装状態において、フレキシャの舌片のロール角相当量を検出する第二の検出ステップと、この第二の検出ステップで検出された舌片のロール角相当量に基づき、該先端部のロール角がゼロに近づく方向に左右アウトリガーの少なくとも一方を曲げる第二の曲げステップと、を含んでいる。
【００２９】
すなわち、以上の第一の修正ステップ（第一の曲げステップ）を終了した磁気ヘッド装置は、図７に示すように、仮ディスクＤ'上にセットして仮実装状態とされる。仮ディスクＤ'は、回転中心１３を中心に回転する仮ディスク駆動部１６（図６）に固定されている。この仮ディスク駆動部１６は、仮ディスク駆動回路２０を介して制御部１７に接続されている。仮ディスク駆動回路２０は、制御部１７から回転駆動の指示信号を受けると、仮ディスク駆動部１６に対して回転のための駆動信号（電流）を供給し、仮ディスク駆動部１６は入力された駆動信号に応じた所定の回転数で仮ディスクＤ'とともに回転する。実装状態と仮実装状態の差は、実際に記録再生を行うか否かにあり、ディスクＤ（仮ディスクＤ'）を回転させてヘッド本体１の浮上状態を作る点では同一である。ロードビーム５の基部は、ベースプレート１２の基準面１２ｒに押し当てられ、仮ディスクＤ'上に延びている。仮ディスクＤ'が、回転中心１３を中心に回転駆動されると、図７、図８に模式的に示すように、ヘッド本体１が仮ディスクＤ’上で浮上する。すなわち、ヘッド本体１はリーディング側がトレーリング側よりも仮ディスクＤ'上に高く持ち上がる傾斜した浮上姿勢となる。浮上量をδ（図８）で示した。この浮上状態においては、ヘッド本体１が、ロードビーム５の半球状接触部７の頂点とフレキシャ６の舌片６ｄとの接触点（部）を中心に揺動して仮ディスクＤ'の凹凸に追従する。
【００３０】
第二の修正ステップでは、まず、この仮実装状態において、フレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量を検出する（第二の検出ステップ）。ロール角は、前述のように、舌片６ｄのトラック幅方向の仮ディスクＤ'表面からの傾きと定義され、仮ディスクＤ'の表面と平行なときゼロ（０゜）である。ベースプレート１２の基準面１２ｒは、仮ディスクＤ'の表面と厳密に平行とされている。
【００３１】
舌片６ｄのロール角相当量の測定（検出）に当たっては、制御部１７から回転駆動の駆動信号を受けて仮ディスク駆動部１６及びこの仮ディスク駆動部１６に固定された仮ディスクＤ'を回転させる。すると、ヘッド本体１が仮ディスクＤ'上に浮上する。浮上量δが安定したところで、高さ測定器１５は、制御部１７の指示信号を受けてＸＹ方向に移動し、フレキシャ６の舌片６ｄ上のａ点（又はｂ点）（図９）の仮ディスクＤ'表面からの高さを測定する。測定値は、制御部１７に接続された記憶部２１に記憶される。ａ点（又はｂ点）の高さを測定した後、高さ測定器１５は、ｂ点（又はａ点）の仮ディスクＤ'表面からの高さを測定するように制御部１７から指示信号を受ける。測定値は、記憶部２１に記憶される。ａ点とｂ点の高さの測定値は、制御部１７に接続された演算部２２でロール角相当量に演算されて、記憶部２１に記憶される。
【００３２】
図９（Ｂ）は、図９（Ａ）のIXB-IXB線に沿う断面図であり、フレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量（傾斜）が誇張して描かれている。同時に、左右のアウトリガー６ｂの高低差及びロードビーム５との位置関係を誇張して描いている。図９の例では、舌片６ｄはｂ点側がａ点側より仮ディスクＤ’に接近する方向にロールしている。
【００３３】
第二の修正ステップでは、この第二の検出ステップでのフレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量の検出値（仮ディスクＤ’表面からの傾斜量）に応じ、第二の曲げステップにおいて、今度は、該舌片６ｄのロール角がゼロに近づく方向にフレキシャ６の左右のアウトリガー６ｂを曲げる。図９には、このアウトリガー６ｂを、上述のロードビーム５の曲げと同様に、レーザ光照射により曲げる際の照射ライン６Ｘの例を示している。照射ライン６Ｘは、アウトリガー６ｂの長手方向と直交する方向（図９のトラック幅方向）に対して傾斜角βだけ傾斜している。いま、左右のアウトリガー６ｂを同図に示す傾斜ライン６Ｘに沿って先端部が上昇する方向に均一に曲げると、フレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量は小さくなる。すなわち、傾斜ライン６Ｘは、高さの低いｂ点側において先端部への距離が長く、高さの高いａ点側において先端部への距離が短くなるように傾斜している。このため、傾斜ライン６Ｘからの距離が長い程、先端部の上昇量は大きくなることとなり、ロール角はゼロに近づく。傾斜ライン６Ｘの方向（傾斜角β）は、ａ点とｂ点の高さの差に基づいて定めることができる。レーザ光の照射回路その他は、ロードビーム５に対するものと同様のものを用いることができる。
【００３４】
また、同様の曲げ修正は、左右のアウトリガー６ｂの裏面にレーザ光を照射することによっても行うことができる。すなわち、アウトリガー６ｂの裏面に照射ライン６Ｘ’（傾斜角β’）に沿って同様にレーザ光を照射すれば、フレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量を小さくすることができる。勿論、右方と左方のアウトリガー６ｂの一方にレーザ光を照射してもよい。
【００３５】
以上の第二の修正ステップを終了した浮上型磁気ヘッド装置は、浮上量及び浮上時荷重のばらつきが良好に修正されている。
【００３６】
ロードビーム５及びフレキシャ６のアウトリガー６ｂの曲げ修正は、通常一回のレーザ光照射で行うことができるが、必要に応じてレーザ光の照射条件を変更し、照射を繰り返してもよい。
【００３７】
以上の実施形態に示したレーザ光の照射位置は、勿論一例であり、フレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量に応じて、その照射位置及び強度を定めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の修正方法を適用する浮上型磁気ヘッド装置の一例を示す分解斜視図である。
【図２】ロードビーム先端とフレキシャ部分の拡大平面図である。
【図３】図２のIII-III線に沿う、ヘッド本体の浮上状態の模式断面図である。
【図４】図１ないし図３の浮上型磁気ヘッド装置のロードビームの基部を基準面に押しつけて固定し、自由状態に保持した状態を示す概念的側面図である。
【図５】本発明の修正方法の第一の修正ステップを説明する図である。
【図６】本発明の修正方法を適用する浮上型磁気ヘッド装置の制御系統を示すブロック図である。
【図７】図１ないし図３の浮上型磁気ヘッド装置の仮実装状態を示す概念的側面図である。
【図８】同仮実装状態における磁気ヘッドの仮ディスクＤ’からの浮上状態を示す、図３に対応する断面図である。
【図９】本発明の修正方法の第二の修正ステップを説明する図である。
【符号の説明】
【００３９】
１ ヘッド本体
２ 支持部材
３ スライダ
４ 薄膜素子
５ ロードビーム
６ フレキシャ
６ａ 固定部
６ｂ アウトリガー
６ｃ 接続部
６ｄ 舌片
６ｅ スリット
７ 半球状接触部
８ ９ 位置決め孔
１０ 結合部分
１２ ベースプレート
１２ｒ 基準面
１３ 回転中心
１５ 高さ測定器
１６ 仮ディスク駆動部
１７ 制御部
１８ レーザ光源
１９ 光源制御回路
２０ 仮ディスク駆動回路
２１ 記憶部
２２ 演算部
Ｄ ディスク（記録媒体）
Ｄ' 仮ディスク
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置などに装備される浮上型磁気ヘッド装置の修正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
浮上型磁気ヘッド装置は、回転駆動されるハードディスク（記録媒体）上に延び揺動運動するロードビームに、ヘッド本体（スライダ）を固定した弾性変位可能な舌片を有するフレキシャを結合し、このフレキシャの舌片の記録媒体側の面にヘッド本体を固定している。ディスクが停止しているときは、ロードビームの弾性力によりヘッド本体の下面がディスクの記録面に接触し、ディスクが始動すると、ディスクの移動方向に沿ってヘッド本体とディスク表面の間に空気流が導かれ、ヘッド本体の下面が空気流による浮上力を受けて、ヘッド本体がディスク表面から浮上する。
【０００３】
この浮上型磁気ヘッド装置では従来、ヘッド本体の姿勢が正しくディスクに水平になり、また所定の荷重が与えられるように、各種の修正を加える方法が提案されている。例えば、ヘッド本体の姿勢を修正するために、フレキシャの形状（ピッチ角やロール角相当量）を修正し（特許文献２、３、４）、あるいは荷重の大きさを調整するためにロードビームを変形させる技術が提案されている（特許文献１、５、６、７）。
【特許文献１】特開平１-２２７２７９号公報
【特許文献２】特開２０００-３３９８９４号公報
【特許文献３】特開２００１-３５７６４４号公報
【特許文献４】特開２００２-１５４１０号公報
【特許文献５】特開２００２-１７０３５１号公報
【特許文献６】特開２００２-２６０３５８号公報
【特許文献７】特開２００４-８２１６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、これらの修正方法を適用しても、実装状態においてディスクに対するヘッド本体の浮上量あるいは浮上時荷重（グラム荷重）にばらつきが生じるのが避けられなかった。浮上型磁気ヘッド装置の修正の目的は、極言すれば、実装状態におけるヘッド本体の浮上量あるいは浮上時荷重のばらつきを最小に抑えることにあり、従来の修正方法では、十分な修正を行うことは困難であった。
【０００５】
本出願人は、このような問題意識に基づき、ロードビームの実装状態における変形、特にロール角方向の変形に着目し、この変形の大きさを測定してロール角がゼロに近づく方向にロードビームを曲げ修正する方法を提案した（特願２００５-８８９５９号）。この新提案方法は、浮上型磁気ヘッド装置の仮実装状態（記録再生を行わない点以外は実装状態と同じ状態）を作って、ヘッド本体をディスク相当面から浮上させる仮実装ステップと、この仮実装状態において、ロードビーム先端部のロール角相当量を検出するステップと、このロードビームの先端部のロール角相当量に基づき、該先端部のロール角がゼロに近づく方向に該ロードビームを曲げるステップと、を有することを特徴としている。
【０００６】
ところが、この新提案方法でも未だ修正が十分に行われないことがあることが分かった。特に、浮上時荷重の左右のアンバランスを除去することが困難であった。従って、本発明は、本出願人が提案した上記の新提案方法をさらに発展改良し、浮上型磁気ヘッドの浮上量あるいは浮上時荷重（グラム荷重）のばらつきをさらに良好に修正できる修正方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、上記新提案方法でも修正が不十分になる原因を追及したところ、上記新提案方法では、ロードビームの仮実装状態を作る際、該ロードビームに荷重をかけて変形させているため、仮実装状態を作る前の該ロードビームの形状（自由状態における形状）を考慮しておらず、これが、十分な修正を行うことができない原因であるとの結論に達してなされたものである。
【０００８】
本発明方法は、ロール角相当量の修正を、ロードビームの曲げとフレキシャのアウトリガーの曲げの二段階で行うことで、ロードビームの自由状態における形状誤差も考慮した修正方法を提案するものである。
すなわち本発明は、金属材料からなり記録媒体上に延びるロードビーム；このロードビームに対する固定部と、この固定部から上記ロードビームの自由端部側に延びる左右一対のアウトリガーと、この一対のアウトリガーの先端部から該一対のアウトリガー内に延びる舌片とを有する、上記ロードビームの記録媒体側に位置する金属材料からなるフレキシャ；及びフレキシャの舌片の記録媒体側の面に固定されたヘッド本体；を有し、記録媒体の回転駆動状態では、ヘッド本体が該記録媒体上に浮上する浮上型磁気ヘッド装置の修正方法であって、ロードビームの基部を基準面に固定して先端部を自由状態に保持し、該自由状態での該ロードビーム先端部のロール角相当量を検出する第一の検出ステップと、この第一の検出ステップで検出されたロードビームの先端部のロール角相当量に基づき、該先端部のロール角がゼロに近づく方向に該ロードビームを曲げる第一の曲げステップと、この第一の曲げステップを終了した上記浮上型磁気ヘッド装置の仮実装状態を作って、ヘッド本体をディスク相当面から浮上させる仮実装ステップと、この仮実装状態において、上記フレキシャの舌片のロール角相当量を検出する第二の検出ステップと、この第二の検出ステップで検出された上記フレキシャの舌片のロール角相当量に基づき、該舌片のロール角がゼロに近づく方向に上記左右のアウトリガーの少なくとも一方を曲げる第二の曲げステップと、を有することを特徴としている。
【０００９】
ロール角相当量とは、ロール角を角度として検出する必要はなく、ロードビーム先端部のトラック幅方向の高さの差を検出することで、ロール角相当量を検出できることを意味している。
【００１０】
第一、第二の曲げステップにおけるロードビームとアウトリガーの曲げは、一実施態様では、該ロードビームの長手方向と直交する方向に対して傾斜するラインに沿って実行することができる。また、このロードビームとアウトリガーの曲げは、該ロードビームとアウトリガーにレーザ光を照射することで実行するのが実際的である。またロードビームの曲げは、該ロードビームとフレキシャとの最も先端側の結合部分より該ロードビームの揺動支点側において与えるのがよい。
【００１１】
ロードビームおよびアウトリガーに対するレーザ光の照射は、レーザ光の強度を傾斜ライン上で異ならせる、レーザ照射をトラック幅方向とし照射強度を異ならせる、ロードビームのトラック幅方向の半分だけにレーザ光を照射する、あるいは一対のアウトリガーの一方のみにレーザ光を照射することも可能である。
【００１２】
ロードビームには、レーザ光の照射ライン上に位置させて少なくとも一つの貫通穴を形成することが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の浮上型磁気ヘッド装置の修正方法によれば、ヘッド本体の浮上量あるいは浮上時荷重（グラム荷重）のばらつきを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１ないし図３は、本発明方法を適用して修正する浮上型磁気ヘッド装置の一例を示しており、ヘッド本体１とこれを支持する支持部材２とから構成されている。ヘッド本体１は、ハードディスクなどの記録ディスク（記録媒体）Ｄ（図３）に対向するスライダ３を有し、このスライダ３のトレーリング側端面に薄膜素子４が設けられている。スライダ３はセラミック材料などにより形成されている。薄膜素子４は、磁気抵抗効果を利用してディスクＤからの洩れ磁界を検出し磁気信号を読み取るＭＲヘッド（読み出しヘッド）と、コイルなどがパターン形成されたインダクティブヘッド（書き込みヘッド）とを有している。
【００１５】
支持部材２は、周知のように、回転駆動されるディスクＤ外に揺動支点を持ちディスクＤ上に延びるロードビーム５と、このロードビーム５に結合されたフレキシャ６とから構成されている。ロードビーム５とフレキシャ６はともに、板ばね材料（金属材料、一般的にステンレス）により形成される。ロードビーム５は、大略先細の平板状をしており、その先端部付近には、図示下方向（ディスクＤ側）に突出する半球状接触部（半球状突起）７が形成されている。
【００１６】
フレキシャ６は、固定部６ａと、この固定部６ａから前方（ロードビーム５の自由端方向）に延びる左右一対のアウトリガー６ｂと、この一対のアウトリガー６ｂの先端から内方に延びる接続部６ｃと、この一対の接続部６ｃに接続された舌片６ｄとを備えている。舌片６ｄと、アウトリガー６ｂ及び接続部６ｃの間にはコ字形のスリット６ｅが形成されていて、舌片６ｄは接続部６ｃを中心にアウトリガー６ｂに対して弾性変形可能である。図１に示すように、固定部６ａには位置決め孔９が形成されており、この位置決め孔９と、ロードビーム５に形成された位置決め孔８とが位置合せされた後、固定部６ａがロードビーム５の下面（ディスクＤ側の面）にレーザ溶接などの手段などにより固定される。固定点（機械的結合部分）１０は、図１では１箇所示しているが、揺動支点側にさらに図示しない複数の固定点を持っている。舌片６ｄの上面はロードビーム５に下方に向けて突出形成された半球状接触部７に突き当てられ、舌片６ｄの下面に接着固定されたヘッド本体１が、半球状接触部７の頂点を支点として姿勢を自由に変えることができる。ロードビーム５は、ヘッド本体１をディスクＤに接触させる方向の弾性力を有する。ロードビーム５及びフレキシャ６の裏側（ディスクＤ側の面）には、ヘッド本体１（薄膜素子４）に接続される配線パターンが設けられるが図示を省略している。
【００１７】
本実施形態では、以上の浮上型磁気ヘッド装置の修正に当たり、第一の修正ステップとして、図４のように、ロードビーム５の基部５Ｘを、ベースプレート１２の基準面１２ｒに押し当てて固定し自由状態に保持する。基準面１２ｒは、精密な基準平面であり、ロードビーム５の先端部がこの基準面１２ｒと平行であれば、ロール角（相当量）はゼロ（０゜）である。ロール角は、トラック幅方向の基準面１２ｒからの傾きと定義される。先端部とは、半球状接触部７と固定点１０（または位置決め孔８（位置決め孔９））との間であって、半球状接触部７に近い部分を言う。
【００１８】
第一の修正ステップは、このようにロードビーム５を自由状態に保持した状態において、該ロードビーム先端部のロール角相当量を検出する第一の検出ステップと、この第一の検出ステップで検出されたロードビームの先端部のロール角相当量に基づき、該先端部のロール角がゼロに近づく方向に該ロードビームを曲げる第一の曲げステップと、を含んでいる。
【００１９】
具体的には、図５に示すように、ロードビーム５の先端部のこの基準面１２ｒとの高さの差をトラック幅方向に離間させて２点測定することでロール角相当量を検出することができる。図４の符号１５は、ロードビーム５及びフレキシャ６表面の任意の点の高さを測定する高さ測定器であり、ＸＹ方向に自由に移動することができる。図６に示すように、高さ測定器１５は制御部１７に接続されており、制御部１７から入力される制御信号に応じて、ＸＹ方向に移動する。高さ測定器１５は、例えばレーザ変位計、干渉縞による変位測定器を用いることができる。
【００２０】
図５の下方の実線は、ロードビーム５の先端部のロール角相当量５Ｒを示した図である。このロール角相当量５Ｒは、ロードビーム５の表面のトラック幅方向に離間した図２及び図５の２点ＲとＬの基準面１２ｒ（と平行な面１２ｒ’）からの高さ（ベースプレート１２の基準面１２ｒとの高さの差）を測定し、この２点を直線で結んで描いたものである。このロール角相当量５Ｒの測定結果は、ロードビーム５の先端部のＬ点の高さがＲ点より高いことを示している。符号５Ｒ'はロール角（ロール角相当量）ゼロを示している。ロール角は、角度として求める必要はなく、このように、トラック幅方向に離間した２点の高さの差（ロール角相当量）で実質的に検出することができる。
【００２１】
本実施形態は、この第一の検出ステップで検出したロール角相当量に基づき、第一の曲げステップにおいて、該先端部のロール角がゼロに近づく方向に該ロードビーム５を曲げる。この曲げは、例えばロードビーム５の長手方向と直交する方向（図５のトラック幅方向）に対して傾斜角θだけ傾斜するライン（傾斜ライン）に沿って均一に行うことで、先端部のロール角をゼロに近づけることができる。いま、図５の上部に示す傾斜ライン５Ｘに沿って先端部が上昇する方向にロードビーム５を均一に曲げると、ロードビーム５の先端部のロール角相当量は小さくなる。すなわち、傾斜ライン５Ｘは、高さの低いＲ点側において先端部への距離が長く、高さの高いＬ点側において先端部への距離が短くなるように傾斜している。このため、傾斜ライン５Ｘからの距離が長い程、先端部の上昇量は大きくなることとなり、ロール角はゼロに近づく。傾斜ライン５Ｘの方向（傾斜角θ）は、Ｌ点とＲ点の高さの差に基づいて定めることができる。
【００２２】
曲げは、理論的には機械的に行うことも可能であるが、量産レベルでは、レーザ光の照射で行うことが実際的である。本実施形態では、図・に示すように、レーザ光を照射するレーザ光源１８に、レーザ光の強度と方向を制御する光源制御回路１９が接続されおり、この光源制御回路１９は制御部１７に接続されている。レーザ光源１８は、例えば半導体レーザを使用することができる。レーザ光源１８から特定の強度のレーザ光を線状に照射し急冷すると（常温中でレーザ光を短時間だけ照射すると）、レーザ光の照射されたラインが谷になるようにロードビーム５が曲がる。曲がり角（先端部の上昇量）は、照射するレーザ光の強度に依存する。
【００２３】
従って、傾斜ライン５Ｘの方向はロール角相当量の検出結果に基づいて定めることができ、照射レーザ光の強度は、ロードビーム５先端の必要とする持ち上げ量（上昇量）に応じて定めることができる。
【００２４】
すなわち、傾斜ライン５Ｘの方向（傾斜角θ）及びレーザ光の強度の組み合わせとロール角相当量との関係は予め求められていて記憶部２１に記憶されており、制御部１７は、この関係に基づいて演算部２２で演算されたロール角相当量が所定の範囲内に収まるように、傾斜ライン５Ｘの方向とレーザ光の強度とを設定する。傾斜ライン５Ｘの方向とレーザ光の強度を設定すると、制御部１７は、光源制御回路１９に、傾斜ライン５Ｘの方向に対応するレーザ光の出射角度とレーザ光の強度を指定する指示信号を送信する。光源制御回路１９は、制御部１７の指示信号に従ってレーザ光源１８からレーザ光を照射させる。
【００２５】
このように、ロール角相当量に基づいて、傾斜ライン５Ｘの方向とレーザ光の強度を設定し、レーザ光を照射することによって、ロードビーム５を曲げ修正することができる。
【００２６】
レーザ光の強度を傾斜ライン５Ｘ上で異ならせる、レーザ照射をトラック幅方向とし照射強度を異ならせる、ロードビームのトラック幅方向の半分だけにレーザ光を照射する、等によってもロードビーム５先端の曲がり量（浮上量）を変化させることが可能である。
【００２７】
また、この傾斜ライン（曲げライン）５Ｘは、ロードビーム５とフレキシャ６との最も先端側の結合部分１０よりも基部（実装したときの揺動中心）側に設定することが好ましい。結合部分１０よりも先端側に傾斜ラインを設定すると、ロードビーム５の先端のロール角をゼロに近づけたとしても、結合部分１０を介して結合されているフレキシャ６に支持されたヘッド本体１の姿勢を改善する効果が小さい。またロードビーム５には、レーザ光を照射する傾斜ライン５Ｘ上に貫通穴５Ｙを形成する（傾斜ライン５Ｘは貫通穴５Ｙ上に設定する）ことが好ましい。貫通穴５Ｙが存在することで、ロードビーム５を曲げることが容易になる。
【００２８】
本実施形態は、以上の第一の修正ステップに続いて、第二の修正ステップを実行する。第二の修正ステップは、第一の修正ステップを終了した浮上型磁気ヘッド装置の仮実装状態を作って、ヘッド本体をディスク相当面から浮上させる仮実装ステップと、この仮実装状態において、フレキシャの舌片のロール角相当量を検出する第二の検出ステップと、この第二の検出ステップで検出された舌片のロール角相当量に基づき、該先端部のロール角がゼロに近づく方向に左右アウトリガーの少なくとも一方を曲げる第二の曲げステップと、を含んでいる。
【００２９】
すなわち、以上の第一の修正ステップ（第一の曲げステップ）を終了した磁気ヘッド装置は、図７に示すように、仮ディスクＤ'上にセットして仮実装状態とされる。仮ディスクＤ'は、回転中心１３を中心に回転する仮ディスク駆動部１６（図６）に固定されている。この仮ディスク駆動部１６は、仮ディスク駆動回路２０を介して制御部１７に接続されている。仮ディスク駆動回路２０は、制御部１７から回転駆動の指示信号を受けると、仮ディスク駆動部１６に対して回転のための駆動信号（電流）を供給し、仮ディスク駆動部１６は入力された駆動信号に応じた所定の回転数で仮ディスクＤ'とともに回転する。実装状態と仮実装状態の差は、実際に記録再生を行うか否かにあり、ディスクＤ（仮ディスクＤ'）を回転させてヘッド本体１の浮上状態を作る点では同一である。ロードビーム５の基部は、ベースプレート１２の基準面１２ｒに押し当てられ、仮ディスクＤ'上に延びている。仮ディスクＤ'が、回転中心１３を中心に回転駆動されると、図７、図８に模式的に示すように、ヘッド本体１が仮ディスクＤ’上で浮上する。すなわち、ヘッド本体１はリーディング側がトレーリング側よりも仮ディスクＤ'上に高く持ち上がる傾斜した浮上姿勢となる。浮上量をδ（図８）で示した。この浮上状態においては、ヘッド本体１が、ロードビーム５の半球状接触部７の頂点とフレキシャ６の舌片６ｄとの接触点（部）を中心に揺動して仮ディスクＤ'の凹凸に追従する。
【００３０】
第二の修正ステップでは、まず、この仮実装状態において、フレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量を検出する（第二の検出ステップ）。ロール角は、前述のように、舌片６ｄのトラック幅方向の仮ディスクＤ'表面からの傾きと定義され、仮ディスクＤ'の表面と平行なときゼロ（０゜）である。ベースプレート１２の基準面１２ｒは、仮ディスクＤ'の表面と厳密に平行とされている。
【００３１】
舌片６ｄのロール角相当量の測定（検出）に当たっては、制御部１７から回転駆動の駆動信号を受けて仮ディスク駆動部１６及びこの仮ディスク駆動部１６に固定された仮ディスクＤ'を回転させる。すると、ヘッド本体１が仮ディスクＤ'上に浮上する。浮上量δが安定したところで、高さ測定器１５は、制御部１７の指示信号を受けてＸＹ方向に移動し、フレキシャ６の舌片６ｄ上のａ点（又はｂ点）（図９）の仮ディスクＤ'表面からの高さを測定する。測定値は、制御部１７に接続された記憶部２１に記憶される。ａ点（又はｂ点）の高さを測定した後、高さ測定器１５は、ｂ点（又はａ点）の仮ディスクＤ'表面からの高さを測定するように制御部１７から指示信号を受ける。測定値は、記憶部２１に記憶される。ａ点とｂ点の高さの測定値は、制御部１７に接続された演算部２２でロール角相当量に演算されて、記憶部２１に記憶される。
【００３２】
図９（Ｂ）は、図９（Ａ）のIXB-IXB線に沿う断面図であり、フレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量（傾斜）が誇張して描かれている。同時に、左右のアウトリガー６ｂの高低差及びロードビーム５との位置関係を誇張して描いている。図９の例では、舌片６ｄはｂ点側がａ点側より仮ディスクＤ’に接近する方向にロールしている。
【００３３】
第二の修正ステップでは、この第二の検出ステップでのフレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量の検出値（仮ディスクＤ’表面からの傾斜量）に応じ、第二の曲げステップにおいて、今度は、該舌片６ｄのロール角がゼロに近づく方向にフレキシャ６の左右のアウトリガー６ｂを曲げる。図９には、このアウトリガー６ｂを、上述のロードビーム５の曲げと同様に、レーザ光照射により曲げる際の照射ライン６Ｘの例を示している。照射ライン６Ｘは、アウトリガー６ｂの長手方向と直交する方向（図９のトラック幅方向）に対して傾斜角βだけ傾斜している。いま、左右のアウトリガー６ｂを同図に示す傾斜ライン６Ｘに沿って先端部が上昇する方向に均一に曲げると、フレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量は小さくなる。すなわち、傾斜ライン６Ｘは、高さの低いｂ点側において先端部への距離が長く、高さの高いａ点側において先端部への距離が短くなるように傾斜している。このため、傾斜ライン６Ｘからの距離が長い程、先端部の上昇量は大きくなることとなり、ロール角はゼロに近づく。傾斜ライン６Ｘの方向（傾斜角β）は、ａ点とｂ点の高さの差に基づいて定めることができる。レーザ光の照射回路その他は、ロードビーム５に対するものと同様のものを用いることができる。
【００３４】
また、同様の曲げ修正は、左右のアウトリガー６ｂの裏面にレーザ光を照射することによっても行うことができる。すなわち、アウトリガー６ｂの裏面に照射ライン６Ｘ’（傾斜角β’）に沿って同様にレーザ光を照射すれば、フレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量を小さくすることができる。勿論、右方と左方のアウトリガー６ｂの一方にレーザ光を照射してもよい。
【００３５】
以上の第二の修正ステップを終了した浮上型磁気ヘッド装置は、浮上量及び浮上時荷重のばらつきが良好に修正されている。
【００３６】
ロードビーム５及びフレキシャ６のアウトリガー６ｂの曲げ修正は、通常一回のレーザ光照射で行うことができるが、必要に応じてレーザ光の照射条件を変更し、照射を繰り返してもよい。
【００３７】
以上の実施形態に示したレーザ光の照射位置は、勿論一例であり、フレキシャ６の舌片６ｄのロール角相当量に応じて、その照射位置及び強度を定めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の修正方法を適用する浮上型磁気ヘッド装置の一例を示す分解斜視図である。
【図２】ロードビーム先端とフレキシャ部分の拡大平面図である。
【図３】図２のIII-III線に沿う、ヘッド本体の浮上状態の模式断面図である。
【図４】図１ないし図３の浮上型磁気ヘッド装置のロードビームの基部を基準面に押しつけて固定し、自由状態に保持した状態を示す概念的側面図である。
【図５】本発明の修正方法の第一の修正ステップを説明する図である。
【図６】本発明の修正方法を適用する浮上型磁気ヘッド装置の制御系統を示すブロック図である。
【図７】図１ないし図３の浮上型磁気ヘッド装置の仮実装状態を示す概念的側面図である。
【図８】同仮実装状態における磁気ヘッドの仮ディスクＤ’からの浮上状態を示す、図３に対応する断面図である。
【図９】本発明の修正方法の第二の修正ステップを説明する図である。
【符号の説明】
【００３９】
１ ヘッド本体
２ 支持部材
３ スライダ
４ 薄膜素子
５ ロードビーム
６ フレキシャ
６ａ 固定部
６ｂ アウトリガー
６ｃ 接続部
６ｄ 舌片
６ｅ スリット
７ 半球状接触部
８ ９ 位置決め孔
１０ 結合部分
１２ ベースプレート
１２ｒ 基準面
１３ 回転中心
１５ 高さ測定器
１６ 仮ディスク駆動部
１７ 制御部
１８ レーザ光源
１９ 光源制御回路
２０ 仮ディスク駆動回路
２１ 記憶部
２２ 演算部
Ｄ ディスク（記録媒体）
Ｄ' 仮ディスク
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属材料からなり記録媒体上に延びるロードビーム；
このロードビームに対する固定部と、この固定部から上記ロードビームの自由端部側に延びる左右一対のアウトリガーと、この一対のアウトリガーの先端部から該一対のアウトリガー内に延びる舌片とを有する、上記ロードビームの記録媒体側に位置する金属材料からなるフレキシャ；及び
上記フレキシャの舌片の記録媒体側の面に固定されたヘッド本体：
を有し、記録媒体の回転駆動状態では、上記ヘッド本体が該記録媒体上に浮上する浮上型磁気ヘッド装置の修正方法であって、
上記ロードビームの基部を基準面に固定して先端部を自由状態に保持し、該自由状態での該ロードビーム先端部のロール角相当量を検出する第一の検出ステップと、
この第一の検出ステップで検出されたロードビームの先端部のロール角相当量に基づき、該先端部のロール角がゼロに近づく方向に該ロードビームを曲げる第一の曲げステップと、
この第一の曲げステップを終了した上記浮上型磁気ヘッド装置の仮実装状態を作って、ヘッド本体をディスク相当面から浮上させる仮実装ステップと、
この仮実装状態において、上記フレキシャの舌片のロール角相当量を検出する第二の検出ステップと、
この第二の検出ステップで検出された上記フレキシャの舌片のロール角相当量に基づき、該舌片のロール角がゼロに近づく方向に上記左右のアウトリガーの少なくとも一方を曲げる第二の曲げステップと、
を有することを特徴とする浮上型磁気ヘッド装置の修正方法。
【請求項２】
請求項１記載の浮上型磁気ヘッド装置の修正方法において、上記第一、第二の曲げステップにおけるロードビームとアウトリガーの曲げは、該ロードビームの長手方向と直交する方向に対して傾斜するラインに沿って実行される浮上型磁気ヘッド装置の修正方法。
【請求項３】
請求項１または２記載の浮上型磁気ヘッド装置の修正方法において、第一、第二の曲げステップにおけるロードビームとアウトリガーの曲げは、該ロードビームにレーザ光を照射することで実行される浮上型磁気ヘッド装置の修正方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項記載の浮上型磁気ヘッド装置の修正方法において、上記第一の曲げステップにおけるロードビームの曲げは、上記ロードビームとフレキシャとの最も先端側の結合部分より該ロードビームの揺動支点側において実行される浮上型磁気ヘッド装置の修正方法。
【請求項５】
請求項３または４記載の浮上型磁気ヘッド装置の修正方法において、上記ロードビームには、レーザ光の照射ライン上に位置させて少なくとも一つの貫通穴が形成されている浮上型磁気ヘッド装置の修正方法。
【請求項１】
金属材料からなり記録媒体上に延びるロードビーム；
このロードビームに対する固定部と、この固定部から上記ロードビームの自由端部側に延びる左右一対のアウトリガーと、この一対のアウトリガーの先端部から該一対のアウトリガー内に延びる舌片とを有する、上記ロードビームの記録媒体側に位置する金属材料からなるフレキシャ；及び
上記フレキシャの舌片の記録媒体側の面に固定されたヘッド本体：
を有し、記録媒体の回転駆動状態では、上記ヘッド本体が該記録媒体上に浮上する浮上型磁気ヘッド装置の修正方法であって、
上記ロードビームの基部を基準面に固定して先端部を自由状態に保持し、該自由状態での該ロードビーム先端部のロール角相当量を検出する第一の検出ステップと、
この第一の検出ステップで検出されたロードビームの先端部のロール角相当量に基づき、該先端部のロール角がゼロに近づく方向に該ロードビームを曲げる第一の曲げステップと、
この第一の曲げステップを終了した上記浮上型磁気ヘッド装置の仮実装状態を作って、ヘッド本体をディスク相当面から浮上させる仮実装ステップと、
この仮実装状態において、上記フレキシャの舌片のロール角相当量を検出する第二の検出ステップと、
この第二の検出ステップで検出された上記フレキシャの舌片のロール角相当量に基づき、該舌片のロール角がゼロに近づく方向に上記左右のアウトリガーの少なくとも一方を曲げる第二の曲げステップと、
を有することを特徴とする浮上型磁気ヘッド装置の修正方法。
【請求項２】
請求項１記載の浮上型磁気ヘッド装置の修正方法において、上記第一、第二の曲げステップにおけるロードビームとアウトリガーの曲げは、該ロードビームの長手方向と直交する方向に対して傾斜するラインに沿って実行される浮上型磁気ヘッド装置の修正方法。
【請求項３】
請求項１または２記載の浮上型磁気ヘッド装置の修正方法において、第一、第二の曲げステップにおけるロードビームとアウトリガーの曲げは、該ロードビームにレーザ光を照射することで実行される浮上型磁気ヘッド装置の修正方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項記載の浮上型磁気ヘッド装置の修正方法において、上記第一の曲げステップにおけるロードビームの曲げは、上記ロードビームとフレキシャとの最も先端側の結合部分より該ロードビームの揺動支点側において実行される浮上型磁気ヘッド装置の修正方法。
【請求項５】
請求項３または４記載の浮上型磁気ヘッド装置の修正方法において、上記ロードビームには、レーザ光の照射ライン上に位置させて少なくとも一つの貫通穴が形成されている浮上型磁気ヘッド装置の修正方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００８−５９６２１（Ｐ２００８−５９６２１Ａ）
【公開日】平成２０年３月１３日（２００８．３．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２３１４５４（Ｐ２００６−２３１４５４）
【出願日】平成１８年８月２９日（２００６．８．２９）
【出願人】（００００１００９８）アルプス電気株式会社 (4,263)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年３月１３日（２００８．３．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年８月２９日（２００６．８．２９）
【出願人】（００００１００９８）アルプス電気株式会社 (4,263)
【Ｆターム（参考）】
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